JP6342971B2 - 力検出装置及びロボット - Google Patents

力検出装置及びロボット Download PDF

Info

Publication number
JP6342971B2
JP6342971B2 JP2016221760A JP2016221760A JP6342971B2 JP 6342971 B2 JP6342971 B2 JP 6342971B2 JP 2016221760 A JP2016221760 A JP 2016221760A JP 2016221760 A JP2016221760 A JP 2016221760A JP 6342971 B2 JP6342971 B2 JP 6342971B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
force
force sensor
robot
attached
detection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016221760A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018080941A (ja
Inventor
陽一 井之上
陽一 井之上
淳哉 藤田
淳哉 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FANUC Corp
Original Assignee
FANUC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FANUC Corp filed Critical FANUC Corp
Priority to JP2016221760A priority Critical patent/JP6342971B2/ja
Priority to DE102017125925.2A priority patent/DE102017125925B4/de
Priority to US15/809,165 priority patent/US10471604B2/en
Priority to CN201910561996.6A priority patent/CN110125986B/zh
Priority to CN201711115913.8A priority patent/CN108068139B/zh
Publication of JP2018080941A publication Critical patent/JP2018080941A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6342971B2 publication Critical patent/JP6342971B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/085Force or torque sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02Sensing devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/06Safety devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0061Force sensors associated with industrial machines or actuators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • G01L5/226Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/40Robotics, robotics mapping to robotics vision
    • G05B2219/40201Detect contact, collision with human
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/40Robotics, robotics mapping to robotics vision
    • G05B2219/40202Human robot coexistence

