JP6799450B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
実施の形態に係る磁気センサは、磁場の方向の変化に応じて抵抗値が変化し、2つの円弧によって囲まれて同じ幅となる形状を有する感磁部と、扇形の感磁領域の径方向と交差するように感磁領域に並べられた複数の感磁部を有し、感磁領域を90°ずつ回転させ、それぞれが電気的に接続されてブリッジ回路を形成する複数の磁気センサ素子と、を備えて概略構成されている。
(磁気センサ1の概要)
図1(a)は、実施の形態に係る磁気センサの一例を示す概略図であり、図1(b)は、MR素子(Magneto Resistive Device)の一例を説明するための概略図である。図2(a)は、実施の形態に係る磁気センサの一例を示す等価回路図であり、図2(b)は、磁気センサと磁場ベクトルの角度の一例について説明するための概略図である。なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。
本実施の形態のMR素子の感磁部100は、2つの円弧105及び円弧106がセンサ中心11を中心とする同心円の円弧として構成されている。そして本実施の形態の感磁部100は、等間隔で並んでいる。
図3(a)は、実施の形態に係る磁気センサの第1のブリッジ回路及び第2のブリッジ回路の出力電圧の一例を説明するためのグラフであり、図3(b)は、算出された角度の一例を説明するためのグラフであり、図3(c)は、実際の角度の差である角度精度の一例を説明するためのグラフである。図3(a)は、横軸が角度θ(deg)であり、縦軸が電圧Vである。図3(b)は、横軸が角度θ(deg)であり、縦軸がAtan(deg)である。図3(c)は、横軸が角度θ(deg)であり、縦軸が角度精度(deg)である。図3(b)及び図3(c)の太い実線は、算出された角度を示している。
R(θ)=r(θ)+r(θ)+r(θ)…
R(θ)=Σn=1…m+1r(θ)・・・(1)
ただしmは任意の整数であり、式(1)は、m+1個のr(θ)の総和を求める式となる。
R(θ)=r(θ)+r(θ+α)+r(θ−α)+r(θ+2α)+r(θ−2α)…
R(θ)=r(θ)+Σn=1…m/2r(θ+nα)+Σn=1…m/2r(θ−nα)・・・(2)
図6(a)は、比較例2に係る磁気センサを示す概略図であり、図6(b)は、比較例2の1つのMR素子を拡大した概略図であり、図6(c)は、比較例2の磁気ベクトルの角度と角度精度のグラフである。
図7(a)は、実施例1に係る磁気センサを示す概略図であり、図7(b)は、実施例1の1つのMR素子を拡大した概略図であり、図7(c)は、実施例1の磁気ベクトルの角度と角度精度のグラフである。
図8(a)は、実施例2に係る磁気センサを示す概略図であり、図8(b)は、実施例2の1つのMR素子を拡大した概略図であり、図8(c)は、実施例2の磁気ベクトルの角度と角度精度のグラフである。
本実施の形態に係る磁気センサ1は、角度精度を向上させることができる。具体的には、この磁気センサ1は、感磁部100が2つの直線で囲まれた直線的な形状ではなく、2つの円弧105及び円弧106で囲まれた曲線的な形状を有しているので、感磁部が直線的な形状である場合と比べて、検出される磁場ベクトル5の角度の誤差の一部が打ち消し合って角度精度が向上する。
Claims (2)
- 磁場の方向の変化に応じて抵抗値が変化し、2つの円弧によって囲まれて同じ幅となる形状を有する感磁部と、
扇形の感磁領域の径方向と交差するように前記感磁領域に並べられた複数の前記感磁部を有し、前記感磁領域を90°ずつ回転させ、それぞれが電気的に接続されてブリッジ回路を形成する複数の磁気センサ素子と、
を備え、
前記感磁部は、前記2つの円弧がセンサ中心を中心とする同心円の円弧よりも曲率が大きい円弧である、
磁気センサ。 - 前記感磁領域は、1つの円を8等分した扇形の領域であり、
前記磁気センサ素子は、8つの前記感磁領域に形成されて出力信号の位相が異なる2つの前記ブリッジ回路を形成する、
請求項1に記載の磁気センサ。
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