JP2007036031A - 真空装置の加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高温によるステージ機構の熱膨張の影響を低減する。
【解決手段】 真空装置の加熱装置は、真空室2内にステージ機構4を備える真空装置1において、真空室2内に加熱装置3を備え、この加熱装置3は、発熱部3aと、この発熱部3aとステージ機構4の少なくとも一部との間に設けた反射部3bとを備える。反射部3bは、発熱部3aからの熱輻射を反射して、ステージ機構4へ熱の伝導を抑制し、ステージ機構4が高温となることを抑え、高温によるステージ機構の熱膨張を低減する。
【選択図】 図1
【解決手段】 真空装置の加熱装置は、真空室2内にステージ機構4を備える真空装置1において、真空室2内に加熱装置3を備え、この加熱装置3は、発熱部3aと、この発熱部3aとステージ機構4の少なくとも一部との間に設けた反射部3bとを備える。反射部3bは、発熱部3aからの熱輻射を反射して、ステージ機構4へ熱の伝導を抑制し、ステージ機構4が高温となることを抑え、高温によるステージ機構の熱膨張を低減する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、真空室内にステージ機構を備える真空装置に関し、特に、真空室内に設けた加熱装置に関する。
真空室内にステージ機構を備え、このステージ機構上に載置した対象物を真空状態で加工や検査を行う真空装置が知られている。このような真空装置として、液晶製造装置や検査装置があり、例えば、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを対象物に照射することによって、対象物の測定、分析、検査を行う他、対象物に加工が施される。
このような荷電粒子ビーム装置の一例として、例えば、TFT基板に電子ビームを照射し、TFT基板から放出される二次電子を検出することによってTFT基板の欠陥検査を行うTFT基板検査装置が知られている。
TFT基板検査装置の他、荷電粒子ビームを用いた測定装置や検査装置、あるいは加工装置など、上記した真空状態での加工や検査は一般に常温で行っている。
このような真空装置において、対象物を高温状態として測定や加工を行うことが検討されている。例えば、TFT基板の検査を高温状態で行うことによって、常温では検出が困難であったTFT基板の欠陥についても、容易に検出を行うことができ、欠陥検出の効率を高めることが期待される。
このように、真空装置においてステージを高温状態として加工や検査を行う場合には、高温によってステージの構造体が熱膨張し、ステージの円滑な駆動や耐久性に影響を与える要因となるおそれがある。
図5は、加熱装置を備える真空装置の一構成例を説明するための図である。図5(a)は真空装置101の概略断面を示している。真空装置101は、真空室102内に基板105等の対象物を載置するステージ機構104、及び基板105を加熱する加熱装置103を備える。
ステージ機構104は、傾き(θ)を調整するθステージ104aと、X方向及びY方向の移動を行うX−Yステージ104bを備え、これらの移動を組み合わせることで基板105の位置調整を行う。θステージ104aは加熱装置103を備え、ステージのテーブル上に載置した基板105を加熱する。
図5(b)は真空装置が備える加熱装置によるステージ機構への熱の伝わりを説明するための図である。図5(b)において、加熱装置103が発熱した熱は、熱伝導によってθステージ104aのテーブル上に載置した基板105を加熱する他、熱輻射によってX−Yステージ104bを加熱する。θステージ104aとX−Yステージ104bとの間は、断熱材を挟むことで熱伝導を低減させることができるが、輻射熱は真空中であっても伝わるため、X−Yステージ104bはθステージ104aからの熱輻射によって加熱されることになる。
近年、基板の大型化に伴って真空室内に設けるステージ機構も大型化している。このステージ機構の大型化は、ステージ機構の高温による熱膨張の影響をより顕著とすると考えられる。このような状況から、ステージ機構の高温による熱膨張の影響を低減することが求められている。
そこで、本発明は上記課題を解決して、高温によるステージ機構の熱膨張の影響を低減することを目的とする。
本発明の真空装置の加熱装置は、真空室内にステージ機構を備える真空装置において、真空室内に加熱装置を備え、この加熱装置は、発熱部と、この発熱部とステージ機構の少なくとも一部との間に設けた反射部とを備える構成とする。