Description

本発明は、構造体に作用する外力を検出する力検出装置、及び、その力検出装置が取付けられた構造体を有する産業用ロボットに関する。
近年、安全柵に代って人間の安全を十分に確保できる何らかの処置が行われた産業用ロボットについては、人間と協働して作業を実施できることとなった。このため、そのようなロボット、いわゆる協働ロボットの要望が高まってきている。
協働ロボットを使用する場合、人間とロボットとが作業空間を共有しているため、人間がロボットと接触して負傷してしまうことを防止する必要がある。そこで、ロボット本体に力検出装置(以下、力センサと呼ぶ。)を取付けて人間とロボットとの接触力を監視する方法が採用されている。例えば、力センサにより所定の閾値を超える接触力が検出されたとき、ロボットの動作を停止させる、あるいは接触力を軽減するようにロボットを動作させることが行われている。
前述のような力センサは、一般に、外力を受けて歪む被歪体としての力センサボディと、力センサボディに固定された歪検出器とを備えている。力センサボディを構造体に取付け、力センサボディの歪量を歪検出器により検出することにより、その検出値に基づき、構造体に作用した力の大きさや方向を認識することができる。特許文献1は、そのような力センサの一例として、構造が簡単な6軸力センサを提案している。
特開2009−74969号公報
力センサにおいては、一般に、力センサを構成する歪検出器の出力信号を力の値に変換するための校正パラメータを算出する、いわゆるキャリブレーションを力センサ単体において実施している。このため、力センサを実際に構造体に取付けた時に、力センサが取付けられた構造体の部分(以下、被取付部と称す。)の歪みや表面のうねりなどの影響により力センサ自体が歪んでしまうと、前述の校正パラメータに狂いが生じてしまう。これにより、力センサにより検出される力の値の誤差が大きくなるという問題が発生する。
特に、協働ロボットにおいては、力センサにより検出された接触力が所定の閾値を超えた時、ロボットの動作を停止するか、または接触力を軽減するようにロボットを動作させている。このため、前述のように力センサの検出値の誤差が大きくなると、接触の誤検出を避けるため、前記の閾値を高く設定する必要がある、つまり接触に対する感度を低く設定することになる。人間とロボットとが接触した時に、人間が許容できる接触力には限度があり、接触に対する感度が低いと協働ロボットの使い方に制限が増えてしまう。
そこで、従来、前述のような力センサの検出精度を高めるために、被取付部の歪みや表面のうねりなどを事前に除去してから、力センサを被取付部に取付けている。また、力センサの取付時に被取付部の歪みや表面のうねりなどの影響により力センサ自体が歪むことを防ぐ為に、力センサを高剛性の別部品を介して被取付部に取付けている。
しかし、被取付部を事前に全面研磨加工するなど、被取付部の歪みを事前に除去する方法をとると、被取付部の製造コストが高くなる。
一方、高剛性の別部品を使う取付方法の場合には、高剛性の別部品は比較的大きく且つ重い部品になる為、重量物に耐えられる設置環境に限定される、またはロボットの動作領域と高剛性の別部品とが干渉する為、ロボットの動作領域を制限する必要がある等、使用できる対象が限定されてしまうという問題が生じる。特にロボットを床以外にも、壁や天井に設置して使用する場合があるが、ロボットが重いと設置する壁又は天井も補強する必要があり、設置環境を準備する為のコストが高くなる。また、協働ロボットは安全柵なしで使用可能である為、生産ラインへのロボットの追加や削除を従来のロボットに比べて容易に行えるという利点があるが、重量が重いとロボットを簡単に移動できなくなる為、そのような協働ロボットの利点が低下する。また、高剛性の別部品を力センサに結合してユーザに提供する場合もあるが、大きさ、重量ともに増加する為、サイズ面で使い勝手が悪化し、運搬困難になる。
なお、特許文献1には、力センサの取付け時に被取付部の歪みや表面のうねりなどにより力センサボティが歪まないようにすることが可能な力センサの構造は全く開示されていない。
そこで本発明は、上述したような問題点に鑑み、力の検出精度が向上する構造を有する力検出装置、及び、該力検出装置を備えたロボットを提供することを目的とする。
本発明の第一態様によれば、外力を受けて歪む被歪体を備えた力検出装置であって、前記力検出装置が取付けられるべき被取付部に固定する部分である固定部を有し、前記固定部は、前記被取付部に対向させる前記被歪体の底部の底面よりも突出するように前記被歪体に設けられている、力検出装置が提供される。
本発明の第二態様によれば、上述した第一態様の力検出装置であって、前記被歪体には少なくとも3つの前記固定部が設けられている、力検出装置が提供される。
本発明の第三態様によれば、上述した第一態様又は第二態様の力検出装置であって、前記被歪体の前記底部と前記固定部との間に前記底部及び前記固定部の夫々の肉厚よりも薄い薄肉部を有する、力検出装置が提供される。
本発明の第四態様によれば、上述した第一態様から第三態様のいずれかの力検出装置であって、前記固定部の、前記被取付部と接する部分の面は、ボルト固定用通し穴の周囲のみに存在する、力検出装置が提供される。
本発明の第五態様によれば、上述した第一態様から第四態様のいずれかの力検出装置であって、上記の力検出装置を備えたロボットであって、該ロボットに作用する外力を前記力検出装置により検出するように構成されたロボットが提供される。
本発明によれば、力検出装置を固定部により床面などの被取付部に固定したときに、固定部以外の部分である被歪体の底部は被取付部と接触しないため、被取付部の歪みや表面のうねりなどによって被歪体が歪むのを防ぐことができる。これにより、力検出装置の取付け前にキャリブレーションが実施された力検出装置単体における被歪体の形状と、被取付部に取付けられた力検出装置の被歪体の形状との間の形状差を小さくできるので、力の検出精度が向上する。
