JP2018105621A - 磁気センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁場に対する角度を容易に調整することができると共に検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる磁気センサ装置を提供する。【解決手段】磁気センサ装置1は、基板20の角部25及び角部26に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部2を備えて概略構成されている。この磁気抵抗素子は、1つの円形の領域を分割した4つの扇形状の領域に配置されて磁気センサを構成し、対向する磁気抵抗素子が磁場55の方向によって磁気抵抗が変わる感磁部27の方向を同じにしてそれぞれ電気的に接続されてハーフブリッジ回路を形成し、角部25及び角部26に配置された第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4によってフルブリッジ回路が形成されている。【選択図】図1
Description
本発明は、磁気センサ装置に関する。
従来の技術として、第1磁気抵抗素子と第4磁気抵抗素子を直列に繋いだ第1磁気抵抗と、第2磁気抵抗素子と第3磁気抵抗素子を直列に繋いだ第2磁気抵抗と、第5磁気抵抗素子と第8磁気抵抗素子を直列に繋いだ第3磁気抵抗と、第6磁気抵抗素子と第7磁気抵抗素子を直列に繋いだ第4磁気抵抗と、によってフルブリッジ回路を構成した磁気センサが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この磁気センサは、矩形の領域に形成された磁気抵抗素子が4つずつ集まって1つの矩形の領域を形成して基板の複数の角部に離れて配置される。具体的には、基板の一方の角には、第1磁気抵抗素子〜第4磁気抵抗素子が配置され、他方の角には、第5磁気抵抗素子〜第8磁気抵抗素子が配置されている。
しかし従来の磁気センサは、バイアス磁石の磁場の方向に合わせるため、4つの磁気抵抗素子が配置された1つの矩形の領域の基板に対する角度を調整しようとすると、当該矩形の領域の頂点が基板からはみ出る可能があるので調整できる角度に制限があり、また頂点がはみ出ないように当該矩形の領域を小さくすると検出精度の低下や磁気抵抗値の低下を招く問題がある。
従って本発明の目的は、磁場に対する角度を容易に調整することができると共に検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる磁気センサ装置を提供することにある。
本発明の一態様は、基板の複数の角部に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部を備えた磁気センサ装置を提供する。
本発明によれば、磁場に対する角度を容易に調整することができると共に検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。
(実施の形態の要約)
実施の形態に係る磁気センサ装置は、基板の複数の角部に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部を備えて概略構成されている。
実施の形態に係る磁気センサ装置は、基板の複数の角部に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部を備えて概略構成されている。
この磁気センサ装置は、磁気抵抗素子が基板の角部の円形の領域を分割した扇形状の領域に配置されている。従って磁気センサ装置は、この構成を採用しない場合と比べて、円形の領域の中心を回転中心として磁気抵抗素子の回転が可能となり、磁場に対する磁気抵抗素子の角度を容易に調整することができ、また磁気抵抗素子の大きさを変えずに適切な角度に調整することができるので検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。
[実施の形態]
(磁気センサ装置1の概要)
図1(a)は、実施の形態に係る磁気センサ装置の一例を示す概略図であり、図1(b)は、磁石と磁気センサ部の位置関係の一例を示す側面図であり、図1(c)は、第1の磁気センサと第2の磁気センサの一例を示す概略図である。図2(a)は、実施の形態に係る磁気センサ装置の第1の磁気センサの一例を示す等価回路図であり、図2(b)は、第2の磁気センサの一例を示す等価回路図であり、図2(c)は、磁気抵抗素子の構成の一例を説明するための概略図である。図2(c)は、基板20に対する角度以外は、磁気抵抗素子の主要な構成が同じであるので、第4の磁気抵抗素子34の一部を代表して示している。なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。
