JP5752322B2 - 磁気式位置検出装置 - Google Patents
磁気式位置検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5752322B2 JP5752322B2 JP2014512229A JP2014512229A JP5752322B2 JP 5752322 B2 JP5752322 B2 JP 5752322B2 JP 2014512229 A JP2014512229 A JP 2014512229A JP 2014512229 A JP2014512229 A JP 2014512229A JP 5752322 B2 JP5752322 B2 JP 5752322B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- region
- magnetic
- detection
- magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
Description
[式1]
θ=(s/λ)・2π
Hx=Q・sinθ
Hy=P・cosθ
tanα=(Q/P)・tanθ
[式2]
AとBの検出位置間の距離L(A-B)は、L(A-B)=L=λ/n、
AとCの検出位置間の距離L(A-C)は、L(A-C)=L/m=λ/(mn)
CとDの検出位置間の距離L(C-D)は、L(C-D)=λ/2
nは2以上の自然数、mは自然数の関係を満足する。
この発明の前記以外の目的、特徴、観点及び効果は、図面を参照する以下の本発明の詳細な説明から、さらに明らかになるであろう。
図4は、実施の形態1による磁気式位置検出装置100における磁界検出部2が配置される位置(検出位置)を示している。検出位置は、領域A,領域B,領域C,領域Dの4つが設けられている。領域Aと領域Bは距離Lを隔てて配置され、領域Cは領域Aと領域Bとの間に領域Aから距離L/m(mは自然数)を隔てて配置され、領域Dは領域Cから領域Bの方向に領域Cに対して距離λ/2を隔てて配置される。このとき、距離Lは、距離λに対して下式で表される。
[式3]
L=λ/n
従って、
AとBの検出位置間の距離L(A-B)は、L(A-B)=L=λ/n
AとCの検出位置間の距離L(A-C)は、L(A-C)=L/m=λ/(mn)
nは2以上の自然数、mは自然数
また、領域Aに第1及び第3の磁界検出部2R1,2R3が、領域Bに第2及び第4の磁界検出部2R2,2R4が、領域Cに第5の磁界検出部2R5が、領域Dに第6の磁界検出部2R6がそれぞれ配置される。
実施の形態1の効果を示すため、実施の形態1の比較の形態について説明する。
図9は、従来の磁気式位置検出装置に対する、本発明の磁気式位置検出装置100の効果を示すものである。実施の形態1は出力波形の歪みの低減に効果があることがわかる。従って、本発明によると、TMR素子3TのMR比の電圧依存性による出力波形の歪みを効果的に低減でき、精度の良い正確な位置情報が得られる磁気式位置検出装置100が提供される。
実施の形態2による磁気式位置検出装置100における検出位置の数及び各検出位置における磁界検出部2の配置は、実施の形態1と同じである。検出位置は、領域A,領域B,領域C,領域Dの4つが設けられる。領域Aと領域Bは距離Lを隔てて配置され、領域Cは領域Aと領域Bとの間に領域Aから距離L/m(mは自然数)を隔てて配置され、領域Dは領域Cから領域Bの方向に領域Cに対して距離λ/2を隔てて配置される。このとき、距離Lは、距離λに対して[式3]に示したように、L=λ/n(nは2以上の自然数)である。また、領域Aに第1及び第3の磁界検出部2R1,2R3が、領域Bに第2及び第4の磁界検出部2R2,2R4が、領域Cに第5の磁界検出部2R5が、領域Dに第6の磁界検出部2R6がそれぞれ配置される。
実施の形態2の補正回路なしの形態は、実施の形態2から補正回路30を取り去ったものとする。図4より領域Cと領域Dが、図5より第5と第6の磁界検出部2R5,2R6が除かれた形態である。なお、実施の形態2におけるm及びnはそれぞれ、m=3、n=3であり、補正回路なしの形態におけるnは、n=3である。従来の形態と異なるのは、検出位置が、n=2ではなくn=3の配置を取り、ブリッジ回路の差動出力Voutにおける3次の高調波成分が抑制されている点である。
図13は実施の形態3による磁気式位置検出装置100における磁界検出部2が配置される位置(検出位置)を示している。検出位置は、領域A,領域B,領域C,領域D,領域E,領域F,領域G,領域Hの8つが設けられている。領域Aと領域Bは距離L1を隔てて配置され、領域Cは領域Aと領域Bとの間に領域Aから距離L1/m1(m1は自然数)を隔てて配置され、領域Dは領域Cから領域Bの方向に領域Cに対して距離λ/2を隔てて配置され、加えて、領域Eは領域Aから領域Bの方向に配置され、領域Aと領域Eは距離L2を隔てて配置される。領域Fは領域Eから領域Dの方向に配置され、領域Eと領域Fは距離L1を隔てて配置され、領域Gは領域Eと領域Fとの間に領域Eから距離L1/m2(m2は自然数)を隔てて配置され、領域Hは領域Gから領域Fの方向に領域Gに対して距離λ/2を隔てて配置される。また、このとき、距離L1及びL2は、距離λに対して下式で表される。
[式4]
L=λ/n
従って、
AとBの検出位置間の距離L(A-B)は、L(A-B)=L1=λ/n1
AとCの検出位置間の距離L(A-C)は、L(A-C)=L1/m1=λ/(m1n1)
AとEの検出位置間の距離L(A-E)は、L(A-E)=L2=λ/n2
EとFの検出位置間の距離L(E-F)は、L(E-F)=L1=λ/n1
EとGの検出位置間の距離L(E-G)は、L(E-G)=L1/m2=λ/(m2n1)
n1、n2は2以上の自然数、m1、m2は自然数
また、領域Aに第1及び第3の磁界検出部2R1,2R3が、領域Bに第2及び第4の磁界検出部2R2,2R4が、領域Cに第5の磁界検出部2R5が、領域Dに第6の磁界検出部2R6がそれぞれ配置され、加えて、領域Eに第7及び第9の磁界検出部2R7,2R9が、領域Fに第8及び第10の磁界検出部2R8,2R10が、領域Gに第11の磁界検出部2R11が、領域Hに第12の磁界検出部2R12がそれぞれ配置される。なお、第1〜第6の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の構成は、実施の形態1で説明した構成と同じであり、それぞれ、第7〜第12の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の構成に対応している。第1から第12の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子のそれぞれの磁化固定層の磁化方向は磁性移動体の移動方向に対して全て同じ方向である。