さらに、力検出装置をロボットに取付けた場合、ロボットに作用する外力をより正確に検出することができる。例えば、人間と協働作業を行う協働ロボットにおいては、人間とロボットとが接触したことをより感度良く検出できるようになり、より柔軟にロボットを使用できるようになる。
また、事前の被取付部の歪みの除去や、高剛性の別部品が不要になる為、被取付部の製造コストを抑えることができる、力検出装置又は力検出装置が取付けられたロボットを小さくかつ軽量化することができる。
添付図面に示される本発明の典型的な実施形態の詳細な説明から、本発明のこれらの目的、特徴及び利点ならびに他の目的、特徴及び利点がさらに明確になるであろう。
本発明の力検出装置を備えた産業用ロボットの一例を模式的に示した側面図である。 本発明の力検出装置の一実施形態を斜め上方から見た図である。 一実施形態の力検出装置の正面図である。 一実施形態の力検出装置の上面図である。 一実施形態の力検出装置の下部側を示す図である。 他の実施形態の力検出装置の構造を示す斜視図である。
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。参照する図面において、同様の構成部分または機能部分には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これらの図面は縮尺を適宜変更している。また、図面に示される形態は本発明を実施するための一つの例であり、本発明は図示された形態に限定されるものではない。
図1は、本発明の力検出装置(以下、力センサと称す。)を備えた産業用ロボットの一例を模式的に示した側面図である。
図1に示されるロボット10は、例えば、垂直多関節型マニピュレータからなる産業用ロボットであって、人間と作業エリアを共有して人間と協働作業を行う協働ロボット(以下、単にロボットと呼ぶ。)である。ロボット10を床部Lに設置するため、床部L上には固定プレート11が固定されている。固定プレート11上に力センサ12が固定され、さらに、力センサ12上にロボット10の下部のロボットベース13が固定されている。
力センサ12は、ロボット10に作用する外力、例えば人間がロボット10と接触したときの力(いわゆる、接触力)を検出する装置である。力センサ12には、外力に起因する力センサボディの歪みを検出する歪検出器、例えば電気抵抗式歪ゲージが備えられている。力センサ12は、歪検出器の出力信号に基づいて、力センサボディに加わった力の値を算出するようになっている。
力センサ12は、固定プレート11とロボット10との間に取付けられているが、ロボット10の内部に取り付けられていてもよい。場合によっては、固定プレート11とロボット10との間や、ロボット10の内部に対し、複数個所に力センサ12が取付けられていてもよい。
また、力センサ12は、ロボット10以外の構造体に取付けられていてもよい。つまり、力センサ12を使用可能な対象は、産業用ロボットに限定されない。また、外力に起因する力センサボディの歪みを検出する歪検出器についても、歪ゲージに限定されない。静電容量センサ、圧電センサ、変位センサなども使用できる。
次に、前述のようなロボット10に使用可能な力センサ12の構造を具体的に説明する。図2は力センサ12単体を斜め上方から見た図、図3は力センサ12単体の正面図、図4は力センサ12単体の上面図、図5は、力センサ12単体の下部側を示す図である。
本実施形態の力センサ12は、外力を受けて歪む被歪体である円筒状の力センサボディ20と、力センサボディ20に固定された複数の歪検出器(図示せず)とを具備する。なお、力センサ12によって検出される外力には、トルクまたはモーメントなどが含まれる。
図2〜図5に示されるように、力センサボディ20は、プレート状の底部21と、底部21に対向するリング形状の天井部22と、底部21と天井部22との間に配置されていて底部21と天井部22を互いに連結する柱部23とを有する。
図2及び図4などから分かるように、本実施形態においては柱部23の数が4つであるが、本発明はその数に限定されない。
上記の力センサボディ20が外力を受けて底部21と天井部22とが相対的に移動したとき、各柱部23が変形する。このため、各柱部23に、不図示の歪検出器が固定されている。
本実施形態の力センサ12をロボット10(図1参照)に使用する場合には、力センサ12の下部となる底部21側を床面Lの固定プレート11に固定し、力センサ12の上部となる天井部22側にロボットベース13を取付けるようにする。
前述した力センサ12の場合、外力によって柱部23も歪むため、歪検出器の出力信号が変化する。各歪検出器の出力信号を力の値に換算することにより、力センサボディ20に作用した力の大きさ、向きを検出することができる。
さらに、前述した力センサ12においては、歪検出器の出力信号を力の値に変換するための校正パラメータを算出する、いわゆるキャリブレーションを行う必要がある。キャリブレーションの実施は、力センサ12をロボット10に取付けた後では非常に困難となるため、取付け前に力センサ12単体で行われている。しかし、力センサ12が取付けられる部分、すなわち被取付部が歪んでいる場合に、そのような被取付部に力センサ12を固定すると、その被取付部の歪みや表面のうねりなどの影響により力センサボティ20が歪んでしまう。この結果、力センサボティ20の形状がキャリブレーションを実施したときの形状から変わってしまうため、力センサ12による力の検出精度が低下する。この問題を解決するために、本明細書の段落0006に記載されたような被取付部の歪みなどを力センサ12の取付け前に除去する方法をとると、製造コストが高くなる。力センサ12を高剛性の別部品を介して被取付部に取付ける方法をとると、本明細書の段落0006に記載されたような問題が生じる。
