JP2018054531A - 差圧センサおよび差圧センサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ろう付け部の溶解やクラックなどが発生し難くする。ジョイントの軸方向の寸法を短くする。抵抗溶接の際にジョイントを下から支持する治具の必要をなくす。【解決手段】ジョイント２９に大径部２９−１と小径部２９−２とを形成する。細管２３の一端２３ａを、ジョイント２９の小径部２９−２および大径部２９−１を通して小径部２９−２の上端面２９−２ａよりジョイント２９にろう付けする。ジョイント２９の大径部２９−１の上端面２９−１ａに電極３６を接触させ、ブロック２１，２２の下面に電極３７を接触させ、これら電極３６，３７を加圧して、抵抗溶接する（ジョイント２９の大径部２９−１の外周面（テーパ面）２９−１ｃとブロック２１の通路２７の開口２７ａの内周面との当接面の全周を抵抗溶接する）。細管２３の他端２３ｂ側のジョイント３０も同様に抵抗溶接する。【選択図】 図１０

Description

本発明は、圧力差に応じた信号を出力する感圧ダイアフラムを用いた差圧センサにおよび差圧センサの製造方法に関する。

従来より、工業用の差圧センサとして、圧力差に応じた信号を出力する感圧ダイアフラムを用いた差圧センサが用いられている。この差圧センサは、感圧ダイアフラムの一方の面に第１の流体を導く第１の流路と、感圧ダイアフラムの他方の面に第２の流体を導く第２の流路とを備え、感圧ダイアフラムは一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する。

この差圧センサでは、ケースを貫通して細いパイプを接合することにより、この接合した細いパイプ（細管）を通して感圧ダイアフラムの受圧面に流体を導くようにしている。例えば、第１の流路中に細管を設け、この細管を通して感圧ダイアフラムの一方の面に第１の流体を導くようにしている。

従来より、ケースを貫通して細管を接合する方法として、抵抗溶接による接合方法がある。例えば、特許文献１では、ケースの貫通孔に細管を直接接合しようとすると、ろう付け作業に時間がかかるので、細管をジョイントと呼ばれる部材にろう付けした後、この細管をろう付けしたジョイントをケースの貫通孔に抵抗溶接するようにしている。

具体的には、図１４に示すように、ジョイント１の挿入孔１ａに細管２を通し、挿入孔１ａの上方に突出した細管２をジョイント１の上端面１ｂよりろう付けして接合体３とする。そして、このジョイント１と細管２との接合体３を、図１５に示すようにジョイント１の上端面１ｂに形成されたろう付け部４を上向きにして、ケース５の貫通孔５ａに下方から挿入した後、ケース５の上面に電極６を接触させ、ジョイント１の下面を電極受面１ｃとし、この電極受面１ｃに電極７を接触させ、これら電極６，７を加圧して、抵抗溶接を行う。

図１６に、抵抗溶接後、電極６，７を取り外した状態を示す。同図において、８はジョイント１とケース５との溶接接合部であり、ジョイント１の外周面１ｄとケース５の貫通孔５ａの内周面との当接面の全周が抵抗溶接される。

このような構造とすることで、ろう付け部４を溶接接合部８から遠ざけることができ、抵抗溶接する際に発生する熱やスパークによるろう付け部４の溶解やクラックなどが発生し難いというメリットが得られる。