実施の形態3の補正回路なしの形態は、実施の形態3から補正回路31、32を取り去ったものとする。図13より領域Cと領域D及び領域Gと領域Hが、図14より第5と第6の磁界検出部2R5,2R6及び第11と第12の磁界検出部2R11,2R12が除かれた形態である。なお、実施の形態3におけるm及びnはそれぞれ、m1=2、m2=3、n1=2、n2=3であり、補正回路なしの形態におけるnは、n1=2、n2=3である。実施の形態2の補正回路なしの形態と異なるのは、ブリッジ回路22が追加されて、検出位置が、n=3に加えてn=2の2種類の配置を取り、ブリッジ回路の差動出力Voutにおける2次及び3次の高調波成分が抑制されている点である。
図19は、従来の磁気式位置検出装置に対する、本発明の磁気式位置検出装置100の効果を示すものである。磁性移動体10の発生磁界の分布は、Q/P=0.7である。従来の形態は、実施の形態1の比較の形態として示した形態である。この形態のブリッジ回路の差動出力Voutの波形の歪み(“余弦波”との差分信号の振幅)を1として、本発明の各形態の出力波形の歪みを規格化して示してある。比較した形態は、実施の形態2の補正回路なしの形態、実施の形態2、実施の形態3の補正回路なしの形態、実施の形態3である。本発明の各形態は出力波形の歪みを低減する効果があることがわかる。実施の形態3においては、従来の形態と比較し、出力波形の歪みが約1/10となっている。従って、本発明によると、磁性移動体10の発生磁界の分布と、TMR素子3TのMR比の電圧依存性とによる、出力波形の歪みを効果的に低減でき、精度の良い正確な位置情報が得られる磁気式位置検出装置100が提供される。
本発明の磁気式位置検出装置100を構成する磁性移動体10には、着磁された磁性体で構成されて、対向する磁界センサ1に対してN極とS極が交互に現れるようになっていればよい。2極でもよい。また、形状は角型のもの(図1)やリング型のもの(図2)を示したが、円柱型や球型のものでもよい。発生磁界の分布Q/Pについても制限はなく、通常は0.5〜1である。
本発明の磁気式位置検出装置100を構成する磁電変換素子には、上述したように、スピンバルブMR素子が用いられる。特に、本発明の磁気式位置検出装置100を構成するブリッジ回路20、21、22には、スピンバルブMR素子の中でもMR比の大きいTMR素子3Tが用いられる。また、本発明の磁気式位置検出装置100を構成する補正回路30、31、32には、TMR素子3T以外のMR素子が用いられてもよい。例えば、GMR素子も用いることができる。
なお、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
Claims (13)
- 磁性体で構成され、N極とS極が交互に現れるように着磁され、N極−S極間が一定の距離となっている領域を有している磁性移動体と、
前記磁性移動体の移動に伴う磁界の変化によって電気抵抗値が変化する第1から第6の磁界検出部とを備え、
前記第1から第6の磁界検出部は、印加磁界に対して磁化方向が固定された磁化固定層と、印加磁界に応じて磁化方向が変化する磁化自由層と、前記磁化固定層と磁化自由層との間に挟まれた非磁性体の中間層とを含みスピンバルブ構造を有する磁気抵抗素子で構成され、
前記第1から第4の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が絶縁体であるトンネル磁気抵抗素子であり、
前記第1から第6の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子のそれぞれの前記磁化固定層の磁化方向は前記磁性移動体の移動方向に対して全て同じ方向であり、
前記第1及び第3の磁界検出部は領域Aの検出位置に配置され、
前記第2及び第4の磁界検出部は領域Bの検出位置に配置され、
前記第5の磁界検出部は領域Cの検出位置に配置され、
前記第6の磁界検出部は領域Dの検出位置に配置され、
前記磁性移動体のN極−N極間あるいはS極−S極間の一定の距離λに対して、
前記領域Aと前記領域Bの検出位置間の距離L(A-B)は、L(A-B)=L=λ/n、
前記領域Cは前記領域Aと前記領域Bとの間に配置され、前記領域Aと前記領域Cの検出位置間の距離L(A-C)は、L(A-C)=L/m=λ/(mn)、
前記領域Dは前記領域Cから前記領域Bの方向に配置され、前記領域Cと前記領域Dの検出位置間の距離L(C-D)は、L(C-D)=λ/2、
nは2以上の自然数、mは自然数の関係を満足し、
第1基準電位と第2基準電位との間に、
直列接続された前記第1と第2の磁界検出部と、直列接続された前記第3と第4の磁界検出部との第1並列接続体と、
前記第5と第6の磁界検出部の第2並列接続体とが直列接続されて、
前記第1と第2の磁界検出部の中点電位V1と、前記第3と第4の磁界検出部の中点電位V2との差Voutを基に、磁性移動体の移動に対応した信号を出力することを特徴とする磁気式位置検出装置。 - 請求項1記載の磁気式位置検出装置において、m=nを満足することを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項1記載の磁気式位置検出装置において、前記第5と第6の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が絶縁体であるトンネル磁気抵抗素子であることを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項1記載の磁気式位置検出装置において、前記第5と第6の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が非磁性金属体である巨大磁気抵抗素子であることを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項1記載の磁気式位置検出装置において、前記磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の磁化固定層の磁化方向と磁化自由層の磁化方向のなす角が同じ場合に、