そこで、本実施形態の力センサ12は、図2〜図5に示されるように、力センサ12が取付けられるべき被取付部にボルトなどによって固定する部分である固定部30を有する。この固定部30は、固定プレート11などの被取付部に対向させる力センサボティ20の底部21の底面21aよりも突出するように力センサボティ20と一体に形成されている。
上記の被取付部は、例えば、図1に示された床面L上の固定プレート11である。
このように固定部30を形成すると、力センサ12を床面L上の固定プレート11に固定したときに、固定部30以外の部分である力センサボティ20の底部21は固定プレート11と接触しない(特に図3参照)。
このため、力センサ12の取付け時に床面Lや固定プレート11などの歪みによって力センサボティ20が歪むのを防ぐことができる。
力センサ12の取付け前にキャリブレーションが実施された力センサ12単体での力センサボディ20と、被取付部に取付けられた力センサ12の力センサボディ20との間の形状差(変化)を小さくできるので、力の検出精度を高めることができる。
なお、床面Lなどの被取付部と力センサボティ20とが接触する部分を少なくするほど、力センサ12の取付け時に被取付部の歪みや表面のうねりなどによって力センサボティ20が歪むのを抑制できる。したがって、固定部30の数は、力センサ12を安定して固定できる最小限の数、すなわち、3つが最適である。但し、外力が大きく、力センサ12の強度が不足する場合は、固定部30の数を4本以上としても同様の効果が得られる。
図3及び図5などに示されるように、固定部30の、被取付部と接触する部分30aの面積は、面取りや溝加工などの方法によって、可能な限り小さくするのが好ましい。例えば図5から分かるように、本実施形態における固定部30の、被取付部と接する部分30aの面は、ボルト固定用通し穴の周囲のみに存在している。
さらに、図2及び図3などから分かるように、力センサボディ20の底部21と固定部30との間に底部21及び固定部30の夫々の肉厚よりも薄い薄肉部31を有することが好ましい。この事により、薄肉部31は底部21及び固定部30の夫々と比べて剛性が低く変形しやすい部分となる。力センサ12の固定部30を被取付部にボルトなどによって締結したときに薄肉部31が変形することによって、被取付部の歪みの表面のうねりなどを薄肉部31において吸収することができる。その結果、力センサ12の取付け時に被取付部の歪みなどによって力センサボティ20が歪むのを防ぐことができる。
また、前述のように被取付部の歪みなどを薄肉部31において吸収させるために、薄肉部31以外の部分については、剛性を高めるのが好ましい。このため、本実施形態においては、図2及び図4などに示されるように、力センサ12を構成する部品、例えば歪検出器の出力信号の処理回路などを力センサボディ20内に取付けるための開口部32は力センサボディ20の天井部22にのみ形成されている。つまり、そのような開口部32は力センサボディ20の底部21には形成されておらず、底部21以外の部分に形成されている。これにより、薄肉部31以外の部分である底部21の剛性を高くしている。
また、図6に示されるように、力センサボディ20の天井部22の上面には、ロボットベース13(図1参照)などの構造体を取付けるための取付面22aが天井部22の外方に突出するように設けられている。このように取付面22aを形成すると、力センサ12の上部となる天井部22にロボットベース13を取付けたときに、力センサボティ20の天井部22における取付面22a以外の部分はロボットベース13と接触しない。このため、ロボットベース13などの構造体の取付け時に構造体の歪みによって力センサボティ20が歪むのを防ぐことができる。
図6に示された例においては、リング状の天井部22の形状に合わせて取付面22aもリング状に設けられているが、取付面22aの形状はリング形状に限られない。力センサボディ20の天井部22とこれに取付けられる構造体とが接触する部分が小さくなるならば、取付面22aの形状はいかなる形状であってもよい。例えば、取付面22aの幅が可能な限り小さく形成されたり、取付面22aの角部が面取りされたりしていてもよい。また、固定プレート11に取付けられる側が、天井部22のような形状になっていてもよいし、あるいはロボットベース13に取付けられる側が、固定部30を有するような形状になっていてもよい。
以上に説明したような各実施形態の力センサ12をロボット10に取付けた場合、ロボット10に作用する外力をより正確に検出することができる。例えば、人間と協働作業を行う協働ロボットにおいては、人間とロボットとが接触したことをより感度良く検出できるようになり、より柔軟に協働ロボットを使用できるようになる。
また、本実施形態に限らず、力センサボディ20の歪みを検出して力を算出する原理を有する力センサにおいて、被取付部の歪みや表面のうねりの影響による力センサボディ自体の歪みは、力の検出精度を悪化させる。本発明はそのような原理を有する力センサすべてに対して有効といえる。
以上、典型的な実施形態を用いて本発明を説明したが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなしに、上述の各実施形態に変更及び種々の他の変更、省略、追加を行うことができるのを理解できるであろう。
10 ロボット
11 固定プレート
12 力センサ
13 ロボットベース
20 力センサボディ
21 底部
21a 底面
22 天井部
22a 取付部
23 柱部
30 固定部
31 薄肉部
32 開口部
35 凸部
36 取付部品
L 床面

