JP2018115903A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について図1,2,3,4を参照して説明する。図1,図2は、本発明の実施の形態1における圧力センサ(センサチップ)の構成を示す模式的な断面図である。また、図3,図4は、本発明の実施の形態1における圧力センサの一部構成を示す平面図である。図1は、図3のaa’線の断面を示している。また、図2は、図3の、bb’線の断面を示している。
次に、本発明の実施の形態2について図5,6,7,8を参照して説明する。図5,図6は、本発明の実施の形態2における圧力センサ(センサチップ)の構成を示す模式的な断面図である。また、図7,図8は、本発明の実施の形態2における圧力センサの一部構成を示す平面図である。図5は、図7のaa’線の断面を示している。また、図6は、図7の、bb’線の断面を示している。
Claims (3)
- 基台と、
前記基台の表面から離間して前記基台と向かい合う対向面を有するダイアフラムと、
前記ダイアフラムの前記基台と向かい合う対向面のうち前記ダイアフラムが変位可能とされている可動領域の内側に設けられた第1電極と、
前記基台の表面に設けられて前記第1電極と向かい合う第2電極と、
前記ダイアフラムの前記対向面のうち前記可動領域の外側の前記ダイアフラムの変位が規制されている参照領域に設けられた第1参照電極と、
前記基台の表面に設けられて前記第1参照電極に向かい合う第2参照電極と
を備えることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサにおいて、
前記ダイアフラムの前記対向面の上の前記第1電極の周囲に設けられて前記第1参照電極に接続された第3参照電極と、
前記基台の表面に設けられ、前記第2参照電極に接続されて前記第3参照電極に向かい合う第4参照電極と
を備え、
前記第1電極と前記第3参照電極および前記第2電極と前記第4参照電極の少なくとも一方は電気的に絶縁され、
前記第3参照電極の少なくとも一部は、前記ダイアフラムの前記可動領域に配置されている
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1または2記載の圧力センサにおいて、
前記第1参照電極と前記第2参照電極との間の容量を基準とし、前記ダイアフラムの変位による前記第1電極と前記第2電極と容量変化を圧力値に変換して出力するように構成された圧力値出力部を備える
ことを特徴とする圧力センサ。
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