特開昭６１−１７２６８８号公報

しかしながら、この特許文献１に示された方法では、ろう付け部４を溶接接合部８から遠ざけることはできるが、電極受面１ｃをケース５を挟んでろう付け部４とは反対側に配置することになり、すなわちケース５内に電極受面１ｃを配置することになり、ジョイント１の軸方向の寸法Ｌを長くとらざるを得ない。また、抵抗溶接する際に、接合体３がケース５内に抜け落ちないようにするために、ジョイント１を下から支持する治具を必要とするという問題がある。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ろう付け部の溶解やクラックなどが発生し難く、ジョイントの軸方向の寸法を短くすることができ、かつ、抵抗溶接の際にジョイントを下から支持する治具を必要とすることのない差圧センサおよび差圧センサの製造方法を提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する感圧ダイアフラム（２４）と、感圧ダイアフラムの一方の面に第１の流体（Ｐ１）を導く第１の流路（２５）と、感圧ダイアフラムの他方の面に第２の流体（Ｐ２）を導く第２の流路（２６）とを備えた差圧センサ（１００）において、第１の流路（２５）は、第１の流体の導入口側に位置する第１の通路（２７）と、第１の流体の導出口側に位置する第２の通路（２８）と、第１の通路の第１の流体の流出口（２７ａ）を第１の開口として塞ぐ第１の部材（２９）と、第２の通路の第１の流体の流入口（２８ａ）を第２の開口として塞ぐ第２の部材（３０）と、第１の部材をその一端が貫通し、第２の部材をその他端が貫通し、第１の通路と第２の通路とを連通する細管（２３）とを備え、第１の部材（２９）は、第１の開口（２７ａ）を塞ぐ大径部（２９−１）と、この大径部の第１の開口を塞ぐ面とは反対側の面を上端面（２９−１ａ）とし、この上端面に突出して形成された大径部よりも径の小さい小径部（２９−２）とを備え、細管の一端（２３ａ）は、第１の部材の小径部および大径部を通して小径部の上端面（２９−２ａ）より第１の部材にろう付けされており、第１の部材の大径部は、その外周面（２９−１ｃ）と第１の開口（２７ａ）の内周面との当接面の全周が抵抗溶接されていることを特徴とする。

本発明において、感圧ダイアフラムの一方の面には第１の流路を通して第１の流体が導かれ、感圧ダイアフラムの他方の面には第２の流路を通して第２の流体が導かれる。第１の流路は、第１の流体の導入口側に位置する第１の通路と、第１の流体の導出口側に位置する第２の通路と、第１の通路の第１の流体の流出口を第１の開口として塞ぐ第１の部材（以下、第１のジョイントと呼ぶ。）と、第２の通路の第１の流体の流入口を第２の開口として塞ぐ第２の部材（以下、第２のジョイントと呼ぶ。）と、第１の部材をその一端が貫通し、第２の部材をその他端が貫通し、第１の通路と第２の通路とを連通する細管とを備えている。

本発明において、第１のジョイントは、第１の開口（第１の通路の第１の流体の流出口）を塞ぐ大径部と、この大径部の上端面（第１の開口を塞ぐ面とは反対側の面）に突出して形成された小径部とを備えている。また、本発明において、細管の一端は、第１のジョイントの小径部および大径部を通して小径部の上端面より第１のジョイントにろう付けされており、第１のジョイントの大径部は、その外周面と第１の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている。

本発明では、例えば、第１のジョイントの大径部の外周面の全部又は一部を軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とし、このテーパ面と第１の開口の内周面との当接面の全周を溶接するようにする。例えば、第１のジョイントの大径部の上端面（小径部の外側に位置する面）に電極を接触させて、第１のジョイントの外周面と第１の開口の内周面との当接面の全周を抵抗溶接するようにする。

このような構造とすることにより、本発明では、ろう付け部を溶接接合部から遠ざかると共に、ろう付け部と電極が接触する箇所との間に高低差がつき、ろう付け部の溶解やクラックなどが発生し難くなる。また、部材の軸方向の寸法を短くすることができ、かつ、抵抗溶接の際に部材を下から支持する治具を必要とすることがなくなる。

なお、本発明において、第２のジョイントを上述した第１のジョイントと同様の構造とし、第２のジョイントの大径部の外周面と第２の開口の内周面との当接面の全周を溶接するようにしてもよい。また、第２のジョイントについても第１のジョイントと同様の構造とし、すなわち第１のジョイントと第２のジョイントを同じ構造とし、第１のジョイントの大径部の外周面と第１の開口の内周面との当接面の全周を溶接するようにし、第２のジョイントの大径部の外周面と第２の開口の内周面との当接面の全周を溶接するようにしてもよい。

なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。

以上説明したことにより、本発明によれば、細管をジョイントの小径部および大径部を通して小径部の上端面よりジョイントにろう付けするようにし、ジョイントの大径部の外周面と開口の内周面との当接面の全周を抵抗溶接するようにしたので、ろう付け部の溶解やクラックなどが発生し難く、ジョイントの軸方向の寸法を短くすることができ、かつ、抵抗溶接の際にジョイントを下から支持する治具を不要とすることができるようになる。

図１は、ジョイントと細管との接合体を示す図である。 図２は、ジョイントと細管との接合体をケースの貫通孔に挿入した状態を示す図である。 図３は、ジョイントの大径部の上端面およびケースの下面に電極を接触させて抵抗溶接を行う様子を示す図である。 図４は、抵抗溶接後、電極を取り外した状態を示す図である。 図５は、本発明の実施の形態に係る差圧センサの平面図である。 図６は、この差圧センサの正面図である。 図７は、この差圧センサの内部構造の概略を示す図である。 図８は、第１のジョイントと第２のジョイントと細管との接合体を示す図である。 図９は、第１のジョイントと第２のジョイントと細管との接合体を第１および第２のブロックの通路に挿入した状態を示す図である。 図１０は、第１のジョイントの大径部の上端面および第１および第２のブロックの下面に電極を接触させて抵抗溶接を行う様子を示す図である。 図１１は、第１のジョイントの大径部の上端面に接触させた電極の細管との関係を示す平面図である。 図１２は、第２のジョイントの大径部の上端面および第１および第２のブロックの下面に電極を接触させて抵抗溶接を行う様子を示す図である。 図１３は、第２のジョイントの大径部の上端面に接触させた電極の細管との関係を示す平面図である。 図１４は、従来のジョイントと細管との接合体を示す図である。 図１５は、このジョイントと細管との接合体のケースへの電極を接触させて抵抗溶接を行う様子を示す図である。 図１６は、抵抗溶接後、電極を取り外した状態を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。先ず、本発明の実施の形態に係る差圧センサの説明に入る前に、この差圧センサに適用する細管の接合方法について説明する。

〔細管の接合方法〕
図１に図１４に対応する図を示す。同図において、１１はジョイント、１２は細管、１３はジョイント１１と細管１２との接合体、１４はろう付け部である。

ジョイント１１は、大径部１１−１と、この大径部１１−１の上端面１１−１ａに形成された小径部１１−２とを備えている。ジョイント１１の大径部１１−１の外周面１１−１ｂは、その全部が軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とされている。以下、外周面１１−１ｂをテーパ面と呼ぶ。

ジョイント１１には、大径部１１−１および小径部１１−２を貫通して、挿入孔１１ａが形成されている。このジョイント１１の挿入孔１１ａに細管１２を通し、挿入孔１１ａの上方に突出した細管１２を小径部１１−２の上端面１１−２ａよりろう付けして、接合体１３とする。これにより、小径部１１−２の上端面１１−２ａにろう付け部１４が形成されるが、このろう付け部１４のろうが細管１２の外周面と挿入孔１１ａの内周面との隙間にも流れて、この隙間もろう付けされるものとなる。

このジョイント１１と細管１２との接合体１３を、図２に示すようにろう付け部１４を上向きにして、すなわちジョイント１１の大径部１１−１を下向きにして、ケース１５の貫通孔１５ａに挿入する。ジョイント１１の大径部１１−１は、そのテーパ面１１−１ｂの径が下端では貫通孔１５ａの径よりも小さく、上端では貫通孔１５ａの径よりも大きくされている。これにより、テーパ面１１−１ｂがその途中で貫通孔１５ａの開口１５ｂの内周面に当接し、貫通孔１５ａの開口１５ｂが塞がれるものとなる。

この状態で、図３に示すように、ジョイント１１の大径部１１−１の上端面１１−１ａ（小径部１１−２の外側に位置する面）に電極１６を接触させ、ケース１５の下面に電極１７を接触させ、これら電極１６，１７を加圧して、抵抗溶接を行う。

図４に、抵抗溶接後、電極１６，１７を取り外した状態を示す。同図において、１８は、ジョイント１１とケース１５との溶接接合部であり、ジョイント１１のテーパ面１１−１ｂとケース１５の貫通孔１５ａの開口１５ｂの内周面との当接面の全周が抵抗溶接される。

このような構造とすることで、ろう付け部１４が溶接接合部１８から遠ざかると共に、ろう付け部１４と電極１６が接触する箇所との間に高低差がつき、ろう付け部１４の溶解やクラックなどが発生し難くなる。また、ジョイント１１の軸方向の寸法Ｌを短くすることができ、かつ、抵抗溶接の際にジョイント１１を下から支持する治具を必要とすることがなくなる。

〔差圧センサ〕
図５および図６に、上述した「細管の接合方法」を適用した差圧センサ１００の平面図および正面図を示す。この差圧センサ１００は、１次側の流体Ｐ１が導入される第１のブロック２１と、２次側の流体Ｐ２が導入される第２のブロック２２とを備えている。第１のブロック２１と第２のブロック２２との間には、ブロック２１に導入された１次側の流体Ｐ１をブロック２２に導く細管２３が設けられている。

図７にこの差圧センサ１００の内部構造の概略を示す。第２のブロック２２には感圧ダイアフラム２４が設けられている。感圧ダイアフラム２４の一方の面２４ａには細管２３を含む第１の流路２５を通して１次側の流体Ｐ１が導かれる。感圧ダイアフラム２４の他方の面２４ａには第２の流路２６を通して２次側の流体Ｐ２が導かれる。感圧ダイアフラム２４は、この一方の面２４ａに導かれる１次側の流体Ｐ１および他方の面２４ｂに導かれる２次側の流体Ｐ２の圧力差に応じた信号を出力する。

この差圧センサ１００において、第１の流路２５は、１次側の流体Ｐ１の導入口側に位置する第１の通路２７と、１次側の流体Ｐ１の導出口側に位置する第２の通路２８と、第１の通路２７の１次側の流体Ｐ１の流出口２７ａを第１の開口として塞ぐ第１のジョイント２９と、第２の通路２８の１次側の流体Ｐ１の流入口２８ａを第２の開口として塞ぐ第２のジョイント３０と、第１のジョイント２９をその一端２３ａが貫通し、第２のジョイント３０をその他端２３ｂが貫通し、第１の通路２７と第２の通路２８とを連通する細管２３とから構成されている。

この第１の流路２５において、第１のジョイント２９は、第１の通路２７の１次側の流体Ｐ１の流出口（第１の開口）２７ａを塞ぐ大径部２９−１と、この大径部２９−１の第１の開口２７ａを塞ぐ面とは反対側の面を上端面２９−１ａとし、この大径部２９−１の上端面２９−１ａに突出して形成された小径部２９−２とを備えている。大径部２９−１の外周面２９−１ｂは、その底面のみが軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とされている。すなわち、外周面２９−１ｂの全部ではなく、一部がテーパ面とされている。このテーパ面を２９−１ｃとする。

また、第１の流路２５において、細管２３の一端２３ａは、第１のジョイント２９の小径部２９−２および大径部２９−１を通して小径部２９−２の上端面２９−２ａより第１のジョイント２９にろう付けされており、第１のジョイント２９の大径部２９−１は、そのテーパ面２９−１ｃと第１の開口２７ａの内周面との当接面の全周が抵抗溶接されている。図７において、３１は第１のジョイント２９の小径部２９−２の上端面２９−２ａに形成されたろう付け部であり、３２は第１のジョイント２９と第１のブロック２１との溶接接合部である。

また、第１の流路２５において、第２のジョイント３０は、第２の通路２８の１次側の流体Ｐ１の流入口（第２の開口）２８ａを塞ぐ大径部３０−１と、この大径部３０−１の第２の開口２８ａを塞ぐ面とは反対側の面を上端面３０−１ａとし、この大径部３０−１の上端面３０−１ａに突出して形成された小径部３０−２とを備えている。大径部３０−１の外周面３０−１ｂは、その底面のみが軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とされている。すなわち、外周面３０−１ｂの全部ではなく、一部がテーパ面とされている。このテーパ面を３０−１ｃとする。

また、第１の流路２５において、細管２３の他端２３ｂは、第２のジョイント３０の小径部３０−２および大径部３０−１を通して小径部３０−２の上端面３０−２ａより第２のジョイント３０にろう付けされており、第２のジョイント３０の大径部３０−１は、そのテーパ面３０−１ｃと第２の開口２８ａの内周面との当接面の全周が抵抗溶接されている。図７において、３３は第２のジョイント３０の小径部３０−２の上端面３０−２ａに形成されたろう付け部であり、３４は第２のジョイント３０と第２のブロック２２との溶接接合部である。

この差圧センサ１００の構造において、細管２３の一端２３ａと第１のブロック２１との接合部、細管２３の他端２３ｂと第２のブロック２２との接合部に、上述した「細管の接合方法」が適用されている。なお、この例において、ブロック２１，２２、細管２３およびジョイント２９，３０の材質は何れもＳＵＳ３０４とされている。

〔差圧センサにおける細管の接合方法〕
図８に図１に対応する図を示す。第１のジョイント２９には、大径部２９−１および小径部２９−２を貫通して、挿入孔２９ａが形成されている。第２のジョイント３０には、大径部３０−１および小径部３０−２を貫通して、挿入孔３０ａが形成されている。

第１のジョイント２９の挿入孔２９ａに細管２３の一端２３ａを通し、挿入孔２９ａの上方に突出した細管２３の一端２３ａを小径部２９−２の上端面２９−２ａよりろう付けする。また、第２のジョイント３０の挿入孔３０ａに細管２３の他端２３ｂを通し、挿入孔３０ａの上方に突出した細管２３の他端２３ｂを小径部３０−２の上端面３０−２ａよりろう付けする。これにより、第１のジョイント２９と第２のジョイント３０と細管２３との接合体３５を得る。

なお、第１のジョイント２９の小径部２９−２の上端面２９−２ａにろう付け部３１が形成されるが、このろう付け部３１のろうが細管２３の一端２３ａの外周面と挿入孔２９ａの内周面との隙間にも流れて、この隙間もろう付けされるものとなる。また、第２のジョイント３０の小径部３０−２の上端面３０−２ａにろう付け部３３が形成されるが、このろう付け部３３のろうが細管２３の他端２３ｂの外周面と挿入孔３０ａの内周面との隙間にも流れて、この隙間もろう付けされるものとなる。

この第１のジョイント２９と第２のジョイント３０と細管２３との接合体３５を、図９に示すようにろう付け部３１，３３を上向きにして、すなわちジョイント２９，３０の大径部２９−１，３０−１を下向きにして、ブロック２１，２２の通路２７，２８に挿入する。ジョイント２９，３０の大径部２９−１，３０−１は、そのテーパ面２９−１ｃ，３０−１ｃの径が下端では通路２７，２８の径よりも小さく、上端では通路２７，２８の径よりも大きくされている。これにより、テーパ面２９−１ｃ，３０−１ｃが途中で通路２７，２８の開口２７ａ，２８ａの内周面に当接し、通路２７，２８の開口２７ａ，２８ａが塞がれるものとなる。

この状態で、図１０に示すように、第１のジョイント２９の大径部２９−１の上端面２９−１ａ（小径部２９−２の外側に位置する面）に電極３６を接触させ、ブロック２１，２２の下面に電極３７を接触させ、これら電極３６，３７を加圧して、抵抗溶接を行う。

図１１に第１のジョイント２９の大径部２９−１の上端面２９−１ａに接触させた電極３６の細管２３との関係を示す平面図を示す。電極３６は細管２３との接触を避けるためにＣ型とされている。これにより、第１のジョイント２９のテーパ面２９−１ｃと第１のブロック２１の通路２７の開口２７ａの内周面との当接面の全周が抵抗溶接される。

次に、図１２に示すように、第２のジョイント３０の大径部３０−１の上端面３０−１ａ（小径部３０−２の外側に位置する面）に電極３８を接触させ、ブロック２１，２２の下面に電極３７を接触させ、これら電極３８，３７を加圧して、抵抗溶接を行う。

図１３に第２のジョイント３０の大径部３０−１の上端面３０−１ａに接触させた電極３８の細管３との関係を示す平面図を示す。電極３８の形状も細管２３との接触を避けるためにＣ型とされている。これにより、第２のジョイント３０のテーパ面３０−１ｃと第２のブロック２２の通路２８の開口２８ａの内周面との当接面の全周が抵抗溶接される。

このようにして、図７にその内部構造の概略を示した差圧センサ１００が得られる。この差圧センサ１００では、ろう付け部３１，３３が溶接接合部３２，３４から遠ざかると共に、ろう付け部３１，３３と電極３６，３８が接触する箇所との間に高低差がつき、ろう付け部３１，３３の溶解やクラックなどが発生し難くなる。また、ジョイント２９，３０の軸方向の寸法Ｌを短くすることができ、かつ、抵抗溶接の際にジョイント２９，３０を下から支持する治具を必要とすることがなくなる。

この差圧センサ１００では、ろう付け部３１，３３の溶解やクラックなどが発生し難くなるので、ろう付け部３１，３３の強度を保ったままジョイント２９，３０をブロック２１，２２に抵抗溶接することができ、細管２３のブロック２１，２２への接合を確実なものとすることができる。また、これにより抵抗溶接の条件も幅広くとることができ、多少の電圧変動があってもジョイント２９，３０をブロック２１，２２に溶接することが可能となる。また、ブロック２１，２２の外側から、ろう付け部３１，３３の状態を確認することも可能となる。

なお、この差圧センサ１００では、第１のブロック２１に第１のジョイント２９を溶接し、第２のブロック２２に第２のジョイント３０を溶接するようにしたが、第１のブロック２１と第２のブロック２２とを１つのブロックとし、この１つのブロックに第１のジョイント２９と第２のジョイント３０を溶接するようにしてもよい。

また、この差圧センサ１００では、第１のジョイント２９と第２のジョイント３０の両方を同じ構造とし、図１〜図４を用いて説明した「細管の接合方法」を適用するようにしたが、何れか一方のみに適用するものとしてもよい。

〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。

２１…第１のブロック、２２…第２のブロック、２３…細管、２３ａ…一端、２３ｂ…他端、２４…感圧ダイアフラム、２４ａ…一方の面、２４ｂ…他方の面、２５…第１の流路、２６…第２の流路、２７…第１の通路、２７ａ…流出口（第１の開口）、２８…第２の通路、２８ａ…流入口（第２の開口）、２９…第１のジョイント、２９−１…大径部、２９−１ａ…上端面、２９−１ｂ…外周面、２９−１ｃ…テーパ面、２９−２…小径部、３０…第１のジョイント、３０−１…大径部、３０−１ａ…上端面、３０−１ｂ…外周面、３０−１ｃ…テーパ面、３０−２…小径部、３１，３３…ろう付け部、３２，３４…溶接接合部、３５…接合体、３６〜３８…電極。

Claims (8)

1. 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する感圧ダイアフラムと、前記感圧ダイアフラムの前記一方の面に第１の流体を導く第１の流路と、前記感圧ダイアフラムの前記他方の面に第２の流体を導く第２の流路とを備えた差圧センサにおいて、
   前記第１の流路は、
   前記第１の流体の導入口側に位置する第１の通路と、
   前記第１の流体の導出口側に位置する第２の通路と、
   前記第１の通路の前記第１の流体の流出口を第１の開口として塞ぐ第１の部材と、
   前記第２の通路の前記第１の流体の流入口を第２の開口として塞ぐ第２の部材と、
   前記第１の部材をその一端が貫通し、前記第２の部材をその他端が貫通し、前記第１の通路と前記第２の通路とを連通する細管とを備え、
   前記第１の部材は、
   前記第１の開口を塞ぐ大径部と、この大径部の前記第１の開口を塞ぐ面とは反対側の面を上端面とし、この上端面に突出して形成された前記大径部よりも径の小さい小径部とを備え、
   前記細管の前記一端は、
   前記第１の部材の前記小径部および前記大径部を通して前記小径部の上端面より前記第１の部材にろう付けされており、
   前記第１の部材の前記大径部は、
   その外周面と前記第１の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている
   ことを特徴とする差圧センサ。
2. 請求項１に記載された差圧センサにおいて、
   前記第２の部材は、
   前記第２の開口を塞ぐ大径部と、この大径部の前記第２の開口を塞ぐ面とは反対側の面を上端面とし、この上端面に突出して形成された前記大径部よりも径の小さい小径部とを備え、
   前記細管の前記他端は、
   前記第２の部材の前記小径部および前記大径部を通して前記小径部の上端面より前記第２の部材にろう付けされており、
   前記第２の部材の前記大径部は、
   その外周面と前記第２の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている
   ことを特徴とする差圧センサ。
3. 請求項１に記載された差圧センサにおいて、
   前記第１の部材の前記大径部は、
   その外周面の全部又は一部が軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とされ、このテーパ面と前記第１の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている
   ことを特徴とする差圧センサ。
4. 請求項２に記載された差圧センサにおいて、
   前記第２の部材の前記大径部は、
   その外周面の全部又は一部が軸方向に沿って下端に向かって縮径するテーパ面とされ、このテーパ面と前記第２の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている
   ことを特徴とする差圧センサ。
5. 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する感圧ダイアフラムと、前記感圧ダイアフラムの前記一方の面に第１の流体を導く第１の流路と、前記感圧ダイアフラムの前記他方の面に第２の流体を導く第２の流路とを備えた差圧センサにおいて、
   前記第１の流路は、
   前記第１の流体の導入口側に位置する第１の通路と、
   前記第１の流体の導出口側に位置する第２の通路と、
   前記第１の通路の前記第１の流体の流出口を第１の開口として塞ぐ第１の部材と、
   前記第２の通路の前記第１の流体の流入口を第２の開口として塞ぐ第２の部材と、
   前記第１の部材をその一端が貫通し、前記第２の部材をその他端が貫通し、前記第１の通路と前記第２の通路とを連通する細管とを備え、
   前記第２の部材は、
   前記第２の開口を塞ぐ大径部と、この大径部の前記第２の開口を塞ぐ面とは反対側の面を上端面とし、この上端面に突出して形成された前記大径部よりも径の小さい小径部とを備え、
   前記細管の前記他端は、
   前記第２の部材の前記小径部および前記大径部を通して前記小径部の上端面より前記第２の部材にろう付けされており、
   前記第２の部材の前記大径部は、
   その外周面と前記第２の開口の内周面との当接面の全周が溶接されている
   ことを特徴とする差圧センサ。
6. 請求項１に記載された差圧センサの製造方法であって、
   前記第１の部材の大径部の上端面に電極を接触させて前記第１の部材の外周面と前記第１の開口の内周面との当接面の全周を抵抗溶接するようにした
   ことを特徴とする差圧センサの製造方法。
7. 請求項２に記載された差圧センサの製造方法であって、
   前記第２の部材の大径部の上端面に電極を接触させて前記第２の部材の外周面と前記第２の開口の内周面との当接面の全周を抵抗溶接するようにした
   ことを特徴とする差圧センサの製造方法。
8. 請求項５に記載された差圧センサの製造方法であって、
   前記第２の部材の大径部の上端面に電極を接触させて前記第２の部材の外周面と前記第２の開口の内周面との当接面の全周を抵抗溶接するようにした
   ことを特徴とする差圧センサの製造方法。