前記第5と第6の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成されることを特徴とする磁気式位置検出装置。 - 請求項5記載の磁気式位置検出装置において、前記磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の磁化固定層の磁化方向と磁化自由層の磁化方向のなす角が同じ場合に、
前記第1から第4の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成されて、
前記第5の磁界検出部の電気抵抗値R5は、前記第1の磁界検出部の電気抵抗値R1に対して、0<R5/R1≦1の関係を満足することを特徴とする磁気式位置検出装置。 - 磁性体で構成され、N極とS極が交互に現れるように着磁され、N極−S極間が一定の距離となっている領域を有している磁性移動体と、
前記磁性移動体の移動に伴う磁界の変化によって電気抵抗値が変化する第1から第12の磁界検出部とを備え、
前記第1から第12の磁界検出部は、印加磁界に対して磁化方向が固定された磁化固定層と、印加磁界に応じて磁化方向が変化する磁化自由層と、前記磁化固定層と磁化自由層との間に挟まれた非磁性体の中間層とを含みスピンバルブ構造を有する磁気抵抗素子で構成され、
前記第1から第4の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子と、前記第7から第10の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が絶縁体であるトンネル磁気抵抗素子であり、
前記第1から第12の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子のそれぞれの磁化固定層の磁化方向は磁性移動体の移動方向に対して全て同じ方向であり、
前記第1及び第3の磁界検出部は領域Aの検出位置に配置され、
前記第2及び第4の磁界検出部は領域Bの検出位置に配置され、
前記第5の磁界検出部は領域Cの検出位置に配置され、
前記第6の磁界検出部は領域Dの検出位置に配置され、
前記第7及び第9の磁界検出部は領域Eの検出位置に配置され、
前記第8及び第10の磁界検出部は領域Fの検出位置に配置され、
前記第11の磁界検出部は領域Gの検出位置に配置され、
前記第12の磁界検出部は領域Hの検出位置に配置され、
前記磁性移動体のN極−N極間あるいはS極−S極間の一定の距離λに対して、
前記領域Aと前記領域Bの検出位置間の距離L(A-B)は、L(A-B)=L1=λ/n1、
前記領域Cは前記領域Aと前記領域Bとの間に配置され、前記領域Aと前記領域Cの検出位置間の距離L(A-C)は、L(A-C)=L1/m1=λ/(m1n1)、
前記領域Dは前記領域Cから前記領域Bの方向に配置され、前記領域Cと前記領域Dの検出位置間の距離L(C-D)は、L(C-D)=λ/2、
前記領域Eは前記領域Aから前記領域Bの方向に配置され、前記領域Aと前記領域Eの検出位置間の距離L(A-E)は、L(A-E)=L2=λ/n2、
前記領域Fは前記領域Eから前記領域Dの方向に配置され、前記領域Eと前記領域Fの検出位置間の距離L(E-F)は、L(E-F)=L1=λ/n1、
前記領域Gは前記領域Eと前記領域Fとの間に配置され、前記領域Eと前記領域Gの検出位置間の距離L(E-G)は、L(E-G)=L1/m2=λ/(m2n1)、
前記領域Hは前記領域Gから前記領域Fの方向に配置され、前記領域Gと前記領域Hの検出位置間の距離L(G-H)は、L(G-H)=λ/2
n1、n2は2以上の自然数、m1、m2は自然数の関係を満足し、
第1基準電位と第2基準電位との間に、
直列接続された前記第1と第2の磁界検出部と、直列接続された前記第3と第4の磁界検出部との第1並列接続体と、前記第5と第6の磁界検出部の第2並列接続体とが直列接続され、
第3基準電位と第4基準電位との間に、
直列接続された前記第7と第8の磁界検出部と、直列接続された前記第9と第10の磁界検出部との第3並列接続体と、前記第11と第12の磁界検出部の第4並列接続体とが直列接続され、
前記第1と第2の磁界検出部の中点電位V1と、前記第3と第4の磁界検出部の中点電位V2との差V12と、前記第7と第8の磁界検出部の中点電位V3と、前記第9と第10の磁界検出部の中点電位V4との差V34との差Voutを基に、磁性移動体の移動に対応した信号を出力することを特徴とする磁気式位置検出装置。 - 請求項7記載の磁気式位置検出装置において、n1≠n2、m1=n1の関係を満足することを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項8記載の磁気式位置検出装置において、n1>n2、m2=n2の関係を満足することを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項7記載の磁気式位置検出装置において、前記第5と第6の磁界検出部と、前記第11と第12の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が絶縁体であるトンネル磁気抵抗素子であることを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項7記載の磁気式位置検出装置において、前記第5と第6の磁界検出部と、前記第11と第12の磁界検出部を構成する磁気抵抗素子は、前記中間層が非磁性金属体である、巨大磁気抵抗素子であることを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 請求項7記載の磁気式位置検出装置において、前記磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の磁化固定層の磁化方向と磁化自由層の磁化方向のなす角が同じ場合に、
前記第5と第6の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成され、
