JP2018062051A - 加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態では、切削ブレード(砥石工具)を用いて被加工物を切削(加工)する切削方法(加工方法)の例について説明する。図1は、本実施形態に係る切削方法を説明するための図である。
本実施形態では、研削ホイール(砥石工具)を用いて被加工物を研削(加工)する研削方法(加工方法)の例について説明する。図2は、本実施形態に係る研削方法を説明するための図である。本実施形態でも、上記実施形態と同様の被加工物11が用いられる。ただし、本実施形態では、被加工物11の表面又は裏面に、被加工物11と同等の径を持つ円形の保護テープ31を貼付する。また、本実施形態では、デバイスが形成されていない被加工物11を用いることもできる。
21 ダイシングテープ
23 フレーム
31 保護テープ
2 切削装置(加工装置)
4 チャックテーブル(保持テーブル)
4a 保持面
4b 吸引路
6 クランプ
8 切削ユニット(加工手段)
10 切削ブレード(砥石工具)
12 ブレードカバー
14 第1供給ノズル
16 第2供給ノズル
18a,18b 配管
20 pH計
22a,22b バルブ
24 純水供給源
26 二酸化炭素供給源
32 研削装置(加工装置)
34 チャックテーブル(保持テーブル)
34a 保持面
36 研削ユニット(加工手段)
38 スピンドル
40 マウント
42 研削ホイール(砥石工具)
44 ホイール基台
46 研削砥石
48 第1供給ノズル
50 配管
52 バルブ
54 純水供給源
56 第2供給ノズル
58 pH計
60a,60b バルブ
62 純水供給源
64 二酸化炭素供給源
Claims (2)
- 砥石工具を含む加工手段で被加工物を加工する加工方法であって、
被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該加工手段に該砥石工具の自生発刃を促進させる自生発刃促進液を供給して該砥石工具の自生発刃を促進させながら被加工物を加工する加工ステップと、を備えることを特徴とする加工方法。 - 該自生発刃促進液は、純水に二酸化炭素を混入させてなるpHが6未満の液体であり、
該砥石工具は、砥粒と該砥粒を結合する結合材とを含み、
該結合材は、鉄、コバルト、ニッケル、錫のいずれかを含むことを特徴とする請求項1に記載の加工方法。
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