JP2018176717A - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】カバーからのノイズの放射を抑制した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】導電性のベース３００と、前記ベースに保持されたヘッド本体１００であって、圧力発生室内の液体を吐出するためのスイッチング素子と圧力発生素子とを有する複数のヘッド本体１００と、前記ベース３００と離間するカバー２００であって、前記ベース３００との間で前記圧力発生素子及び前記スイッチング素子の少なくとも一方を挟む複数のカバー２００と、前記ベース３００と前記カバー２００とを複数箇所で導通させる複数の導通部２１０と、を備える。【選択図】図８

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。

インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、カートリッジやタンク等に貯留されたインクなどの液体を噴射可能な液体噴射ヘッドを具備する。

液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口とノズル開口に連通する流路に圧力変化を生じさせる圧力発生素子とが設けられたヘッド本体と、導電性を有する材料で形成されたカバーと、を具備するものがある。

カバーは導電性を有する材料で形成されているため、紙や記録シート等の被噴射媒体からの静電気によって圧力発生素子やスイッチング素子を有する駆動回路が破壊されないように接地する必要がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−１８７７２６号公報

ところで、カバーの接地が不十分だと、カバーが平面型アンテナとして機能し、圧力発生素子や圧力発生素子を駆動するためのスイッチング素子から発生するノイズがカバーから放射されてしまうという問題がある。特に、比較的面積の広いカバーの場合、接地が不十分になり易く、平面型アンテナとして機能し易い。また、複数のカバーが並設されている場合、カバーがアンテナ化することで、増幅・指向性が生じて悪化するという問題がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、カバーからのノイズの放射を抑制した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、導電性のベースと、前記ベースに保持されたヘッド本体であって、圧力発生室内の液体を吐出するためのスイッチング素子と圧力発生素子とを有する複数のヘッド本体と、前記ベースと離間する導電性のカバーであって、前記ベースとの間で前記圧力発生素子及び前記スイッチング素子の少なくとも一方を挟む複数のカバーと、前記ベースと前記カバーとを複数箇所で導通させる複数の導通部と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、スイッチング素子及び圧力発生素子の少なくとも一方をベースとの間で挟むカバーを複数の導通部でベースと導通させることで、カバーを複数箇所の導通部で接地することができる。したがって、カバーがアンテナとして働き、液体噴射ヘッドの内部からのノイズがカバーによって外部に放射されるのを抑制することができる。また、カバーとベースとを導通部で導通すると共に接地することで、カバーとベースとの間に挟まれたスイッチング素子及び圧力発生素子の少なくとも一方を外部からのノイズから保護することができ誤動作を抑制することができる。

ここで、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記ヘッド本体が並び、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部が並び、複数の前記ヘッド本体が並ぶ方向と、複数の前記導通部が並ぶ方向とは、互いに交差することが好ましい。これによれば、複数のヘッド本体が並ぶ方向と複数の導通部が並ぶ方向とを互いに交差させることで、複数のヘッド本体を高密度に並べることができると共に、１つのヘッド本体に対して複数の導通部を設けることができる。

また、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部は、前記圧力発生素子及び前記スイッチング素子の少なくとも一方を挟む位置にあり、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向に直交する方向において、複数の前記導通部は、前記カバーに対して同じ側に位置することが好ましい。これによれば、複数の導通部で挟まれた圧力発生素子及びスイッチング素子の少なくとも一方が、ベースとカバーと導通部との連続して導通する部材によって囲まれるため、これらに囲まれた圧力発生素子及びスイッチング素子の少なくとも一方の発するノイズが外部に放射されるのを抑制することができると共に、外部からのノイズの影響を抑制することができる。また、複数の導通部はヘッド本体のノズル面の面内方向に直交する方向においてカバーに対して同じ側に位置するため、複数の導通部がカバーに当接する応力が偏るのを抑制して、カバー及びヘッド本体の位置ずれを抑制することができる。

また、前記カバーは、撥液面を有し、前記導通部は、前記カバーの前記撥液面とは反対側の面にて、前記カバーと接することが好ましい。これによれば、撥液面を形成する撥液膜として絶縁材料を用いたとしても、カバーと導通部とを導通することができる。したがって、撥液面を形成する撥液膜の材料に制限がなく、撥液性が高い材料を選択することができる。

また、前記ヘッド本体と接続された回路基板であって、前記カバーを接地するための複数の回路基板を有し、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部が並び、前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記回路基板が並び、複数の前記導通部が並ぶ方向と、複数の前記回路基板が並ぶ方向とは、互いに沿っていることが好ましい。これによれば、回路基板によって導通部を介してカバーを接地することができると共に、導通部と回路基板との距離を短くして接地を確実に行うことができる。

また、前記導通部は、複数の前記カバーのうち、互いに隣り合う前記カバー同士を導通させる隙間導通部を含むことが好ましい。これによれば、隙間導通部によって複数のカバーの接地を増やして、接地不良を抑制することができる。また、並設されたカバー同士を導通することで、並設されたカバーがループアンテナのように増幅・指向性が生じるのをさらに抑制することができる。

また、前記隙間導通部は、多孔質の金属であることが好ましい。これによれば、多孔質の金属からなる隙間導通部を用いることで、隙間導通部に液体が付着しても、液体がメニスカスを張りやすく、互いに隣り合うカバーの隙間に液体を保持することができ、予期せぬタイミングで液体が落下するのを抑制することができる。

また、前記隙間導通部は、互いに隣り合う前記カバーの隙間を塞ぐことが好ましい。これによれば、隙間導通部によって互いに隣り合うカバーの隙間に液体が入り込むのを抑制することができる。

また、前記隙間導通部は、互いに隣り合う前記カバーの少なくとも一方に対して着脱可能に設けられていることが好ましい。これによれば、互いに隣り合うカバーを容易に着脱することができると共に、カバーを基準として設けられたヘッド本体のノズル開口同士の位置決めを容易に行うことができる。

また、前記ヘッド本体は、当該ヘッド本体のノズル面から吐出する液体の流路を有するヘッドチップを複数備えることが好ましい。これによれば、ノズル開口を高密度に配置することができると共に、歩留まりを向上することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ノイズの放射や外部からのノイズによる誤動作を抑制した液体噴射装置を実現できる。

また、本発明の他の態様は、スイッチング素子と圧力発生素子とにより圧力発生室内の液体を吐出する複数のヘッド本体と、導電性を有する複数のカバーと、前記カバーと離間したベースと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ベースに設けられた前記カバーの数を特定する数特定工程と、前記数特定工程により特定された前記カバーの数に基づいて前記ベースと前記カバーとを導通させる導通部を設ける数を変更する工程と、前記ベースに、複数の前記ヘッド本体と前記カバーとを固定し、前記導通部を設ける工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、ベースに設けるカバーの数に基づいて最適な導通部の数を選定して、液体噴射ヘッドを製造することができる。

また、前記導通部の数は、前記カバーの数よりも多いことが好ましい。これによれば、カバーの接地不良によるアンテナ化を抑制することができる。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す側面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係るヘッドチップの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示すフローチャートである。 実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す上面図であり、図２は、インクジェット式記録装置の側面図である。

図示するように、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置１は、被噴射媒体である記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。

ここで、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を第１の方向Ｘと称し、記録シートＳは、第１の方向ＸのＸ１側からＸ２側に向かって搬送される。また、記録シートＳのインクが着弾する面の面内方向において、第１の方向Ｘに直交する方向を第２の方向Ｙと称し、第２の方向Ｙの一端側をＹ１、他端側をＹ２と称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に直交する方向、すなわち、記録シートＳのインクが着弾する面に直交する方向を第３の方向Ｚと称する。また、第３の方向Ｚにおいて、液体噴射方向側（記録ヘッド３に対する記録シートＳ側）をＺ１、反対側をＺ２と称する。本実施形態では、各方位（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が互いに直交するものを例示したが、必ずしもこれに限定されるものではない。

インクジェット式記録装置１は、装置本体２とインクジェット式記録ヘッド３（以下、単に記録ヘッド３ともいう）と貯留手段４と記録シートＳを搬送する第１搬送手段５及び第２搬送手段６とを有する。

貯留手段４は、記録ヘッド３に液体としてインクを供給するものであり、本実施形態では、装置本体２に固定されている。装置本体２に固定された貯留手段４からのインクは、チューブ等の供給管４ａを介して記録ヘッド３に供給される。なお、記録ヘッド３が貯留手段４を具備する態様、例えば、記録ヘッド３のＺ２側の上方に貯留手段４を搭載するようにしてもよい。

第１搬送手段５は、記録ヘッド３の第１の方向Ｘの一方側、本実施形態では、Ｘ１側に設けられている。なお、本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて、記録ヘッド３に対して搬送方向の上流側をＸ１側と称し、下流側をＸ２側と称する。