反射部は、発熱部からの熱輻射を反射して、ステージ機構へ熱の伝導を抑制する。これによって、ステージ機構が高温となることを抑え、高温によるステージ機構の熱膨張を低減する。
真空状態における伝熱は、構造物を介して行われる熱伝導よりも熱輻射の割合が大きく影響する。反射部は、発熱部からの熱輻射を反射することによって、ステージ機構が高温となることを抑える。また、反射部は、輻射熱を発熱部に戻すことで、熱効率を高める効果も奏する。
ステージ機構が、θ方向に駆動するθステージと、X,Y方向に駆動するX−Yステージとを備えた構成の場合には、加熱装置の一構成態様として、発熱部をθステージに設け、反射部をθステージとX−Yステージとの間に設ける構成とする。この構成態様によれば、θステージは加熱部によって加熱され、θステージ上に載置した対象物を加熱する。θステージは加熱されることで輻射熱を放出し、放出された輻射熱はX−Yステージにも向けられる。反射部は、この輻射熱を反射して、X−Yステージのステージ機構が高温に加熱されることを抑制する。
X−Yステージは、加熱部からの熱輻射が低減されることで温度上昇が抑制され、高温による熱膨張を抑えることができる。
反射部は反射板で構成することができ、この反射板は少なくともθステージと対向するX−Yステージ上の面を覆う構成とすることができる。反射板は、θステージと対向するX−Yステージ上の面を覆う構成、あるいは、X−Yステージの上面と対向する平面板部を備える構成によって、加熱部から直接に伝わる熱輻射を反射する。
また、反射板は、X−Yステージの側面と対向する側面板部とを備える構成によって、他の構造体で反射した輻射熱や、熱輻射で加熱された他の構造体からの輻射熱を反射する。
また、反射板は、その表裏両面を研磨面とする。反射板は、表裏両面を研磨面とすることで、外部からの熱輻射を反射すると共に、反射板が加熱されて高温となることによる反射板自体からの熱輻射を抑制する。
本発明によれば、高温によるステージ機構の熱膨張の影響を低減することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の真空装置の加熱装置の一構成例を説明するための図であり、図1(a)は概略断面図を示し、図1(b)は熱輻射の状態を示している。
図1(a)において、真空装置1は、前記図4で示したと同様に、真空室2内に基板5等の対象物を載置するステージ機構4、及び基板5を加熱する加熱装置3を備える。
ステージ機構4は、傾き(θ)を調整するθステージ4aと、X方向及びY方向の移動を行うX−Yステージ4bを備え、θ方向の移動とX,Y方向の移動とを組み合わせることで基板5の位置を調整する。
ステージ機構4は、傾き(θ)を調整するθステージ4aと、X方向及びY方向の移動を行うX−Yステージ4bを備え、θ方向の移動とX,Y方向の移動とを組み合わせることで基板5の位置を調整する。
θステージ4aは加熱装置3を備える。加熱装置3は、発熱部3aと反射部3bと備える。
発熱部3aは、例えばIRランプ等のヒータとすることができる。発熱部3aは、ここではθステージ4a内に設ける構成としているが、発熱部3aの設定位置はθステージ4a内に限られるものはなく、θステージ4aのテーブル上に設ける構成としてもよい。
なお、加熱装置3をステージ機構4から分離する構成としてもよく、例えば、θステージ4aの上方に設けた光源を発熱部としてもよい。光源により発熱部を構成する場合には、θステージ4a上に載置された基板5は、光源(図示していない)から発せられた輻射熱によって上方から加熱される。この光源による構成例については、図4を用いて後述する。
発熱部3aで発せられた熱は、熱伝導によりテーブル上の基板5を所定温度に加熱する、発熱部3aの加熱温度は、加熱する基板5の温度や、熱伝導中の温度低下を考慮して設定することができる。
反射部3bは、θステージ4aとX−Yステージ4bとの間に設置し、θステージ4aとの間、及びX−Yステージ4bとの間にはスペーサ6,7が挟まれる。スペーサ6,7はセラミック材等の断熱素材を用いることによって、ステージ間の熱伝導を低減することができる。
反射部3bは、反射率の高い素材で形成した反射板で構成することができる。
図2は、反射板の構成例を説明するための概略断面図である。図2(a)に示す反射板9は、Al等の金属材により板状とし、その表面9A及び裏面9Bを研磨面とする。ここで、表面9Aをθステージ4aと対向する面とすると、表面9Aを研磨面とすることにより、θステージ4aからの輻射熱を効率良く反射することができる。また、裏面9BをX−Yステージ4bと対向する面とすると、裏面9Bを研磨面とすることにより、反射板9からX−Yステージ4bへの輻射熱の放出を低減させることができる。
