JP2018054962A - 物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び物体保持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図5(B)を用いて説明する。
次に第2の実施形態に係る液晶露光装置について、図6(A)〜図6(C)を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板ホルダ230の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (21)
- 物体を保持する物体保持装置であって、
前記物体を保持する保持部を備え、前記物体を第1方向から支持する複数の第1支持部と、
前記物体の、前記保持部に保持されていない部分を、前記第1方向から非接触で支持する第2支持部と、を有し、
前記第1支持部は、第1方向と交差する方向に移動する物体保持装置。 - 前記第1支持部は、前記第1方向と交差する面内の何れの方向にも移動する請求項1に記載の物体保持装置。
- 前記第1支持部は、前記面内における前記第1支持部の移動範囲の中立位置に配置される請求項2に記載の物体保持装置。
- 前記第2支持部は、前記第1支持部に支持されている前記物体の下面に対して支持力を付与する請求項1〜3の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 前記第2支持部は、前記物体の下面に対して、気体を吹き付ける請求項4に記載の物体保持装置。
- 前記複数の第1支持部のうちの少なくとも一部の第1支持部は、前記面内での位置を拘束される請求項1〜5の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 前記複数の第1支持部を、前記第1方向と交差する面内の互いに離れた位置で、且つ前記面内における前記第1支持部の位置を拘束せずに支持する第3支持部を更に有し
前記第3支持部は、前記複数の第1支持部のうちの一部の第1支持部を吸着する吸着部を備え、前記吸着部において前記一部の第1支持部の前記面内の位置を拘束して支持する請求項6に記載の物体保持装置。 - 前記第1支持部のうち、前記面内での位置を拘束されない第1支持部に対して、前記面内に平行な方向の力を付与する付与部を備える請求項2〜7の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 前記付与部は、前記第1支持部に対して、前記第1支持部が前記面内に平行な方向に移動せしめるよう作用する気体を吹き付ける請求項8に記載の物体保持装置。
- 前記付与部は、前記面内での位置を拘束されない前記第1支持部に対して、前記第1方向に平行な方向の力を付与する請求項8又は9に記載の物体保持装置。
- 前記付与部は、前記第1支持部に対して下方から気体を吹き付ける請求項10に記載の物体保持装置。
- 前記第1支持部は、前記物体の下面を複数点で支持可能な複数のピン部と、前記複数のピン部を囲む壁部と、前記壁部の内側に形成された孔部とを有し、前記孔部を介して前記壁部内の気体が吸引されることによって前記物体を吸着保持する請求項1〜11の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 前記第1支持部は、多孔質体によって形成され、該多孔質体を介して前記物体に吸引力を作用させることによって前記物体を吸着保持する請求項1〜12の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 前記第3支持部は、多孔質体によって形成されている請求項7に記載の物体保持装置。
- 前記第付与部は、多孔質体によって形成されている請求項8〜11の何れか一項に記載の物体保持装置。
- 請求項1〜15の何れか一項に記載の物体保持装置と、
前記物体保持装置に保持された前記物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項16に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項17に記載の露光装置。
- 請求項17又は18に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項18に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 物体を保持する物体保持方法であって、
前記物体を保持する保持部を備え、前記物体を第1方向から支持する複数の第1支持部を用いて前記物体を支持することと、
前記物体の、前記保持部に保持されていない部分を、前記第1方向から非接触で支持する第2支持部を用いて前記物体を支持することと、
前記第1支持部は、第1方向と交差する方向に移動することと、
を含む物体保持方法。
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