第１搬送手段５は、第１搬送ローラー５１と、第１搬送ローラー５１に従動する第１従動ローラー５２と、を具備する。第１搬送ローラー５１は、記録シートＳのインクが着弾する面とは反対面側、すなわちＺ１側に設けられており、第１駆動モーター５３の駆動力によって駆動される。また、第１従動ローラー５２は、記録シートＳのインクが着弾する面側、すなわちＺ２側に設けられており、第１搬送ローラー５１との間で記録シートＳを挟持する。このような第１従動ローラー５２は、図示しないばね等の付勢部材によって記録シートＳを第１搬送ローラー５１側に向かって押圧している。

第２搬送手段６は、搬送ベルト６１、第２駆動モーター６２、第２搬送ローラー６３、第２従動ローラー６４、テンションローラー６５及び押さえローラー６７を具備する。

第２搬送手段６の第２搬送ローラー６３は、第２駆動モーター６２の駆動力によって駆動される。搬送ベルト６１は、無端ベルトからなり、第２搬送ローラー６３と第２従動ローラー６４との外周に掛けられている。このような搬送ベルト６１は、記録シートＳのＺ１側に設けられている。テンションローラー６５は、第２搬送ローラー６３と第２従動ローラー６４との間に設けられて、搬送ベルト６１の内周面に当接し、ばね等の付勢部材６６の付勢力によって搬送ベルト６１に張力を付与している。これにより、搬送ベルト６１は、第２搬送ローラー６３と第２従動ローラー６４との間で記録ヘッド３に相対向する面が平坦に配置される。

第２搬送手段６の押さえローラー６７は、記録シートＳのＺ２側において記録ヘッド３のＸ１側及びＸ２側のそれぞれに設けられている。この２つの押さえローラー６７と搬送ベルト６１との間で記録シートＳを挟持することで、記録シートＳの姿勢を平坦に保っている。

このようなインクジェット式記録装置１では、第１搬送手段５及び第２搬送手段６によって記録シートＳを、記録ヘッド３に対して第１の方向ＸにＸ１からＸ２側に向かって搬送しながら、記録ヘッド３の各ヘッド本体１００からインクを噴射させて、噴射したインクを記録シートＳのＺ２側の面に着弾させる、所謂、印刷を行う。

ここで、記録ヘッド３に用いられる本実施形態のヘッド本体の一例について、図３及び図４を参照して説明する。なお、図３は、ヘッド本体及びカバーの分解斜視図であり、図４は、ヘッドチップのうち任意の１個のノズルに対応した部分の断面図である。

図３に示すように、ヘッド本体１００は、複数のヘッドチップ１１０と複数のヘッドチップ１１０を保持する保持部材１２０とを具備する。

ヘッドチップ１１０は、図４に示すように、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５、ケース４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

流路形成基板１０と連通板１５とノズルプレート２０と保護基板３０とは例えばシリコンの平板材で形成され、ケース４０は例えば樹脂材料の射出成形で形成されている。

流路形成基板１０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室１２が並設される方向は、詳しくは後述する第４の方向Ｘａと一致する（図３参照）。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第４の方向Ｘａに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第４の方向Ｘａに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第５の方向Ｙａ（図４参照）と称する。本実施形態のヘッドチップ１１０は、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａが、記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘに対して傾斜した方向となるように記録ヘッド３に搭載される。

また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する第３の方向Ｚの一方面であるＺ１側がノズル面２０ａとなっている。

連通板１５には、開口部１６と絞り流路である分岐流路１７とノズル連通路１８とが設けられている。分岐流路１７とノズル連通路１８とはノズル開口２１毎に形成された貫通孔であり、開口部１６は複数のノズル開口２１に亘って連続する開口である。

ケース４０には、連通板１５の開口部１６に連通する共通液室であるマニホールド４１が形成されている。マニホールド４１は、複数のノズル開口２１に供給されるインクを貯留する空間であり、複数のノズル開口２１、すなわち複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられている。マニホールド４１に供給されたインクは、開口部１６から分岐流路１７を介して圧力発生室１２内に供給される。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１８を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体であるインクを噴射するものが第４の方向Ｘａに並設され、この第４の方向Ｘａに並設されたノズル開口２１の列が第５の方向Ｙａに２列形成されている。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板が形成されている。振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター１３の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室１２毎にパターニングして構成することで個別電極とする。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター１３側の面には、保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０及びケース４０には、第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター１３の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と第１配線基板１１１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。なお、第１配線基板１１１には、圧電アクチュエーター１３毎にトランスミッションゲート等のスイッチング素子が内部に設けられた駆動回路１１２が実装されており、第１配線基板１１１から入力されたヘッド制御信号に基づいて駆動回路１１２のスイッチング素子を開閉させて、所望のタイミングで駆動信号を生成する。そして、駆動回路１１２によって生成された駆動信号は、第１配線基板１１１及びリード電極９０を介して圧電アクチュエーター１３に供給される。

また、連通板１５の開口部１６が開口する面には、開口部１６を閉塞するコンプライアンス基板４５が設けられている。開口部１６内の圧力変動はコンプライアンス基板４５が可撓変形することによって吸収される。

このようなヘッドチップ１１０では、マニホールド４１に供給されたインクは、開口部１６及び分岐流路１７を介して圧力発生室１２に供給される。そして圧電アクチュエーター１３の駆動により圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせることで、圧力発生室１２にノズル連通路１８を介して連通するノズル開口２１からインク滴として吐出される。

このようなヘッドチップ１１０が、複数、本実施形態では、６個が保持部材１２０に保持されてヘッド本体１００を構成している。

ここで、ヘッド本体１００を構成する保持部材１２０は、図３に示すように、流路部材１２１とホルダー１２２と第２配線基板１２３とを具備する。

流路部材１２１は、図示しない内部に分配流路部材４００から供給されたインクをヘッドチップ１１０に供給する流路が設けられている。この流路は、流路部材１２１のＺ２側の面に設けられて第３の方向Ｚに突出する突起部１２４の先端面に開口して設けられている。本実施形態では、流路部材１２１のＺ２側の面に４つの突起部１２４を設けるようにした。すなわち、流路部材１２１の内部には、独立した４つの流路が設けられている。なお、流路部材１２１の流路の途中には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルターが設けられていてもよい。

ホルダー１２２は、流路部材１２１のＺ１側の面に固定されている。本実施形態では、流路部材１２１とホルダー１２２とは、第１ヘッド本体用ネジ部材６０１によって第３の方向Ｚに積層されて固定されている（図８参照）。また、流路部材１２１とホルダー１２２との間には、第２配線基板１２３が保持されている。第２配線基板１２３は、複数のヘッドチップ１１０、本実施形態では、６個のヘッドチップ１１０の第１配線基板１１１が共通して電気的に接続されるリジット基板からなる。なお、第２配線基板１２３には、特に図示していないが、通信用の回路などの電子部品が実装されている。また、本実施形態では、第１配線基板１１１にスイッチング素子を有する駆動回路１１２を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第２配線基板１２３にスイッチング素子を有する駆動回路を実装するようにしてもよい。

また、流路部材１２１の第１の方向Ｘの両端部のそれぞれには、第３の方向Ｚに貫通するケーブル挿通孔１２５が設けられている。流路部材１２１のＺ１側からケーブル挿通孔１２５を挿通された第１ケーブル１２６は、流路部材１２１とホルダー１２２との間に保持された第２配線基板１２３に接続される。

また、ホルダー１２２は、Ｚ１側に溝状の空間を形成する保持部１２７を有する。保持部１２７は、保持部材１２０のＺ１側の面に、第２の方向Ｙに亘って連続して設けられることで、第２の方向Ｙの両側面に開口して設けられている。また、保持部材１２０は、保持部１２７を第１の方向Ｘの略中央部に設けることで、当該保持部１２７の第１の方向Ｘの両側には、足部１２８が形成されている。すなわち、足部１２８は、保持部材１２０のＺ１側の面に、第１の方向Ｘの両端部のみに設けられており、第２の方向Ｙの両端部には設けられていない。

このような保持部１２７内に、複数のヘッドチップ１１０が接着剤１４０（図７参照）によって接着されている。すなわち、足部１２８はヘッドチップ１１０に対して第１の方向Ｘの両側に位置する。また、ホルダー１２２の図示しない内部には、流路部材１２１の内部に設けられた流路と連通する流路が設けられている。流路部材１２１から供給されたインクは、ホルダー１２２内の流路を介して複数のヘッドチップ１１０に供給される。

なお、ホルダー１２２の保持部１２７内には、複数のヘッドチップ１１０が、第２の方向Ｙに並設されている。本実施形態では１つの保持部材１２０に６個のヘッドチップ１１０が接着されている。もちろん、１つの保持部材１２０に固定するヘッドチップ１１０の数は上述したものに限定されず、１つの保持部材１２０に対してヘッドチップ１１０が１個であってもよく、また、２個以上の複数であってもよい。ただし、本実施形態のように１つのヘッド本体１００に対して複数のヘッドチップ１１０を設けてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１００に対して１つのヘッドチップ１１０のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて歩留まりを向上することができる。

