JP2001124533A - バルブシート面検査装置および検査方法 - Google Patents

バルブシート面検査装置および検査方法

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JP2001124533A
JP2001124533A JP30767599A JP30767599A JP2001124533A JP 2001124533 A JP2001124533 A JP 2001124533A JP 30767599 A JP30767599 A JP 30767599A JP 30767599 A JP30767599 A JP 30767599A JP 2001124533 A JP2001124533 A JP 2001124533A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光切断法を用いたシリンダヘッド面検査にお
いて、シリンダヘッド面に斜めにスリット光を照射する
配置であっても、正しい断面形状が測定できる技術を提
供する。 【解決手段】 センサヘッド10によってバルブシート
面にスリット光を斜めに照射し、光切断線の画像を視認
する。バルブシートの中心を回転軸としてスリット光源
視認された画像は、制御部60によって点列データに変
換され、さらに非線形的に歪んだ点列データを補正す
る。この結果、マスターワークの測定値との比較測定に
よって肉盛層の厚さの測定、欠肉の有無等を正確に予測
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車のエンジン
等に用いられるシリンダーヘッドのバルブシート面を検
査するバルブシート面検査装置に関し、特に、レーザー
溶接等によって肉盛された肉盛層の厚みを検査する技術
に関する。
【0002】
【従来の技術】シリンダーヘッドのバルブシートは、高
い寸法精度と耐磨耗性が要求される。従来、シリンダー
ヘッドのバルブシートは、アルミニウム合金のシリンダ
ーヘッド母体に下穴を機械加工し、その部分に鋳鉄製の
リング形状機械加工部品を打ち込み、しかる後、バルブ
が接合する面を仕上げ加工している。近年、燃焼効率の
向上を目的として、打ち込み式のバルブシートに代え
て、アルミ合金のシリンダーヘッド母体に、直接、銅合
金等の粉末を肉盛りする加工方法が開発されている。
【0003】この場合も、その肉盛層が最終的な形状に
切削加工(以下「仕上げ加工」という)されることによ
って、高い寸法精度および耐磨耗性を持つバルブシート
が作製される。
【0004】このような高性能なバルブシートを作製す
るためには、肉盛層の厚さ(高さ)を管理することが重
要である。例えば、仕上げ加工後の最終的なバルブシー
ト面に対して肉盛層の厚さが十分でない状態(欠肉)
は、仕上げ加工後のバルブシート面に窪みを生じさせ、
バルブシートの不良に直結する。一方、仕上げ加工の際
に削り取られる肉盛層が必要以上に厚すぎることは、肉
盛に使用される材料を無駄に消費することになるだけで
なく、母材に熱歪みを生じさせ、不具合の発生要因とな
る。
【0005】バルブシートを管理するためには、環状を
したバルブシートの全周、全幅について、肉盛層の厚さ
を正確に測定する必要がある。
【0006】バルブシート面の形状寸法、特に、肉盛層
の厚さを測定する技術として、光切断式センサを用いて
測定する技術が考えられる。光切断式センサとは、対象
にスリット光を照射して生ずる切断線をビデオカメラ等
の視認手段で観測することによって対象の高さや凸凹等
を検出するセンサである。
【0007】光切断式センサを用いて対象の高さを検出
する場合、スリット光を斜めに照射すると、切断光が歪
んで観測されるため、通常は、スリット光を対象に垂直
に照射することによって、正確な断面形状を測定してい
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バルブ
シートについて光切断式センサを用いて検査する場合、
スリット光をバルブシート面に垂直に照射する配置が難
しいことがある。例えば、スリット光をバルブシート面
に垂直に照射するようにスリット光源を配置すると、そ
れに伴ってビデオカメラがシリンダヘッドの面に近付き
すぎる場合がある。この場合、ビデオカメラの視野がシ
リンダヘッドのたてかべ部分等の構造物によって遮られ
てしまい、バルブシート全周を測定することが困難とな
るおそれがある。
【0009】一方、スリット光をバルブシート面に斜め
に照射することによってビデオカメラの視野角度を深く
とる配置が可能となり、ビデオカメラの視野を十分に確
保できる。ただし、スリット光がバルブシート面に斜め
に照射されるため、切断線が歪み、ビデオカメラで観測
される画像が非線形的に歪んでしまうという問題を生じ
る。このため、従来、仕上げ加工後のバルブシート面に
対する欠肉欠陥の有無の判断、仕上げ加工後に残る肉盛
層の厚さの推定、仕上げ加工後のバルブシート面に露出
してしまう母材部分の有無の推定を正確に行うことがで
きない場合があった。
【0010】本発明は、このような問題点を解決するた
めに成されたものである。したがって、本発明の目的
は、光切断式センサを利用してバルブシート面を検査す
る場合において、照射されるスリット光をバルブシート
面に対して垂直に照射できない場合であっても、バルブ
シート面の断面形状を正確に測定することができ、仕上
げ加工の際に削り取られる肉盛層の厚さの推定、仕上げ
加工後のバルブシート面に対する欠肉の有無の判断、仕
上げ加工後に残る肉盛層の推定、仕上げ加工後のバルブ
シート面に露出してしまう母材部分の有無の推定を正確
に行うことができるバルブシート面検査技術を提供する
ことである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、以下のように構成される。
【0012】請求項1に記載の発明は、スリット光源お
よび視認手段を備えたバルブシート面検査装置におい
て、バルブシート面にスリット光を照射するスリット光
源と、スリット光がバルブシート面に当たって形成され
る光切断線を視認する視認手段と、バルブシートの中心
を回転軸として前記スリット光源および前記視認手段を
バルブシート面に対して相対的に回転移動させる駆動手
段と、前記視認手段によって視認された光切断線の画像
を点列データに変換する点列データ変換手段と、バルブ
シート面にスリット光が斜めに照射されることによる前
記点列データの歪みを補正する補正手段とを有すること
を特徴とする。
【0013】請求項2に記載の発明は、さらに、前記補
正手段によって補正された点列データを記憶する記憶手
段を有することを特徴とする。
【0014】請求項3に記載の発明は、前記記憶手段