したがって、反射板9の両面を研磨面とすることで、X−Yステージ4bへの輻射熱を効率よく抑制することができる。
図2(b)は反射板の他の構成例を説明するための概略断面図である。図2(b)に示す反射板9は、Al等の金属薄9aと断熱材等からなる薄材9bとを積層して板状あるいはフィルム状とする。なお、その表面及び裏面は、前記図2(a)の構成例と同様に研磨面としてもよい。
反射板9の形態は、少なくともθステージ4aと対向するX−Yステージ4bの面を覆う形状及び大きさの平面板部3Aを備える。この形態により、平面板部3Aは、θステージ4aと対向するX−Yステージ4bの面に対して輻射熱が導入しないように抑制する。
反射部3bは、θステージ4aから放出された輻射熱を反射し、X−Yステージ4bへの輻射熱を抑制する。この輻射熱の抑制により、X−Yステージ4bの温度上昇を抑制し、高温によってX−Yステージ4bが熱膨張して、ステージの円滑な駆動に対する影響を低減する。
図1(b)において、矢印10aは発熱部3aから基板(図1(b)に示していない)に向けて伝わす熱伝導を模式的に表し、矢印10bは発熱部3aから反射部3bに向かって発せられる熱輻射を表し、矢印10cは反射部3bで反射された熱輻射を表している。
矢印10aで示される熱伝導は、θステージ4a上に載置した基板(図1(b)に示していない)を加熱する。一方、矢印10bで示される熱輻射は反射部3bに向い、反射部30bの反射面で反射されて、発熱部3aであるθステージ4aに向かう。
これによって、反射部3bを挟んでθステージ4aと反対側に配置されたX−Yステージ4bには発熱部3aからの輻射熱は伝わらず、X−Yステージ4bは熱輻射による加熱が低減される。
図3は本発明の真空装置の加熱装置の他の構成例を説明するための図であり、図3(a)は概略断面図を示し、図3(b)は熱輻射の状態を示している。
図3(a)において、真空装置1は、前記図1で示したと同様に、真空室2内に基板5等の対象物を載置するステージ機構4、及び基板5を加熱する加熱装置3を備える。図3に示す構成例では、加熱装置3が備える反射部3cにおいて前記図1で示した構成と異なり、その他の構成は共通している。
そこで、以下では、反射部3cの構成について説明し、他の構成については説明を省略する。反射部3cは、少なくともθステージ4aと対向するX−Yステージ4b上の面を覆う反射板であって、この反射板は、X−Yステージ4bの上面と対向する平面板部3Aと、X−Yステージ4bの側面と対向する側面板部3Bとを備える。
この形態により、平面板部3Aは、θステージ4aと対向するX−Yステージ4bの面に対して輻射熱が導入しないように抑制し、側面板部3Bは、X−Yステージ4bの側面に対して輻射熱が導入しないように抑制する。また、反射板が加熱された場合には、外側に向かって熱輻射を行うことで、X−Yステージ4bの加熱を抑制する。
図4は本発明の真空装置の加熱装置の他の構成例を説明するための図であり、図4(a),(b)は概略断面図を示している。
図4(a)において、真空装置1は、前記図1で示したと同様に、真空室2内に基板5等の対象物を載置するステージ機構4、及び基板5を加熱する加熱装置3を備える。図4(a),(b)に示す構成例では、加熱装置3が備える光源8及び反射部3d,3eにおいて前記図1で示した構成が異なり、その他の構成は共通している。
そこで、以下では、光源8及び反射部3d,3eの構成について説明し、他の構成については説明を省略する。
光源8は発熱部3aを構成し、θステージ4a上に載置した基板5を照射することで加熱する。なお、図4(a),(b)では、図面の便宜上一つの光源8のみを示しているが、必要に応じて複数の光源を配置する構成としてもよい。これによれば、基板を均等に加熱することができる。
図4(a)において、反射部3dは、前記図1に示した構成と同様に、少なくともθステージ4aと対向するX−Yステージ4b上の面を覆う反射板とし、θステージ4aとX−Yステージ4bとの間に配置する。この図4(a)に示す構成例によれば、光源8は基板5を加熱するが、X−Yステージ4bは、反射部3dを配置することによって、高温となることを抑制することができる。
また、図4(b)において、反射部3eは、少なくともθステージ4aの上面を覆う反射板とし、θステージ4aの上方に配置する。この図4(b)に示す構成例によれば、光源8は基板5を加熱するが、θステージ4a及びX−Yステージ4bは、反射部3eを配置することによって、高温となることを抑制することができる。