なお、本実施形態の複数のヘッドチップ１１０は、ノズル面２０ａの面内方向において、記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘに対してノズル列が傾斜するように固定されている。すなわち、第１の方向Ｘに対して、ノズル列を構成するノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａが傾斜する方向となっている。このようにヘッドチップ１１０のノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａを第１の方向Ｘに対して傾斜させて配置すると共に、複数のヘッドチップ１１０を第２の方向Ｙに並設することで、第２の方向Ｙで隣り合うヘッドチップ１１０のノズル開口２１の少なくとも一部同士を第１の方向Ｘで重なる位置に配置することができる。

このようなヘッド本体１００を有する本実施形態の記録ヘッド３について図５〜図８を参照して説明する。なお、図５は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図６は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図であり、図７は、図６のＡ−Ａ′線の要部断面図であり、図８は、図６のＢ−Ｂ′線の要部断面図である。

図５に示すように、本実施形態の記録ヘッド３は、複数の上述したヘッド本体１００と複数のカバー２００とベース３００と分配流路部材４００とベースカバー５００とを具備する。

カバー２００は、図３に示すように、金属等の導電性を有する材料、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成された板状部材からなる。

このようなカバー２００は、ヘッド本体１００に設けられた複数のヘッドチップ１１０のノズル面２０ａ側、すなわち、ヘッド本体１００の第３の方向ＺのＺ１側に設けられている。本実施形態では、カバー２００は、ヘッド本体１００の保持部材１２０の第３の方向ＺのＺ１側の面、すなわち、足部１２８のＺ１側の端面に図示しない接着剤を介して接合されている。

また、カバー２００は、図６に示すように、本実施形態では、ヘッド本体１００のノズル面２０ａ側に、ヘッド本体１００毎に独立して、すなわち、複数のヘッド本体１００に連続することなく設けられている。もちろん、カバー２００は、複数のヘッド本体１００で構成されるヘッド本体１００の群毎に連続して設けるようにしてもよい。ただし、カバー２００をヘッド本体１００の群毎に連続して設けると、ヘッド本体１００の群とカバー２００とをユニット化した際の構成要素が多くなり、歩留まりが低下する虞がある。また、ユニット化する際にヘッドチップ１１０同士の位置決めとヘッド本体１００同士の相対的な位置決めとの両方を行わなくてはならず、位置決め作業が煩雑になる虞がある。本実施形態では、カバー２００をヘッド本体１００毎に設けることで、歩留まりを向上することができると共に、ヘッドチップ１１０同士の位置決めと、ヘッド本体１００同士の位置決めとを別工程で行うことができ、位置決め作業を簡略化することができる。

また、カバー２００は、図４に示すように、各ヘッド本体１００に設けられたヘッドチップ１１０とＺ１側の面で固定されている。本実施形態では、カバー２００は、１つのヘッド本体１００を構成する複数のヘッドチップ１１０に共通して１つ設けられている。もちろん、カバー２００は、１つのヘッド本体１００に設けられた全てのヘッドチップ１１０に共通して設ける構成に限定されず、ヘッドチップ１１０毎に独立して設けてもよく、また、２以上の複数のヘッドチップ１１０で構成される群毎に独立して設けてもよい。ただし、本実施形態のように、カバー２００を１つのヘッド本体１００を構成する全てのヘッドチップ１１０に共通して設けると共にカバー２００にヘッドチップ１１０を固定することで、カバー２００を複数のヘッドチップ１１０のノズル開口同士の相対的な位置決めを行う際に用いることができると共に、複数のヘッドチップ１１０のノズル面の第３の方向Ｚの位置決めを高精度に行うことができる。

このようなカバー２００は、具体的には、図３に示すように、ベース部２０１と第１延設部２０２と第２延設部２０３とを具備する。

ベース部２０１は、ノズル面２０ａ側に設けられた板状部材からなり、保持部材１２０の第３の方向ＺのＺ１側の面、すなわち、足部１２８のＺ１側の端面に接着剤（図示なし）によって接合されている。このようなベース部２０１によって保持部材１２０の保持部１２７のＺ１側が覆われている。

また、図４及び図６に示すように、ベース部２０１には、各ヘッドチップ１１０のノズル開口２１を開口するための露出開口部２０４が設けられている。本実施形態では、露出開口部２０４は、ヘッドチップ１１０毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態のヘッド本体１００は、６個のヘッドチップ１１０を有するため、ベース部２０１には６個の独立した露出開口部２０４が設けられている。もちろん、ヘッドチップ１１０の構成等によっては、複数のヘッドチップ１１０で構成される群に対して１つの共通する露出開口部２０４を設けるようにしてもよい。

また、露出開口部２０４は、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａに沿って開口して設けられている。すなわち、第３の方向Ｚから平面視した際に、露出開口部２０４は、第２の方向Ｙの両側面が第４の方向Ｘａに沿った方向に設けられた平行四辺形を有する。なお、本実施形態では、露出開口部２０４は、ノズルプレート２０よりも若干大きな開口を有し、カバー２００は、各ヘッドチップ１１０のコンプライアンス基板４５に図示しない接着剤を介して接合されている。このため、ヘッドチップ１１０のノズルプレート２０の周囲は、カバー２００によって覆われている。したがって、記録シートＳがヘッドチップ１１０に当接することによる変形や破壊をカバー２００によって抑制することができる。つまり、カバー２００は、ヘッドチップ１１０及びヘッド本体１００のノズル面２０ａ側を保護する保護部材としての機能も有する。また、各ヘッドチップ１１０を共通するカバー２００に固定することで、各ヘッドチップ１１０のノズル開口の相対的な位置決めを行ってカバー２００に固定することができると共に、複数のヘッドチップ１１０のノズル面２０ａの第３の方向Ｚの位置を揃えることができ、高精度なインク滴の着弾を行わせて、印刷精度を向上することができる。

図３及び図７に示すように、第１延設部２０２は、ベース部２０１の第２の方向Ｙの両端部からＺ２側に向かって延設されたものであり、保持部１２７の第２の方向Ｙの開口を覆う大きさを有する板状部材からなる。本実施形態では、第１延設部２０２は、第３の方向Ｚに沿って設けられている。このような第１延設部２０２は、足部１２８の第２の方向Ｙの側面に接着剤１４０により接着されている。これにより、ヘッドチップ１１０を保持するホルダー１２２とカバー２００との間の空間である保持部１２７内は封止され、インク等の水分が保持部１２７内に侵入するのを抑制することができる。また、第１延設部２０２とホルダー１２２とを接着することで、ホルダー１２２の第２の方向Ｙの両側には、カバー２００のベース部２０１と接着するための足部が不要となる。このため、第２の方向Ｙにヘッド本体１００を並設した際に、互いに隣り合うヘッド本体１００の間側に足部が存在しないことから、第２の方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００の間隔を狭くすることができる。これにより、第２の方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００のヘッドチップ１１０同士を近接して設けることができる。なお、本実施形態では、ホルダー１２２の第２の方向Ｙの側面に凹部１２９を設け、凹部１２９内に第１延設部２０２を接着するようにした。このため、第１延設部２０２の第２の方向Ｙへの突出量が小さくなり、第２の方向Ｙで互いに隣り合うヘッド本体１００の間隔をさらに狭くすることができる。

図３及び図８に示すように、第２延設部２０３は、ベース部２０１の第１の方向Ｘの両端部からＺ２側に向かって延設された板状部材からなる。第２延設部２０３は、第３の方向Ｚにおいてベース部２０１側のＺ１側に比べて、Ｚ２側の方が保持部材１２０から離れる方向に傾斜して設けられている。すなわち、第２延設部２０３は、ベース部２０１に対して垂直に延設されておらず、第２の方向Ｙで対向する２つの第２延設部２０３の幅が、ベース部２０１側に比べてベース部２０１とは反対側が広がるように設けられている。これにより、第２延設部２０３と保持部材１２０の第１の方向Ｘの側面との間には隙間が形成されている。

このようなカバー２００は、記録シートＳと相対向する面、すなわち、少なくともベース部２０１のＺ１側の面は撥液面２０５となっている。本実施形態では、ベース部２０１と第１延設部２０２と第２延設部２０３とのヘッド本体１００とは反対側の面に亘って図示しない撥液膜を設けることで撥液面２０５とした。なお、撥液面２０５とは、カバー２００の基材よりもインクに対して撥液性を有するものをいう。このような撥液面２０５とする撥液膜としては、インクに対して撥液性を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。このようにカバー２００の少なくとも記録シートＳと相対向する面、すなわち、ベース部２０１のＺ１側の面を撥液面２０５とすることで、カバー２００へのインクの付着を抑制することができる。また、カバー２００のヘッド本体１００が接合される面側に撥液膜を設けないことで、カバー２００とヘッド本体１００とを確実に接合することができる。また、カバー２００のヘッド本体１００側の面に撥液膜を設けないことで、詳しくは後述する導通部２１０をカバー２００の撥液膜が設けられていないヘッド本体１００側の面に当接させることで導通部２１０とカバー２００とを確実に導通させることができる。つまり、撥液膜として金属アルコキシドの分子膜を用いた場合、カバー２００のヘッド本体１００側の面に撥液膜を設けると、導通部２１０とカバー２００とを導通させるのが困難になってしまう。ちなみに、撥液膜としてフッ素系高分子を含む金属膜を用いた場合、カバー２００のヘッド本体１００側に撥液膜を設けたとしても導通部２１０と撥液膜とを接触させるだけで導通することができるため、導通部２１０とカバー２００との導通を図ることができる。

ベース３００は、図５〜図８に示すように、本実施形態では、金属等の導電性を有する材料で形成されている。ベース３００は例えばアルミダイカストで製造することで、安価に且つ高精度に製造することができる。もちろん、ベース３００は、導電性を有する材料に限定されず、樹脂等の材料で形成されていてもよい。

このようなベース３００は、複数のヘッド本体１００を保持するものであり、図６及び図７に示すように、Ｚ１側に開口する空間である収容部３０１が内部に設けられた壁部３０２を具備する。複数のヘッド本体１００は、Ｚ２側の一部がベース３００の収容部３０１内に収容される。本実施形態では、収容部３０１内には、ヘッド本体１００のノズル面２０ａ側が壁部３０２よりもＺ１側に突出して収容される。すなわち、ベース３００は、カバー２００との間でヘッド本体１００に設けられたスイッチング素子である駆動回路１１２及び圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３の少なくとも一方を挟み、複数のカバー２００と離間して配置されている。本実施形態では、ヘッド本体１００の内部に駆動回路１１２と圧電アクチュエーター１３との両方が内包されているため、複数のカバー２００と離間して配置されたベース３００との間には、駆動回路１１２と圧電アクチュエーター１３との両方が挟まれている。

また、本実施形態の収容部３０１は、１つの収容部３０１に、複数のヘッド本体１００、本実施形態では、６個のヘッド本体１００を収容可能な大きさを具備する。なお、収容部３０１は、複数のヘッド本体１００を収容した際に、壁部３０２がヘッド本体１００の側面に当接しない程度の大きさを有する。

また、図６に示すように、第３の方向Ｚにおいてノズル面２０ａ側から平面視した際に、ヘッド本体１００の並設方向である第２の方向Ｙの両側の形状は、第４の方向Ｘａに沿った形状となっている。すなわち、ヘッド本体１００のＺ１側における第２の方向Ｙの両側の側面は、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａと同じ方向に傾斜して設けられている。そして、複数のヘッド本体１００は、搬送方向である第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙに直線上に沿って並設されてベース３００の収容部３０１内に固定されている。このように、ヘッド本体１００の並設方向の両側の側面を、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａと同じ方向とすることで、複数のヘッド本体１００を第２の方向Ｙに直線上に沿って配置しても、第２の方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００のノズル開口２１の少なくとも一部同士を第１の方向Ｘで重なる位置に配置することができる。したがって、記録ヘッド３の第２の方向Ｙに同様の間隔で並設されたノズル開口２１を形成することができる。また、複数のヘッド本体１００を第２の方向Ｙに直線上に沿って配置することで、記録ヘッド３の第１の方向Ｘの幅を狭くして、記録ヘッド３の小型化を図ることができる。つまり、本実施形態では、複数のヘッド本体１００は、第１の方向Ｘにずれて配置されていないため、第１の方向Ｘに小型化を図ることができる。もちろん、第２の方向Ｙに並設されたヘッド本体１００を第１の方向Ｘにずらして配置するようにしてもよい。ただし、ヘッド本体１００を第１の方向Ｘに大きくずらすと、本実施形態に比べてベース３００等の第１の方向Ｘの幅が広くなってしまう。このように記録ヘッド３の第１の方向Ｘの大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置１における２つの押さえローラー６７の第１の方向Ｘの距離が遠くなり、記録シートＳの姿勢の固定が困難になる虞がある。また、記録ヘッド３及びインクジェット式記録装置１が大型化してしまう虞がある。

なお、ヘッド本体１００のノズル面２０ａ側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、矩形状や台形状、多角形状等であってもよい。また、本実施形態では、ベース３００に６個のヘッド本体１００を固定するようにしたが、ヘッド本体１００の数は特に限定されず、１個であっても、２個以上の複数個であってもよい。

また、本実施形態では、複数のヘッド本体１００は、互いに隣り合うヘッド本体１００の間にスペースを配して第２の方向Ｙに並設されている。つまり、互いに隣り合うヘッド本体１００は、第２の方向Ｙの面が互いに当接することなく隙間を介して配置されている。このように第２の方向Ｙに並設されたヘッド本体１００の間にスペースを設けることで、複数のヘッド本体１００のノズル開口２１を相対的に位置決めすることができる。また、複数のヘッド本体１００と、この複数のヘッド本体１００を収容する収容部３０１を形成する壁部３０２との間にもスペースが設けられている。このようにヘッド本体１００と壁部３０２との間にスペースを設けることで、収容部３０１内で複数のヘッド本体１００のノズル開口２１を相対的に位置決めすることができる。

なお、本実施形態では、複数のヘッド本体１００を収容する収容部３０１を１つ設けるようにしたが、特にこれに限定されず、１つのヘッド本体１００毎、又は、２以上のヘッド本体１００で構成される群毎に独立した収容部３０１を設けるようにしてもよい。ただし、収容部３０１を分割した場合、第２の方向Ｙで互いに隣り合うヘッド本体１００の間に、壁部３０２が設けられることになり、隣り合うヘッド本体１００の間のスペースが広くなり、記録ヘッド３が第２の方向Ｙに大型化してしまうと共に、隣り合うヘッド本体１００のノズル開口２１同士を第１の方向Ｘで同じ位置に配置するのが困難になってしまう。本実施形態では、１つの収容部３０１に複数のヘッド本体１００を収容することで、ヘッド本体１００を高密度に配置して、記録ヘッド３の第２の方向Ｙの小型化を図ることができると共に、隣り合うヘッド本体１００のノズル開口２１同士を第１の方向Ｘで同じ位置に容易に配置することができる。

また、本実施形態では、ヘッド本体１００は、図５及び図７に示すように、ベース３００にスペーサー１０１を介して固定されている。スペーサー１０１は、ヘッド本体１００のＺ２側の面に第２ヘッド本体用ネジ部材６０２によって締結されている。また、スペーサー１０１は、ベース３００のＺ１側の面に第３ヘッド本体用ネジ部材６０３によって締結されている。これにより、ヘッド本体１００は、スペーサー１０１を介してベース３００に固定されている。また、ヘッド本体１００に第２ヘッド本体用ネジ部材６０２によって固定されたスペーサー１０１をベース３００に第３ヘッド本体用ネジ部材６０３によって固定することで、ベース３００からヘッド本体１００を容易に着脱可能とすることができる。ちなみに、スペーサー１０１とヘッド本体１００との固定は、第２ヘッド本体用ネジ部材６０２による固定に限定されず、接着剤による接着によって固定されていてもよい。また、スペーサー１０１がヘッド本体１００の一部と一体的に設けられていてもよい。

また、ベース３００には、第３の方向Ｚに貫通する供給孔３０３が設けられている。ベース３００に固定されたヘッド本体１００の流路は、供給孔３０３によってＺ２側の面に露出されており、供給孔３０３によって露出された流路に分配流路部材４００が接続される。

また、ベース３００には、図５及び図８に示すように、ヘッド本体１００の第１ケーブル１２６を挿通するための第１ケーブル用開口部３０４が設けられている。第１ケーブル用開口部３０４は、本実施形態では、ヘッド本体１００毎に第１の方向Ｘの両側に１つずつ設けられている。すなわち、第１ケーブル用開口部３０４は、ヘッド本体１００毎に合計２つ設けられている。このような第１ケーブル用開口部３０４を介してベース３００の収容部３０１内に固定されたヘッド本体１００の第１ケーブル１２６は、収容部３０１の外側、すなわち、ベース３００のＺ２側に導出される。

また、壁部３０２のうち、第１の方向Ｘの両側の壁部３０２のそれぞれの外周には、Ｚ２側に開口する段差３０５が設けられており、各段差３０５にはそれぞれ回路基板３１０が収容されている。すなわち、回路基板３１０のノズル面２０ａ側であるＺ１側の端面は、壁部３０２によって覆われている。このような回路基板３１０には、第１ケーブル用開口部３０４からＺ２側に導出された複数の第１ケーブル１２６が電気的に接続されている。本実施形態では、回路基板３１０は、第２の方向Ｙにおいて複数、本実施形態では６個のヘッド本体１００に亘る長さを有する。また、２つの回路基板３１０は、ノズル面２０ａの面内方向において、第２の方向Ｙに並設されている。

このように、複数のヘッド本体１００の第１ケーブル１２６を、ベース３００のＺ２側に開口する第１ケーブル用開口部３０４を挿通させて共通の回路基板３１０に接続することで、第１ケーブル用開口部３０４からノズル面２０ａ側のインクミストが侵入し難く、第１ケーブル１２６やヘッド本体１００の第２配線基板１２３等にインクが付着するのを抑制することができる。