Claims (6)

  1. 力検出装置(12)であって、
    力を受けて歪む被歪体(20)であって、底部(21)と、該底部から離隔して該底部と対向配置される天井部(22)と、該底部と該天井部との間で延在する柱部(23)と、を有する、被歪体(20)と、
    前記底部から、前記天井部とは反対側へ突出するように設けられ、前記力検出装置(12)が取付けられるべき第1の被取付部に固定する部分である第1の固定部(30)と、を有し、
    前記力検出装置(12)は、前記力検出装置(12)が取付けられるべき第2の被取付部に、前記天井部の側で固定される、力検出装置(12)。
  2. 前記天井部から、前記底部とは反対側へ突出するように設けられ、前記第2の被取付部に固定する部分である第2の固定部(22a)をさらに備える、請求項1に記載の力検出装置(12)。
  3. 前記被歪体(20)には少なくとも3つの前記第1の固定部(30)が設けられている、請求項1または2に記載の力検出装置(12)。
  4. 記底部(21)と前記第1の固定部(30)との間に前記底部(21)及び前記第1の固定部(30)の夫々の肉厚よりも薄い薄肉部(31)を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の力検出装置(12)。
  5. 前記第1の固定部(30)の、前記第1の被取付部と接触する部分(30a)の面は、ボルト固定用通し穴の周囲のみに存在する、請求項1からのいずれか一項に記載の力検出装置(12)。
  6. 請求項1からのいずれか一項に記載の力検出装置(12)を備えたロボット(10)であって、該ロボット(10)に作用する外力を前記力検出装置(12)により検出するように構成されたロボット(10)。
JP2016221760A 2016-11-14 2016-11-14 力検出装置及びロボット Active JP6342971B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016221760A JP6342971B2 (ja) 2016-11-14 2016-11-14 力検出装置及びロボット
DE102017125925.2A DE102017125925B4 (de) 2016-11-14 2017-11-07 Krafterfassungsvorrichtung und Roboter
US15/809,165 US10471604B2 (en) 2016-11-14 2017-11-10 Force detection device and robot
CN201910561996.6A CN110125986B (zh) 2016-11-14 2017-11-13 力检测装置及机器人
CN201711115913.8A CN108068139B (zh) 2016-11-14 2017-11-13 力检测装置及机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016221760A JP6342971B2 (ja) 2016-11-14 2016-11-14 力検出装置及びロボット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018080941A JP2018080941A (ja) 2018-05-24
JP6342971B2 true JP6342971B2 (ja) 2018-06-13

Family

ID=62026694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016221760A Active JP6342971B2 (ja) 2016-11-14 2016-11-14 力検出装置及びロボット

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10471604B2 (ja)
JP (1) JP6342971B2 (ja)
CN (2) CN110125986B (ja)
DE (1) DE102017125925B4 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019095318A (ja) * 2017-11-24 2019-06-20 ファナック株式会社 力検出装置およびロボット

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109176488B (zh) * 2018-09-28 2021-09-10 哈尔滨工业大学(深圳) 一种柔性机器人运动学标定方法及系统
JP7211007B2 (ja) * 2018-10-30 2023-01-24 セイコーエプソン株式会社 制御装置、ロボットシステムおよび制御方法
JP7400211B2 (ja) 2019-05-16 2023-12-19 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム、制御装置およびロボットの制御方法
JP7375345B2 (ja) 2019-06-27 2023-11-08 セイコーエプソン株式会社 ロボット
EP4043848A4 (en) * 2019-10-09 2023-11-01 Nidec Copal Electronics Corporation STRAIN SENSOR FIXING DEVICE AND TORQUE SENSOR USING SAME
JP7338407B2 (ja) 2019-10-31 2023-09-05 セイコーエプソン株式会社 ロボット
WO2021177147A1 (ja) 2020-03-05 2021-09-10 ファナック株式会社 力センサの診断装置およびロボット制御装置
CN112414606A (zh) * 2020-10-26 2021-02-26 珠海格力电器股份有限公司 测力传感器弹性体、测力传感器和具有其的运动控制设备
WO2022219784A1 (ja) 2021-04-15 2022-10-20 ファナック株式会社 搬送用脚部材及びロボット装置
WO2023162122A1 (ja) * 2022-02-25 2023-08-31 ファナック株式会社 力検出装置およびロボット

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57169643A (en) * 1981-04-13 1982-10-19 Yamato Scale Co Ltd Load cell for multiple components of force
DE3611336A1 (de) * 1986-04-04 1987-10-15 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Kraft-drehmoment-fuehler
US5263375A (en) * 1987-09-18 1993-11-23 Wacoh Corporation Contact detector using resistance elements and its application
FR2623284B1 (fr) 1987-11-13 1990-08-10 Logabex Capteur d'efforts spatiaux
JP2602590Y2 (ja) * 1992-02-20 2000-01-17 株式会社エンプラス 三軸用半導体力覚センサー
US5490427A (en) 1994-10-17 1996-02-13 Fanuc Usa Corporation Six axis force sensor employing multiple shear strain gages
US5526700A (en) * 1995-09-29 1996-06-18 Akeel; Hadi A. Six component force gage
CN1227535C (zh) 2002-07-02 2005-11-16 中国科学院合肥智能机械研究所 一种双e型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
JP4271475B2 (ja) * 2003-03-31 2009-06-03 株式会社ワコー 力検出装置
US7570065B2 (en) * 2006-03-01 2009-08-04 Loadstar Sensors Inc Cylindrical capacitive force sensing device and method
JP4585900B2 (ja) * 2005-03-28 2010-11-24 ファナック株式会社 六軸力センサ
JP5243704B2 (ja) * 2006-08-24 2013-07-24 本田技研工業株式会社 力覚センサ
JP5117804B2 (ja) * 2007-09-21 2013-01-16 株式会社豊田中央研究所 6軸力センサ
JP2012145497A (ja) 2011-01-13 2012-08-02 Fanuc Ltd 静電容量式力センサ
EP2546625B1 (en) * 2011-07-12 2016-04-13 Sensata Technologies, Inc. Force sensor assembly and method for assembling a force sensor assembly
US20130126249A1 (en) * 2011-11-22 2013-05-23 Simmonds Precision Products, Inc. Load cell and applications thereof
JP6168868B2 (ja) * 2012-06-29 2017-07-26 キヤノン株式会社 力覚センサ及び力覚センサを備えたロボットアーム
WO2014110682A1 (en) * 2013-01-18 2014-07-24 Robotiq Inc. Force/torque sensor, apparatus and method for robot teaching and operation
US8984962B2 (en) * 2013-03-15 2015-03-24 H. Aaron Christmann Rotatable torque-measuring apparatus and method
US9464930B2 (en) * 2013-03-15 2016-10-11 Larry D. Santi Load cell for a forklift with a first bridge arrangement consisting of strain gages mounted on the top and bottom external surfaces, and a second bridge arrangement consisting of strain gages mounted internal to a central aperture
US9404823B1 (en) * 2013-10-05 2016-08-02 Bertec Limited Load transducer and force measurement assembly using the same
US9032817B2 (en) * 2013-10-05 2015-05-19 Bertec Limited Low profile load transducer
US10126186B2 (en) * 2013-10-05 2018-11-13 Bertec Limited Load transducer system configured to correct for measurement errors in the output forces and/or moments of the system
US9513179B2 (en) * 2014-01-20 2016-12-06 Good Vibrations Engineering Ltd. Force moment sensor
JP6193816B2 (ja) * 2014-06-20 2017-09-06 ファナック株式会社 アームの退避機能を有する多関節ロボット
JP5980877B2 (ja) * 2014-10-23 2016-08-31 ファナック株式会社 ロボットに掛かる荷重を検知するためのシステム、ロボット、およびロボットシステム
JP6374765B2 (ja) * 2014-11-12 2018-08-15 本田技研工業株式会社 環状バネ、並びに、それを用いたトルク検出装置及びロボット関節機構
DE102015200514B3 (de) * 2015-01-15 2016-06-09 Kuka Roboter Gmbh Kraft-/Momenten-Sensorvorrichtung und Industrieroboter
US10350767B2 (en) * 2015-11-18 2019-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Sensor, driving mechanism, and robot
US10422707B2 (en) * 2016-01-19 2019-09-24 Ati Industrial Automation, Inc. Compact robotic force/torque sensor including strain gages
US10067019B2 (en) * 2016-01-25 2018-09-04 Ati Industrial Automation, Inc. Force and torque sensor having redundant instrumentation and operative to detect faults
JP2017172983A (ja) * 2016-03-18 2017-09-28 株式会社安川電機 ロボット及びトルクセンサ
US10632624B2 (en) * 2016-07-26 2020-04-28 Illinois Tool Works Inc. Tool holders for robotic systems having collision detection
JP6501746B2 (ja) * 2016-10-07 2019-04-17 キヤノン株式会社 変位測定装置、ロボット、ロボットアーム及び物品の製造方法
JP6824764B2 (ja) * 2017-01-27 2021-02-03 キヤノン株式会社 センサ、ロボット装置及び物品の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019095318A (ja) * 2017-11-24 2019-06-20 ファナック株式会社 力検出装置およびロボット
US10458867B2 (en) 2017-11-24 2019-10-29 Fanuc Corporation Force detecting device and robot