前記第11と第12の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成されることを特徴とする磁気式位置検出装置。 - 請求項11記載の磁気式位置検出装置において、 前記磁界検出部を構成する磁気抵抗素子の磁化固定層の磁化方向と磁化自由層の磁化方向のなす角が同じ場合に、
前記第1から第4の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成され、
前記第7から第10の磁界検出部はそれぞれの電気抵抗値が同じになるように構成されて、
前記第5の磁界検出部の電気抵抗値R5は、前記第1の磁界検出部の電気抵抗値R1に対して、0<R5/R1≦1の関係を満足し、
前記第11の磁界検出部の電気抵抗値R11は、前記第7の磁界検出部の電気抵抗値R7に対して、0<R11/R7≦1の関係を満足することを特徴とする磁気式位置検出装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2012/061188 WO2013161027A1 (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 磁気式位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5752322B2 true JP5752322B2 (ja) | 2015-07-22 |
JPWO2013161027A1 JPWO2013161027A1 (ja) | 2015-12-21 |
Family
ID=49482397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014512229A Active JP5752322B2 (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 磁気式位置検出装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9429632B2 (ja) |
JP (1) | JP5752322B2 (ja) |
CN (1) | CN104246445B (ja) |
DE (1) | DE112012006270B4 (ja) |
WO (1) | WO2013161027A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2672285B1 (en) * | 2012-06-06 | 2014-05-21 | Nxp B.V. | Magnetic sensor arrangement |
US9733317B2 (en) * | 2014-03-10 | 2017-08-15 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Position detecting device |
JP6472175B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2019-02-20 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置 |
US10557725B2 (en) * | 2014-11-24 | 2020-02-11 | Sensitec Gmbh | Magnetoresistive wheatstone measuring bridge and angle sensor having at least two such measuring bridges |
CN107407581B (zh) * | 2015-03-05 | 2020-01-31 | 三菱电机株式会社 | 磁检测装置 |
EP3382329B1 (en) * | 2015-11-26 | 2020-12-23 | Mitsubishi Electric Corporation | Angle detection device and electric power steering device |
JP6497591B2 (ja) * | 2015-12-16 | 2019-04-10 | Smc株式会社 | 位置検出装置 |
EP3567347B1 (de) | 2016-04-29 | 2020-08-26 | TDK-Micronas GmbH | Abstandsmessvorrichtung |
EP3458805B1 (en) | 2016-05-17 | 2020-09-23 | Kongsberg Inc. | System, method and object for high accuracy magnetic position sensing |
GB2552385B (en) * | 2016-07-22 | 2021-09-15 | Cmr Surgical Ltd | Calibrating position sensor readings |
JP6280610B1 (ja) * | 2016-10-03 | 2018-02-14 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法、並びに位置検出装置 |
CA3046180C (en) | 2016-12-12 | 2023-01-03 | Kongsberg Inc. | Dual-band magnetoelastic torque sensor |
CN108469595B (zh) | 2017-02-23 | 2020-08-11 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁场感测装置及感测方法 |
TWI633319B (zh) * | 2017-02-23 | 2018-08-21 | 愛盛科技股份有限公司 | 磁場感測裝置及感測方法 |
US11248971B2 (en) | 2018-02-02 | 2022-02-15 | Analog Devices International Unlimited Company | Magnetic field torque and/or angle sensor |
US11385078B2 (en) * | 2018-11-23 | 2022-07-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Rotation sensing apparatus |
