JP2018126781A - レーザ接合装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明のレーザ接合装置の1構成例において、前記温度制御部は、前記目標温度と前記対象物の温度との比較により、前記対象物の温度を上げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の第1の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示し、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の、前記第1の出力値よりも低い第2の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするものである。
また、本発明のレーザ接合装置の1構成例において、前記下側閾値は、前記目標温度に対して複数設定され、前記第1の出力値は、前記下側閾値が前記目標温度から離れるほどレーザ出力が高くなるように前記下側閾値ごとに設定され、前記温度制御部は、前記対象物の温度が前記複数の下側閾値の内の少なくとも1つよりも低く、前記対象物の温度を上げるべきと判断したときに、レーザ出力を、前記対象物の温度よりも高い下側閾値の内の最も低い下側閾値に対応する前記第1の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするものである。
また、本発明のレーザ接合装置の1構成例において、前記上側閾値は、前記目標温度に対して複数設定され、前記第2の出力値は、前記上側閾値が前記目標温度から離れるほどレーザ出力が低くなるように前記上側閾値ごとに設定され、前記温度制御部は、前記対象物の温度が前記複数の上側閾値の内の少なくとも1つよりも高く、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を、前記対象物の温度よりも低い上側閾値の内の最も高い上側閾値に対応する前記第2の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施例に係るレーザ接合装置の構成を示すブロック図である。本実施例のレーザ接合装置は、レーザ光を放射する半導体レーザ発振器1と、半導体レーザ発振器1から放射されたレーザ光を導く光ファイバ2と、対象物10を載置するステージ3と、光ファイバ2によって導かれたレーザ光を対象物10に照射する出射ヘッド4と、対象物の温度を計測する放射温度計5と、予め設定された目標温度と放射温度計5によって計測された対象物の温度とが一致するように半導体レーザ発振器1を制御する温度制御部6と、ユーザがレーザ接合装置に指示を与えるための操作部7と、ユーザに対して情報を表示するための表示部8とを備えている。
放射温度計5は、所定の周期(例えば0.1m秒)で対象物10の温度Tを継続的に計測している。
続いて、温度制御部6の温度比較部61は、温度取得部60が取得した対象物10の温度Tと、レーザ出力を決定しようとする現時点の目標温度SPとを比較する(図4ステップS101,S103)。温度比較部61は、対象物10の温度Tが現時点の目標温度SPに基づく下側閾値(SP−α)よりも低いとき、対象物10の温度Tを上げるべきと判断する。また、温度比較部61は、対象物10の温度Tが現時点の目標温度SPに基づく上側閾値(SP+β)よりも高いとき、対象物10の温度Tを下げるべきと判断する。α,β(α,β>0)は予め定められた値であり、同一の値でもよいし異なる値でもよい。
こうして、温度制御部6は、ステップS100〜S105の処理を所定の周期(例えば0.1m秒)毎に繰り返し実行する。
第1の実施例では、対象物10の接合中のレーザ出力値をHIGH,LOWの2値としたが、3値以上としてもよい。本実施例は、レーザ出力値HIGH,LOWを2値ずつ計4値設定できるようにした例である。本実施例においても、レーザ接合装置の構成は第1の実施例と同様であるので、図1の符号を用いて説明する。
温度制御部6の温度比較部61は、温度取得部60が取得した対象物10の温度Tと、レーザ出力を決定しようとする現時点の目標温度SPとを比較する(図9ステップS201,S203,S205,S207)。
こうして、温度制御部6は、ステップS200〜S209の処理を所定の周期(例えば0.1m秒)毎に繰り返し実行する。
第1、第2の実施例では、対象物10の接合中においてHIGH(HIGH1,HIGH2)またはLOW(LOW1,LOW2)のレーザ出力を選択しているが、接合中の特定の期間においてHIGH,LOW以外のレーザ出力を選択するようにしてもよい。本実施例においても、レーザ接合装置の構成は第1の実施例と同様であるので、図1の符号を用いて説明する。
温度制御部6の温度比較部61とレーザ出力決定部62とは、接合開始時点からの経過時間が一定時間t以下である場合(図10ステップS301においてもYES)、ステップS302〜S306の処理を実施する。ここで、一定時間tは、例えば第1の実施例のUP1よりも短い時間である。
Claims (6)
- レーザ光を放射するレーザ発振器と、
接合の対象物に前記レーザ発振器から放射されたレーザ光を照射する出射ヘッドと、
前記対象物の温度を計測する温度計と、
予め設定された目標温度と前記温度計によって計測された前記対象物の温度とが一致するように前記レーザ発振器を制御する温度制御部とを備え、
前記温度制御部は、前記目標温度と前記対象物の温度との比較の結果に基づいて、レーザ出力を、複数の、0より大の出力値の内いずれか1つの出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。 - 請求項1記載のレーザ接合装置において、
前記温度制御部は、前記目標温度と前記対象物の温度との比較により、前記対象物の温度を上げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の第1の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示し、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の、前記第1の出力値よりも低い第2の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。 - 請求項1記載のレーザ接合装置において、
前記温度制御部は、前記対象物の温度が前記目標温度に基づく下側閾値よりも低く、前記対象物の温度を上げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の第1の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示し、前記対象物の温度が前記目標温度に基づく上側閾値よりも高く、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を前記複数の出力値の内の、前記第1の出力値よりも低い第2の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。 - 請求項3記載のレーザ接合装置において、
前記下側閾値は、前記目標温度に対して複数設定され、
前記第1の出力値は、前記下側閾値が前記目標温度から離れるほどレーザ出力が高くなるように前記下側閾値ごとに設定され、
前記温度制御部は、前記対象物の温度が前記複数の下側閾値の内の少なくとも1つよりも低く、前記対象物の温度を上げるべきと判断したときに、レーザ出力を、前記対象物の温度よりも高い下側閾値の内の最も低い下側閾値に対応する前記第1の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。 - 請求項3記載のレーザ接合装置において、
前記上側閾値は、前記目標温度に対して複数設定され、
前記第2の出力値は、前記上側閾値が前記目標温度から離れるほどレーザ出力が低くなるように前記上側閾値ごとに設定され、
前記温度制御部は、前記対象物の温度が前記複数の上側閾値の内の少なくとも1つよりも高く、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を、前記対象物の温度よりも低い上側閾値の内の最も高い上側閾値に対応する前記第2の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ接合装置において、
前記温度制御部は、前記接合の開始時点から一定の期間内において、前記目標温度と前記対象物の温度との比較により、前記対象物の温度を下げるべきと判断したときに、レーザ出力を、前記複数の出力値よりも更に低い、0より大の出力値に設定するよう前記レーザ発振器に対して指示することを特徴とするレーザ接合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017022814A JP2018126781A (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | レーザ接合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017022814A JP2018126781A (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | レーザ接合装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=63172642
Family Applications (1)
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JP2017022814A Pending JP2018126781A (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | レーザ接合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018126781A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021235127A1 (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 熱輻射光検出装置及びレーザ加工装置 |
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JPS63290697A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-28 | Nippei Toyama Corp | レ−ザ加熱装置の熱量制御方法 |
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-
2017
- 2017-02-10 JP JP2017022814A patent/JP2018126781A/ja active Pending
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