JP2018121008A - 窒化物半導体の製造装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(実験)
窒化物半導体の薄膜は、分子線エピタキシー(MBE)装置により作製した。高周波(RF; 13.56MHz)励起方式の2本のプラズマセルがセットされ、これらによりN2ガスを励起し、活性窒素を基板に向かって供給した。金属を熱分解窒化ホウ素ルツボ中で加熱するクヌーセンセル(Kセル)からガリウム(7N)およびインジウム(7N)を供給した。窒化物薄膜の成長のための非単結晶基板として、無蛍光合成石英ガラスと非晶質炭素被覆グラファイトを用いた。薄膜は、基板上に直接成長させた。2本のプラズマセルは、それぞれN2ガス流量3sccm、RF電力400Wで作動した。得られた膜の厚さは約300nmであった。
初めに、石英ガラス基板上に直接GaN薄膜を成長させた。膜成長中の基板温度とGa K-セルの温度はそれぞれ900℃と1030℃に保たれた。このとき、窒素プラズマセルのうちの1つだけが作動された。得られたGaN薄膜は、図1に示すように、六方晶ウルツ鉱型GaN結晶のc軸優先配向を示した。これは、ガラス基板上のGaNの膜成長における典型的な現象である。得られたGaN薄膜の(0002)GaN回折ピークのX線回折(XRC)の半値幅(FWHM)は比較的広いものであった。これは、膜中のGaN結晶のc軸が広範囲かつランダムな傾向を有することを示している。図2に示すように、GaN薄膜の形態は、結晶軸のランダムな配向であることが確認できる。GaN結晶のc軸は優先的に基板表面に垂直に配向するが、粒径は数百nm前後で変化する。さらに、ランダムサイズの結晶の面内回転も観察される。単結晶基板を用いたエピタキシャル成長の場合とは異なり、これは形成されるべき薄膜に作用する原子配列の制御力がないため、このような非晶質基板上に薄膜を蒸着させる場合に避けられない現象である。
Claims (3)
- 分子線エピタキシー装置を用いた窒化物半導体の製造装置であって、
チャンバー内に活性窒素ガスを供給する2本のプラズマセルと、インジウムを供給するクヌーセンセルと、ガリウムを供給するクヌーセンセルとを備えることを特徴とする窒化物半導体の製造装置。 - 分子線エピタキシー装置を用いた窒化物半導体の製造方法であって、
前記分子線エピキタシー装置は、活性窒素ガスを供給する2本のプラズマセルと、ガリウムを供給するクヌーセンセルと、インジウムを供給するクヌーセンセルとを備え、
2本の前記プラズマセルを同時作動させ活性窒素ガスをチャンバー内に供給するとともに、前記ガリウムおよび前記インジウムを同時にチャンバー内に供給することを特徴とする窒化物半導体の製造方法。 - 前記活性窒素ガス、前記ガリウムおよび前記インジウムは、非単結晶基板に供給されることを特徴とする請求項2記載の窒化物半導体の製造方法。
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- 2017-01-27 JP JP2017012847A patent/JP7011278B2/ja active Active
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