また、回路基板３１０には、装置本体２に固定された制御部７からの制御ケーブル７ａが接続される。本実施形態では、各回路基板３１０に１つの制御ケーブル７ａが接続される。さらに、回路基板３１０には、特に図示していないが、接地用の配線が設けられており、回路基板３１０の接地用の配線は、制御部７を介して接地されている。

また、回路基板３１０は、ベース３００の壁部３０２に第１ネジ部材６１１によって固定されている。回路基板３１０に設けられた図示しない接地用の配線は、第１ネジ部材６１１を介してベース３００と導通されている。すなわち、第１ネジ部材６１１は、回路基板３１０とベース３００とを導通する部材としても機能する。

このようなベース３００のＺ２側の面には、図５及び図８に示すように、分配流路部材４００が設けられている。

分配流路部材４００は、貯留手段４から供給されたインクを各ヘッド本体１００に分配して供給するものであり、図示しない内部には、貯留手段４に接続された供給管４ａ（図１参照）が接続されると共に、ヘッド本体１００の流路に接続された分配流路が設けられている。色毎や異なる種類毎に供給されたインクは、分配流路によって分配されて複数のヘッド本体１００に供給される。

図５、図７及び図８に示すように、ベースカバー５００は、ベース３００のＺ２側に設けられて、ベース３００のＺ２側において分配流路部材４００と回路基板３１０とを覆う箱形部材からなる。

このようなベースカバー５００には、制御ケーブル７ａを挿通するための制御ケーブル用開口部５０１が設けられており、制御ケーブル７ａは、制御ケーブル用開口部５０１を挿通されて、内部の回路基板３１０と接続される。

また、ベースカバー５００には、供給管４ａを挿通するための供給管開口部５０２が設けられており、供給管開口部５０２を挿通した供給管４ａが分配流路部材４００と接続される。

このようなベースカバー５００は、本実施形態では、例えば、金属等の導電性を有する材料で形成されている。また、ベースカバー５００は、ベース３００の壁部３０２に第２ネジ部材６１２によって固定されている。第２ネジ部材６１２は、金属等の導電性を有する材料で形成されている。このため、ベースカバー５００は、ベース３００に第２ネジ部材６１２を介して導通している。

また、図６及び図８に示すように、記録ヘッド３には、ベース３００とカバー２００とを複数箇所で導通させる導通部２１０が設けられている。本実施形態では、カバー２００の第１の方向Ｘの両側に設けられた第２延設部２０３のそれぞれに当接して導通する導通部２１０を設けるようにした。

ここで、導通部２１０は、導電性を有するバネ状の板状部材、いわゆる板バネからなる。導通部２１０は、一端がベース３００の壁部３０２のＺ１側の面に第３ネジ部材６１３によって固定されており、他端が自由端となっている。そして、導通部２１０の自由端となる先端がカバー２００の第２延設部２０３の裏側、すなわち、第２延設部２０３の保持部材１２０側の面において第１の方向Ｘの中央部に所定の圧力で当接するように配置されている。このような導通部２１０によって、導電性を有するベース３００とカバー２００とが導通されている。すなわち、導電性を有するカバー２００は、導通部２１０を介して導電性を有するベース３００と導通している。なお、ベース３００は、上述のように、制御ケーブル７ａを介して接地された回路基板３１０と第２ネジ部材６１２を介して電気的に導通されることで接地されている。このため、１つのカバー２００は、複数、本実施形態では２つの導通部２１０を介して接地されている。つまり、制御ケーブル７ａを介して接地した回路基板３１０とベース３００とを導通することで、ベース３００は接地されており、この制御ケーブル７ａ及び回路基板３１０を介して接地されたベース３００と導通部２１０とを導通することで、導通部２１０は接地されている。したがって、カバー２００は、複数の導通部２１０を介して接地されている。もちろん、導通部２１０は、ベース３００を介さずに回路基板３１０と導線等の他の部材を介して導通してもよい。また、導通部２１０は、導電性を有していればバネでなくてもよい。

このような導通部２１０は、本実施形態では、カバー２００の第１の方向Ｘの両側に設けられた第２延設部２０３のそれぞれに導通して設けられている。すなわち、ヘッド本体１００のノズル面２０ａの面内方向において、２つの導通部２１０は、圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３またはスイッチング素子を有する駆動回路１１２を第４の方向Ｘａで挟む位置に設けられている。つまり、本実施形態では、１つのカバー２００に対して第４の方向Ｘａの両側に設けられた２つの導通部２１０の間には、圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２とが位置する。

すなわち、ヘッド本体１００のノズル面２０ａにおいて複数のヘッド本体１００が並び、ヘッド本体１００のノズル面２０ａにおいて複数の導通部２１０が並び、複数のヘッド本体１００が並ぶ第２の方向Ｙと、複数の導通部２１０が並ぶ第４の方向Ｘａとは、互いに交差している。なお、複数の導通部２１０を第１の方向Ｘに並んで設けるようにしてもよい。すなわち、複数のヘッド本体１００が並ぶ方向と、複数の導通部２１０の並ぶ方向とは直交していてもよい。

また、１つのカバー２００に対して設けられた複数の導通部２１０は、ヘッド本体１００のノズル面２０ａの面内方向に直交する方向において、カバー２００に対して同じ側に位置する。ここで、複数の導通部２１０がカバー２００に対して同じ側に位置するとは、複数の導通部２１０が、カバー２００の何れかの面の一方のみに共通して接触していることをいう。すなわち、複数の導通部２１０が、カバー２００のヘッド本体１００側の面、または、ヘッド本体１００とは反対側の面に共通して接触していることをいう。本実施形態では、１つのカバー２００に対して設けられた２つの導通部２１０は、カバー２００のヘッド本体１００側の面に共通して接しているため、１つのカバー２００に対して設けられた複数の導通部２１０は、カバー２００に対して同じ側に位置するといえる。このように複数の導通部２１０が、カバー２００に対して同じ側に位置することで、導通部２１０がカバー２００に接触する圧力によってカバー２００に偏った圧力が印加されるのを抑制して、カバー２００及びヘッド本体１００の位置ずれによるノズル開口２１の位置ずれを抑制することができる。ちなみに、２つの導通部２１０のうち、一方の導通部２１０を一方の第２延設部２０３のヘッド本体１００とは反対面側に当接させて、他方の導通部２１０を他方の第２延設部２０３のヘッド本体１００側に当接させた場合、２つの導通部２１０の当接する圧力によってカバー２００には第１の方向Ｘの同じ方向に応力が印加されることになり、カバー２００及びヘッド本体１００が第１の方向Ｘにずれやすく、ノズル開口２１の位置ずれが生じやすい。

また、本実施形態では、導通部２１０は、カバー２００の第２延設部２０３の撥液面２０５とは反対面側に当接することで導通している。このため、撥液面２０５を形成する撥液膜として絶縁性を有する材料を用いたとしても、導通部２１０はカバー２００と導通することができる。したがって、撥液面２０５を形成する撥液膜の材料が制限されることがなく、撥液面２０５として高い撥液性を有する材料、例えば、金属アルコキシドの分子膜等を用いることができる。もちろん、導通部２１０は、カバー２００の第２延設部２０３のヘッド本体１００とは反対側に当接することでカバー２００と導通してもよい。この場合には、例えば、第２延設部２０３の少なくとも導通部２１０が当接する部分のみに撥液膜を設けないようにすればよい。

そして、このようにカバー２００を複数の導通部２１０、本実施形態では、２つの導通部２１０を介して接地することで、カバー２００の接地不良によるノイズの発生を抑制することができる。つまり、カバー２００の接地が不十分だと、カバー２００が平面アンテナのように働き、圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３やスイッチング素子を有する駆動回路１１２から発生したノイズがカバー２００によって外部空間に放射されてしまう。特に本実施形態のようにカバー２００が複数のヘッドチップ１１０に共通して設けられることで比較的大きな面積を有する場合には、カバー２００を単一の導通部２１０で接地しただけでは接地が不十分になり易く、カバー２００がアンテナのように働きやすい。また、本実施形態のように、複数のカバー２００を第２の方向Ｙに並べて配置した場合、カバー２００が並んでいる第２の方向Ｙに増幅・指向性が生じて悪化する。本実施形態では、カバー２００を複数の導通部２１０によって接地することで、比較的大きな面積を有するカバー２００の接地を十分に行うことができ、カバー２００がアンテナのように働くのを抑制することができると共に、カバー２００が並んでいてもカバー２００による増幅・指向性が生じるのを抑制することができる。

また、ノズル面２０ａの面内方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、各カバー２００に導通する複数の導通部２１０が並ぶ方向は、ベース３００の接地を行う複数の回路基板３１０が並ぶ方向に沿った方向となっている。すなわち、本実施形態では、１つのカバー２００に導通する２つの導通部２１０は、第４の方向Ｘａに沿って並んでおり、２つの回路基板３１０は、第１の方向Ｘに並んで配置されている。このため、各導通部２１０と回路基板３１０との距離が近くなり、導通部２１０を効果的に接地することができる。なお、複数の導通部２１０が並ぶ方向が、回路基板３１０の並ぶ方向に沿っているとは、導通部２１０の並ぶ方向と回路基板３１０の並ぶ方向とが同じ方向だけではなく、回路基板３１０の並ぶ方向が、導通部２１０の並ぶ方向に向かう成分（ベクトル）を有することを含む。つまり、回路基板３１０の並ぶ方向に対して導通部２１０が並ぶ方向が９０度未満であることを含む。このように、回路基板３１０の並ぶ方向に対して導通部２１０が並ぶ方向が９０度未満であれば、各導通部２１０と回路基板３１０との距離が近くなり、導通部２１０を効果的に接地することができる。

なお、本実施形態では、制御ケーブル７ａを介して接地した回路基板３１０とベース３００とを導通することで、ベース３００を接地し、ベース３００と導通部２１０とを導通することで、導通部２１０を接地するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、導通部２１０をベース３００とは導通させずに接地してもよく、ベース３００を回路基板３１０と導通させずに直接、接地するようにしてもよい。いずれにしてもカバー２００は、複数の導通部２１０によって接地されていればよい。ちなみに、導通部２１０を、ベース３００を介さずに接地する場合、ベース３００は、導電性を有する材料で形成する必要はない。

また、本実施形態では、図８に示す断面方向において、記録ヘッド３の外周を形成するカバー２００と導通部２１０とベース３００とベースカバー５００とが導通すると共に接地されている。すなわち、記録ヘッド３は、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚを含む方向において圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３及びスイッチング素子を有する駆動回路１１２の少なくとも一方を囲む周方向に亘って連続して導通する部材によって囲まれている。このため、導通して接地された部材、すなわち、カバー２００と導通部２１０とベース３００とベースカバー５００とによって周方向に亘って連続して囲まれた記録ヘッド３の内部の圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３とスイッチング素子を有する駆動回路１１２は、外部からノイズの影響を受けるのを抑制することができると共に、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２からから発生したノイズが外部に放射されるのを抑制することができる。

なお、本実施形態では、記録ヘッド３は、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚを含む方向において外周を形成するカバー２００と導通部２１０とベース３００とベースカバー５００とが周方向に亘って導通すると共に接地されているが、第２の方向Ｙにおいて、導通する部材による囲いが連続していなくてもよい。すなわち、本実施形態の導通部２１０は、カバー２００毎に設けられているため、第２の方向Ｙにおいて並設された導通部２１０の間では、導通する部材による囲いが連続していない。このように導通部２１０の間で導通する部材による囲いが連続していなくても、圧力発生素子やスイッチング素子が外部からノイズの影響を受けるのを抑制することができると共に、記録ヘッド３の内部からのノイズが外部に放射され難い。なお、第２の方向Ｙにおいて並設された導通部２１０の間隔が広く、内部がノイズに影響を受けると共に外部にノイズが放射される場合には、第２の方向Ｙにおいて並設される導通部２１０の数を増やすことで、その間隔を狭くすればよい。

また、本実施形態では、導通部２１０をカバー２００の第１の方向Ｘの両側に、カバー２００の第１の方向Ｘの中央部に接するように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、導通部２１０を第２延設部２０３の第１の方向Ｘの両端部に接するように設けるようにしてもよい。すなわち、１つのカバー２００に対して、第３の方向Ｚからの平面視において、ベース部２０１の４つの角部のそれぞれに対応する位置に導通部２１０を合計４個設けるようにしてもよい。これにより、カバー２００がアンテナとして機能するのをさらに確実に抑制することができる。

なお、本実施形態では、保持部材１２０の第１の方向Ｘの両側に足部１２８を設けるようにしたが、足部１２８を設けないようにしてもよい。

ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。なお、図９は、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示すフローチャートである。

まず、図９に示すように、ステップＳ１で、ベース３００に設けられたカバー２００の数を特定する（数特定工程）。本実施形態では、１つのベース３００に対して６個のヘッド本体１００を設けると共に、各ヘッド本体１００に対して１つのカバー２００を設けるため、カバー２００の数を６個と特定する。

次に、ステップＳ２で、ステップＳ１で特定したカバー２００の数に基づいて、ベース３００とカバー２００とを導通させる導通部２１０を設ける数を変更する。本実施形態では、１つのカバー２００に対して２個の導通部２１０を設けるため、導通部２１０を設ける数を６個のカバー２００に対して合計１２個に変更する。このようにベース３００に設けるカバー２００の数を特定し、特定したカバー２００の数に基づいて必要な導通部２１０の数を変更することで、製造する記録ヘッド３に必要な導通部２１０の数を容易に変更することができる。すなわち、本実施形態の製造方法によれば、ベース３００に設けるカバー２００の数が多くなる場合には、導通部２１０の数を増加させることができ、ベース３００に設けるカバー２００の数が少なくなる場合には、導通部２１０の数を減少させることができる。これにより、ベース３００に設けるカバー２００の数に基づいて最適な導通部２１０の数を選定することができる。

このようにカバー２００の数を特定すると共に導通部２１０の数を変更した後、ベース３００にヘッド本体１００及びカバー２００を固定すると共に、導通部２１０を設けて記録ヘッド３を製造する。

なお、ステップＳ２において、導通部２１０の数の変更は、カバー２００の数よりも多い数に変更する。これにより、カバー２００を接地する導通部２１０の数を増やして、カバー２００の接地不良を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の記録ヘッド３は、導電性のベース３００と、ベース３００に保持されたヘッド本体１００であって、圧力発生室１２内の液体であるインクを吐出するためのスイッチング素子を有する駆動回路１１２と圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３とを有する複数のヘッド本体１００と、ベース３００と離間する導電性のカバー２００であって、ベース３００との間で圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３及びスイッチング素子を有する駆動回路１１２の少なくとも一方を挟む複数のカバー２００と、ベース３００とカバー２００とを複数箇所で導通させる複数の導通部２１０と、を備える。

このように、駆動回路１１２または圧電アクチュエーター１３をベース３００との間で挟むカバー２００を複数の導通部２１０でベース３００と導通させることで、カバー２００を複数箇所の導通部２１０で接地することができる。したがって、カバー２００がアンテナとして働き、記録ヘッド３の内部からのノイズがカバー２００によって外部に放射されるのを抑制することができる。また、カバー２００とベース３００とを導通部２１０で導通すると共に接地しているため、カバー２００とベース３００との隙間がアンテナとして働き、記録ヘッド３の内部からのノイズがカバー２００によって外部に放射されるのを抑制することができる。さらに、カバー２００とベース３００とを導通部２１０で導通すると共に接地しているため、カバー２００とベース３００との間に挟まれた圧電アクチュエーター１３及び駆動回路１１２の少なくとも一方を外部からのノイズから保護することができる。したがって、圧電アクチュエーター１３や駆動回路１１２が誤動作するのを抑制することができる。

ちなみに、本実施形態では、カバー２００とベース３００との間には、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方が挟まれているため、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方を外部からのノイズから保護することができるが、特にこれに限定されず、例えば、カバー２００とベース３００との間に、圧電アクチュエーター１３及び駆動回路１１２の何れか一方のみが挟まれていてもよい。カバー２００とベース３００との間に挟まれた圧電アクチュエーター１３及び駆動回路１１２の何れか一方を外部のノイズから確実に保護することができる。

また、本実施形態では、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数のヘッド本体１００が並び、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数の導通部２１０が並び、複数のヘッド本体１００が並ぶ方向である第２の方向Ｙと、複数の導通部２１０が並ぶ方向である第４の方向Ｘａとが、互いに交差することが好ましい。

このように複数のヘッド本体１００が並ぶ方向である第２の方向Ｙと、複数の導通部２１０が並ぶ方向である第４の方向Ｘａとを互いに交差させることで、複数のヘッド本体１００を高密度に並べることができると共に、１つのヘッド本体１００に対して複数の導通部２１０を設けることができる。

なお、複数のヘッド本体１００が並ぶ方向と、複数の導通部２１０が並ぶ方向とは、同じ方向であってもよい。ただし、２つのヘッド本体１００の間に導通部２１０が配置されることになるため、本実施形態のように複数のヘッド本体１００が並ぶ方向と、複数の導通部２１０が並ぶ方向とが交差する場合に比べて、２つのヘッド本体１００の間隔は広くなりやすく、密度が低下する虞がある。

また、本実施形態では、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数の導通部２１０は、圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３及びスイッチング素子を有する駆動回路１１２の少なくとも一方を挟む位置にあり、かつ、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向に直交する方向である第３の方向Ｚにおいて、カバー２００に対して同じ側に位置する。このようにヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数の導通部２１０を圧電アクチュエーター１３または駆動回路１１２を挟む位置に設けることで、図８に示す断面方向において、圧電アクチュエーター１３または駆動回路１１２の周囲を囲むようにベース３００とカバー２００と導通部２１０とを連続して導通させて接地することができる。したがって、圧電アクチュエーター１３又は駆動回路１１２から発するノイズが外部に放射されるのを抑制することができると共に、圧電アクチュエーター１３又は駆動回路１１２の外部からのノイズによる影響を抑制することができる。

