JP2018117115A5 - - Google Patents
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Description
第２の載置台１２０は、基台１２１と、フォーカスリングヒーター１２２とを含んでいる。基台１２１は、例えば表面に陽極酸化被膜が形成されたアルミニウム等で構成されている。基台１２１は、支持部１４に支持されている。フォーカスリングヒーター１２２は、基台１２１に支持されている。フォーカスリングヒーター１２２は、上面が平坦な環状の形状とされ、当該上面がフォーカスリングＦＲの載置される載置面１２０ａとされている。フォーカスリングヒーター１２２は、ヒーターＨＴ２及び絶縁体１２３を有している。ヒーターＨＴ２は、絶縁体１２３の内部に設けられ、絶縁体１２３に内包されている。
外周領域１８ｂも、複数の分割領域に分割され、それぞれの分割領域にヒーターＨＴ２が設けられている。例えば、図１１に示すように、外周領域１８ｂは、周方向に、複数の分割領域に分割され、それぞれの分割領域にヒーターＨＴ２が設けられている。なお、図１１に示す分割領域の分割手法は、一例であり、これに限定されるものではない。外周領域１８ｂは、より多くの分割領域に分割してもよい。例えば、外周領域１８ｂは、外周に近いほど、角度幅が小さく、径方向の幅が狭い分割領域に分割してもよい。
ヒーターＨＴ１およびヒーターＨＴ２は、不図示の配線を介して、図１０に示す、ヒーター電源ＨＰに個別に接続されている。各ヒーターＨＴ１および各ヒーターＨＴ２には、ヒーター電源ＨＰから個別に調整された電力が供給される。
例えば、Ｓ jk、Ｓkj を以下の式（２６−１）のように定義し、Ｓ jCDを以下の式（２６−２）のように定義し、ｘ i1を以下の式（２６−３）のように表し、ｘi2を以下の式（２６−４）とし、ｘi3を以下の式（２６−５）とし、ｘi4を以下の式（２６−６）とする。
ここで、ｘ￣ j は、ｘ j の平均値である。ｘ￣Kは、ｘKの平均値である。ＣＤ￣は、ＣＤの平均値である。
生成部１０２ａは、上述の式（２５）を用いて、式（２６−１）−（２６−６）から、ｊ＝１〜４、ｋ＝１〜４について、Ｓ jk、ＳjCDをそれぞれ求め、式（２８）に代入して係数Ａ21、Ａ22、Ｆ21、Ｆ22の値を求める。
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