Also Published As

Publication number Publication date
DE102017125925A1 (de) 2018-05-17
JP2018080941A (ja) 2018-05-24
CN110125986A (zh) 2019-08-16
CN110125986B (zh) 2022-05-13
DE102017125925B4 (de) 2020-11-26
US20180133902A1 (en) 2018-05-17
CN108068139A (zh) 2018-05-25
US10471604B2 (en) 2019-11-12
CN108068139B (zh) 2020-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6342971B2 (ja) 力検出装置及びロボット
JP5283501B2 (ja) 寸法測定用プローブ
JP2012145497A (ja) 静電容量式力センサ
KR101914175B1 (ko) 열적 잡음 및 전기적 잡음을 최소화한 터치 프로브 및 관련 점검 방법
JP6469447B2 (ja) 多次元力覚/トルクセンサ
JP5357541B2 (ja) 方向変化検出手段を有する接触プローブ
KR102215343B1 (ko) 역각 센서
CN109834716B (zh) 力检测装置以及机器人
KR101876900B1 (ko) 압전 센서 및 단열부를 갖는 터치 프로브
JP6346052B2 (ja) ロードセル
US9534976B2 (en) Pressure sensor for vehicle in the event of a collision
EP2419695B1 (en) Displacement sensor
KR102012661B1 (ko) 토크 센서 및 이를 포함하는 동력 전달장치
CN110520705B (zh) 三轴力检测装置
JP2020190464A (ja) 加速度センサコアユニット、加速度センサを載置する基板のたわみを防止する方法
JP6986532B2 (ja) ボールねじ
JP2007062452A (ja) 歩行者衝突検出装置
US11964381B2 (en) Device for controlling a handling device
KR101594614B1 (ko) 하중센서 및 이를 이용한 차량용 승객 체중 감지장치
JP2015087291A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および温度補償方法
IT201800002407A1 (it) Sensore di contatto, particolarmente per piede di robot.
JP2005274230A (ja) 荷重センサの校正方法
JP2005164260A (ja) 加速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180412

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180424

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180517

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6342971

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150