ちなみに、本実施形態では、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向に直交する方向である第３の方向Ｚにおいて、カバー２００とベース３００との間には、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方が挟まれており、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数の導通部２１０の間には、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方が挟まれている。このため、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方から発するノイズを抑制することができると共に、圧電アクチュエーター１３と駆動回路１１２との両方を外部のノイズから保護することができる。もちろん、これに限定されず、複数の導通部２１０の間に、圧電アクチュエーター１３及び駆動回路１１２の何れか一方のみが挟まれていてもよい。

また、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向に直交する方向である第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対して同じ側に位置する。すなわち、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対してベース３００側に位置する。これにより、複数の導通部２１０がカバー２００に当接する応力が偏るのを抑制して、カバー２００及びヘッド本体１００の位置ずれを抑制することができる。

なお、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対してベース３００側に位置するようにしたが、特にこれに限定されず、第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対してベース３００とは反対側、すなわち、被噴射媒体である記録シートＳ側に位置してもよい。ただし、複数の導通部２１０が、カバー２００よりも記録シートＳ側に位置すると、記録ヘッド３と記録シートＳとの間に導通部２１０を配置するスペースが必要となるため、本実施形態のように、第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対してベース３００側に位置するように設けることで、記録ヘッド３と記録シートＳとの第３の方向Ｚの距離を短くすることができ、記録ヘッド３から吐出されたインク滴の記録シートＳへの着弾位置ずれを抑制することができる。

もちろん、第３の方向Ｚにおいて、複数の導通部２１０は、カバー２００に対して異なる側に配置されていてもよい。

また、本実施形態では、カバー２００は、撥液面２０５を有し、導通部２１０は、カバー２００の撥液面２０５とは反対側の面にて、カバー２００と接する。これにより、カバー２００と導通部２１０とを確実に導通させることができる。

また、本実施形態では、ヘッド本体１００と接続された複数の回路基板３１０であって、カバー２００を接地するための複数の回路基板３１０を有し、ヘッド本体１００のインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向において、複数の導通部２１０が並び、ヘッド本体１００の液体であるインクを噴射するノズル面２０ａの面内方向において、複数の回路基板３１０が並び、複数の導通部２１０が並ぶ方向と、複数の回路基板３１０が並ぶ方向とは、互いに沿っている。これにより、各導通部２１０と回路基板３１０との距離が近くなり、導通部２１０を効果的に接地することができる。

なお、本実施形態では、複数の導通部２１０が並ぶ方向と、複数の回路基板３１０が並ぶ方向とが互いに沿った方向としたが、特にこれに限定されず、複数の導通部２１０が並ぶ方向と複数の回路基板３１０が並ぶ方向とは互いに交差する方向であってもよい。

また、本実施形態では、ヘッド本体１００は、当該ヘッド本体１００のノズル面２０ａから吐出するインクの流路を有するヘッドチップ１１０を複数備えることが好ましい。これによれば、１つのヘッド本体１００に対して複数のヘッドチップ１１０を設けてノズル列の多列化を図ることで、ノズル開口２１を高密度に配置することができると共に、１つのヘッド本体１００に対して１つのヘッドチップ１１０のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて歩留まりを向上することができる。もちろん、ヘッド本体１００は、１つのヘッドチップ１１０を有するものであってもよい。

（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの液体噴射面側からの平面図であり、図１１は、図１０のＣ−Ｃ′線の要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１０及び図１１に示すように、記録ヘッド３は、カバー２００とベース３００とを導通する複数の導通部２１０と、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の間に設けられて導電性を有し且つカバー２００同士を導通する隙間導通部２１１と、を具備する。すなわち、導通部は、複数のカバー２００のうち、互いに隣り合うカバー２００同士を導通させる隙間導通部２１１を含む。

隙間導通部２１１は、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞いで設けられている。すなわち、隙間導通部２１１は、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間において、Ｚ１側の開口を塞いで設けられている。このように、互いに隣り合うカバー２００の隙間を隙間導通部２１１で塞ぐことにより、互いに隣り合うカバー２００の隙間にインクが入り込むのを防ぐことができる。なお、隙間導通部２１１は、カバー２００の隙間において第１の方向Ｘの側面における開口も塞ぐように設けられているのが好ましい。これにより、第１の方向Ｘの側面における開口からのインクの進入も抑制することができる。もちろん、隙間導通部２１１は、互いに隣り合うカバー２００のＺ１側の開口の全てを塞ぐものに限定されず、例えば、互いに隣り合うカバー２００のＺ１側の開口の一部のみを塞ぐものであってもよい。

隙間導通部２１１は、互いに隣り合う前記カバーの少なくとも一方に対して着脱可能に設けられていることが好ましい。これにより、カバー２００と一体化されたヘッド本体１００をベース３００から容易に着脱することができると共に、ヘッド本体１００のノズル開口２１の相対位置の位置決めを容易に行うことができる。なお、隙間導通部２１１が、互いに隣り合うカバー２００の少なくとも一方に対して着脱可能であるとは、例えば、互いに隣り合うカバー２００の一方に固定され、他方に付勢されることで圧力をかけて当接している状態などが挙げられる。また、互いに隣り合うカバー２００の少なくとも一方にネジ等によって固定されている状態も含む。つまり、カバー２００は、少なくとも一方に対して容易に着脱可能な構成であればよい。もちろん、隙間導通部２１１が互いに隣り合うカバー２００の両方に着脱可能に設けられていてもよい。このような構成としては、例えば、隙間導通部２１１はベース３００に固定されて、互いに隣り合うカバー２００の両方に付勢されて当接している状態が挙げられる。

このような隙間導通部２１１としては、金属繊維や発泡金属などの多孔質の金属材料を用いるのが好適である。このように隙間導通部２１１として多孔質の金属材料を用いることで、互いに隣り合うカバー２００の少なくとも一方に容易に着脱可能とすることができる。すなわち、多孔質の金属材料からなる隙間導通部２１１は、弾性力によって互いに隣り合うカバー２００の隙間に保持させることができるため、隙間導通部２１１を互いに隣り合うカバー２００の両方に着脱可能とすることも、また、隙間導通部２１１を互いに隣り合うカバー２００の一方に固定して、他方に着脱可能とすることもできる。

そして、多孔質の金属材料からなる隙間導通部２１１を用いることで、隙間導通部２１１にインクが付着しても、インクがメニスカスを張りやすく、第２の方向Ｙで隣り合うカバー２００の隙間にインクを保持することができる。したがって、カバー２００の隙間に保持されたインクが予期せぬタイミングで落下して、記録シートＳを汚すのを抑制することができる。

このように隙間導通部２１１を設けることで、互いに隣り合うカバー２００同士を導通させることができる。したがって、１つのカバー２００を接地する導通部２１０の数を増やして、接地不良を抑制することができる。また、並設されたカバー２００同士を導通させることで、カバー２００の並設方向においてカバー２００がループアンテナのように増幅・指向性が生じるのをさらに抑制することができる。

なお、本実施形態では、隙間導通部２１１として、多孔質の金属材料を例示したが、隙間導通部２１１の材料は特にこれに限定されず、例えば、隙間導通部２１１は、板バネやコイルバネなどであってもよい。また、隙間導通部２１１は、導線等であってもよい。さらに、隙間導通部２１１は、導電性接着剤や半田等であってもよい。ただし、隙間導通部２１１として導電性接着剤や半田を用いた場合には、隣り合うカバー２００同士を接着してしまうため、カバー２００が設けられたヘッド本体１００の着脱が困難になる。また、隙間導通部２１１は、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００同士を導通することができればよい。したがって、隙間導通部２１１は、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞ぐものであってもよく、また、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞がないものであってもよい。ちなみに、隙間導通部２１１が第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞ぐとは、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を完全に塞ぐことである。また、隙間導通部２１１が第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞がないとは、第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を完全に塞ぐもの以外をいう。つまり、隙間導通部２１１が第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞がないとは、隙間導通部２１１が第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間に設けられてこの隙間の一部を塞ぐもの、隙間導通部２１１が第２の方向Ｙで互いに隣り合うカバー２００の隙間以外に配置されて、隙間を全く塞がないものを含む。

なお、本実施形態では、各カバー２００に２つの導通部２１０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、並設されたカバー２００の並設方向である第２の方向Ｙの両端部のカバー２００に対して、並設方向である第２の方向Ｙの両側にカバー２００を導通する導通部２１０をさらに追加してもよい。これにより、隙間導通部２１１によって導通された複数のカバー２００の並設方向の両端部での接地を確実に行うことができる。

以上説明したように、本実施形態では、導通部は、複数のカバー２００のうち、互いに隣り合うカバー２００同士を導通させる隙間導通部２１１を含む。このように隙間導通部２１１を設けることで、並設された複数のカバー２００同士の導通を行って接地することができ、接地不良を抑制すると共にカバー２００の並設方向においてカバー２００がループアンテナのように増幅・指向性が生じるのをさらに抑制することができる。

また、隙間導通部２１１は、多孔質の金属であることが好ましい。このように、隙間導通部２１１として多孔質の金属を用いることで、互いに隣り合うカバー２００の隙間の隙間導通部２１１に付着したインクが保持されて、不意に落下するのを抑制することができる。

