JP2018119930A5 - センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、センサ、センサを有するロボット装置及び物品の製造方法に関する。

本発明の一態様は、互いに相対的に変位可能な第１の支持部及び第２の支持部と、前記第１の支持部と前記第２の支持部との相対的な変位量を検出するインクリメンタル形の第１の変位検出部と、前記第１の支持部と前記第２の支持部との相対的な変位量を検出するインクリメンタル形ではない第２の変位検出部と、を備えたことを特徴とするセンサである。

Claims (16)

1. 互いに相対的に変位可能な第１の支持部及び第２の支持部と、
   前記第１の支持部と前記第２の支持部との相対的な変位量を検出するインクリメンタル形の第１の変位検出部と、
   前記第１の支持部と前記第２の支持部との相対的な変位量を検出するインクリメンタル形ではない第２の変位検出部と、を備えたことを特徴とするセンサ。
2. 請求項１に記載のセンサにおいて、
   前記第２の変位検出部は、磁束発生源と、磁電変換素子とを備え、
   前記第１の支持部または前記第２の支持部のうち一方に前記磁束発生源が設けられ、他方に前記磁電変換素子が設けられていることを特徴とするセンサ。
3. 請求項２に記載のセンサにおいて、
   前記第１の変位検出部は、スケールとヘッドとを備えたエンコーダであり、
   前記第１の支持部または前記第２の支持部のうち一方に前記スケールが設けられ、他方に前記検出部が設けられていることを特徴とするセンサ。
4. 前記スケール、前記ヘッド、前記磁電変換素子及び前記磁束発生源は、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のセンサ。
5. 前記スケール、前記ヘッド、前記磁電変換素子及び前記磁束発生源は、前記第１の支持部と前記第２の支持部とが対向する方向に並んで配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載のセンサ。
6. 前記スケールと前記ヘッドは、互いに対向し、前記磁電変換素子と前記磁束発生源との間に配置されていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載のセンサ。
7. 前記ヘッド及び前記磁電変換素子が固定された基板を更に備え、
   前記基板が前記第２の支持部に固定されていることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載のセンサ。
8. 前記ヘッドが前記基板の一方の面に固定され、前記磁電変換素子が前記基板の他方の面に固定されていることを特徴とする請求項７に記載のセンサ。
9. 前記エンコーダは、光学式のエンコーダであることを特徴とする請求項３乃至８のいずれか１項に記載のセンサ。
10. 前記ヘッドからの信号及び前記磁電変換素子からの信号に基づき、前記第１の支持部と前記第２の支持部との相対的な変位量を求める演算部を更に備えたことを特徴とする請求項３乃至９のいずれか１項に記載のセンサ。
11. 前記演算部は、前記ヘッドからの信号により、前記スケールに対する前記ヘッドの変位によって鋸波状に周期的に変化する計測値を求め、前記磁電変換素子からの信号により、前記鋸波の波数を求め、前記計測値及び前記波数から前記変位量を求めることを特徴とする請求項１０に記載のセンサ。
12. 前記演算部は、前記変位量に基づき、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間のトルクを求めることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のセンサ。
13. 前記磁束発生源は、第１の磁石と、前記第１の磁石とは磁極が逆となるように配置された第２の磁石とを有することを特徴とする請求項２乃至１２のいずれか１項に記載のセンサ。
14. 前記第１の支持部と前記第２の支持部とが弾性部で連結されていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のセンサ。
15. 請求項１乃至１４のいずれか１項に記載のセンサを有するロボット装置。
16. 請求項１５に記載のロボット装置を用いて物品の製造を行うことを特徴とする物品の製造方法。