US10983019B2 (en) | 2019-01-10 | 2021-04-20 | Ka Group Ag | Magnetoelastic type torque sensor with temperature dependent error compensation |
JP6973421B2 (ja) * | 2019-01-14 | 2021-11-24 | 株式会社デンソー | 回転検出装置 |
JP6908067B2 (ja) * | 2019-03-18 | 2021-07-21 | Tdk株式会社 | 信号処理回路、位置検出装置および磁気センサシステム |
CN110081874B (zh) * | 2019-03-29 | 2021-07-06 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 | 车辆定位方法和系统 |
US11102596B2 (en) | 2019-11-19 | 2021-08-24 | Roku, Inc. | In-sync digital waveform comparison to determine pass/fail results of a device under test (DUT) |
CN115210537A (zh) * | 2020-03-10 | 2022-10-18 | 三菱电机株式会社 | 磁式线性位置检测器 |
JP7115505B2 (ja) * | 2020-04-20 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、磁気式エンコーダおよびレンズ位置検出装置 |
US11637482B2 (en) | 2020-10-08 | 2023-04-25 | Analog Devices International Unlimited Company | Magnetic sensor system for motor control |
US11630168B2 (en) * | 2021-02-03 | 2023-04-18 | Allegro Microsystems, Llc | Linear sensor with dual spin valve element having reference layers with magnetization directions different from an external magnetic field direction |
US11460323B2 (en) | 2021-02-05 | 2022-10-04 | Analog Devices International Unlimited Company | Magnetic field sensor package |
DE102022200223A1 (de) * | 2022-01-12 | 2023-07-13 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Magnetfeldsensorvorrichtung und Verfahren zum Ermitteln einer Magnetfeldinformation |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009054391A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気エンコーダ |
WO2009099054A1 (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-13 | Hitachi Metals, Ltd. | 回転角度検出装置、回転機及び回転角度検出方法 |
JP2010286238A (ja) * | 2007-10-05 | 2010-12-24 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2012037467A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Tdk Corp | 回転磁界センサ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5753826A (ja) * | 1980-09-16 | 1982-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | Jikideisukusochinodeisuku supindorukumitatetai |
JP3189464B2 (ja) * | 1993-02-19 | 2001-07-16 | 株式会社デンソー | 回転位置検出装置 |
JP2956453B2 (ja) * | 1993-12-06 | 1999-10-04 | 三菱電機株式会社 | 超電導マグネット装置 |
US5561368A (en) | 1994-11-04 | 1996-10-01 | International Business Machines Corporation | Bridge circuit magnetic field sensor having spin valve magnetoresistive elements formed on common substrate |
EP1037017B1 (en) * | 1999-03-15 | 2003-12-17 | Atsutoshi Goto | Inductive position detector |
JP4420652B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2010-02-24 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置 |
JP2007199007A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Alps Electric Co Ltd | 磁気エンコーダ |
CN101936749A (zh) * | 2006-03-06 | 2011-01-05 | 日本电产三协株式会社 | 磁编码器装置 |