また、隙間導通部２１１は、互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞ぐことが好ましい。このように、隙間導通部２１１が互いに隣り合うカバー２００の隙間を塞ぐことで、互いに隣り合うカバー２００の隙間にインクが入り込み難い。

また、隙間導通部２１１は、互いに隣り合うカバー２００の少なくとも一方に対して着脱可能に設けられていることが好ましい。このように隙間導通部２１１を互いに隣り合うカバー２００の少なくとも一方に対して着脱可能とすることで、カバー２００と一体化されたヘッド本体１００をベース３００から容易に着脱することができる。したがって、ヘッド本体１００の交換や着脱が必要な洗浄などのメンテナンスを容易に行うことができる。なお、隙間導通部２１１は、隣り合うカバー２００の両方に着脱可能に設けられていてもよい。ただし、隙間導通部２１１を互いに隣り合うカバー２００の一方のカバー２００に着脱可能に設けた方が、２つのカバー２００の両方に着脱可能に設ける場合に比べて、隙間導通部２１１が振動などによって予期せぬタイミングで落下するのを抑制することができる。もちろん、隙間導通部２１１は、互いに隣り合うカバー２００の両方に容易に取り外すことができないように固定するようにしてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した各実施形態では、ヘッド本体１００のＺ１側にカバー２００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバー２００を設けずに、金属などの導電性を有するノズルプレート２０を設けるようにしてもよい。すなわち、導電性を有するノズルプレート２０が実質的にカバーを兼ねるようにしてもよい。つまり、特許請求の範囲に記載のカバーとは、上述した実施形態１のカバー２００であってもよく、また、各ヘッドチップ１１０に設けられたノズルプレート２０であってもよい。

また、上述した実施形態では、カバー２００とベース３００との間に圧力発生素子である圧電アクチュエーター１３とスイッチング素子を有する駆動回路１１２とが配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、カバー２００とベース３００との間には、圧力発生素子とスイッチング素子との少なくとも一方が位置していればよい。例えば、カバー２００とベース３００との間にスイッチング素子が配置され、カバー２００のベース３００とは反対面側に圧力発生素子が配置されていても、カバー２００とベースとの間に設けられたスイッチング素子からのノイズが外部に放射されるのを抑制することができると共にスイッチング素子が外部からのノイズの影響で誤動作するのを抑制することができる。

また、上述した各実施形態では、ベース３００に保持された複数のヘッド本体１００の並設方向を、記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘに対して垂直な方向である第２の方向Ｙとしたが、特にこれに限定されず、ヘッド本体１００をベース３００の長手方向に並設した記録ヘッドを、複数のヘッド本体１００の並び方向が、記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘに対して交差する角度、すなわち、第１の方向Ｘに対して９０度よりも小さな角度となるように配置してもよい。このとき、ノズル面２０ａの面内方向において、ノズル列は、ベース３００の長手方向に垂直な方向に設けられていても、記録ヘッド全体を傾けることで、搬送方向である第１の方向Ｘに対して傾斜したノズル列を配置させることができる。

また、上述した各実施形態では、１つの記録ヘッド３に、複数のヘッド本体１００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、１つの記録ヘッド３に１つのヘッド本体１００が設けられていてもよい。

さらに、上述した各実施形態では、ヘッドチップ１１０のノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａが、搬送方向である第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙに対して傾斜した方向となるように配置するようにしたが、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａが搬送方向である第１の方向Ｘと同じ方向となるようにしてもよく、また、ノズル開口２１の並設方向である第４の方向Ｘａが第２の方向Ｙと同じ方向になるようにしてもよい。さらに、ノズル開口２１は、列状に設けられているものに限定されるものではなく、ノズル開口２１をマトリックス状に配置するようにしてもよい。さらに、上述した実施形態１では、保持部材１２０がノズル面２０ａに垂直な第３の方向Ｚから平面視した際に、略平行四辺形状となるようにしたが、特にこれに限定されず、矩形状、台形形状、多角形状等であってもよい。

さらに、上述した実施形態１では、インクジェット式記録装置１として、記録ヘッド３が装置本体２に固定されて、記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド３を記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘとは交差する方向、例えば、第２の方向Ｙに移動するキャリッジに搭載して、記録ヘッド３を搬送方向とは交差する方向に移動しながら印刷を行う、所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。また、記録ヘッド３に対して記録シートＳを搬送する構成に限定されず、記録シートＳに対して記録ヘッド３を移動させる構成により印刷を行ってもよく、記録シートＳを記録ヘッド３に対して相対的に搬送すればよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

１…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、２…装置本体、３…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、４…貯留手段、４ａ…供給管、５…第１搬送手段、６…第２搬送手段、７…制御部、７ａ…制御ケーブル、１０…流路形成基板、１２…圧力発生室、１３…圧電アクチュエーター（圧力発生素子）、１５…連通板、１６…開口部、１７…分岐流路、１８…ノズル連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル開口、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース、４１…マニホールド、４５…コンプライアンス基板、５１…第１搬送ローラー、５２…第１従動ローラー、５３…第１駆動モーター、６１…搬送ベルト、６２…第２駆動モーター、６３…第２搬送ローラー、６４…第２従動ローラー、６５…テンションローラー、６６…付勢部材、６７…ローラー、９０…リード電極、１００…ヘッド本体、１０１…スペーサー、１１０…ヘッドチップ、１１１…第１配線基板、１１２…駆動回路（スイッチング素子）、１２０…保持部材、１２１…流路部材、１２２…ホルダー、１２３…第２配線基板、１２４…突起部、１２５…ケーブル挿通孔、１２６…第１ケーブル、１２７…保持部、１２８…足部、１２９…凹部、１４０…接着剤、２００…カバー、２０１…ベース部、２０２…第１延設部、２０３…第２延設部、２０４…露出開口部、２０５…撥液面、２１０…導通部、２１１…隙間導通部、３００…ベース、３０１…収容部、３０２…壁部、３０３…供給孔、３０４…第１ケーブル用開口部、３０５…段差、３１０…回路基板、４００…分配流路部材、５００…ベースカバー、５０１…制御ケーブル用開口部、５０２…供給管開口部、６０１…第１ヘッド本体用ネジ部材、６０２…第２ヘッド本体用ネジ部材、６０３…第３ヘッド本体用ネジ部材、６１１…第１ネジ部材、６１２…第２ネジ部材、６１３…第３ネジ部材、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｘａ…第４の方向、Ｙ…第２の方向、Ｙａ…第５の方向、Ｚ…第３の方向

Claims (13)

1. 導電性のベースと、
   前記ベースに保持されたヘッド本体であって、圧力発生室内の液体を吐出するためのスイッチング素子と圧力発生素子とを有する複数のヘッド本体と、
   前記ベースと離間する導電性のカバーであって、前記ベースとの間で前記圧力発生素子及び前記スイッチング素子の少なくとも一方を挟む複数のカバーと、
   前記ベースと前記カバーとを複数箇所で導通させる複数の導通部と、
   を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記ヘッド本体が並び、
   前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部が並び、
   複数の前記ヘッド本体が並ぶ方向と、複数の前記導通部が並ぶ方向とは、互いに交差することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部は、前記圧力発生素子及び前記スイッチング素子の少なくとも一方を挟む位置にあり、
   前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向に直交する方向において、複数の前記導通部は、前記カバーに対して同じ側に位置することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記カバーは、撥液面を有し、
   前記導通部は、前記カバーの前記撥液面とは反対側の面にて、前記カバーと接することを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ヘッド本体と接続された回路基板であって、前記カバーを接地するための複数の回路基板を有し、
   前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記導通部が並び、
   前記ヘッド本体の液体を噴射するノズル面の面内方向において、複数の前記回路基板が並び、
   複数の前記導通部が並ぶ方向と、複数の前記回路基板が並ぶ方向とは、互いに沿っていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記導通部は、複数の前記カバーのうち、互いに隣り合う前記カバー同士を導通させる隙間導通部を含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記隙間導通部は、多孔質の金属であることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記隙間導通部は、互いに隣り合う前記カバーの隙間を塞ぐことを特徴とする請求項６又は７記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記隙間導通部は、互いに隣り合う前記カバーの少なくとも一方に対して着脱可能に設けられていることを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記ヘッド本体は、当該ヘッド本体のノズル面から吐出する液体の流路を有するヘッドチップを複数備えることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 請求項１〜１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
12. スイッチング素子と圧力発生素子とにより圧力発生室内の液体を吐出する複数のヘッド本体と、導電性を有する複数のカバーと、前記カバーと離間したベースと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記ベースに設けられた前記カバーの数を特定する数特定工程と、
    前記数特定工程により特定された前記カバーの数に基づいて前記ベースと前記カバーとを導通させる導通部を設ける数を変更する工程と、
    前記ベースに、複数の前記ヘッド本体と前記カバーとを固定し、前記導通部を設ける工程と、
    を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
13. 前記導通部の数は、前記カバーの数よりも多いことを特徴とする請求項１２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。

Images