JP2018059027A - 両面粘着テープ及びウエハの処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
高接着易剥離を実現した粘着剤組成物として特許文献1には、アゾ化合物等の刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着層を有する両面接着テープを用いたウエハの処理方法が記載されている。特許文献1に記載されたウエハの処理方法では、まず、両面接着テープを介してウエハを支持板に固定する。その状態で研削工程等を行った後に刺激を与えると、気体発生剤から発生した気体がテープの表面とウエハとの界面に放出され、その圧力によって少なくとも一部が剥離される。特許文献1の両面接着テープを用いれば、ウエハを損傷することなく、かつ、糊残りもすることなく剥離できる。
以下に本発明を詳述する。
本発明者らは、更に検討の結果、無機材料からなる無機層を有する基材を採用することにより、加熱処理又は発熱を伴う処理を施す工程を行った後でもウエハの反りの発生を防止できる両面粘着テープを提供できることを見出し、本発明を完成した。
上記基材は、無機材料からなる無機層を有する。このような無機層を有する基材を用いることにより、加熱処理又は発熱を伴う処理を施す工程においても基材が収縮等の形状変化することなく、ウエハに反りが発生するのを防止することができる。
上記無機基材層の紫外線透過率が1%以上であることで、十分に紫外線による粘着剤層が硬化できる。紫外線透過率が1%以上である上記無機物質としては、In2O3、CdO、CdIn2O4、Cd2SnO4、TiO2、SnO2、ZnO、ZnSiO3等が挙げられる。なかでも、粘着剤層として光硬化性の粘着剤を用いたときに、光を透過して該光硬化性の粘着剤を硬化させ、コスト優位性が高いことからSiO2が好適である。特に近年では、超薄板ガラス(G−leaf、日本電気硝子社製)のように、柔軟性に優れ、巻き取り可能なガラスが登場しており、このようなガラスを用いることにより、取り扱いに優れた両面粘着テープを得ることができる。
上記樹脂層を構成する樹脂としては、耐熱性に優れるものであれば特に限定されないが、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート等が挙げられる。
上記硬化型粘着剤が光硬化性である場合の粘着剤成分としては、例えば、重合性ポリマーを主成分として、光重合開始剤を含有する光硬化成分が挙げられる。
上記硬化型粘着剤が熱硬化性である場合の粘着剤成分としては、例えば、重合性ポリマーを主成分として、熱重合開始剤を含有する熱硬化成分が挙げられる。
上記多官能オリゴマー又はモノマーは、分子量が1万以下であるものが好ましく、より好ましくは、硬化成分の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が5000以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が2〜20個のものである。
まず、粘着剤Aの溶液を作製して、この粘着剤Aの溶液を基材の表面に塗布し、溶液中の溶剤を完全に乾燥除去して粘着剤層Aを形成する。次に、形成されたアクリル粘着剤層Aの上に離型フィルムをその離型処理面がアクリル粘着剤層Aに対向した状態に重ね合わせる。
次いで、上記離型フィルムとは別の離型フィルムを用意し、この離型フィルムの離型処理面に粘着剤Bの溶液を塗布し、溶液中の溶剤を完全に乾燥除去することにより、離型フィルムの表面に粘着剤層Bが形成された積層フィルムを作製する。得られた積層フィルムを粘着剤層Aが形成された基材の裏面に、粘着剤層Bが基材の裏面に対向した状態に重ね合わせて積層体を作製する。そして、上記積層体をゴムローラ等によって加圧することによって、基材の両面に粘着剤層を有し、かつ、粘着剤層の表面が離型フィルムで覆われた両面粘着テープを得ることができる。
また、同様の要領で積層フィルムを2組作製し、これらの積層フィルムを基材の両面のそれぞれに、積層フィルムの粘着剤層を基材に対向させた状態に重ね合わせて積層体を作製し、この積層体をゴムローラ等によって加圧することによって、基材の両面に粘着剤層を有し、かつ、粘着剤層の表面が離型フィルムで覆われた両面粘着テープを得てもよい。
本発明の両面粘着テープを介してウエハを支持板に固定する支持板固定工程と、上記支持板に固定されたウエハの表面に加熱処理又は発熱を伴う処理を施すウエハ処理工程と、上記処理後のウエハから支持板を剥離する支持板剥離工程とを有するウエハの処理方法もまた、本発明の1つである。
上記加熱処理又は発熱を伴う処理は、例えば、スパッタリング、蒸着、エッチング、化学気相成長法(CVD)、物理気相成長法(PVD)、レジスト塗布・パターンニング、リフロー等が挙げられる。
例えば、上記気体発生剤として300nm以下の波長の光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を用いた場合には、300nm以下の波長の光を照射することにより上記気体発生剤から気体を発生させて、支持板をウエハから容易に剥離することができる。