(磁気センサ装置1の概要)
図1(a)は、実施の形態に係る磁気センサ装置の一例を示す概略図であり、図1(b)は、磁石と磁気センサ部の位置関係の一例を示す側面図であり、図1(c)は、第1の磁気センサと第2の磁気センサの一例を示す概略図である。図2(a)は、実施の形態に係る磁気センサ装置の第1の磁気センサの一例を示す等価回路図であり、図2(b)は、第2の磁気センサの一例を示す等価回路図であり、図2(c)は、磁気抵抗素子の構成の一例を説明するための概略図である。図2(c)は、基板20に対する角度以外は、磁気抵抗素子の主要な構成が同じであるので、第4の磁気抵抗素子34の一部を代表して示している。なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。
この磁気センサ装置1は、例えば、図1(a)に示すように、検出対象物9の移動や接近を検出するように構成されている。この検出対象物9は、一例として、段差90が設けられ、この段差90と磁石5との距離の変化に伴って磁場55を変化させる。磁気センサ装置1は、この磁場55の変化を検出するように構成されている。なお検出対象物9は、例えば、車両に搭載されたデファレンシャルギアなどのギアやトランスミッションのカム、シャフトであるがこれに限定されない。
磁気センサ装置1は、例えば、図1(a)〜図1(c)に示すように、基板20の両角部に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部2を備えて概略構成されている。
この磁気抵抗素子は、1つの円形の領域を分割した4つの扇形状の領域に配置されて磁気センサを構成し、対向する磁気抵抗素子が磁場55の方向によって磁気抵抗が変わる後述する感磁部27の方向を同じにしてそれぞれ電気的に接続されてハーフブリッジ回路を形成し、両角部に配置された2つの磁気センサ(第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4)によってフルブリッジ回路が形成されている。
なお円形の領域に形成される扇形状の領域は、4つに限定されず、一例として、8つなどであっても良い。
第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、複数の磁気抵抗素子がコモンセントロイド配置されている。また第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、基板20に対してコモンセントロイド配置とされている。
この基板20の両角部とは、例えば、基板20の長手方向の角部である角部25及び角部26である。また円形の領域とは、角部25の円形領域30、及び角部26の円形領域40である。さらに扇形状の領域とは、第1の扇領域301〜第4の扇領域304、及び第5の扇領域401〜第8の扇領域404である。またさらに複数の磁気抵抗素子とは、第1の磁気抵抗素子31〜第4の磁気抵抗素子34、及び第5の磁気抵抗素子41〜第8の磁気抵抗素子44である。
角部25の円形領域30には、例えば、図1(c)及び図2(a)に示すように、第1の磁気抵抗素子31〜第4の磁気抵抗素子34から構成されるハーフブリッジ回路が形成されている。また角部26の円形領域40には、例えば、図1(c)及び図2(b)に示すように、第5の磁気抵抗素子41〜第8の磁気抵抗素子44から構成されるハーフブリッジ回路が形成されている。
(磁気センサ部2の構成)
磁気センサ部2は、例えば、図1(c)に示すように、基板20と、第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4を備えている。この第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、ウエハ上に形成される。基板20は、ウエハから切り出されたチップの基板部分である。
磁気センサ部2は、例えば、図1(c)に示すように、基板20と、第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4を備えている。この第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、ウエハ上に形成される。基板20は、ウエハから切り出されたチップの基板部分である。
第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、この長方形の基板20の長手方向の角部25及び角部26に設けられている。第1の磁気センサ3は、第1の磁気抵抗素子31〜第4の磁気抵抗素子34によって構成されている。また第2の磁気センサ4は、第5の磁気抵抗素子41〜第8の磁気抵抗素子44によって構成されている。
