JP2018072122A - 走査型画像計測装置及び走査型画像計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
可動部15は、梁として機能する支持部材16に支えられている。よって、第一のコイル13の通流電流で発生する駆動力により、支持部材16の断面形状(具体的には断面2次モーメント、特に第一の方向の寸法(Dz)に影響を受ける)、長さ、弾性係数に応じて、可動部15は第一の方向に変位する。同様に、第二のコイル14の通流電流で発生する駆動力により、支持部材16の断面形状(特に第二の方向の寸法(Dx))、長さ、弾性係数に応じて、第二の方向に可動部15は変位する。
時間の短縮を図ることができる。
Claims (10)
- 対物レンズと、前記対物レンズを変位可能に支持する支持部材を有し、前記対物レンズを所定の走査周波数で走査しながら測定対象に光を照射して画像計測する走査型画像計測装置において、前記対物レンズは、第一の方向と、前記第一の方向に略直交する第二の方向に走査されるものであり、前記対物レンズを含んで可動となっている可動物体の質量と、前記支持部材の弾性体的性質で共振周波数が定まるものであり、前記第一の方向の共振周波数よりも前記第二の方向の共振周波数が高く、前記第二の方向の共振周波数よりも前記第二の方向への前記対物レンズの走査周波数が高いことを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記第一の方向は前記対物レンズの光軸方向であることを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記第一の方向と前記第二の方向のうち、前記対物レンズを動作させる量が大きい方向が前記第二の方向であることを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記対物レンズを含む可動部を支持する支持部材の、前記第一の方向と前記第二の方向を含む平面に平行な断面形状は、前記第二の方向の寸法が前記第一の方向の寸法より大きい矩形であることを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記第一の方向への前記対物レンズの走査周波数が前記第一の方向の共振周波数よりも低いことを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記第二の方向に前記対物レンズを1回走査する間は、前記第一の方向における前記対物レンズの位置を固定し、前記第二の方向に前記対物レンズを1回走査した後に、前記対物レンズを前記第一の方向に所定の量だけ移動させることを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項1に記載の走査型画像計測装置において、前記対物レンズは、前記第一の方向と前記第二の方向と共に、前記第一の方向と前記第二の方向に対して略垂直な第三の方向に走査るものであり、前記第一の方向の共振周波数および前記第三の方向の共振周波数よりも前記第二の方向の共振周波数が高く、前記第二の方向の共振周波数よりも前記第二の方向への前記対物レンズの走査周波数が高いことを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項7に記載の走査型画像計測装置において、前記第一の方向と前記第二の方向と前記第三の方向のうち、前記対物レンズを動作させる量が大きい方向が前記第二の方向であることを特徴とする走査型画像計測装置。
- 請求項7に記載の走査型画像計測装置において、前記第一の方向への前記対物レンズの走査周波数が前記第一の方向の共振周波数よりも低く、前記第三の方向への前記対物レンズの走査周波数が前記第三の方向の共振周波数よりも低いことを特徴とする走査型画像計測装置。
- 対物レンズと、前記対物レンズを変位可能に支持する支持部材を有し、前記対物レンズを所定の走査周波数で走査しながら測定対象に光を照射して画像計測する走査型画像計測方法であって、前記対物レンズを含んで可動となっている可動物体の質量と、前記支持部材の弾性体的性質で共振周波数が定まるものであり、第一の方向の共振周波数よりも前記第一の方向に略直交する第二の方向の共振周波数が高く、前記第二の方向の共振周波数よりも前記第二の方向への前記対物レンズの走査周波数を高く設定して、前記対物レンズを前記第一の方向と前記第一の方向に略直交する第二の方向に走査して画像計測する走査型画像計測方法。
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