このような気体発生剤に対しては、例えば、波長254nmの光を5mW以上の照度で照射することが好ましく、10mW以上の照度で照射することがより好ましく、20mW以上の照度で照射することが更に好ましく、50mW以上の照度で照射することが特に好ましい。また、波長254nmの光を1000mJ以上の積算照度で照射することが好ましく、1000mJ以上、20J以下の積算照度で照射することがより好ましく、1500mJ以上、15J以下の積算照度で照射することが更に好ましく、2000mJ以上、10J以下の積算照度で照射することが特に好ましい。
(1)光硬化型粘着剤の調製
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、(メタ)アクリル酸アルキルエステルとして2−エチルヘキシルアクリレート94重量部、官能基含有モノマーとしてメタクリル酸ヒドロキシエチル6重量部、ラウリルメルカプタン0.01重量部と、酢酸エチル80重量部を加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤として1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン0.01重量部を添加し、還流下で重合を開始させた。次に、重合開始から1時間後及び2時間後にも、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサンを0.01重量部ずつ添加し、更に、重合開始から4時間後にt−ヘキシルパーオキシピバレートを0.05重量部添加して重合反応を継続させた。そして、重合開始から8時間後に、固形分55重量%、重量平均分子量60万の官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの酢酸エチル溶液を得た。
得られた官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーを含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、官能基含有不飽和化合物として2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させて光硬化型粘着剤を得た。
無機基材として、厚み50μmの超薄板ガラス(G−leaf、日本電気硝子社製)を用いた。
厚み25μmの離型ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意し、この離型PETフィルムの離型処理面に光硬化型粘着剤を塗布し、100℃で5分間乾燥させることにより、厚み50μmの粘着剤層を形成した。得られた粘着剤層を上記ガラス基材の表面と貼り合わせた。次いで、同様の要領で、この基材の反対の表面にも上記と同じ粘着剤層を貼り合わせた。
これにより、厚み50μmのガラス基材の両面に、光硬化型粘着剤からなる厚み100μmの粘着剤層を有する、総厚み150μmの両面粘着テープを得た。
基材として、厚み100μmの柔軟性のあるガラス基材(日本電気硝子社製、G−leaf)を用いた以外は実施例1と同様にして両面粘着テープを得た。
(実施例3)
基材として、厚み50μmの柔軟性のあるガラス基材(日本電気硝子社製、G−leaf)と厚み25μmのポリエチレンナフタレート(PEN)基材との積層体を用いた以外は実施例1と同様にして両面粘着テープを得た。
基材として、厚み50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)基材又はポリエチレンナフタレート(PEN)基材を用いた以外は実施例1と同様にして両面粘着テープを得た。
実施例及び比較例で得られた両面粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。結果を表1に示した。
得られた積層体のウエハ側をグラインド研削及び研磨を行い、厚み50μmまで研削した。
次いで、ガラス板側から超高圧水銀灯を用いて、365nmの紫外線をガラス板表面への照射強度が80mW/cm2となるよう照度を調節して1分間照射して、粘着剤層中の光硬化型粘着剤を架橋、硬化させた。
熱処理後、両面粘着テープを剥離したシリコンウエハを平板上に静置した。平板から最も浮いているシリコンウエハの端部を平板面からの距離を測定し、反り量を求めた。反り量が2mm以下の場合を「○」、2mmを超える場合を「×」と評価した。
Claims (6)
- 基材と、前記基材の両面に形成された粘着剤層とを有する両面粘着テープであって、前記基材は、無機材料からなる無機層を有することを特徴とする両面粘着テープ。
- 無機層は、ガラスからなることを特徴とする請求項1記載の両面粘着テープ。
- 基材は、更に、樹脂層を有することを特徴とする請求項1又は2記載の両面粘着テープ。
- 少なくとも一方の粘着剤層は、熱又は光によって硬化する硬化型粘着剤を含有することを特徴とする請求項1、2又は3記載の両面粘着テープ。
- 少なくとも一方の粘着剤層は、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有することを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の両面粘着テープ。
- 請求項1、2、3、4又は5記載の両面粘着テープを介してウエハを支持板に固定する支持板固定工程と、前記支持板に固定されたウエハの表面に加熱処理又は発熱を伴う処理を施すウエハ処理工程と、前記処理後のウエハから支持板を剥離する支持板剥離工程とを有することを特徴とするウエハの処理方法。
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