上記した各構成例によれば、発熱部からの熱を反射させることで熱効率を高めると共に、高温を避ける必要がある部分に反射部を設けることによって不要な熱移動を抑えることができる。
本発明は、荷電粒子ビームを用いた測定装置、検査装置、あるいは加工装置等の真空状態において加熱を伴う装置に適用することができる。
1…真空装置、2…真空室、3…加熱装置、3a…発熱部、3b〜3e…反射部、4…ステージ機構、4a…θステージ、4b…X−Yステージ、5…基板、6,7…スペーサ、8…光源、9…反射板、9A…表面、9B…裏面、9a…金属薄、9b…薄材、10…熱輻射、10a…熱伝導、10b,10c…熱輻射、101…真空装置、102…真空室、103…加熱装置、104…ステージ機構、104a…θステージ、104b…X−Yステージ、105…基板。
Claims (5)
- 真空室内にステージ機構を備える真空装置において、
前記真空室内に加熱装置を備え、
前記加熱装置は、
発熱部と、
当該発熱部と前記ステージ機構の少なくとも一部との間に設けた反射部とを備える、真空装置の加熱装置。 - 前記ステージ機構は、θ方向に駆動するθステージと、X,Y方向に駆動するX−Yステージとを備え、
前記発熱部をθステージに設け、
前記反射部をθステージとX−Yステージとの間に設ける、請求項1に記載の真空装置の加熱装置。 - 前記反射部は、少なくとも前記θステージと対向する前記X−Yステージ上の面を覆う反射板を含む、請求項2に記載の真空装置の加熱装置。
- 前記反射板は、前記X−Yステージの上面と対向する平面板部と、X−Yステージの側面と対向する側面板部とを備える、請求項3に記載の真空装置の加熱装置。
- 前記反射板の表裏両面は研磨面である、請求項3又は4に記載の真空装置の加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219089A JP2007036031A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 真空装置の加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005219089A JP2007036031A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 真空装置の加熱装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=37794900
Family Applications (1)
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JP2005219089A Pending JP2007036031A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 真空装置の加熱装置 |
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JP (1) | JP2007036031A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180014437A (ko) * | 2015-06-29 | 2018-02-08 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 정전기 척을 위한 열 실드 |
-
2005
- 2005-07-28 JP JP2005219089A patent/JP2007036031A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20180014437A (ko) * | 2015-06-29 | 2018-02-08 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 정전기 척을 위한 열 실드 |
KR102465285B1 (ko) * | 2015-06-29 | 2022-11-09 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 기판을 홀딩하기 위한 장치 |
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