JP2018144878A - 封止機構 - Google Patents
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Abstract
Description
開口部を有しワークを収容する容器本体と、前記開口部を塞ぐリッドと、を備える容器を、封止材により封止する封止機構であって、
互いに対向する一対の主面を有し、一方の主面に前記容器を収容する第1の凹部が形成され、前記第1の凹部の底部から、他方の主面まで貫通する第1の貫通孔が形成されたトレイと、
前記トレイの一方の主面と対向する第1の面を有し、前記トレイの一方の主面と前記第1の面とが当接することで、前記トレイに収容された前記容器が前記トレイから離脱することを阻止し、前記第1の面と対向する第2の面を有し、前記第1の面から前記第2の面まで貫通する第2の貫通孔が形成され、当該第2の貫通孔は前記トレイの第1の凹部に開口する、容器押さえ板と、
前記トレイの他方の主面に対向して配置された第1のヒートブロックと、
前記容器押さえ板の第2の面に対向して配置された第2のヒートブロックと、を備え、
前記第1のヒートブロックは、前記第1の貫通孔を介して、熱放射により前記第1の凹部に収容された前記容器を加熱し、
前記第2のヒートブロックは、前記第2の貫通孔を介して、熱放射により前記第1の凹部の収容された前記容器を加熱する。
当該第3の貫通孔の他方の開口に、放射温度計が配置されてもよい。
前記トレイと前記容器押さえ板を、前記第2のヒートブロックから見たとき、
前記第1の凹部に収容された前記容器の一部は、前記第2の貫通孔より外側に位置してもよい。
本発明の一実施の形態に係る封止機構を備える封止装置について、図1を参照して説明する。
実施の形態1では、トレイ140に第1の貫通孔144を形成し、容器押さえ板160に第2の貫通孔163を形成したが、第1の貫通孔144と第2の貫通孔163に加えて、第1のヒートブロック131a又は第2のヒートブロック131bに、凹部を形成してもよい。
100 真空チャンバ
101 搬入口
102 搬出口
110 第1の予備加熱機構
120 第2の予備加熱機構
130 封止機構
111,121,131 ヒートブロック
112,122,132 熱源
113,123,133 昇降駆動装置
111a,121a 下側ヒートブロック
111b,121b 上側ヒートブロック
131a 第1のヒートブロック
131b 第2のヒートブロック
140 トレイ
141 第1の凹部
142 一方の主面
143 他方の主面
144 第1の貫通孔
150 搬送機構
151 ローラ
160 容器押さえ板
161 第1の面
162 第2の面
163 第2の貫通孔
200 容器
201 ワーク
202 容器本体
203 リッド
300 封止機構
301 第2の凹部
302 第3の凹部
303 第3の貫通孔
400 放射温度計
Claims (5)
- 開口部を有しワークを収容する容器本体と、前記開口部を塞ぐリッドと、を備える容器を、封止材により封止する封止機構であって、
互いに対向する一対の主面を有し、一方の主面に前記容器を収容する第1の凹部が形成され、前記第1の凹部の底部から、他方の主面まで貫通する第1の貫通孔が形成されたトレイと、
前記トレイの一方の主面と対向する第1の面を有し、前記トレイの一方の主面と前記第1の面とが当接することで、前記トレイに収容された前記容器が前記トレイから離脱することを阻止し、前記第1の面と対向する第2の面を有し、前記第1の面から前記第2の面まで貫通する第2の貫通孔が形成され、当該第2の貫通孔は前記トレイの第1の凹部に開口する、容器押さえ板と、
前記トレイの他方の主面に対向して配置された第1のヒートブロックと、
前記容器押さえ板の第2の面に対向して配置された第2のヒートブロックと、を備え、
前記第1のヒートブロックは、前記第1の貫通孔を介して、熱放射により前記第1の凹部に収容された前記容器を加熱し、
前記第2のヒートブロックは、前記第2の貫通孔を介して、熱放射により前記第1の凹部の収容された前記容器を加熱する、
封止機構。 - 前記第1のヒートブロックには、前記トレイの第1の貫通孔に対向して第2の凹部が形成された、
請求項1に記載の封止機構。 - 前記第2のヒートブロックには、前記容器押さえ板の第2の貫通孔に対向して第3の凹部が形成された、
請求項1又は2に記載の封止機構。 - 前記第2のヒートブロックには、前記容器押さえ板の第2の貫通孔と対向して一方が開口する第3の貫通孔が形成され、
当該第3の貫通孔の他方の開口に、放射温度計が配置された、
請求項1に記載の封止機構。 - 前記第2の貫通孔は、貫通方向と垂直な断面形状が長孔形状に形成され、
前記トレイと前記容器押さえ板を、前記第2のヒートブロックから見たとき、
前記第1の凹部に収容された前記容器の一部は、前記第2の貫通孔より外側に位置する、
請求項1から4のいずれか1項に記載の封止機構。
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JP2017044824A JP6987376B2 (ja) | 2017-03-09 | 2017-03-09 | 封止機構 |
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JP2017044824A JP6987376B2 (ja) | 2017-03-09 | 2017-03-09 | 封止機構 |
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JP6987376B2 JP6987376B2 (ja) | 2021-12-22 |
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Family Applications (1)
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JP2017044824A Active JP6987376B2 (ja) | 2017-03-09 | 2017-03-09 | 封止機構 |
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- 2017-03-09 JP JP2017044824A patent/JP6987376B2/ja active Active
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