第1の磁気抵抗素子31及び第2の磁気抵抗素子32は、図2(a)に示すように、直列に接続され、第1の磁気抵抗素子31の一端には電源電圧VCCが印加されている。また第3の磁気抵抗素子33と第4の磁気抵抗素子34は、直列に接続され、第4の磁気抵抗素子34の一端が接地回路と接続される。そして第2の磁気抵抗素子32と第3の磁気抵抗素子33の接続点であるノード35からは、中点電位V1が出力される。
第5の磁気抵抗素子41及び第6の磁気抵抗素子42は、図2(b)に示すように、直列に接続され、第5の磁気抵抗素子41の一端には電源電圧VCCが印加されている。また第7の磁気抵抗素子43と第8の磁気抵抗素子44は、直列に接続され、第8の磁気抵抗素子44の一端が接地回路と接続される。そして第6の磁気抵抗素子42と第7の磁気抵抗素子43の接続点であるノード45からは、中点電位V2が出力される。
この中点電位V1及び中点電位V2は、例えば、オペアンプの非反転入力端子及び反転入力端子に入力されて差動増幅されてしきい値と比較される。マイクロコンピュータなどの制御部は、一例として、この比較の結果に基づいて検出対象物9の移動やギアの回転数などを判定する。
第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4を構成する磁気抵抗素子の感磁部27は、一例として、Ni、Fe、Coなどの強磁性体金属を主成分とした膜を用いて形成される。この感磁部27は、作用する磁場55の方向によって磁気抵抗が変化する部分である。
この感磁部27は、例えば、図2(c)に点線で示す扇領域の形状に合わせて等間隔に並んで形成される。なお図2(c)では、第4の扇領域304に形成された第4の磁気抵抗素子34の感磁部27の一部を示している。
隣り合う感磁部27は、例えば、図2(c)に示すように、磁場55の変化によって抵抗値が殆ど変化しないアルミニウムなどの金属材料からなる接続部28によって電気的に接続されている。この接続部28は、感磁部27の端部を交互に代えて接続する。
角部25の円形領域30は、例えば、図1(c)に示すように、第1の扇領域301〜第4の扇領域304に等分割され、時計回りに並んでいる。第1の扇領域301には、例えば、図1(c)の紙面において縦方向に感磁部27が並ぶ第1の磁気抵抗素子31が形成されている。また第2の扇領域302には、例えば、図1(c)の紙面において横方向に感磁部27が並ぶ第3の磁気抵抗素子33が形成されている。また第3の扇領域303には、例えば、図1(c)の紙面において縦方向に感磁部27が並ぶ第2の磁気抵抗素子32が形成されている。さらに第4の扇領域304には、例えば、図1(c)の紙面において横方向に感磁部27が並ぶ第4の磁気抵抗素子34が形成されている。
第1の磁気センサ3は、対向する扇領域の感磁部27が同方向に並んで直列に接続されている。
角部26の円形領域40は、例えば、図1(c)に示すように、第5の扇領域401〜第8の扇領域404に等分割され、時計回りに並んでいる。第5の扇領域401には、例えば、図1(c)の紙面において縦方向に感磁部27が並ぶ第7の磁気抵抗素子43が形成されている。また第6の扇領域402には、例えば、図1(c)の紙面において横方向に感磁部27が並ぶ第5の磁気抵抗素子41が形成されている。また第7の扇領域403には、例えば、図1(c)の紙面において縦方向に感磁部27が並ぶ第8の磁気抵抗素子44が形成されている。さらに第8の扇領域404には、例えば、図1(c)の紙面において横方向に感磁部27が並ぶ第6の磁気抵抗素子42が形成されている。
第2の磁気センサ4は、第1の磁気センサ3と同様に、対向する扇領域の感磁部27が同方向に並んで直列に接続されている。
図1(c)では、第1の磁気抵抗素子31、第2の磁気抵抗素子32、第7の磁気抵抗素子43及び第8の磁気抵抗素子44の感磁部27が基準7に対して平行であり、第3の磁気抵抗素子33、第4の磁気抵抗素子34、第5の磁気抵抗素子41及び第6の磁気抵抗素子42の感磁部27が基準7に直交している。なお感磁部27の配置は、図1(c)に示す配置に限定されず、センサ中心を中心する同心円に従って配置されても良い。
第1の磁気センサ3は、円形領域30の中心をセンサ中心300として第1の磁気抵抗素子31〜第4の磁気抵抗素子34がコモンセントロイド配置となっている。同様に、第2の磁気センサ4は、円形領域40の中心をセンサ中心400として第5の磁気抵抗素子41〜第8の磁気抵抗素子44がコモンセントロイド配置となっている。さらに磁気センサ部2は、基板20の中心をチップ中心200として第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4がコモンセントロイド配置となっている。なお第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、円形領域30及び円形領域40において基板20に対して回転したとしてもチップ中心200に対して対称であってコモンセントロイド配置となる。
磁場55の方向は、磁石5の形状、着磁、配置などに様々に変わる。磁気センサ装置1は、第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4の基準7に対する角度θを変えることで、コモンセントロイド配置を変えることなく、磁場55に対する角度θを容易に調整することが可能となる。
磁気センサ部2は、一例として、図1(a)及び図1(b)に示すように、円形の領域(円形領域30及び円形領域40)が磁気抵抗素子に磁場55を印加する磁石5に形成された凹部53内に位置するように配置されている。
また第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4は、例えば、図1(b)に示すように、感磁面21が凹部53の中心に位置する面6と一致するように配置される。この感磁面21は、例えば、感磁部27において磁場55が作用して磁気抵抗値が変化する面である。
(磁石5の構成)
磁石5は、例えば、アルニコ磁石、フェライト磁石、ネオジム磁石などの永久磁石、又はフェライト系、ネオジム系、サマコバ系、サマリウム鉄窒素系などの磁性体材料と、ポリスチレン系、ポリエチレン系、ポリアミド系、アクリロニトリル/ブタジエン/スチレン(ABS)などの合成樹脂材料と、を混合して所望の形状に成形したプラスチックマグネットである。
磁石5は、例えば、アルニコ磁石、フェライト磁石、ネオジム磁石などの永久磁石、又はフェライト系、ネオジム系、サマコバ系、サマリウム鉄窒素系などの磁性体材料と、ポリスチレン系、ポリエチレン系、ポリアミド系、アクリロニトリル/ブタジエン/スチレン(ABS)などの合成樹脂材料と、を混合して所望の形状に成形したプラスチックマグネットである。
この磁石5は、一例として、図1(a)及び図1(b)に示すように、基部50と、基部50から並んで突出する脚部51及び脚部52と、を備えて概略構成されている。また磁石5は、基部50、脚部51及び脚部52によって凹部53が形成されている。なお磁石5の形状は、この形状に限定されない。また磁気センサ部2は、この凹部53内に配置されるが、この配置に限定されない。
ここで変形例として磁石5は、例えば、第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4の間に凹部53が位置するように、言い換えるなら脚部51及び脚部52によって第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4の間の基板20を挟むように配置されても良い。
磁石5は、例えば、図1(a)に示すように、脚部51及び脚部52側がN極であり、基部50側がS極である。従って磁場55は、N極から湧き出してS極に吸い込まれるような磁路を有する。なお着磁の方向は、これに限定されない。
(実施の形態の効果)
本実施の形態に係る磁気センサ装置1は、磁場55に対する角度θを容易に調整することができると共に検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。具体的には磁気センサ装置1は、磁気抵抗素子が基板20の角部25及び角部26の円形領域30及び円形領域40を分割した第1の扇領域301〜第4の扇領域304、及び第5の扇領域401〜第8の扇領域404に配置されている。従って磁気センサ装置1は、この構成を採用しない場合と比べて、円形領域30及び円形領域40のセンサ中心300及びセンサ中心400を回転中心として磁気抵抗素子の回転が可能となって配置スペースを有効に活用して磁場55に対する磁気抵抗素子の角度θを容易に調整することができる。そして磁気センサ装置1は、磁気抵抗素子の大きさを変えずに適切な角度θに調整することができるので検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。また磁気センサ装置1は、磁気抵抗値が向上するので消費電流を抑制することができる。