は、さらに前記スリット光源および前記視認手段の回転
軸の位置を記憶することを特徴とする。
【0015】請求項4に記載の発明は、前記記憶手段に
記憶された第1の点列データと第2の点列データとの差
分をとる差分手段を有することを特徴とする。
【0016】請求項5に記載の発明は、前記第1の点列
データは、予め寸法が明らかとなっているマスターワー
クを視認して得られた補正後の点列データであることを
特徴とする。
【0017】請求項6に記載の発明は、バルブシート面
検査装置は、バルブシート下穴に層を形成した後に切削
加工を行って作製されるバルブシート面を検査するもの
であり、前記第2の点列データは、前記切削加工前のバ
ルブシート面を視認して得られた補正後の点列データで
あり、さらに、前記差分手段による差分の結果に基づい
て、切削加工によって削り取られる層の厚さを計算し、
層の厚さが不十分な部分が発生するか否かを判断する欠
肉判断手段を有することを特徴とする。
【0018】請求項7に記載の発明は、バルブシート面
検査装置は、バルブシート下穴に層を形成した後に切削
加工を行って作製されるバルブシート面を検査するもの
であり、前記第2の点列データは、層の形成前のバルブ
シート下穴を視認して得られた補正後の点列データであ
り、さらに、前記差分手段による差分の結果に基づい
て、切削加工の際に残存する層の厚さを計算し、バルブ
シート下穴の母材が露出するか否かを判断する母材露出
判断手段を有することを特徴とする。
【0019】請求項8に記載の発明は、前記補正手段に
よって補正された点列データの芯触れの量に基づいてバ
ルブシートの位置精度を算出する位置精度算出手段を有
することを特徴とする。
【0020】請求項9に記載の発明は、スリット光源お
よび視認手段をバルブシートの中心を回転軸として回転
するとともに、スリット光源によってバルブシート面に
スリット光を照射し、スリット光がバルブシート面に当
たって形成される光切断線を前記視認手段によって視認
し、視認された光切断線に基づいて点列データに変換
し、バルブシート面にスリット光が斜めに照射されるこ
とによる前記点列データの歪みを補正することを特徴と
する。
【0021】
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、バルブ
シート面にスリット光が斜めに照射されることによる前
記点列データの歪みを補正する補正手段とを有するの
で、バルブシート面の法線方向に対し、スリット光を斜
めに照射する配置が可能となり、視認手段の視野が妨げ
られなくなり、バルブシートの全周に渡って測定しやす
くなる。また、バルブシート面の正確な断面形状を求め
ることができ、バルブシートの製造を適切に管理するこ
とができる。
【0022】請求項2または3に記載の発明によれば、
前記補正手段によって補正された点列データを記憶する
記憶手段を有するので、各工程毎のバルブシート面の正
確な断面形状を記憶しておいて、互いに比較することが
可能になる。
【0023】請求項4に記載の発明によれば、前記記憶
手段に記憶された第1の点列データと第2の点列データ
との差分をとる差分手段を有するので、各工程間におけ
るバルブシート面の変化を測定することができ、各工程
によってバルブシート面がどのように変化するかを正確
に予測することができる。
【0024】請求項5に記載の発明によれば、前記第1
の点列データは、予め寸法が明らかとなっているマスタ
ーワークを視認して得られた補正後の点列データである
ので、寸法通りに正確に加工されたバルブシート面の形
状と比較したときの各工程におけるバルブシート面の形
状の状態を検査することができ、最終的に正確に加工さ
れる場合のバルブシート面の状態、良否判別を最終的な
加工前に予測することができる。
【0025】請求項6に記載の発明によれば、前記差分
手段による差分の結果に基づいて、切削加工によって削
り取られる層の厚さを計算し、層の厚さが不十分な部分
が発生するか否かを判断する欠肉判断手段を有するの
で、切削加工の際に削り取られる層の厚さを正確に予想
でき、また、形成された層の厚さが十分でない場合をい
ちはやく判断できる。したがって、削り取られる層の厚
さが必要以上に多いことを避けて、層に使用される材料
を無駄に消費することを防止し、熱歪みの発生を防止し
てバルブシートの製作時の不具合を軽減できる。さら
に、層の厚さが不十分である場合の最終的な窪みの発生
を防止することができる。
【0026】請求項7に記載の発明によれば、前記差分
手段による差分の結果に基づいて、切削加工の際に残存
する層の厚さを計算し、バルブシート下穴の母材が露出
するか否かを判断する母材露出判断手段を有するので、
層の形成や最終的な切削加工の前に、母材が露出する否
かを判断することができ、バルブシート下穴作製時点
で、良否の決定をすることができ、早い時点でバルブシ
ート下穴の作成工程の不具合を発見できる。また、バル
ブシート面における層の最終的な厚さについての知見を
得ることができる。
【0027】請求項8に記載の発明によれば、前記補正
手段によって補正された点列データの芯触れの量に基づ
いてバルブシートの位置精度を算出する位置精度算出手
段を有するので、バルブシートの位置精度を簡便に検査
することができる。
【0028】請求項9に記載の発明によれば、バルブシ
ート面にスリット光が斜めに照射されることによる前記
点列データの歪みを補正するので、スリット光をバルブ
シー面に斜めに照射することによって視認手段の視野角
度を大きくした場合であっても、バルブシートの全周に
渡って正確な断面形状を求めることができ、バルブシー
ト面の正確な検査を行うことができる。
【0029】
【発明の実施の形態】以下、図面にしたがって、本発明
の一実施形態を詳細に説明する。
【0030】図1は、本発明の一実施形態であるバルブ
シート面検査装置の概略図を示す。バルブシート面検査
装置は、センサヘッド10を有する。センサヘッド10
は、光切断式センサのヘッドであり、検査するバルブシ
ート面にスリット光を照射して生ずる切断線を光源とは
異なる方向からビデオカメラ等の視認部で視認すること
によってバルブシート面の高さ、凸凹等を測定する。
【0031】また、バルブシート面検査装置には、セン
サヘッド10と検査対象であるシリンダヘッド100と
の相対的な位置関係を調整するための位置調整部20が
備えられている。この位置調整部20は、センサヘッド
10の位置を3軸方向に移動することができ、センサヘ
ッド10の回転軸とシリンダヘッド100のバルブシー
トの中心軸とを合わせることができる。また、センサヘ
ッド10が取り付けられた回転駆動部30は、バルブシ
ートの中心軸を回転軸として、センサヘッド10をシリ
ンダヘッド100のバルブシート面に対して相対的に回
転移動する。
【0032】なお、シリンダヘッド100を保持するた
めに治具70や作業台80が備えられている。作業台8
0はシム調整機構22を有しており、シリンダヘッド1
00の角度を調節することができる。
【0033】バルブシート面検査装置は、制御部60を
備える。制御部60は、センサヘッド10によって検出
された切断線の画像データに基づいて各種のデータ変換
および補正を行うとともに、位置調整部20や回転駆動
部30等の制御を行う。制御部60は、パーソナルコン
ピュータやエンジニアリングワークステーション等のコ
ンピュータを用いて構成することができ、センサヘッド
10や位置調整部20に接続される。
【0034】さらに、指示を行うためのデータを入力す
る入力部40、およびバルブシート面検査装置の検査結
果等を表示する表示部50が制御部60に接続されてい
る。
【0035】図2は、センサヘッド10の構成例を示す
概略図である。
【0036】センサヘッド10は、スリット光90を照
射するスリット光源部12とスリット光の画像を捉える
ための視認部14とを有する。スリット光源部12は、
スリット光90を照射する。照射されるスリット光90
は、断面が一方向に伸張された光であり、検査するワー
クの面(つまり、バルブシート面)の法線方向に対して
θsの角度をなすように斜めに照射される。このような
配置の結果、視認部14の視野が十分に確保される。な
お、スリット光源部12は、レーザー光源等で構成する
ことができる。
【0037】視認部14は、ワークにスリット光90を
照射して生ずる切断線92をスリット光の光軸とは異な
る方向から観測するための手段であり、ビデオカメラ、
イメージセンサ、その他撮像手段が含まれる。精度を高
める上では、スリット光源部12の光軸と視認部14の
軸とは90度になるように設計することができる。
【0038】図3は、バルブシート面検査装置の機能を
説明するためのブロック図である。
【0039】上述したようにスリット光源部12と視認
部14とはセンサヘッド10を構成する。また、センサ
ヘッド10の回転軸とバルブシートの中心軸とが正確に
一致するように位置調整部20によって調節された後、
回転駆動部30は、スリット光源部12と視認部14が
一体となったセンサヘッド10をバルブシート面に対し
て相対的に回転移動する。視認部14は、スリット光を
照射して生ずる切断線92をバルブシート面の各地点で
観測し、観測された切断線92の画像データは、制御部
60に出力される。
【0040】制御部60は、以下の機能を有する。
【0041】点列データ変換部61は、視野部14から
入力された画像データを点列データに変換する。点列デ
ータは、バルブシート面上の各観測地点毎の断面形状を
示すものである。点列データは、バルブシートの全周に
渡って作成される。
【0042】歪み補正部62は、点列データ変換部61
によって変換された点列データの歪を補正するものであ
る。本発明のバルブシート面検査装置におけるスリット
光源部12は、バルブシート面の法線方向に対してθs
の角度をなすように斜めにスリット光90を照射するも
のであるため、スリット光90の切断線92の画像が歪
む。その結果、切断線92の画像データを点列データに
変換しただけでは、正確な断面形状を示すことができな
い。したがって、歪み補正部62は、正確な断面形状を
表示できるように、補正計算を行い、点列データを補正
する。
【0043】第1記憶部63および第2記憶部64は、
各々、測定された断面形状を示す補正された点列データ
を記憶するメモリである。例えば、第1記憶部63は、
仕上げ加工を施して正確な形状に加工された良品のバル
ブシート面の断面形状を示す点列データを基準値として
記憶する。一方、第2記憶部64は、不良判別を行うた
めに検査する各々のバルブシート面の断面形状を示す点
列データを記憶する。さらに、第1記憶部63および第
2記憶部64は、センサヘッド10を構成しているスリ
ット光源部12および視認部14の回転軸の位置を記憶
しておくこともできる。なお、1つのメモリ素子のメモ
リ領域を2つに分けて、各メモリ領域を第1記憶部63
と第2記憶部64として使用することもできる。
【0044】差分計算部65は、第1記憶部63に記憶
されている点列データと、第2記憶部64に記憶されて
いる点列データとの差分をとるものである。例えば、差
分計算部65は、検査をするバルブシート面の断面形状
を示す補正された点列データと、基準値として記憶され
ている仕上げ処理後のバルブシート面に関する点列デー
タとの差分をとる。差分計算部65による差分計算の結
果に基づいて、判断部67は、肉盛層の厚さ、欠肉が生
じるか否か、および仕上げ処理によって母材が露出する
か否か等の判断を行う。
【0045】なお、判断部67による判断結果は、表示
部50に表示することができ、肉盛層の厚さ等の算出結
果は表示部50にグラフィック表示することができる。
また、制御部60には、位置調整部20や回転駆動部3
0を制御する駆動制御部66が備えられている。
【0046】以上のように構成されるバルブシート面検
査装置を実際にバルブシート面の検査に適用した実施形
態を説明する。
【0047】図4は、検査の対象となるシリンダヘッド
100の底面図である。シリンダヘッド100には、給
気ポート112と排気ポート114が設けられている。
給気ポート112と排気ポート114は、各々環状をし
たバルブシート110を備えている。但し、給気ポート
112と排気ポート114とでは、そのバルブシート1
10の径が異なっていてもよい。
【0048】この環状をしたバルブシート110は、シ
リンダーピストン機構の中でも、精度および耐磨耗性が
要求される重要な部分である。そのため、本発明は、バ
ルブシート110の全周に渡ってバルブシート110の
面を検査する。したがって、図5に示すように、バルブ
シート110の中心軸とセンサヘッド10の回転軸とが
一致するように調整され、センサヘッド10(すなわち
スリット光源部12と視認部14とが一体的に構成され
たもの)がバルブシート110の面に対して相対的に回
転移動される。その結果、バルブシート110の周上の
各地点におけるバルブシート110の断面形状を示す点
列データを得ることができる。
【0049】図6は、検査される各バルブシート110
の断面形状を模式的に示した図である。バルブシート1
10の面(以下、「バルブシート面」という)は、その
各工程毎に種々の断面形状を持つ。
【0050】図6(A)に示すように、バルブシート1
10は、アルミニウム等の金属を鋳造して所定の素材形
状を持つように形成されたバルブシート下穴(母材)1
20の上に、耐磨耗性の高い金属のビードを肉盛して肉
盛層122を形成したグリッド構造を持つ。したがっ
て、バルブシート面は、丸みをおびた曲面となることが
多い。
【0051】次に図6(B)に示すように、肉盛層12
2が形成されたバルブシート110が基準面126、1
28等にしたがって仕上げ加工され、寸法通りに仕上げ
加工されたワーク124が作成される。
【0052】図6(C)は、肉盛層122が形成された
バルブシート110の断面形状と、正確に所定の寸法通
りに仕上げ加工されたバルブシートの断面形状(基準面
126、128)とを比較した様子を示す。肉盛層12
2の高さが、基準面126、128よりも低い部分は、
欠肉130であり、仕上げ加工された後に窪みとなる。
また、肉盛層122の高さから、仕上げ加工後のバルブ
シート面の高さ(基準面126および128)を差し引
いた差分は、仕上げ加工によって削り取られる肉盛層1
22の厚みを示す。
【0053】以上のように、バルブシート110の断面
形状を測定し、寸法通り仕上げ加工されたバルブシート
の断面形状(基準面126、128)と比較することに
よって、欠肉の有無や、仕上げ加工によって削り取られ
る肉盛層122の厚さ等を検査することができる。
【0054】しかしながら、バルブシート面が平面では
なく、面上の位置によって高さが変化する曲面であるこ
とから、面の法線方向からθsの角度を持って斜めにス
リット光90を照射する場合、そのまま切断線92を観
測したのみでは、画像が歪んでしまって高さ方向の測定
値を正確に求めることが難しい。
【0055】図7および図8は、バルブシート面の法線
方向とθsの角度をなすように斜めにスリット光90が
照射される場合の画像の歪みの内容を示す。
【0056】図7(A)は、バルブシート面に垂直にス
リット光90が照射される場合を示す。図7(B)は、
バルブシート面上の切断線92の画像データを断面形状
を示す点列データに変換した結果を示す。縦軸が、バル
ブシート110の面の高さ(変位)を表している。
【0057】一方、図8(A)は、バルブシート面の法
線方向とθsの角度をなすように斜めにスリット光90
が照射される場合を示す。図8(B)は、バルブシート
面上の切断線92の画像を断面形状を示す点列データに
変換した結果を示す。
【0058】図7(B)と図8(B)とを比較すると、
バルブシート面110の法線方向に対してθsの角度を
なすように斜めにスリット光90が照射された場合、幅
方向の値(図中の横軸)は変化しないが、高さ方向の値
(図中の縦軸)が誇張される。さらに、バルブシート1
10の曲面上の高さに依存して歪みの具合が異なるた
め、図7(B)と図8(B)に示された断面形状は、相
似形にならない。このため、バルブシート面のような曲
面に対して斜めにスリット光90を照射して断面形状を
観察する際には、画像が非線形的に画像が歪み、正確な
断面形状を検出することが困難となる。本発明のバルブ
シート面検査装置は、この歪みを補正するために歪み補
正部62を備えている。以下、この歪み補正部62によ
る補正の内容について説明する。
【0059】図9、図10、および図11は、歪み補正
部62による補正の内容を説明するための説明図であ
る。
【0060】<検査対象物の面に対して斜めにスリット
光が照射されることの考慮>図9は、対象物の変位(例
えば、バルブシート面の「高さ」に相当する)の基準値
mに対して±Δrの変化(段差)がある場合を模式的
に示している。
【0061】図中、基準値となる変位、および、基準値
よりΔrだけ大きい変位、ならびに基準値よりΔrだけ
低い変位は、それぞれ同心円で表されている。
【0062】この検査対象物の面の法線方向に対してθ
sの角度だけ傾いてスリット光90が照射される場合、
基準となる半径rmの円に対して半径がΔrだけ小さい
円で観測される変位をΔds1とし、基準となる半径rm
の円に対して半径がΔrだけ大きい円で観察される変位
をΔdS2とすると、図に示したように|Δds1|>|
Δds2|となる。
【0063】観測された変位から実際の円の半径r(r
=rm+Δr)を補正計算する式を求める。
【0064】観測される変位を図中のd軸上に表す。半
径rmの円でセンサヘッド10によって観測される変位
をd0とし、半径r(=rm+Δr)の円でセンサヘッド
10によって観測される変位をd(=d0+Δds2)と
する。
【0065】直角三角形αβγに着目すると、幾何学的
に、実際の半径rは、式1のように導き出せる。
【0066】
【数1】
【0067】したがって、実際の変位(段差)Δrは、
式2のように導き出せる。
【0068】
【数2】
【0069】<センサが下向きに45度の迎角をもって
いることの考慮>バルブシートを測定する場合、センサ
ヘッド10は、下向きに45度の迎角を持っている。し
たがって、図9で求めた補正計算式を適用するために、
センサヘッド10が下向きに45度の迎角を持っている
ことに基づく修正を加える必要がある。
【0070】図10はバルブシート面を測定する場合の
バルブシート110とセンサヘッド10との位置関係を
模式的に示す図であり、バルブシート110の中心軸方
向に沿った断面図である。
【0071】図10において、センサヘッド10の迎角
は45度である。r0は、センサヘッド10からバルブ
シート面(より、正確にはバルブシート面は幅を持つの
で、センサヘッド10の光軸中心が位置するバルブシー
ト面上の位置)までのスリット光90の光軸に沿った距
離(以下、「スタンドオフ」という)である。また、R
0は、バルブシート110の半径である(より正確に
は、バルブシート110の面は、幅を持つので、センサ
ヘッド10の光軸中心が位置するバルブシート面上の位
置とバルブシートの中心軸との距離をR0とする)。ま
た、バルブシート面の法線方向、すなわち、肉盛の盛り
上がり方向をd方向とする。なお、センサヘッド10の
センサ光軸はとd方向に対してθsの角度を持つ。ま
た、lは、バルブシート面におけるセンサヘッド10の
光軸の中心を0としたときののスリット光断面伸長方向
に沿った距離であり、バルブシート110の外周に向か
う方向を正にとっている。
【0072】また、バルブシート110の中心軸に向か
う半径方向をR方向とし、上述のようにバルブシート面
の法線方向(すなわち、バルブシートの軸に沿った断面
における斜面に直交する方向)をd方向とし、スリット
光90の断面伸長方向をl方向とする。
【0073】図9で説明した補正計算の結果を使用する
ために、観測される位置dやθsのR方向への寄与分を
求める。
【0074】バルブシート面に対し観測されるd方向に
沿った位置をd0とすると、その位置の変化ΔdのR方
向への寄与率は、1/√2である。したがって、式1お
よび式2のrmをR0とし、d−d0を(d−d0)/√2
と置き換えることができる。
【0075】また、図11に示したように、R方向から
見た法線(図9でいう円の接線と直交する線)とスリッ
ト光90とのなす角度θs′と、d方向から見た法線
(図9でいう円の接線と直交する線、すなわちバルブシ
ート面の盛り上がり方向の法線)とスリット光90との
なす角度θsとの関係は、式3および式4によって表さ
れる。
【0076】
【数3】
【0077】
【数4】
【0078】式3および式4におけるR方向から見たス
リット光90の成す角度θs′が図9におけるθsに該
当する。したがって、式1および式2のsinθsおよ
びcosθsをsinθs′およびcosθs′で置き
換えることで、以下の補正式が成り立つ。
【0079】但し、基準となる実際の円の半径は、l方
向の位置、すなわち、スリット光90の断面伸長方向に
沿った位置によって変化する。この点を考慮して、R0
を(r0+l)/√2と置き換える。また最終的に知り
たいのは、バルブシート面の肉盛等の盛り上がり方向、
すなわちd方向の変位であるΔrであり、Δrは、Δr
=√2ΔRと表される。
【0080】これらの結果を利用することによって、変
位Δrは、式5のように導き出される。
【0081】
【数5】
【0082】したがって、歪み補正部62は、式5にし
たがって、点列データを補正し、正確な断面形状を算出
することができる。
【0083】以上のように構成されるバルブシート面検
査装置を用いて、各種の検査を行うためには、センサヘ
ッド10を回転させる回転軸等の初期調整(キャリブレ
ーション)を行う必要がある。図12および図13に初
期調整をする場合の概略構成を示す。
【0084】キャリブレーションを行う場合、キャリブ
レーション用マスターピース140が測定される。
【0085】キャリブレーション用マスターピース14
0は、精度が確かめられたワークである。バルブシート
面検査装置は、スピンドル33を備えており、通常はス
ピンドル33にはセンサヘッド10が取り付けられてい
る。ただし、バルブシート面検査装置は、センサヘッド
10の代わりにマスターヘッド34を取り付けることが
できる。マスターヘッド34にはゲージA35、および
ゲージB36が取り付けられており、駆動制御部66等
によって、ゲージA35およびゲージB36の目盛りを
自動的に読み込むことによって、面振や偏心がないよう
に調整する。
【0086】次に、マスターヘッド34に代えて、セン
サヘッド10を装着し、キャリブレーション用マスター
ピース140の傾斜面141およびエッジ部分142の
位置を測定する。この測定結果を基にして、センサヘッ
ド10のオフセット(Xs,Ys、Zs、θs)を調整
する。以上のようにセンサヘッド10とマスターヘッド
34を着脱自在に構成することによって、初期調整の処
理が容易になる。
【0087】初期調整を行った後、各種の検査を行うモ
ードに入る。
【0088】バルブシート面検査装置は、複数種類の検
査に使用することができる。具体的には、仕上げ加工に
よって削り取られる肉盛層122の厚さ、欠肉130の
有無の判断、仕上げ加工後に残る肉盛層122の厚さ、
仕上げ加工後にシート面に母材が露出するか否かの判
断、および、バルブシート下穴の位置精度についての検
査および検査を行うことができる。
【0089】<仕上げ加工で削り取られる肉盛層の厚
さ、および欠肉の有無の判断>図14は、仕上げ加工で
削り取られる肉盛層122の厚さの推定、および欠肉1
30の有無の判断を行う測定内容を説明するためのバル
ブシート110の断面図であるバルブシート110の構
成は、母材を鋳造して所定の素材形状を持つようにバル
ブシート下穴120を形成した段階(肉盛前の段階)、
肉盛して肉盛層122を形成した段階、および、肉盛層
122を所定の形状になるように仕上げ加工(切削加
工)して最終的な形状124となった段階によって異な
る。
【0090】バルブシート面検査装置は、まず、正確に
所定寸法通りに仕上げ加工されていることが確認されて
いるワーク(以下、「マスターワーク」と称する)のバ
ルブシート面を測定する。すなわち、図14に示される
最終的な製品の形状124が測定される。測定は、バル
ブシート110の全周および全幅に渡って行われる。
【0091】マスターワークのバルブシート面の測定結
果、すなわち断面形状を示す点列データは、第1記憶部
63に記憶される。
【0092】一方、肉盛層122の形成されたバルブシ
ート面が測定される。測定は、マスターワークのバルブ
シート面の測定と同様に行われる。肉盛層122が形成
されたバルブシート面の測定結果、すなわち断面形状を
示す点列データは、第2記憶部64に一時記憶される。
【0093】図15は、マスターワークのバルブシート
面の測定結果と肉盛層122の形成されたバルブシート
面の測定結果を示す。なお、マスターワークのバルブシ
ート面の断面形状は、台形形状をしている。したがっ
て、マスターワークのバルブシート面の測定領域は、区
間1(斜辺部)、区間2(上底部)、および区間3(斜
辺部)に分けられ、それぞれの領域における測定結果
は、基準面126、127、および128で表される。
【0094】一方、肉盛層122の形成されたバルブシ
ート面の測定結果122aは、マスターワークのバルブ
シート面の測定結果(基準面126、127、128)
と比較される。
【0095】図16は、マスターワークのバルブシート
面の測定結果と肉盛層122が形成されたバルブシート
面の測定結果とを比較して説明するための図である。
【0096】肉盛層122の形成されたバルブシート面
は、仕上げ加工によって、最終的な形状124、すなわ
ち、マスターワークの面まで切削される。したがって、
肉盛層122の形成されたバルブシート面の測定結果
(点列データ)122aから、マスターワークのバルブ
シート面の測定結果の基準面126、127、および1
28(点列データ)の値を差し引いた値(図中の矢印で
示した値)が、仕上げ加工によって、削り取られる肉盛
層122の厚さである。
【0097】一方、差し引いた値が負である部分、すな
わち、肉盛層122の形成されたバルブシート面の測定
結果122aが、もともとマスターワークのバルブシー
ト面の測定結果の基準面126、127、128の値よ
りも小さい部分は、欠肉130となる。バルブシート面
が最終的にマスターワークのバルブシート面の基準面1
26、127、128に仕上げ加工される場合、欠肉1
30の部分は肉盛層122の厚さが不十分であるため最
終的にバルブシート面に窪みが生じることになる。
【0098】なお、削り取られる肉盛層122の厚さの
推定、および、欠肉部分130の有無の判断は、区間
1、区間2、および区間3の各区間毎に行うことができ
る。
【0099】以上のように、マスターワークのバルブシ
ート面の断面形状を示す点列データ(基準面126、1
27、128のデータ)を記憶しておき、肉盛層122
の形成された(仕上げ加工前の)バルブシート面の断面
形状を示す点列データ(測定値122a)との差分をと
ることによって、仕上げ加工によって削り取られる肉盛
層の厚さ、および欠肉130の有無が判断できる。
【0100】<仕上げ加工後に残る肉厚層の厚さ、仕上
げ加工後にシート面に母材が露出するか否かの判断>図
17は、仕上げ加工後に残る肉盛層122の厚さの推
定、仕上げ加工後にシート面に母材が露出するか否かの
判断を行う測定内容を説明するためのバルブシート11
0の断面図である。
【0101】図17には、母材を鋳造して所定の素材形
状を持つようにバルブシート下穴が形成された段階(肉
盛層の形成前)のバルブシート面の形状が符号120a
で示されている。図17に示した、バルブシート下穴を
形成した段階(肉盛層の形成前)のバルブシート形状1
20aは、形状不良を起こしており、本来の形状120
bに比べて位置がずれている。
【0102】バルブシート面検査装置は、マスターワー
クのバルブシート面の形状を測定し、その測定結果を第
1記憶部63に記憶する点は図14に示した場合と同様
である。図14に示したように、仕上げ加工で削り取ら
れる肉盛層122の厚さや欠肉130の有無の判断を行
う場合は、マスターワークの測定結果と肉盛層122が
形成されたバルブシート面の測定結果とを比較したが、
本測定では、マスターワークの測定結果とバルブシート
下穴が形成された(肉盛層122の形成前の)バルブシ
ート面の測定結果と比較する。
【0103】図18は、マスターワークのバルブシート
面の測定結果と肉盛層122の形成前のバルブシート面
の測定結果とを比較して説明するための図である。
【0104】バルブシート下穴が形成された(肉盛層1
22の形成前の)バルブシート面の測定結果120a、
および、マスターワークのバルブシート面の測定結果
(基準面126、127、128)が示されている。
【0105】マスターワークのバルブシート面の測定結
果である点列データ(基準面126、127、128)
から、バルブシート下穴形成後(肉盛層122の形成
前)のバルブシート面の測定結果である点列データ12
0aを差し引いた値が、仕上げ加工後に残存する肉盛層
122の厚さとなる。また、差し引いた値が負である部
分、すなわち、マスターワークのバルブシート面の測定
結果(基準面126、127、128の値)が、バルブ
シート下穴形成後(肉盛層122の形成前)のバルブシ
ート面の測定結果120aよりも小さい部分は、仕上げ
加工によって、肉盛層がすべて削り取られてしまい、母
材が表面に露出する部分となる。
【0106】以上のように、マスターワークのバルブシ
ート面の測定結果である点列データ(基準面)、およ
び、バルブシート下穴形成後(肉盛層122の形成前)
のバルブシート面の測定結果である点列データとの差分
をとることによって、仕上げ加工後に残る肉盛層の値を
推定することができ、また、仕上げ加工後に母材が露出
するか否かを判断することができる。
【0107】<バルブシート下穴の位置精度についての
検査>バルブシート下穴形成後のバルブシート面を全
周、全幅に渡って測定する。測定結果である点列データ
によって芯振れの程度を観測でき、芯振れ量から、バル
ブシート下穴の位置精度を算出することができる。図1
9に測定結果例を示す。
【0108】以上のように構成され、バルブシート面の
各種検査および検査を行うことができるバルブシート面
検査装置の処理内容をフローチャートにしたがって説明
する。
【0109】図20は、バルブシート面の形状測定処理
について示すフローチャートである。
【0110】まず、位置調節部20は、センサヘッド1
0の回転軸とバルブシート110の中心軸とを確実に合
わせるように初期調整を行う。初期調整は、キャリブレ
ーション用マスターピース140を測定することよって
行うことができる。回転駆動部30を構成しているスピ
ンドル33は、センサヘッド10の変わりにマスターヘ
ッド34を装着することができるように構成される。ゲ
ージA35およびゲージB36が取り付けられているマ
スターヘッドをスピンドル33に装着し、ゲージの値を
駆動制御部66で検出する。この検出結果に応じて、位
置調整部20は、3軸方向にセンサ位置を移動して位置
調整を行う。これによって、センサヘッド10の回転軸
とバルブシート110の中心軸とが一致し、面振や偏心
が防止される。 さらに、マスターヘッド34に代えて
センサヘッド10が装着され、キャリブレーション用マ
スターピース130の傾斜面141およびエッジ部14
2の位置が測定される。また、スリット光源部12の中
心位置、および照射されるスリット光90の照射角度θ
sが設定される。
【0111】初期調整の後、バルブシート面検査装置に
は、検査対象となるシリンダーヘッド100が装着され
る。シリンダヘッド100は、治具70および作業台8
0によって固定される(S20)。
【0112】センサヘッド10のスリット光源部12か
らスリット光90がシリンダーヘッド100のバルブシ
ート面に対して照射される(S30)。スリット光90
は、断面形状が一方向に伸長された光である。スリット
光源部12は、スリット光90をバルブシート面の法線
方向に対してθsの角度を持って斜めに照射する。この
結果、スリット光源部と一体に取り付けられている視認
部14の視野が広くとることができ、バルブシートのエ
ッジ付近の構造物によって視認部14の視野が遮られる
ことが防止される。この結果、バルブシート面110の
全周に渡って測定することが容易になる。
【0113】次に視認部14は、バルブシート面にスリ
ット光90が照射されることによって生ずる切断線92
をスリット光の光軸とは異なる方向から観測し、観測さ
れた切断線92の画像データは、点列データ変換部61
によって、断面形状を示す点列データに変換される(S
40)。但し、バルブシート面の法線方向に対してθs
の角度をなすように斜めにスリット光90が照射される
関係上、非線形的に画像が歪み、点列データにも歪みが
生じる。したがって、歪み補正部62は、点列データ変
換部61によって変換された点列データの歪みを補正す
る(S50)。歪みの補正は、バルブシート面の高さに
依存した歪みの非線形的変化、およびセンサヘッド10
の迎角を考慮した補正計算式にしたがってなされる。
【0114】歪みが補正された点列データは、測定結果
として、第1記憶部63または第2記憶部64に記憶さ
れる(S60)。
【0115】こうして、マスターワークのバルブシート
面、肉盛層122の形成後のバルブシート面、および、
バルブシート下穴形成後(肉盛層122の形成前)のバ
ルブシート面の断面形状が測定される。
【0116】図21は、仕上げ加工で削り取られる肉盛
層の厚さ、および欠肉欠陥の有無を判断する処理を示す
フローチャートである。
【0117】最初に、図20に示したフローチャートに
したがって、マスターワークのバルブシートの形状測定
がされる(S101)。このマスターワークのバルブシ
ート面の測定結果である補正された点列データとセンサ
ヘッド10の回転軸の位置とが第1記憶部63に記録さ
れる(S102)。
【0118】次に、肉盛層122が形成されたバルブシ
ート面の測定がされる(S103)。測定結果である補
正された点列データは第2記憶部64に記憶される。な
お、肉盛層122が形成されたバルブシート面の測定の
際のセンサヘッド10の回転軸の位置は、第1記憶部6
3に記憶されているマスターワークのバルブシート面測
定時の回転軸の位置と一致するように設定される。
【0119】差分計算部65は、肉盛層122が形成さ
れたバルブシート面の測定結果122aとマスターワー
クのバルブシート面の測定結果(基準線126、12
7、128の値)を比較する(S104)。肉盛層12
2が形成されたバルブシート面の測定結果122aか
ら、マスターワークのバルブシート面の測定結果(基準
線126、127、128)を差し引いた値が仕上げ加
工で削り取られる肉盛層の厚さとなる(S105)。
【0120】また、判断部67は、差分の結果に基い
て、肉盛層122が形成されたバルブシート面の測定結
果122aがマスターワークのバルブシート面の測定結
果(基準線126、127、128)よりも小さい部
分、すなわち、肉盛層122の形成されたバルブシート
面の高さがマスターワークのバルブシート面の高さより
低い部分があるか否かを判断する(S106)。その結
果、肉盛層122が形成されたバルブシート面の高さが
マスターワークのバルブシート面の高さより低い部分が
ない場合、判断部67は、欠肉130がない旨を判断さ
れる(S107)。一方、肉盛層122の形成されたバ
ルブシート面の高さががマスターワークのバルブシート
面の高さよりも低い部分がある場合、判断部67は、欠
肉不良がある旨を判断する(S108)。
【0121】最終的に算出された削り取られる肉盛層1
22の厚さ、および、欠肉130の有無の判断結果が、
表示部50に表示される(S109)。
【0122】これによって、バルブシート面の肉盛層1
22の管理を適切に行うことができる。
【0123】図22は、仕上げ加工後に残存する肉盛層
122の厚さ、母材露出部分の有無、および、バルブシ
ート下穴の位置精度をを判断する処理を示すフローチャ
ートである。
【0124】最初にマスターワークのバルブシートの形
状測定がされ、その測定結果と回転軸の位置とが第1記
憶部63に記憶される点は、図21の場合と同様である
(S201、S202)。なお、測定結果は、マスター
ワークのバルブシートの断面形状を示す点列データであ
り、歪み補正部62によって補正されたものである。
【0125】次にバルブシート下穴の形成後(肉盛層1
22の形成前)のバルブシート面(母材の素材形状)が
測定される(S203)。測定結果は第2記憶部64に
記憶される。
【0126】差分計算部65は、マスターワークのバル
ブシート面の測定結果(基準線126、127、128
の値)と下穴形成後(肉盛層122の形成前)のバルブ
シート面の測定結果120aとを比較する(S20
4)。実際は、マスターワークのバルブシート面の測定
結果(基準線126、127、128)の値から、下穴
形成後(肉盛層122の形成前)のバルブシート面の測
定結果120aの値を差し引いた値が仕上げ加工後に残
存する肉盛層122の厚さとなる。
【0127】また、判断部67は、差分の結果に基い
て、マスターワークのバルブシート面の測定結果122
aが、下穴形成後(肉盛層122の形成前)のワークの
バルブシート面の測定結果120aよりも小さいか否
か、すなわち、下穴形成後のバルブシート面の高さがマ
スターワークのバルブシート面の高さよりも高い部分が
あるか否かを判断する(S205)。その結果、下穴形
成後のワークのバルブシート面の高さがマスターワーク
のバルブシート面の高さより高い部分がある場合は、仕
上げ加工によって、肉盛層がすべて削り取られて母材が
露出することになると判断する(S206)。
【0128】また、下穴形成後のバルブシート面を全周
に渡って測定した結果を基にして、芯振れ量を算出し、
芯振れ量から下穴位置の精度を算出する(S207、S
208)。判断部67は、算出結果を基にして下穴形状
の位置精度が所定値よりも低いか否かを判断する。位置
精度が所定値に達していない場合は、下穴位置不良と判
断し(S209、S210)、位置精度が所定値よりも
高精度であれば、良品と判断する(S209、S21
1)。
【0129】判断結果は、表示部50に表示される(S
212)。これによって、バルブシートの下穴形成工程
の管理を適切に行うことができる。
【0130】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態は、スリット光源部12と視認部14とからなる光
切断式センサのセンサヘッド10を用いて、バルブシー
ト面の検査、検査を行うことができるものであり、スリ
ット光90をバルブシート面に垂直に照射する必要をな
くすことで、視認部14の視野を広くとることを可能と
するものである。さらに、スリット光がバルブシート面
に斜めに照射されることに起因する歪みを補正し、正確
な断面形状を測定することができるように構成されてい
る。この結果、特に、肉盛層122の形成後のバルブシ
ート面のような曲面の形状を検査する場合でも、正確な
断面形状を測定することができる。さらに、マスター形
状の測定結果を記録しておき、このマスター形状の測定
結果との差分をとることで、肉盛層の厚さや欠肉欠陥の
有無、および、母材露出不良の有無などを検査、検査で
きるので、高精度な寸法精度が要求されるバルブシート
製作工程を管理するために利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 バルブシート面検査装置の概略図である。
【図2】 センサヘッドの構成例を示す図である。
【図3】 バルブシート面検査装置の機能を示すブロッ
ク図である。
【図4】 検査の対象となるシリンダヘッドの底面図で
ある。
【図5】 バルブシートとセンサヘッドの配置関係を示
す図である。
【図6】 検査される各工程毎のバルブシートの断面形
状を模式的に示した断面図である。
【図7】 バルブシート面に垂直にスリット光が照射さ
れる場合の説明図である。
【図8】 バルブシート面に斜めにスリット光が照射さ
れる場合の説明図である。
【図9】 歪み補正部における補正の内容を説明するた
めの図である。
【図10】 補正の内容を説明するためにバルブシート
トセンサヘッドの位置関係を示す図である。
【図11】 補正の内容を説明するための図である。
【図12】 面芯や偏心を防止するための初期調整時の
概略構成を示す図である。
【図13】 オフセットを調整するための初期調整時の
概略構成を示す図である。
【図14】 仕上げ加工で削り取られる肉盛層の厚さ推
定、欠肉の有無の判断を行う測定内容を示すためのバル
ブシート110の断面図である。
【図15】 マスターワークのバルブシート面および肉
盛層の形成されたバルブシート面の測定結果を示す図で
ある。
【図16】 マスターワークのバルブシート面および肉
盛層の形成されたバルブシート面の測定結果を比較する
図である。
【図17】 仕上げ加工後に残る肉盛層の厚さ推定を行
う測定内容を示すためのバルブシート110の断面図で
ある。
【図18】 マスターワークのバルブシート面および肉
盛層の形成前のバルブシート面の測定結果とを比較する
図である。
【図19】 芯触れ量の測定結果例を示す図である。
【図20】 バルブシート面の形状測定処理について示
すフローチャートである。
【図21】 仕上げ加工で削り取られる肉盛層の厚さ、
および欠肉の有無を判断する処理を示すフローチャート
である。
【図22】 仕上げ加工後に残存する肉盛層の厚さ、母
材露出部分の有無等を判断する処理を示すフローチャー
トである。
【符号の説明】
10…センサヘッド、 12…スリット光源部、 14…視認部、 20…位置調整部、 22…シム調整機構 30…回転駆動部、 33…スピンドル、 34…マスターヘッド、 35、36…ゲージ、 40…入力部、 50…表示部、 60…制御部、 61…点列データ変換部、 62…歪み補正部、 63…第1記憶部、 64…第2記憶部、 65…差分計算部、 66…駆動制御部、 67…判断部、 70…治具、 80…作業台、 90…スリット光、 92…切断線、 100…シリンダヘッド、 110…バルブシート、 112…給気ポート、 114…排気ポート、 120…バルブシート下穴(母材)、 122…肉盛層 124…寸法通りに仕上げ加工されたワーク(マスター
ワーク) 126、127、128…基準面、 130…欠肉、 140…キャリブレーション用マスターピース、 141…傾斜面、 142…エッジ部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA24 AA30 AA53 CC00 CC11 EE08 FF01 FF02 FF09 FF61 HH05 HH12 JJ03 JJ26 MM04 MM09 QQ13 QQ23 RR08 SS04 SS13 2G051 AA90 AB13 AC15 BA10 BA20 BC06 BC07 CA03 CA04 CD04 CD05 CD07 EA08 EA12 EA14 EB01 EB02 FA10

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スリット光源および視認手段を備えたバ
    ルブシート面検査装置において、 バルブシート面にスリット光を照射するスリット光源
    と、 スリット光がバルブシート面に当たって形成される光切
    断線を視認する視認手段と、 バルブシートの中心を回転軸として前記スリット光源お
    よび前記視認手段をバルブシート面に対して相対的に回
    転移動させる駆動手段と、 前記視認手段によって視認された光切断線の画像を点列
    データに変換する点列データ変換手段と、 バルブシート面にスリット光が斜めに照射されることに
    よる前記点列データの歪みを補正する補正手段とを有す
    ることを特徴とするバルブシート面検査装置。
  2. 【請求項2】 さらに、前記補正手段によって補正され
    た点列データを記憶する記憶手段を有することを特徴と
    する請求項1に記載のバルブシート面検査装置。
  3. 【請求項3】 前記記憶手段は、さらに前記スリット光
    源および前記視認手段の回転軸の位置を記憶することを
    特徴とする請求項2に記載のバルブシート面検査装置。
  4. 【請求項4】 前記記憶手段に記憶された第1の点列デ
    ータと第2の点列データとの差分をとる差分手段を有す
    ることを特徴とする請求項2に記載のバルブシート面検
    査装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の点列データは、予め寸法が明
    らかとなっているマスターワークを視認して得られた補
    正後の点列データであることを特徴とする請求項4に記
    載のバルブシート面検査装置。
  6. 【請求項6】 バルブシート面検査装置は、バルブシー
    ト下穴に層を形成した後に切削加工を行って作製される
    バルブシート面を検査するものであり、 前記第2の点列データは、前記切削加工前のバルブシー
    ト面を視認して得られた補正後の点列データであり、 さらに、前記差分手段による差分の結果に基づいて、切
    削加工によって削り取られる層の厚さを計算し、層の厚
    さが不十分な部分が発生するか否かを判断する欠肉判断
    手段を有することを特徴とする請求項5に記載のバルブ
    シート面検査装置。
  7. 【請求項7】 バルブシート面検査装置は、バルブシー
    ト下穴に層を形成した後に切削加工を行って作製される
    バルブシート面を検査するものであり、 前記第2の点列データは、層の形成前のバルブシート下
    穴を視認して得られた補正後の点列データであり、 さらに、前記差分手段による差分の結果に基づいて、切
    削加工の際に残存する層の厚さを計算し、バルブシート
    下穴の母材が露出するか否かを判断する母材露出判断手
    段を有することを特徴とする請求項5に記載のバルブシ
    ート面検査装置。
  8. 【請求項8】 前記補正手段によって補正された点列デ
    ータの芯触れの量に基づいてバルブシートの位置精度を
    算出する位置精度算出手段を有することを特徴とする請
    求項1に記載のバルブシート面検査装置。
  9. 【請求項9】 スリット光源および視認手段をバルブシ
    ートの中心を回転軸として回転するとともに、 スリット光源によってバルブシート面にスリット光を照
    射し、 スリット光がバルブシート面に当たって形成される光切
    断線を前記視認手段によって視認し、 視認された光切断線に基づいて点列データに変換し、 バルブシート面にスリット光が斜めに照射されることに
    よる前記点列データの歪みを補正することを特徴とする
    バルブシート面検査方法。
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