JP2018115392A - Aldコーティングによるガスコンテナ内部の保護 - Google Patents
Aldコーティングによるガスコンテナ内部の保護 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ガスコンテナ410のポート411に取り付け可能なポートアセンブリ424を備える吸排気マニホールドを設け、反応ガスを、供給管路441、443、ポートアセンブリおよびポートを介してガスコンテナ内部へと順次供給することで、ガスコンテナ内部を順次自己飽和表面反応に暴露し、反応残渣を、排気管路432、ポートおよびポートアセンブリを介してガスコンテナから真空ポンプによって送り出す。
【選択図】図4
Description
Claims (1)
- ガスコンテナ内部を保護する方法であって、
前記ガスコンテナのポートに取り付け可能なポートアセンブリを備える吸排気マニホールドを設けることと;
反応ガスを、前記ポートアセンブリおよび前記ポートを介して前記ガスコンテナ内部へと順次供給することで、前記ガスコンテナ内部を順次自己飽和表面反応に暴露することと;
反応残渣を、前記ガスコンテナから前記ポートおよび前記ポートアセンブリを介してポンプによって送り出すことと;
を含む、方法。
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