JP2018117413A5 - エレクトレット基板およびその製造方法ならびに電気機械変換器 - Google Patents

Claims (4)

1. 基板上に、第１の複数の帯電用電極および第２の複数の帯電用電極を、前記第１の複数の帯電用電極と前記第２の複数の帯電用電極とが交互に配置されるように形成する工程と、
   前記基板上に、前記第１の複数の帯電用電極および前記第２の複数の帯電用電極を覆うように絶縁体層を形成する工程と、
   前記基板の上方に配置された放電用電極から前記基板に向けて放電により電子を放出させるとともに、前記第１の複数の帯電用電極と前記第２の複数の帯電用電極との間に絶縁破壊が生じない範囲内で前記放電中に前記第１の複数の帯電用電極の電位を前記第２の複数の帯電用電極よりも高く保つことにより、前記第１の複数の帯電用電極に対応する前記絶縁体層上の領域を帯電させる工程と、を有し、
   前記帯電させる工程では、前記放電中に、前記第２の複数の帯電用電極のうちの一部を残りの前記第２の複数の帯電用電極とは異なる電位に保つ
   ことを特徴とするエレクトレット基板の製造方法。
2. 前記帯電させる工程では、前記放電のための電圧源を前記第２の複数の帯電用電極と前記放電用電極との間に接続する、請求項１に記載の製造方法。
3. 基台と、
   前記基台上に配置された第１の複数の帯電用電極と、
   前記基台上に前記第１の複数の帯電用電極と交互に配置された第２の複数の帯電用電極と、
   前記第１の複数の帯電用電極および前記第２の複数の帯電用電極を覆うように前記基台上に形成された絶縁体層と、を有し、
   前記第１の複数の帯電用電極の直上の位置における前記絶縁体層は帯電領域であり、
   前記第２の複数の帯電用電極の直上の位置における前記絶縁体層は非帯電領域であり、
   複数の前記非帯電領域のうちの一部が残りの前記非帯電領域とは異なる電位である
   ことを特徴とするエレクトレット基板。
4. 請求項３に記載のエレクトレット基板と、
   前記エレクトレット基板の前記絶縁体層に対向して配置された固定基板と、
   前記固定基板の前記エレクトレット基板との対向面に配置された対向電極と、を有し、
   前記エレクトレット基板は前記固定基板との間で一定の距離を保って回転軸の周りを回転可能であり、
   入力された電力または動力に応じて前記帯電領域と前記対向電極との間で発生する静電的な相互作用により電力と動力の間の変換を行い、
   前記エレクトレット基板の回転方向が検出されるように前記対向電極から波形を出力する
   ことを特徴とする電気機械変換器。