JP2018115866A - 表面撮像装置、表面検査装置、および表面検査方法 - Google Patents
表面撮像装置、表面検査装置、および表面検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018115866A JP2018115866A JP2017004953A JP2017004953A JP2018115866A JP 2018115866 A JP2018115866 A JP 2018115866A JP 2017004953 A JP2017004953 A JP 2017004953A JP 2017004953 A JP2017004953 A JP 2017004953A JP 2018115866 A JP2018115866 A JP 2018115866A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- image
- light source
- reflected
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 187
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 71
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 84
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 17
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 8
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
例えば、表面検査工程の前工程で行われた洗浄における残留洗浄液が乾燥し被検査物の表面に付着する場合である。特に光を照射し、被検査物からの反射光の光量を検出して表面を検査する表面検査装置の場合、このような付着物は一般に輝度値が低下するので異常領域として検出される可能性のある、いわば擬似的な異常領域として表面検査系に潜在する。
なお、本実施の形態では、エンジンの吸気および排気のバルブ(以下、単にバルブという。)が挿入されるエンジンシリンダヘッドに設けられた、バルブが当接するバルブシートの面(以下、「シート面22」)を被検査物とした例について説明する。また、シート面22は、内面が円錐状とされ、対向する斜面を有する形状の被検査物の一例である。
すなわち、制御部24が照明部50Aおよびカメラ12を制御してシート面22を撮像し、画像Aを取得する。より具体的には、光源14Aから出射された第1照明光がハーフミラー18によって反射され、シート面22に照射される。シート面22に照射された第1照明光はレンズ16によって多方向の光線を含む照射光とされているため、図1に示すように、各方向に反射され、一部はハーフミラー18の方向へ反射されてハーフミラー18を介してカメラ12に入射される。画像Aは、シート面22の形状を反映して円環状に撮像される(以下、「円環画像」)。
次に、図7および図8を参照して、上述した本実施の形態に係る表面検査装置10(表面検査装置10A、表面検査装置10B)の校正(キャリブレーション)について説明する。表面検査装置10を用いた表面検査では、表面検査装置10A、あるいは表面検査装置10Bで撮像された画像A、あるいは画像Bにおける高精度な寸法計測が要求される場合がある。高精度な寸法計測を実現するためには、表面検査の対象である被検査物(例えばシート面22)とカメラ12とを配置した状態において、シート面22におけるカメラ画素分解能(1画素と実際の寸法との対応)を正しく校正しておく必要がある。そのため、本実施の形態では寸法校正のための治具(以下、「校正治具」)を用いている。なお、本実施の形態に係る校正治具は、表面検査装置10Aと10Bとで共通に用いられる。
図7(b)に示すように、突出部33のカメラ12側の先端には十字線が設けられており、この十字線と校正パターンCPの中心とが一致するようにカメラ12の光軸を調整することで、カメラ12を正対して位置決めする、すなわちカメラ12の光軸の適正化が可能となる。
11 結像レンズ
12 カメラ
14A、14B 光源
16 レンズ
18 ハーフミラー
20、20A、20B 表面撮像装置
22 シート面
24 制御部
24A CPU
24B ROM
24C RAM
24D I/O
30 校正治具
32 傘部
33 突出部
34 軸部
36 段差部
38 バルブガイド
40 端部
50A、50B 照明部
CP パターン
Claims (9)
- 第1の照射角度を有するとともに、一方の斜面で反射した光の一部を他方の斜面へ入射可能な対向する斜面を有する被検査物に光を照射する第1の光源と、
前記第1の照射角度よりも広い照射角度の第2の照射角度を有するとともに前記被検査物に光を照射する第2の光源と、
前記第1の光源および前記第2の光源の各々から照射されて前記対向する各々の斜面で最初に反射された反射光、および前記第1の光源および前記第2の光源の各々から照射されて前記一方の斜面から前記他方の斜面に反射され前記他方の斜面でさらに反射された反射光の各々の反射光を受光することで前記被検査物を撮像する撮像部と、
を含む表面撮像装置。 - 前記第1の光源は、光を発生する光発生部、および前記光発生部で発生した光を前記第1の照射角度の光束に変換するレンズを備え、
前記第2の光源は、前記第2の照射角度の光を発生する、リング状の発光部を有するリング照明である
請求項1に記載の表面撮像装置。 - 前記被検査物の前記一方の斜面および前記他方の斜面は、前記撮像部の光軸に対し略45度の角度をなす斜面である
請求項1または請求項2に記載の表面撮像装置。 - 前記被検査物は、エンジンの吸気および排気のバルブが当接する円環状のシート面である
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の表面撮像装置。 - バルブガイドに挿入される軸部と、前記軸部をバルブガイドに挿入した状態で前記シート面と前記撮像部との間の距離と同距離になるように軸部に配置され、かつ前記撮像部の撮像面側に予め定められた面積の模様が設けられた傘部と、を有する治具を用いて前記撮像部の撮像画像と実寸との対応の校正を行う
請求項4に記載の表面撮像装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の表面撮像装置と、
前記第1の光源からの光を照射して前記被検査物の第1の画像を取得した後、前記第2の光源からの光を照射して前記被検査物の第2の画像を取得するように前記撮像部を制御し、かつ前記第1の画像を用いて前記被検査物の表面の異常候補を抽出するとともに前記第2の画像を用いて前記異常候補が異常領域であるか否か判定する制御部と、
を含む表面検査装置。 - 前記制御部は、前記第1の画像における輝度値の分布により前記被検査物の表面の異常候補を抽出するとともに、前記第2の画像における前記異常候補に対応する領域の輝度値の分布により前記異常候補が異常領域であるか否か判定する
請求項6に記載の表面検査装置。 - 前記被検査物が、エンジンの吸気および排気のバルブが当接する円環状のシート面とされ、
前記制御部は、円環状の前記第1の画像が矩形状の画像に変換された画像を用いて前記被検査物の表面の異常候補を抽出し、円環状の前記第2の画像が矩形状の画像に変換された画像を用いて前記異常候補が異常領域であるか否か判定する
請求項6または請求項7に記載の表面検査装置。 - 第1の照射角度を有するとともに、一方の斜面で反射した光の一部を他方の斜面へ入射可能な対向する斜面を有する被検査物に光を照射する第1の光源と、前記第1の照射角度よりも広い照射角度の第2の照射角度を有するとともに前記被検査物に光を照射する第2の光源と、前記第1の光源および前記第2の光源の各々から照射されて前記対向する各々の斜面で最初に反射された反射光、および前記第1の光源および前記第2の光源の各々から照射されて前記一方の斜面から前記他方の斜面に反射され前記他方の斜面でさらに反射された反射光の各々の反射光を受光することで前記被検査物を撮像する撮像部と、を含む表面撮像装置を用いた表面検査方法であって、
制御部により、
前記第1の光源からの光を照射して前記被検査物の第1の画像を取得した後、前記第2の光源からの光を照射して前記被検査物の第2の画像を取得するように前記撮像部を制御し、かつ前記第1の画像を用いて前記被検査物の表面の異常候補を抽出するとともに前記第2の画像を用いて前記異常候補が異常領域であるか否か判定する
表面検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017004953A JP6826893B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 表面検査装置、および表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017004953A JP6826893B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 表面検査装置、および表面検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018115866A true JP2018115866A (ja) | 2018-07-26 |
JP6826893B2 JP6826893B2 (ja) | 2021-02-10 |
Family
ID=62985024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017004953A Active JP6826893B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 表面検査装置、および表面検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6826893B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03226660A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 筒状物内テーパー面検査装置 |
JPH05203584A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-08-10 | Toyota Motor Corp | ワーク表面特徴量検出装置 |
JP2001124533A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Nissan Motor Co Ltd | バルブシート面検査装置および検査方法 |
JP2003500665A (ja) * | 1999-05-25 | 2003-01-07 | キネティック リミテッド | 特殊用途の表面 |
JP2010107254A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Ledチップ検査装置、ledチップ検査方法 |
US20120038921A1 (en) * | 2010-08-10 | 2012-02-16 | Camtek Ltd. | Method and system for inspecting beveled objects |
JP2016080662A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面検査装置 |
JP2016145812A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-12 | 株式会社豊田中央研究所 | シート面検査用光学系、シート面検査装置およびシート面検査方法 |
-
2017
- 2017-01-16 JP JP2017004953A patent/JP6826893B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03226660A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 筒状物内テーパー面検査装置 |
JPH05203584A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-08-10 | Toyota Motor Corp | ワーク表面特徴量検出装置 |
JP2003500665A (ja) * | 1999-05-25 | 2003-01-07 | キネティック リミテッド | 特殊用途の表面 |
JP2001124533A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Nissan Motor Co Ltd | バルブシート面検査装置および検査方法 |
JP2010107254A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Ledチップ検査装置、ledチップ検査方法 |
US20120038921A1 (en) * | 2010-08-10 | 2012-02-16 | Camtek Ltd. | Method and system for inspecting beveled objects |
JP2016080662A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面検査装置 |
JP2016145812A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-12 | 株式会社豊田中央研究所 | シート面検査用光学系、シート面検査装置およびシート面検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6826893B2 (ja) | 2021-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9721337B2 (en) | Detecting defects on a wafer using defect-specific information | |
US7505619B2 (en) | System and method for conducting adaptive fourier filtering to detect defects in dense logic areas of an inspection surface | |
US8319960B2 (en) | Defect inspection system | |
TWI617801B (zh) | 晶圓檢查方法以及晶圓檢查裝置 | |
WO2017141611A1 (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
JP5097335B2 (ja) | プロセス変動のモニタシステムおよび方法 | |
KR102599933B1 (ko) | 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 | |
JP2005214980A (ja) | ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置 | |
JP4910128B2 (ja) | 対象物表面の欠陥検査方法 | |
JP2006138830A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2022024563A (ja) | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査システム | |
JP4523310B2 (ja) | 異物識別方法及び異物識別装置 | |
JP6826893B2 (ja) | 表面検査装置、および表面検査方法 | |
JP3078784B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
KR101885614B1 (ko) | 웨이퍼 검사 방법 및 웨이퍼 검사 장치 | |
JP2017166956A (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
JP4967132B2 (ja) | 対象物表面の欠陥検査方法 | |
JP6402082B2 (ja) | 表面撮像装置、表面検査装置、及び表面撮像方法 | |
JP4389761B2 (ja) | はんだ検査方法およびその方法を用いた基板検査装置 | |
JPH10242227A (ja) | ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置 | |
US20180275063A1 (en) | Semiconductor device inspection of metallic discontinuities | |
JP2011102765A (ja) | 撮像方法、画像処理方法および撮像・画像処理装置 | |
JP2012002605A (ja) | 溶接表面の欠陥検査方法 | |
JP2012103217A (ja) | 表面欠陥の検査装置 | |
KR20240085764A (ko) | 미세 파티클 검출 장치 및 이를 포함하는 자동 광학 검출기, 그리고 미세 파티클 검출 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6826893 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |