JP2017106920A5

JP2017106920A5 -

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Publication number: JP2017106920A5
Application number: JP2016237422A
Authority: JP
Filing date: 2016-12-07
Publication date: 2018-04-26
Anticipated expiration: 2036-12-07

Claims

アブソリュート式に位置を測定するための電磁誘導式エンコーダであって、この電磁誘導式エンコーダは、１つのスケール装置（１，１００）と１つの走査装置（２，２．１）とを有し、
・前記スケール装置（１，１００）は、測定方向（Ｘ）に延在する１つの第１測定目盛（１１）と、この第１測定目盛（１１）に対して平行に延在し、この第１測定目盛（１１）に対向する１つの第２測定目盛（１２）とを有し、
・前記走査装置（２，２．１）は、前記第１測定目盛（１１）と前記第２測定目盛（１２）との間の隙間内に配置されていて、位置を測定するために前記スケール装置（１，１００）に対して測定方向（Ｘ）に移動可能であり、前記走査装置（２，２．１）は、前記第１測定目盛（１１）を走査し、第１の位置に依存する第１走査信号（Ｓ１，Ｓ１１）を生成するために１つの第１コイル装置（２１）を有し、前記走査装置（２，２．１）は、前記第２測定目盛（１２）を走査し、第２の位置に依存する第２走査信号（Ｓ２，Ｓ２１）を生成するために前記第１コイル装置（２１）に対向する１つの第２コイル装置（２２）を有し、
軟磁性材料から成る少なくとも１つの中間層（６，６．１）が、前記第１コイル装置（２１）と前記第２コイル装置（２２）との間に配置されている当該電磁誘導式エンコーダ。
前記中間層（６）は、軟磁性コア（７）と、この軟磁性コア（７）の両面上に配置された非導電性の複数の軟磁性層（８，９）とから構成されることを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記コア（７）は、導電性の軟磁性金属から成る請求項２に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記コア（７）の透磁率は、２つの前記層（８，９）の透磁率よりも大きい請求項２又は３に記載の電磁誘導式エンコーダ。
複数の前記層（８，９）はそれぞれ、軟磁性粒子が封入されている非導電性のマトリックス材料を含む請求項２〜４のいずれか１項に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記コア（７）は、鋼から成り、複数の前記層（８，９）がそれぞれ、フラックス・フィールド・ディレクショナル・マテリアルから成るフィルムである請求項２〜５のいずれか１項に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記中間層（６．１）は、μメタルを含む請求項１に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記第１測定目盛（１１）は、第１目盛周期（Ｐ１）を有する周期的なインクリメンタル目盛であり、前記第２測定目盛（１２）は、前記第１目盛周期（Ｐ１）と僅かに異なる、第２目盛周期（Ｐ２）を有する周期的なインクリメンタル目盛であり、絶対位置測定が、バーニヤスケール原理に基づく請求項１〜７のいずれか１項に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記第１コイル装置（２１）と前記第２コイル装置（２２）とはそれぞれ、１つの励磁巻線（２１０，２２０）に割り当てられた前記測定目盛（１１，１２）の複数の目盛周期を同時に走査するために、前記１つの励磁巻線（２１０，２２０）と、互いに移相されている周期的な複数の走査巻線（２１１，２１２，２２１，２２２）とを有する請求項８に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記走査装置（２，２．１）は、１つの評価装置（３）を有し、結果として生成される１つの絶対位置（ＡＰ）を、前記位置に依存する第１走査信号（Ｓ１，Ｓ１１）と、前記位置に依存する第２走査信号（Ｓ２，Ｓ２１）とから生成し、デジタルデータ語として出力部に提供するように、この評価装置（３）は構成されている請求項１〜９のいずれか１項に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記スケール装置（１）は、Ｕ字形の形材であり、前記第１測定目盛（１１）と前記第２測定目盛（１２）とが互いに対向して、こＵ字形の形材の、互いに平行に延在する２つの脚部内に形成されている請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電磁誘導式エンコーダ。
前記第１測定目盛（１１）及び前記第２測定目盛（１２）はそれぞれ、前記Ｕ字形の形材の前記脚部内の連続する複数の歯と複数の歯間とから構成されている請求項１１に記載の電磁誘導式エンコーダ。