本実施の形態に係る磁気センサ装置1は、磁場55に対する角度θを容易に調整することができると共に検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。具体的には磁気センサ装置1は、磁気抵抗素子が基板20の角部25及び角部26の円形領域30及び円形領域40を分割した第1の扇領域301〜第4の扇領域304、及び第5の扇領域401〜第8の扇領域404に配置されている。従って磁気センサ装置1は、この構成を採用しない場合と比べて、円形領域30及び円形領域40のセンサ中心300及びセンサ中心400を回転中心として磁気抵抗素子の回転が可能となって配置スペースを有効に活用して磁場55に対する磁気抵抗素子の角度θを容易に調整することができる。そして磁気センサ装置1は、磁気抵抗素子の大きさを変えずに適切な角度θに調整することができるので検出精度や磁気抵抗値を向上させることができる。また磁気センサ装置1は、磁気抵抗値が向上するので消費電流を抑制することができる。
磁気センサ装置1は、矩形の領域ではなく円形領域30及び円形領域40に第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4を配置するので、図1(c)に示す基板20のエッジ201に磁気抵抗素子を配置しなくても良い。従って磁気センサ装置1は、この構成を採用しない場合と比べて、磁気センサ部2のチップ応力が大きくなるエッジ201に第1の磁気センサ3及び第2の磁気センサ4を配置しなくても済むので検出精度を向上させることができる。
磁気センサ装置1は、コモンセントロイド配置となるので、ウエハ面内の特性勾配とチップ応力がキャンセルされ、この構成を採用しない場合と比べて、検出精度が向上する。
以上、本発明のいくつかの実施の形態及び変形例を説明したが、これらの実施の形態及び変形例は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。これら新規な実施の形態及び変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。また、これら実施の形態及び変形例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、これら実施の形態及び変形例は、発明の範囲及び要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…磁気センサ装置、2…磁気センサ部、3…第1の磁気センサ、4…第2の磁気センサ、5…磁石、6…面、7…基準、9…検出対象物、20…基板、21…感磁面、25,26…角部、27…感磁部、28…接続部、30…円形領域、31〜34…第1の磁気抵抗素子〜第4の磁気抵抗素子、35…ノード、40…円形領域、41〜44…第5の磁気抵抗素子〜第8の磁気抵抗素子、45…ノード、50…基部、51,52…脚部、53…凹部、55…磁場、90…段差、200…チップ中心、201…エッジ、300…センサ中心、301〜304…第1の扇領域〜第4の扇領域、400…センサ中心、401〜404…第5の扇領域〜第8の扇領域
Claims (4)
- 基板の複数の角部に設定された円形の領域を分割した扇形状の領域に配置された複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ部を備えた磁気センサ装置。
- 前記磁気抵抗素子は、1つの円形の領域を分割した4つの扇形状の領域に配置されて磁気センサを構成し、対向する前記磁気抵抗素子が磁場の方向によって磁気抵抗が変わる感磁部の方向を同じにしてそれぞれ電気的に接続されてハーフブリッジ回路を形成し、前記複数の角部に配置された2つの前記磁気センサによってフルブリッジ回路が形成された、
請求項1に記載の磁気センサ装置。 - 前記磁気センサは、複数の前記磁気抵抗素子がコモンセントロイド配置され、
2つの前記磁気センサは、前記基板に対してコモンセントロイド配置とされる、
請求項2に記載の磁気センサ装置。 - 前記円形の領域が前記磁気抵抗素子に磁場を印加する磁石に形成された凹部内に位置する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
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Cited By (1)
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US20230123946A1 (en) * | 2021-10-14 | 2023-04-20 | Amogy Inc. | Power management for hybrid power system |
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