DE102007002705B4 (de) | 2007-01-18 | 2015-11-05 | Infineon Technologies Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen einer Richtungsumkehr einer Relativbewegung |
JP4254868B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2009-04-15 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ及びこれを用いた磁気エンコーダ |
JP5753826B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2015-07-22 | アンリツ株式会社 | マイクロ波信号発生器およびその周波数制御方法 |
-
2012
- 2012-04-26 JP JP2014512229A patent/JP5752322B2/ja active Active
- 2012-04-26 DE DE112012006270.1T patent/DE112012006270B4/de active Active
- 2012-04-26 CN CN201280072672.2A patent/CN104246445B/zh active Active
- 2012-04-26 US US14/368,675 patent/US9429632B2/en active Active
- 2012-04-26 WO PCT/JP2012/061188 patent/WO2013161027A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010286238A (ja) * | 2007-10-05 | 2010-12-24 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
WO2009054391A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気エンコーダ |
WO2009099054A1 (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-13 | Hitachi Metals, Ltd. | 回転角度検出装置、回転機及び回転角度検出方法 |
JP2012037467A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Tdk Corp | 回転磁界センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013161027A1 (ja) | 2013-10-31 |
DE112012006270T5 (de) | 2015-02-19 |
CN104246445A (zh) | 2014-12-24 |
US20140354270A1 (en) | 2014-12-04 |
DE112012006270B4 (de) | 2019-05-09 |
US9429632B2 (en) | 2016-08-30 |
JPWO2013161027A1 (ja) | 2015-12-21 |
CN104246445B (zh) | 2016-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5752322B2 (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
US10690515B2 (en) | Dual Z-axis magnetoresistive angle sensor | |
TWI393867B (zh) | 磁性式旋轉角檢測器 | |
US10989769B2 (en) | Magneto-resistive structured device having spontaneously generated in-plane closed flux magnetization pattern | |
US8193805B2 (en) | Magnetic sensor | |
JP6773726B2 (ja) | 磁界センサー | |
US9506738B2 (en) | Rotation detector | |
CN103376426B (zh) | 磁场传感器 | |
JP2009025319A (ja) | 回転角度検出装置及び回転機 | |
US7064537B2 (en) | Rotation angle detecting device | |
JP2020153806A (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP5762567B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP5201493B2 (ja) | 位置検出装置及び直線駆動装置 | |
JP4900838B2 (ja) | 位置検出装置及び直線駆動装置 | |
US20150061653A1 (en) | Angle detection device | |
JP7156249B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP6784283B2 (ja) | 角度センサシステム | |
JP2016109472A (ja) | 磁気センサ | |
WO2012153554A1 (ja) | トルク検出装置 | |
JP2017075827A (ja) | 磁気検出装置 | |
JP2011017614A (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
JP2015049048A (ja) | 角度検出装置 | |
JP2004150812A (ja) | トルクセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150519 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5752322 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |