JP2018073577A - 異方導電性シート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構造で、導電部における一面側から他面側までの間の電気抵抗を低く抑えることができる異方導電性シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性を有する材質からなるシート本体20と、シート本体20の一面側21と他面側22を貫通するように設けられ、導電性を有する材質からなる複数の導電部30と、を有する異方導電性シート10であって、複数の導電部30はそれぞれ、複数の導電繊維状部材31を有しており、導電部30の複数の導電繊維状部材31は、各導電繊維状部材31の長手方向Qが一面側21と他面側22の貫通方向Pと略同方向に沿い、かつ、導電繊維状部材31同士が接触して一面側21から他面側22に向かって導通状態を形成している異方導電性シート10。
【選択図】図1
【解決手段】絶縁性を有する材質からなるシート本体20と、シート本体20の一面側21と他面側22を貫通するように設けられ、導電性を有する材質からなる複数の導電部30と、を有する異方導電性シート10であって、複数の導電部30はそれぞれ、複数の導電繊維状部材31を有しており、導電部30の複数の導電繊維状部材31は、各導電繊維状部材31の長手方向Qが一面側21と他面側22の貫通方向Pと略同方向に沿い、かつ、導電繊維状部材31同士が接触して一面側21から他面側22に向かって導通状態を形成している異方導電性シート10。
【選択図】図1
Description
この発明は、半導体装置(以下「ICパッケージ」という)等の電気部品の試験等に使用する異方導電性シート及びその製造方法に関するものである。
従来、「電気部品」であるICパッケージの試験等において、当該ICパッケージを収容して、配線基板等に導通させる異方導電性シートがある。
そのような異方導電性シートにおいては、絶縁性を有するシート本体に導電性を有する導電部が複数設けられているが、この導電部はそれぞれ、複数の金属粒子で構成されているものが多かった(特許文献1参照)。
しかしながら、従来のものにあっては、前記した特許文献1の構成を概念的に示した図14のように、異方導電性シート110のシート本体120に対して設けられる導電部130が複数の金属粒子131で構成されているため、導電部130においてICパッケージ1の端子3が接触するシート本体20の一面側121と基板6の接触子8が接触するシート本体20の他面側122が導通するまでの間に金属粒子131同士の接点Zを多く通過する必要があった。その結果、電気抵抗が高くなってしまうという問題が生じていた。
そこで、この発明は、簡単な構造で、導電部における一面側から他面側までの間の電気抵抗を低く抑えることができる異方導電性シート及びその製造方法を提供することを課題としている。
かかる課題を達成するために、請求項1に記載の発明は、絶縁性を有する材質からなるシート本体と、該シート本体の一面側と他面側を貫通するように設けられ、導電性を有する材質からなる複数の導電部と、を有する異方導電性シートであって、複数の前記導電部はそれぞれ、複数の導電繊維状部材を有しており、前記導電部の複数の前記導電繊維状部材は、各導電繊維状部材の長手方向が前記一面側と前記他面側の貫通方向と略同方向に沿い、かつ、前記導電繊維状部材同士が接触して前記一面側から他面側に向かって導通状態を形成している異方導電性シートとしたことを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明に加えて、前記シート本体には、前記一面側から前記他面側に貫通する複数の孔部が設けられており、該孔部に前記導電部が設けられている異方導電性シートとしたことを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明に加えて、前記導電繊維状部材は、それぞれの前記長手方向の長さが、前記孔部の径より長く形成されている異方導電性シートとしたことを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3の何れか一つに記載の発明に加えて、前記導電部は、互いに接触した複数の前記導電繊維状部材が、弾性力を有する部材で保持されて、弾性体を構成しており、前記貫通方向に対して弾性力を有している異方導電性シートとしたことを特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4の何れか一つに記載の異方導電性シートの製造方法であって、絶縁性を有する材質からなるシート本体に対して、該シート本体の一面側と他面側を貫通する複数の導電部となる箇所の液状の部分それぞれに複数の導電繊維状部材を埋め込んだ上で、前記一面側と前記他面側の貫通方向に磁力を掛けることで、当該磁力により複数の前記導電繊維状部材の長手方向が前記貫通方向を向くようにし、かつ、当該磁力により複数の前記導電繊維状部材同士を接触させ、前記液状の部分を硬化させる異方導電性シートの製造方法としたことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、異方導電性シートにおける複数の導電部がそれぞれ、複数の導電繊維状部材を有しており、導電部の複数の導電繊維状部材が、各導電繊維状部材の長手方向がシートの一面側と他面側の貫通方向と略同方向に沿うと共に導電繊維状部材同士が接触して一面側から他面側に向かって導通状態を形成しているため、一面側と他面側を導通させる際の導電繊維状部材同士の接点を少なく抑えることができる。その結果、導電部における一面側から他面側までの間の電気抵抗を低く抑えることができる。
請求項2に記載の発明によれば、シート本体に設けられた複数の孔部それぞれに複数の導電繊維状部材が入れられて導電部が形成されているため、簡単な構成で、電気抵抗を低く抑えた導電部を設けることができる。
請求項3に記載の発明によれば、導電繊維状部材の長手方向の長さが孔部の径より長く形成されているため、導電繊維状部材が孔部の中で横倒しになって、導電繊維状部材の長手方向が孔部の貫通方向を向かなくなってしまう不具合を防止することができる。その結果、確実に、導電繊維状部材の長手方向が孔部の貫通方向を向いて、一面側と他面側の間の導電部材同士の接点を少なく抑えることができる。
請求項4に記載の発明によれば、互いに接触した複数の導電繊維状部材が、弾性力を有する部材で保持されて、貫通方向に対して弾性力を有する弾性体を形成して、導電部を構成しているため、導電部と電気部品や基板との接圧を確保することができる。
請求項5に記載の発明によれば、異方導電性シートの製造方法において、シート本体に複数の導電繊維状部材を埋め込んだ状態で、シート本体における一面側と他面側の貫通方向に磁力を掛けることで、当該磁力によって磁力線上に導電繊維状部材が沿い易くなり、かつ、導電繊維状部材同士が磁力によって密着し易くなるため、導通部の成形がし易くなるものである。
以下、この発明の実施の形態について説明する。
図1〜図13には、この発明の実施の形態を示す。
まず構成を説明すると、この実施の形態に係る異方導電性シート10は、図13に示すように、「電気部品」としてのICパッケージ1を収容して、基板6上に配設して試験等を行うためのものであり、図1及び図2に示すように、シート本体20に複数の導電部30を有する構成となっている。
まず、ICパッケージ1と基板6について説明する。図13に示すように、この実施の形態のICパッケージ1は、所謂BGAと称されるもので、平面視で略正方形状に形成されたパッケージ本体2を有し、複数の半球状の端子3がこのパッケージ本体2の下面に下向きに突出して形成されたものである。また、この実施の形態の基板6は、その基板本体7における、ICパッケージ1の端子3に対応する位置に、略平板状の接触子8を有している。なお、端子3の形状は、半球状に限るものではなく、略平板状等の適宜の形状であっても良い。また、接触子8の形状も、略平板状に限るものではなく、他の形状であっても良い。
また、異方導電性シート10のうち、シート本体20は、絶縁性を有すると共に可撓性を有する材質(ここではシリコーンゴム)で構成されており、略方形の薄板状に形成されている。また、シート本体20の一面側21の略中央部は、試験対象であるICパッケージ1(図13参照)を収容する収容部23となっており、当該収容部23の所定位置(ここでは収容したICパッケージ1における四角枠状の部分に相当する位置)には、複数の導電部30が形成されている。
また、シート本体20の一面側21とは反対の他面側22の略中央部には、基板6(図13参照)が配置されるようになっている。また、シート本体20における前記した収容部23の所定位置には、図3に示すように、一面側21と他面側22を貫通する複数の孔部25を有しており、この孔部25に、後述する複数の導電繊維状部材31が入れられて、シート本体20の一面側21と他面側22を貫通する導電部30が形成されている。
以下、導電部30について詳述する。この導電部30は、図3に示すように、ニッケル等の所定の導電性材料からなる複数の略直線形状の導電繊維状部材31が互いに接触するように孔部25に入れられており、当該導電繊維状部材31が互いに接触した状態で、弾性力を有する部材としての樹脂32(例えばシリコーン樹脂等)で保持されている。ここでは、導電繊維状部材31の長手方向Qの長さRは約0.2mm、線径は約20μmであり、孔部25の径Sは約0.17mmに形成されている。また、導電繊維状部材31は、その長手方向Qがシート本体20の一面側21と他面側22の貫通方向Pと略同方向に向くように孔部25に入れられており、当該状態で、当該孔部25に入れられた導電繊維状部材31同士が接触し合うように構成されている。
また、樹脂32がシリコーン樹脂等で弾性力を有することと、シート本体20がシリコーンゴム等で弾性力を有することにより、これらのシリコーンゴムの弾性変形に追随して導電繊維状部材31が湾曲して、導電部30は貫通方向Pに対して弾性力を有するように構成されており、貫通方向Pに対する圧力に対して、所定の弾性変形をするように構成されている。
また、前記したように、導電繊維状部材31の長手方向Qの長さRは、シート本体20の孔部25の径Sより長くなるように形成されている。これにより、導電繊維状部材31を孔部25に入れ込んだときに、孔部25の中で完全に横倒しにはならず、少なくとも一定の角度を持って斜めに挿入された状態に配置されるようになっている。
次に、この実施の形態に係る異方導電性シート10の製造方法について、図4〜図12を用いて説明する。なお、異方導電性シート10の製造方法のうち、以下で説明する導電部30の形成工程以外は、従来の製造方法と変わらないため、説明を省略する。
まず、図4に示すように、シリコーン等の弾性力を有する樹脂からなるシート本体20の一面側21(ここでは上面側)にPET等の樹脂フィルム26を貼り付け、他面側22(ここでは下面側)にポリイミド等の樹脂フィルム27を貼り付け、レーザ加工等によって予め定められた所定位置に一面側21から他面側22に貫通する孔部25を設ける。このとき、孔部25を、上面側である一面側21の口が広く下面側である他面側22の口が狭くなるように形成しており、これにより、導電繊維状部材31を入れ易く、また、孔部25の下方で導電繊維状部材31が横向きになり難くなっている。
次に、図5に示すように、図4の状態のシート本体20をポリイミド、PET、ポリエチレン等からなる粘着シート28の上に配置して固定し、導電繊維状部材31を一面側21から孔部25に流し入れる。このとき、導電繊維状部材31の長手方向Qの長さRは、孔部25の径Sより長くなるように形成されているため、孔部25の中で導電繊維状部材31が完全に横倒しになることはなく、少なくとも一定角度を有する斜め状態で孔部25に挿入された状態となる。
次に、図6に示すように、容器に入れられた液状シリコーン32aをシート本体20の一面側21に配置し、図7に示すように、当該シリコーン32aを孔部25に流し込む。
次に、図8に示すように、液状シリコーン32aの容器の上方から加圧用治具T等によって液状シリコーン32aを加圧し、当該状態で硬化させる。
このとき、図12に示すように、加圧用治具Tの上方と粘着シート28にそれぞれ電磁石等の磁力発生装置41,42を備えていて、加圧された液状シリコーン32aが硬化し終わるまで貫通方向Pに磁力が掛かるようにし続けることにより、図11の状態から図12の状態のように、孔部25の中の液状シリコーン32aに覆われた複数の導電繊維状部材31の長手方向Qが、より貫通方向Pに向かって整列するようになり、それと共に磁力により導電繊維状部材31同士がくっつき合うようになる。
これにより、より導電繊維状部材31同士の導通状態が良好となり、かつ、少ない接点Zで一面側21から他面側22に導通されるようにできる。なお、図12では、磁力を掛けたときに導電繊維状部材31の長手方向Qが貫通方向Pに向く様子を分かり易く説明するために、極端に貫通方向Pに沿った図となっているが、必ずしもここまで極端に導電繊維状部材31の長手方向Qが貫通方向Pに向かうとは限らず、導電繊維状部材31の長手方向Qが貫通方向Pと略同方向に向かう程度の場合もある。
その後、シリコーン32aが硬化したら、図9に示すように、上部の余ったシリコーン32aを所定の治具で切り取り、図10に示すように、樹脂32で固められて保持された複数の導電繊維状部材31で構成された複数の導電部30が形成された異方導電性シート10を、粘着シート28から取り外すと共に、シート本体20の一面側21の樹脂フィルム26を剥離する。これにより、導電繊維状部材31同士の接点Zが少なく、導電部30における一面側21から他面側22までの間の電気抵抗を低く抑えることができ、貫通方向Pに対する弾性力を有する導電部30が形成された異方導電性シート10を得ることができる。
次に、この実施の形態の異方導電性シート10を用いてICパッケージ1の試験を行うときの作用について、図13及び図14を用いて説明する。
まず、異方導電性シート10を基板6の所定位置に配設する。ここでは、基板6の基板本体7から上部に向けて設けられた接触子8に対して、異方導電性シート10のシート本体20の他面側22の導電部30が丁度当接するように配設する。
次に、ICパッケージ1を異方導電性シート10の所定位置に配置する。ここでは、パッケージ本体2から下部に向けて設けられた端子3を異方導電性シート10のシート本体20の一面側21の収容部23における導電部30に丁度当接させるように配置する。これにより、異方導電性シート10を介してICパッケージ1と基板6が導通状態となる。
次に、設定された所定条件にて、電気を導通させる。このとき、異方導電性シート10の一面側21に収容されたICパッケージ1と他面側に設けられた基板6の間の導電部30において、複数の導電繊維状部材31の長手方向Qが一面側21と他面側22の貫通方向Pと略同方向を向くようになっており、かつ、複数の導電繊維状部材31同士が接触し合った状態となっている。
これにより、図14に示す従来の金属粒子131が詰まった導電部130の金属粒子131同士の接点Zの数に比べて、図13に示すように、導電繊維状部材31同士の接点Zが非常に少ない状態で、一面側21と他面側22を導通させることができる。接点Zが少なくなった結果、当該接点Zにおける電気抵抗を小さく抑えることができる。
このように、この実施の形態の異方導電性シート10は、複数の導電部30がそれぞれ、複数の導電繊維状部材31を有しており、導電部30の複数の導電繊維状部材31が、各導電繊維状部材31の長手方向Qがシート本体20の一面側21と他面側22の貫通方向Pと略同方向に沿うと共に導電繊維状部材31同士が接触して一面側21から他面側22に向かって導通状態を形成しているため、一面側21と他面側22を導通させる際の導電繊維状部材31同士の接点を少なく抑えることができ、かつ、一面側21から他面側22に導通するときの経路を直線的にして短くすることができる。その結果、導電部30における一面側21から他面側22までの間の電気抵抗を低く抑えることができる。
また、この実施の形態の異方導電性シート10は、シート本体20に設けられた複数の孔部25それぞれに複数の導電繊維状部材31が入れられて導電部30が形成されているため、簡単な構成で、電気抵抗を低く抑えた導電部30を設けることができる。
また、この実施の形態の異方導電性シート10は、導電繊維状部材31の長手方向Qの長さRが孔部25の径Sより長く形成されているため、導電繊維状部材31が孔部25の中で横倒しになって、導電繊維状部材31の長手方向Qが孔部25の貫通方向Pを向かなくなってしまう不具合を防止することができる。その結果、確実に、導電繊維状部材31の長手方向Qが孔部25の貫通方向Pを向いて、一面側21と他面側22の間の導電部材同士の接点を少なく抑えることができ、かつ、一面側21から他面側22に導通するときの経路を直線的にして短くすることができる。
また、この実施の形態の異方導電性シート10は、互いに接触した複数の導電繊維状部材31が、弾性力を有する樹脂32で固められることで保持されて、貫通方向Pに対して弾性力を有する弾性体を形成して、導電部30を構成しているため、導電部30とICパッケージ1や基板6との接圧を確保することができる。
また、この実施の形態の異方導電性シート10の製造方法は、シート本体20に複数の導電繊維状部材31を埋め込んだ状態で、シート本体20における一面側21と他面側22の貫通方向Pに磁力を掛けることで、当該磁力によって磁力線上に導電繊維状部材31が沿い易くなり、かつ、導電繊維状部材31同士が磁力によって密着し易くなるため、導通部30の成形がし易くなるものである。
なお、前記した実施の形態では、電気部品としてICパッケージ1を用いて説明したが、これに限るものではなく、ICパッケージ以外の他の電気部品に用いられるようになっていても良い。
また、前記した実施の形態では、異方導電性シート10の製造過程において、貫通方向Pに磁力を掛け続けて複数の導電繊維状部材31を貫通方向Pに沿うようにさせると共に、導電繊維状部材31同士をくっつけ合うようにしたが、これに限るものではなく、導電繊維状部材31の量や形状、大きさ、製造過程における環境等の条件によっては、磁力を掛けなくても良好な接触状態の導電部30が得られる場合もある。
また、前記した実施の形態では、シート本体20に形成された孔部25に導電繊維状部材31を入れ込んで導電部30を形成するようになっていたが、これに限るものではない。例えば、シート本体に孔部を有しておらず、液状のシリコーン等で形成されたシート本体を形成するものの、導電部が形成される箇所に磁力をかけ続け、そこに導電繊維状部材を入れることで、磁力によって導電部の箇所に導電繊維状部材を集めて硬化させることで、導電部を形成するようになっていても良い。なお、このとき、磁力をシート本体の一面側から他面側への貫通方向に掛けておくことで、前記した実施の形態のように導電繊維状部材を貫通方向沿う方向に向けることができるものである。
また、前記した実施の形態における導電繊維状部材31や導電部30を含む各部材の材質や形状、大きさ等は、これに限るものではなく、それぞれの条件等に応じて、適宜決定すれば良いものである。
例えば、図15に示す第1変形の異方導電性シート10Aのように、シート本体20に複数形成された孔部25に設けられた導電部30Aが、当該孔部25に入れられた複数の導電繊維状部材31Aが互いに接触した状態で弾性力を有する樹脂32で固められて保持されたものであって、複数の導電繊維状部材31Aが、波形状のアクリル繊維にニッケルメッキを施した繊維状部材で構成されている場合が挙げられる。この導電繊維状部材31Aは、その長手方向が孔部25の貫通方向Pと略同方向を向くような大きさ及び形状となっている。
また、図16に示す第2変形の異方導電性シート10Bのように、シート本体20に複数形成された孔部25に設けられた導電部30Bが、当該孔部25に入れられた複数の導電繊維状部材31Bが互いに接触した状態で弾性力を有する樹脂32で固められて保持されたものであって、複数の導電繊維状部材31Bが、所定の長さを有するスプリングにニッケルメッキを施した螺旋形状の繊維状部材で構成されている場合が挙げられる。この導電繊維状部材31Bは、その螺旋形状の軸方向が孔部25の貫通方向Pと略同方向を向くような大きさ及び形状となっている。
また、図17に示す第3変形の異方導電性シート10Cのように、シート本体20に複数形成された孔部25に設けられた導電部30Cが、当該孔部25に入れられた複数の導電繊維状部材31Cが互いに接触した状態で弾性力を有する樹脂32で固められて保持されたものであって、複数の導電繊維状部材31Cが、所定の大きさの一巻状のスプリングにニッケルメッキを施した円環形状の繊維状部材で構成されている場合が挙げられる。この導電繊維状部材31Cは、その円環形状の直径方向が孔部25の貫通方向Pと略同方向を向く(円環形状の中心軸方向が孔部25の貫通方向Pと略直交する方向を向く)ような大きさ及び形状となっている。
10 異方導電性シート
20 シート本体
21 一面側
22 他面側
25 孔部
30 導電部
31 導電繊維状部材
32 樹脂
41 磁力体
42 磁力体
P 貫通方向
Q 長手方向
R 導電繊維状部材の長手方向の長さ
S 孔部の径
Z 接点
20 シート本体
21 一面側
22 他面側
25 孔部
30 導電部
31 導電繊維状部材
32 樹脂
41 磁力体
42 磁力体
P 貫通方向
Q 長手方向
R 導電繊維状部材の長手方向の長さ
S 孔部の径
Z 接点
Claims (5)
- 絶縁性を有する材質からなるシート本体と、
該シート本体の一面側と他面側を貫通するように設けられ、導電性を有する材質からなる複数の導電部と、
を有する異方導電性シートであって、
複数の前記導電部はそれぞれ、複数の導電繊維状部材を有しており、
前記導電部の複数の前記導電繊維状部材は、各導電繊維状部材の長手方向が前記一面側と前記他面側の貫通方向と略同方向に沿い、かつ、前記導電繊維状部材同士が接触して前記一面側から他面側に向かって導通状態を形成していることを特徴とする異方導電性シート。 - 前記シート本体には、前記一面側から前記他面側に貫通する複数の孔部が設けられており、
該孔部に前記導電部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の異方導電性シート。 - 前記導電繊維状部材は、それぞれの前記長手方向の長さが、前記孔部の径より長く形成されていることを特徴とする請求項2に記載の異方導電性シート。
- 前記導電部は、互いに接触した複数の前記導電繊維状部材が、弾性力を有する部材で保持されて、弾性体を構成しており、前記貫通方向に対して弾性力を有していることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一つに記載の異方導電性シート。
- 請求項1乃至4の何れか一つに記載の異方導電性シートの製造方法であって、
絶縁性を有する材質からなるシート本体に対して、該シート本体の一面側と他面側を貫通する複数の導電部となる箇所の液状の部分それぞれに複数の導電繊維状部材を埋め込んだ上で、前記一面側と前記他面側の貫通方向に磁力を掛けることで、当該磁力により複数の前記導電繊維状部材の長手方向が前記貫通方向を向くようにし、かつ、当該磁力により複数の前記導電繊維状部材同士を接触させ、前記液状の部分を硬化させることを特徴とする異方導電性シートの製造方法。
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