JP2018043435A

JP2018043435A - インクジェットヘッド

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Publication number: JP2018043435A
Application number: JP2016180590A
Authority: JP
Inventors: 正勝深澤; Masakatsu Fukazawa
Original assignee: Toshiba TEC Corp
Current assignee: Toshiba TEC Corp
Priority date: 2016-09-15
Filing date: 2016-09-15
Publication date: 2018-03-22
Anticipated expiration: 2036-09-15
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Abstract

【課題】インク吐出量の変化を抑制するため、温度変化を制御することができるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】ノズルに連通する圧力室を複数有し、圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を第１の方向に配列した駆動回路と、第１の熱伝導率を有し、駆動回路に接して設けられた第１温度調整部３０１と、液体を第１の方向へ通す第１流路３１０と、液体を第１の方向でかつ第１流路とは異なる第２流路を有し、第１流路は基板に接して設けられ、第２流路は第１流路と第１温度調整部の間に配置された、第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部３０２ａと、を備える。【選択図】図５

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッドの温度調整機構に関する。

紙などの媒体にインク滴を付着させて画像や文字を形成するインクジェットプリンタが知られている。インクジェットプリンタは画像信号に従ってインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えている。

インクジェットヘッドは、インク滴を吐出させるノズルと、ノズルに連通するインク圧力室と、圧力室内のインクをノズルから吐出させる圧力を発生する圧力発生素子を備えている。圧力発生素子として圧電体が利用されている。圧電体によって動作する圧電素子（ピエゾ素子）は、電圧を力に変換する電気機械変換素子である。圧電素子の変形を利用して、圧力室内のインクに圧力を発生させている。インクに発生した圧力によって、インクがノズルから吐出する。代表的な圧電素子として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が使われている。

圧電素子を駆動してインクジェットヘッドからインクを吐出させ続けると、圧電素子は発熱する。圧電素子の発熱により、圧力室内のインクの温度は上昇する。結果、インクの粘度は低下し、インク吐出量が変化する。インク吐出量の変化を抑制するため、インクジェットヘッドの温度上昇を制御が必要である。

特開２００４−３３８１５０号公報特開２００７−２１６５４４号公報

圧電素子を駆動してインクジェットヘッドからインクを吐出させ続けると、圧電素子は発熱する。インクを吐出させ続けると、圧電素子を駆動する駆動回路も発熱する。圧電素子や駆動回路から発生する熱によって、インクジェットヘッド内のインク温度が上昇する。インク温度が上昇すると、インク粘度が低下し、インク吐出量が変化する。インク吐出量の変化を抑制するため、インクジェットヘッドの温度変化を制御する必要がある。

本発明の実施形態のインクジェットヘッドは、ノズルに連通する圧力室を複数有し、前記圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、前記複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を前記第１の方向に配列した駆動回路と、第１の熱伝導率を有し、前記駆動回路に接して設けられた第１温度調整部と、液体を前記第１の方向へ通す第１流路と、前記液体を前記第１の方向でかつ前記第１流路とは異なる第２流路を有し、前記第１流路は前記基板に接して設けられ、前記第２流路は前記第１流路と前記第１温度調整部の間に配置された、前記第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、を備える構成になっている。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す側面図である。第１実施形態のインクジェットヘッドの外観を示す斜視図と断面図である。第１実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す斜視図である。第１実施形態のインクジェットヘッドの駆動回路を示す図である。図２のインクジェットヘッドの温度調整部Ａ−Ａ部の断面図である。第１実施形態のインクジェットヘッドの温度特性を示す図である。第１実施形態のインクジェットヘッドの温度特性を示す図である。第２実施形態のインクジェットヘッドを示す斜視図である。第３実施形態のインクジェットヘッドを示す斜視図である。比較例として、インクジェットヘッドの温度調整部を示す斜視図である。

以下、実施形態について、図面を参照しながら説明する。図面で同じ番号は同じ構成を示している。

（第１の実施形態）
図１は、実施形態のインクジェットヘッド（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ）を搭載したインクジェットプリンタ１００の断面を示している。インクジェットヘッド１Ａ乃至１Ｄ（印字部１０９）は、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックのインクを吐出させ、インクジェットプリンタ１００の外部から入力された画像信号に応じて記録媒体Ｓ（用紙）上に画像を記録する。

記録媒体Ｓは、無地の用紙、アート紙、コート紙、などである。

インクジェットプリンタ１００は、箱型の筐体１０１を有している。筐体１０１の内部にＹ軸方向下部から上部に向かって、給紙カセット１０２、上流搬送路１０４ａ、保持ドラム１０５、印字部１０９、下流搬送路１０４ｂ、排紙トレイ１０３を備えている。給紙カセット１０２はインクジェットプリンタ１００で印字するための用紙Ｓを収容する。印字部１０９は、４個のシアン用インクジェットヘッド１Ａ、マゼンタ用インクジェットヘッド１Ｂ、イエロー用インクジェットヘッド１Ｃ、ブラック用インクジェットヘッド１Ｄを備えている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄは、保持ドラム１０５上に保持された用紙Ｓにインク滴を吐出して画像を記録する部分である。

給紙カセット１０２は、用紙Ｓを収容し筐体１０１の下部に設けられている。給紙ローラ１０６は、給紙カセット１０２から用紙Ｓを一枚ずつ上流搬送路１０４ａへ送る。上流搬送路１０４ａは、送りローラ対１１５ａ、１１５ｂと用紙Ｓの搬送方向を規制する用紙案内板１１６で構成されている。用紙Ｓは、送りローラ対１１５ａ、１１５ｂの回転によって搬送され、送りローラ対１１５ｂを通過後、用紙案内板１１６によって保持ドラム１０５の外周面へ送られる。図１中の破線矢印は用紙Ｓの案内経路を示す。

保持ドラム１０５は、表面に薄い樹脂製の絶縁層１０５ａを有しているアルミニウム製の円筒になっている。円筒の周長は、画像を記録する用紙Ｓの縦方向長さより長く、円筒の軸方向の長さは、用紙Ｓの横方向の長さより長くなっている。モータ１１８によって、一定の周速で矢印Ｒ方向に回転させている。保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａは、静電気によって用紙Ｓを保持しながら、回転して用紙Ｓを印字部１０９へ搬送する。絶縁層１０５ａに静電気を帯電させる帯電ローラ１０８を絶縁層１０５ａに沿って配置している。

帯電ローラ１０８は、金属製の回転軸を有し、回転軸周囲に導電ゴム層を有している。帯電ローラ１０８は、高電圧発生回路１１４に接続されている。導電ゴム層表面が、保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａに接し、帯電ローラ１０８の周速が保持ドラム１０５と同じ周速で回転するように、帯電ローラ１０８をモータで駆動している。保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａと帯電ローラ１０８の導電ゴム層が接して、ニップを形成する。用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｂ及び用紙案内板１１６によって、ニップへ送られる。用紙Ｓがニップへ搬送される直前に帯電ローラ１０８の金属軸に高電圧発生回路１１４が発生する高電圧を印加する。高電圧によって絶縁層１０５ａは帯電し、ニップに搬送された用紙Ｓも帯電して保持ドラム１０５の外周面上に静電吸着される。静電吸着された用紙Ｓは、保持ドラム１０５の回転によって、印字部１０９へ送られる。

印字部１０９は、インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄのインク吐出面が保持ドラム１０５の外周面から１ｍｍ離れて、インクジェットプリンタ１００に固定されている。各インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄは、保持ドラム１０５の軸方向（主走査方向）に長く、回転方向（副走査方向）に短い構成で、保持ドラム１０５の周方向に間隔を開けて配置されている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄの詳細な構造は後述する。インクタンク１１３はシアンインクを貯留するインク容器である。インクタンク１１３とインクジェットヘッド１Ａ間にインク供給装置１１２が配置されている。インク供給装置１１２は、ポンプと圧力調整機構を備えている。ポンプによって、インクジェットヘッド１Ａより重力方向において下方に配置されているインクタンク１１３のシアンインクをインクジェットヘッド１Ａに供給する。インクジェットヘッド１Ａはインク滴を重力方向（−Ｙ方向）に吐出する。そのため待機時にシアンインクがインクジェットヘッド１Ａから漏れ出ないように、インクジェットヘッド１Ａを大気圧に対して負圧に維持する必要がある。圧力調整機構は、インクジェットヘッド１Ａへ供給したインクがインクジェットヘッド１Ａのノズルからインクが漏れ出ない様に、インク圧力を大気圧に対して負圧に調整する。インクジェットヘッド１Ｂ−１Ｄも夫々同様なインクタンク１１３とインク供給装置１１２を備えているが、図中では省略している。

インクジェットヘッド１Ａの温度制御のために、温水タンク１２０が設けられている。温水タンク１２０は、インクジェットヘッド１Ａの温度調整用の水と、水を温めるヒータ１２１を備えている。ヒータ１２１は温度制御装置１２２で所定の温度になるよう制御している。ポンプ１２３はヒータ１２１で温めた水をインクジェットヘッド１Ａへ送水する。ポンプ１２３で送られる温水は、温水タンク１２０から流路１２４を通してインクジェットヘッド１Ａに送られる。温水は、インクジェットヘッド１Ａの温度調整部を通り、流路１２５を通して温水タンク１２０へ戻される。温水は、温水タンク１２０とインクジェットへッド１Ａの温度調整部の間で循環する。温度調整部については後述する。インクジェットヘッド１Ｂ−１Ｄに、インクジェットヘッド１Ａと同様に温水を循環させている。インクジェットヘッド１Ｂ−１Ｄの温水循環装置は、図中では省略している。

印字部１０９では、各インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄが用紙Ｓ上にインクを吐出しながら画像を記録する。記録する画像は、インクジェットプリンタ１００の外部から入力された画像信号に従って描画される。インクジェットヘッド１Ａはシアンインクを吐出しシアン画像を形成する。同様に、インクジェットヘッド１Ｂはマゼンタインクを、インクジェットヘッド１Ｃはイエローインクを、インクジェットヘッド１Ｄはブラックインクを吐出し、各色の画像を記録するようになっている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｄは吐出するインク色を除き同じ構造になっている。

印字部１０９で記録が完了した用紙Ｓは、除電装置１１０、剥離爪１１１へ搬送される。除電装置１１０は断面がコの字型に作られ、保持ドラム１０５の軸方向の長さと同じ長さのステンレス筐体内にタングステンワイヤーを張った構成になっている。除電装置１１０は、コの字型の筐体の開口が保持ドラム１０５の外周面に向かうよう、配置されている。高電圧発生回路１１７は、帯電ローラ１０８に印加した電圧とは逆極性の高電圧を発生する。記録が完了した用紙Ｓの先端が、除電装置１１０の下部へ搬送されると、高電圧発生回路１１７で発生した高電圧を筐体とタングステンワイヤー間に印加する。高電圧によって除電装置１１０の開口側からコロナ放電が発生し、帯電した用紙Ｓを除電する。剥離爪１１１は、爪先端が保持ドラム１０５の外周面に接する位置と、外周面から離間する位置を移動できるように設けられている。通常、剥離爪１１１は離間する位置に保持されている。用紙Ｓを保持ドラム１０５から剥離する場合、剥離爪１１１の先端が保持ドラム１０５の外周面に接し、除電した用紙Ｓの先端を絶縁層１０５ａから剥離する。用紙Ｓの先端を外周面から離した後、剥離爪１１１は外周面から離間する位置へ戻される。

保持ドラム１０５から離れた用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｃへ送られる。下流搬送路１０４ｂは、送りローラ対１１５ｃ、１１５ｄ、１１５ｅと用紙Ｓの搬送方向を規制する用紙案内板１１６で構成される。図中の破線矢印に沿って用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｃ、１１５ｄ、１１５ｅによって、排紙トレイ１０３へ排出される。

インクジェットヘッド１Ａの構成を詳細に説明する。前述したようにインクジェットヘッド１Ｂ−１Ｄは、１Ａと同じ構造になっている。

図２は、インクジェットヘッド１の構成を示す外観斜視図である。インクジェットヘッド１は、図２（２−Ａ）に示すように、インクを吐出させるインク吐出部２００ａ、２００ｂと、インク吐出部２００ａ、２００ｂの温度調整を行う温度調整部３００で構成されている。本実施形態のインクジェットヘッド１は、温度調整部３００を挟んで、上下（Ｘ軸方向）にインク吐出部２００ａ、２００ｂを備えている。上下のインク吐出部２００ａ、２００ｂは同じ構成になって。温度調整部３００とインクジェット吐出部２００ａ、２００ｂは、所定の箇所をエポキシ接着剤で固定して、一体になっている。図２（２−Ｂ）は、一体に形成したインクジェットヘッド１のＡ−Ａ断面を示している。

インク吐出部２００ａの構成を説明する。インク吐出部２００ａは、マスクプレート２０１、ノズルプレート２０２、アクチェータ基板２０３、天板２０４、インク供給口２０５を備えている。さらに、インク吐出部２００ａは、アクチュエータ基板２０３に電気信号を送るフレキシブル基板２０６、フレキシブル基板２０６に搭載され電気信号を発生する駆動回路２０７、フレキシブル基板２０６に接続された回路基板２０８を備えている。フレキシブル基板はＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）と呼ばれている。

図３を参照し、インク吐出部２００ａの構成を説明する。マスクプレート２０１と、ノズルプレート２０２が、アクチュエータ基板２０３に矢印方向に固定されている。マスクプレート２０１は、Ｚ軸方向の長さ６０ｍｍ、Ｘ軸方向の長さは６ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ、のステンレス製の板である。板の中心部にＺ軸方向に長さ５２ｍｍ、Ｘ軸方向の長さ１．５ｍｍの長方形の開口２１０が形成されている。マスクプレート２０１は、矢印で示すように、ノズルプレート２０２にエポキシ接着剤で固定されている。ノズルプレート２０２には、インク滴２１１を吐出させるノズル２２０が６１０個形成されている。ノズルプレート２０２は、Ｚ軸方向の長さ５９ｍｍ、Ｘ軸方向の長さ５ｍｍ、厚さ３０μｍのポリイミド樹脂製である。ノズル２０２の直径２０μｍになっている。ノズル２０２は、開口２１０のＸ軸方向の中心に配置され、Ｚ軸方向に直線状に配置されている。ノズルと隣接ノズルのＺ軸方向の距離は０．０８５ｍｍになっている。図３では、インク吐出部２００ａの構成を説明するために、ノズル数を１０個としている。

ノズルプレート２０２は、アクチュエータ基板２０３の端部にエポキシ接着剤で固定されている。アクチュエータ基板２０３は、第１圧電体２３０、第２圧電体２３１の積層体になっている。第１、第２圧電体２３０、２３１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で作成されている。第１圧電体２３０は、Ｘ軸方向の厚さ１．４ｍｍ、Ｙ軸方向長さ１２ｍｍ、Ｚ軸方向の長さ６０ｍｍの大きさになっている。第１圧電体２３０は＋Ｘ軸方向に分極されている。第２圧電体２３１は、Ｘ軸方向の厚さ０．１ｍｍ、Ｙ軸方向長さ１２ｍｍ、Ｚ軸方向の長さ６０ｍｍの大きさになっている。第２圧電体２３１は−Ｘ軸方向に分極されている。第１圧電体２３０と第２圧電体２３１は逆向きに分極された積層圧電体になっている。

このような積層圧電体には、第２圧電体２３１側から深さＤ１、Ｙ軸方向に長さＬ１、Ｚ軸方向に幅Ｗ１の溝２３２が形成されている。深さＤ１は０．２ｍｍ、長さＬ１は８ｍｍ、幅Ｗ１は０．０４４ｍｍになっている。溝２３２と隣接する溝２３２の間隔は、０．０８５ｍｍになっている。本実施形態では、溝２３２は、６００個形成されている。ニッケル（Ｎｉ）電極膜が、各溝２３２の内面に形成されている。各溝内のＮｉ電極に電気的に接続された引出し電極２３３が、第２圧電体上面に形成されている。引出し電極２３２はＮｉで形成されている。溝内の電極および引出し電極２３２は、Ｎｉ無電解メッキで形成している。溝２３２と隣接する溝２３２に挟まれた積層圧電体は、隣接する２つの溝内の電極で挟まれている。隣接する二つの溝内電極に駆動電圧（電気信号）を印加すると、分極方向に直交する電圧が、積層圧電体に印加される。積層圧電体２３４は、駆動電圧によって剪断変形する。剪断変形によって、第１圧電体２３０と第２圧電体２３１が、溝の容積を拡大または縮小するように変形する。剪断変形を起こす積層圧電体が、圧電アクチュエータ２３４となる。

第２圧電体２３１上面に天板２０４がエポキシ接着剤で固定される。天板２０４と溝２３２で囲まれた領域は、インクの吐出圧力を発生させる圧力室２３５となる。圧力室２３５は、ノズルプレート２０２に形成されたノズル２２０と連通するように固定されている。圧力室２３５が形成された積層圧電体を基板と呼んでいる。

天板２０４は、第１天板２４０、第２天板２４２、インク供給口２０５を備えている。第１天板２４０は、Ｘ軸方向の厚さ１．５ｍｍ、Ｙ軸方向長さ８ｍｍ、Ｚ軸方向の長さ６０ｍｍの大きさになっている。第１天板２４０は、Ｙ軸方向の端部から１。５ｍｍの位置に、Ｙ軸方向長さ５ｍｍ、Ｚ軸方向長さ５６ｍｍの開口２４１が形成されている。第１天板２４０は、ＰＺＴで形成されている。第１天板２４０のＰＺＴは、積層圧電体２３４の熱膨張係数と同じ熱膨張係数を有する材料になっている。第２天板２４２は、第１天板２４０上にエポキシ接着剤で固定されている。第２天板２４２は、Ｘ軸方向の厚さ１．５ｍｍ、Ｙ軸方向長さ８ｍｍ、Ｚ軸方向の長さ６０ｍｍの大きさになっている。第２天板２４２は第１天板２４０と同じ材料で形成されている。インク供給口２０５は、内部に直角に曲がる円筒管２５０を備えている。円筒管２５０が第２天板２４２を貫通して開口２４１に連通するように、インク供給口２０５は、第２天板２４２に固定されている。円筒管２５０を通してインクは開口２４１に供給される。開口２４１は、各溝２３２および各圧力室２３５にインクを供給する共通インク室２４１になる。

各溝２３２に対応して設けられ、第２圧電体２３１上面に形成された引出電極２３３は、６００個の溝に対応して６００本引き出されている。フレキシブル基板２０６上に形成された電極パターン２６０は、各溝２３２に形成された引出電極２３３に対応して設けられている。電極パターン２６０と引出電極２３３は異方性導電膜（ＡＣＦ：ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｔａｃｔＦｉｌｍ）によって電気的に接続されている。

図４（４−Ａ）は、アクチュエータ基板２０３とフレキシブル基板２０６を示している。各圧力室２３５から繋がる引出電極２３３が、第２圧電体２３１上に形成されている。引出電極２３３は、ＡＣＦ２３６を通して、フレキシブル基板２０６の電極パターン２６０に電気的に接続されている。電極パターン２６０は、それぞれ駆動回路２０７の駆動用ＦＥＴ（ＦｉｅｌｄＥｆｆｅｃｔＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）に接続されている。二つのＦＥＴのドレインとソースが接続され、直列に配置されている。ドレインとソースの接続部に、各電極パターンが接続されている。図４（４−Ｂ）は、電極パターン２６０、駆動回路２０７の等価回路を示している。駆動用ＦＥＴは電源電圧（＋Ｖｃｃ、−Ｖｃｃ）に接続されている。圧電アクチュエータ２３４は、誘電体であるＰＺＴを二つの電極で挟む構成になっている。そのため、圧電アクチュエータ２３４は静電容量（Ｃ０、Ｃ１、Ｃ２、・・・Ｃｎ）として表される。圧電アクチュエータ２３４（Ｃ１）を駆動する場合を例示する。一つの溝に形成された一つの引出電極２３３は、隣接する二つの圧電アクチュエータ２３４（Ｃ０とＣ１）の共通電極になっている。その一つの引出電極２３３は、駆動回路２０７のＦＥＴ０とＦＥＴ１に接続されている。圧電アクチュエータ２３４（Ｃ１とＣ２）に接続された隣接する引出電極２３３は、ＦＥＴ２とＦＥＴ３に接続されている。ＦＥＴ０とＦＥＴ３をＯＮにして、ＦＥＴ２とＦＥＴ１をＯＦＦにすると、圧電アクチュエータ２３３（Ｃ１）は剪断変形して圧力室２３５のインクに圧力を発生させる。ＦＥＴ２とＦＥＴ１をＯＮにして、ＦＥＴ０とＦＥＴ１をＯＦＦにすると、圧電アクチュエータ２３３（Ｃ１）は逆向きに剪断変形して隣接する圧力室２３５のインクに圧力を発生させる。選択回路２７１は、ＦＥＴ０、ＦＥＴ１、・・・、ＦＥＴ２ｎ、ＦＥＴ２ｎ＋１を所定のタイミングで動作させる。選択回路２７１と複数のＦＥＴを含む駆動回路２０７は、集積回路（ＩＣ）になっている。隣接する二つの圧電アクチェータ２３３を同時に動作させることで、圧力室２３５内の容積を拡張または収縮させている。圧力室２３５の容積変化によって、ノズル２２０からインク滴２１１を吐出させる。一つの圧力室２３５からインク滴を吐出させるために、６個のＦＥＴが動作する。

駆動回路２０７は、フレキシブル基板２０６の電極パターン２６０が形成された面に搭載されている。フレキシブル基板２０６は、Ｚ軸方向５３ｍｍ、Ｙ軸方向２０ｍｍ、Ｘ軸方向０．０５ｍｍになっている。フレキシブル基板２０６のＹ軸方向中央に２つ駆動回路２０７が、Ｚ軸方向に並べて配置されている。１つの駆動回路２０７は、３００個の引出電極２３３に駆動信号を供給する。引出電極２３３は、Ｙ軸方向に直線状に形成され、Ｚ軸方向に６００個並置されている。電極パターン２６０も引出電極２３３に対応して、Ｙ軸方向に直線状に形成され、Ｚ軸方向に６００個並置されている。Ｚ軸方向に並置された６００個の各電極パターン２６０は、駆動回路２０７に接続されている。そのため、それぞれの駆動回路２０７は、Ｚ軸方向長さ２０ｍｍ、Ｙ軸方向幅１．２ｍｍ、Ｘ軸方向高さ１．５ｍｍの長方形になっている。各引出電極２３３が、ＡＣＦを介してＹ軸方向において並置された電極パターン２６０に接続され、各電極パターン２６０は駆動回路２０７に接続されている。フレキシブル基板２０６は、さらにＡＣＦで回路基板２０８に接続されている。回路基板２０８は、外部から入力される印字用のデータに従い選択回路２７１を動作させる信号発生回路２８０、ＦＥＴの電源電圧（＋Ｖｃｃ、−Ｖｃｃ）、温度検出回路２８１などを含んでいる。また、回路基板２０８は、外部から入力される信号を受けるためのコネクタ２０９を搭載している。

温度調整部３００について説明する。

図２（２−Ａ）に示すように、温度調整部３００は、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２で構成されている。第１温度調整部３０１は、Ｙ軸方向５１ｍｍ、Ｚ軸方向３２ｍｍのアルミニウム（Ａｌ）板になっている。アルミニウム板は、Ｘ軸に直交する第１面と第１面に対向する第２面を有し、第１面と第２面の距離（厚さ）２ｍｍになっている。アルミニウムの熱伝導率は、２３５（Ｗ／ｍＫ）になっている。アルミニウムの熱膨張率は、２３（×１０^−６／Ｋ）になっている。

第１温度調整部の他の金属材料として、銅（Ｃｕ）、黄銅、亜鉛（Ｚｎ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）なども利用可能である。各金属材料の熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）は、銅：４０３、黄銅：１０６、亜鉛：１１７、タングステン：１７７、になっている。各金属材料の熱膨張率（×１０^−６／Ｋ）は、銅：１６．８、黄銅：１９、亜鉛：３０．２、タングステン：４．３、になっている。セラミック材料として、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）なども利用可能である。各セラミック材料の熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）は、窒化アルミニウム：１５０、炭化ケイ素：２００になっている。各セラミック材料の熱膨張率（×１０^−６／Ｋ）は、窒化アルミニウム：４．６、炭化ケイ素：３．７になっている。

第２温度調整部３０２は、第１アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）板３０２ａと第２アルミナ板３０２ｂの積層構造になっている。第１アルミナ板３０２ａは、Ｚ軸方向長さ６４ｍｍ、Ｙ軸方向長さ２１ｍｍ、Ｘ軸方向厚さ１ｍｍである。さらに、第１アルミナ板３０２ａのＹ軸方向の一端にＺ軸方向長さ５１ｍｍ、Ｙ軸方向に長さ５ｍｍの切欠き部３０７を有している。第１アルミナ板３０２ａのＸ軸方向において、一面に深さ０．５ｍｍの溝が形成されている（図５参照）。第２アルミナ板３０２ｂは、第１アルミナ板３０２ａと同じ形状に作られている。第１アルミナ板３０２ａの溝が形成された面と、第２アルミナ板３０２ｂの溝が形成された面が、エポキシ接着剤で固定されている。接着時、接着剤が溝内に流入しないようにしている。第１アルミナ板３０２ａと第２アルミナ板３０２ｂの溝で形成された空間は、温度調整用温水を流す流路３０４になる。

第１アルミナ板３０２ａと第２アルミナ板３０２ｂは、積層され２ｍｍの厚さになっている。第２アルミナ板３０２ｂの溝が形成されていない面（第２温度調整部の第３面）と、第１アルミナ板３０２ａの溝が形成されていない面（第２温度調整部の第４面）との距離は、２ｍｍになる。第１温度調整部３０１のアルミニウム板が、第１アルミナ板３０２ａと第２アルミナ板３０２ｂで形成された第２温度調整部３０２の切欠き部３０７にはめ込まれている。第１温度調整部３０１端部と第２温度調整部３０２端部が、エポキシ接着剤で、固定されている。第２温度調整部３０２は、Ｙ軸方向端の中央部に切欠き部３０５を有している。インク吐出部２００ａ、２００ｂの温度を検出するためのサーミスタ３０６が、切欠き部３０５に設けられている。第２温度調整部３０２のＺ軸方向両端部に、流路３０４に温水を流入させるパイプ３０３が設けられている。

図２（２−Ｂ）に示すように、第１のインク吐出部２００ａのアクチュエータ基板２０３は、第２アルミナ板３０２ｂの上面（第２温度調整部の第３面）にエポキシ接着剤で固定されている。第２のインク吐出部２００ｂのアクチュエータ基板２０３は、第１アルミナ板３０２ａの下面（第２温度調整部の第４面）にエポキシ接着剤で固定されている。第１、第２のインク吐出部２００ａ、２００ｂのアクチュエータ基板２０３に形成された圧電アクチュエータ２３４は、第２温度調整部の流路３０４に沿って配置される。第１のインク吐出部２００ａに設けられた駆動回路２０７は、図（２−Ａ）に示すように、Ｚ軸に平行に配置され、Ｘ軸方向の頂部は、第１温度調整部３０１の上面（第１温度調整部の第１面）にエポキシ接着剤で固定されている。第２のインク吐出部２００ｂに設けられた駆動回路２０７も、Ｚ軸に平行に配置され、Ｘ軸方向の頂部は、第１温度調整部３０１の下面（第１温度調整部の第２面）にエポキシ接着剤で固定されている。エポキシ接着剤の薄層を介して固定しているので、アクチュエータ基板２０３および駆動回路２０７は、温度調整部３００に近接配置されている。第１、第２のインク吐出部２００ａ、２００ｂに設けられた回路基板２０８も、第１温度調整部３０１に接着されている。接着剤で固定する方法以外に、第１温度調整部３０１のアルミニウム板に固定された板バネで駆動回路２０７およびアクチュエータ基板２０３をアルミニウム板に固定する方法もある。接しているとは、熱が第２温度調整部３０２からアクチュエータ基板２０３へ十分伝達する接着剤の厚さを含んで近接している状態を示している。また、接しているとは、熱が駆動回路２０７から第１温度調整部３０１へ十分伝達する接着剤厚を含んで近接している状態を示している。さらに、接しているとは、ばねで固定するような他の固定方法においても、熱が十分伝達する近接配置を含んでいる。

第２温度調整部３０２はアルミナ板３０２ａ、３０２ｂの積層構造になっている。第２温度調整部３０２は、二つのインク吐出部２００ａ、２００ｂを支持する支持体としても機能している。アルミナの熱膨張率は７．７（×１０^−６／Ｋ）、熱伝導率は２（Ｗ／ｍＫ）になっている。アクチュエータ基板２０３のＰＺＴの熱膨張率は８（×１０^−６／Ｋ）、熱伝導率は２（Ｗ／ｍＫ）である。第２温度調整部３０２の熱膨張率と、アクチュエータ基板２０３の熱膨張率の差が小さくなるように、アルミナを選択している。アルミナ以外に、イットリア（Ｙ_２Ｏ_３）、サーメット（ＴｉＣ・ＴｉＮ）、ステアタイト（ＭｇＯ・ＳｉＯ_２）も利用可能である。各材料の熱膨張率（×１０^−６／Ｋ）は、イットリア：７．２、サーメット：７．４、ステアタイト：７．７である。第２温度調整部３０２の熱膨張率とアクチュエータ基板２０３の熱膨張率の差が大きくなると、温度上昇とともに、アクチュエータ基板２０３に反りが発生する。アクチュエータ基板２０３が反ると、アクチュエータ基板２０３はＸ軸方向に変形する。変形によって、Ｚ軸方向の中心部のノズル２２０から吐出するインク滴２１１と、Ｚ軸方向の端部のノズル２２０から吐出するインク滴２１１とで、Ｘ軸方向に位置ずれを発生する。インク滴２１１の記録媒体Ｓ上の位置ずれを抑制する為に、第２温度調整部３０２の熱膨張率とアクチュエータ基板２０３の熱膨張率の差は小さくなっている。アクチュエータ基板２０３と第２温度調整部３０２の熱膨張係数の差は、第２温度調整部３０２の１０％以内の材料が好ましい。

図５は、第１アルミナ基板３０２ａに形成した溝形状を示している。前述したように、第１アルミナ基板３０２ａは、厚さＴ１：１ｍｍ、溝深さＤ２：０．５ｍｍになっている。流路３０４は、第１アルミナ基板３０２ａと第２アルミナ基板３０２ｂに形成された溝を合わせた形状になっている。第１流路溝３１０ａ、３１０ｂと第２流路溝３１１の端部が、パイプ３０３ａおよびパイプ３０３ｂに接続されている。第１流路溝３１０ａは、パイプ３０３ａに繋がり、第１アルミナ基板３０２ａのＹ軸方向の一端からＬ２：１ｍｍの位置に流路幅Ｗ２：４ｍｍ、長さＷ３：２３ｍｍで形成されている。第１流路溝３１０ｂは、パイプ３０３ｂに繋がり、第１流路溝３１０ａと同様に第１アルミナ基板３０２ａのＹ軸方向の一端からＬ２：１ｍｍの位置に流路幅Ｗ２：４ｍｍ、長さＷ３：２３ｍｍで形成されている。第１流路溝３１０ａと３１０ｂは、Ｚ軸と平行に長さＷ３で配置されている。また、第１流路溝３１０ａと３１０ｂは、前述した切欠き部３０５を迂回して連通している。第２流路溝３１１ａは、Ｙ軸方向の他端（第１温度調整部３０１との境界）からＬ３：０．５ｍｍの位置に、流路幅Ｗ４：１．５ｍｍ、長さＷ５：５０ｍｍで形成されている。第２流路溝３１１ａは、Ｚ軸に平行に設けられている。第２流路溝３１１ａは、第１流路溝３１０ａと３１０ｂ間の切欠き部３０５を迂回して形成されている溝部と、連通している。第２アルミナ基板３０２ｂも、第１アルミナ基板３０２ａと同じ形状の溝が形成されている。第１、第２アルミナ基板３０２ａ、３０２ｂを接着することで、流路３０４が、第２温度調整部３０２内部に形成される。第１、第２アルミナ基板３０２ａ、３０２ｂのそれぞれ形成された第１流路溝３１０ａ、３１０ｂが、第１流路３１０を形成する。第１、第２アルミナ基板３０２ａ、３０２ｂに形成された二つの第２流路溝３１１が、第２流路３１１を形成する。第１流路３１０の流路断面積は、４ｍｍ^２（幅Ｗ２：４ｍｍ、高さ（２倍のＤ２）：１ｍｍ）になっている。第２流路３１１の流路断面積は、１．５ｍｍ^２（幅Ｗ４：１．５ｍｍ、高さ（２倍のＤ２）：１ｍｍ）になっている。第１流路３１１の流路断面積は、第２流路３１０の流路断面積より大きくなっている。パイプ３０３ａと３０３ｂが、流路３０４を形成した第２温度調整部３０２に接着される。

上記構成のインクジェットヘッド１の動作を説明する。

上記のように、インクジェットヘッド１は、温度調整部３００のＸ軸方向の両面にインク吐出部２００ａ、２００ｂを有している。インク吐出部２００ａ、２００ｂのアクチュエータ基板２０３には、複数の圧電アクチュエータ２３４がＺ軸方向に直線状に配置されている。隣接する二つの圧電アクチュエータ２３４間に、圧力室２３５が形成されている。圧電アクチュエータ２３４の剪断変形によって、圧力室２３５の容積は、拡大または収縮する。圧力室２３５の容積を拡大させ、圧力室２３５内にインクを供給し、圧力室２３５の容積を戻して、ノズル２２０からインク滴２１１を吐出している。インク滴２１１吐出後、圧力室２３５の容積を収縮させ、圧力室２３５内のインクの残留振動を抑制している。

１つのインク滴２１１を吐出する時、隣接する二つの圧電アクチュエータ２３４が剪断変形する。圧電アクチュエータ２３４のＰＺＴが剪断変形を繰り返すと、ＰＺＴが発熱する。インクジェットヘッド１に与えられる画像信号によって、複数ある圧電アクチュエータ２３４の変形回数が異なる。文字画像を記録する場合には、圧電アクチュエータ２３４の動作回数は比較的少ない。複数の圧電アクチュエータ２３４の動作回数が少ないので、圧電アクチュエータ２３４の平均発熱量は、比較的少ない。ある領域を塗りつぶす画像の場合には、圧電アクチュエータ２３４の動作回数は多くなる。圧電アクチュエータ２３４の動作回数が増えると、圧電アクチュエータ２３４の平均発熱量は増加する。発熱量が増加すると、インク温度が高くなる。インク温度が高くなると、インク粘度が低下する。インク粘度が低下すると、圧電アクチュエータ２３４の剪断変形量が同じでも、インク吐出量は増加する。また、インクジェットヘッド１の周囲温度が低い場合には、インク粘度が高くなり、インク吐出量が低下する。

インク温度の変化を抑制するため、第２温度調整部３０２の流路３０４に一定温度の温水を流している。温水タンク１２０から温水を流路３０４に供給している。インク粘度を一定に保つために、本実施形態では、流路３０４へ流す温水は４５℃としている。この温度は、インクの特性に依存する。温水は、第１流路３１０と第２流路３１１を通る。図２（２−Ｂ）に示すように、第１流路３１０は、インク吐出部２００ａ、２００ｂの圧電アクチュエータ２３４とＸ軸方向で約１ｍｍの距離に形成される。そのため、アルミナ基板３０２ａ、３０２ｂ、およびＰＺＴの熱伝導率は２（Ｗ／ｍＫ）と低いが、圧電アクチュエータ２３４の発熱を効率よく抑制することができる。なお、温水の代わりに、低粘度の油を所定温度に加熱して、流路３０４に流すことも可能である。

駆動回路２０７の頂部は、第１温度調整部３０１の一面に近接配置され、かつ、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の境界近傍に配置されている。駆動回路２０７は、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の境界に平行に配置され、Ｙ軸方向の幅の中心は、境界から１ｍｍに配置されている。図２（２−Ｂ）で示す、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の境界側の第２流路３１１の端部から駆動回路２０７のＹ軸方向の幅の中心までの距離Ｌ４は、１．５ｍｍになっている。さらに、第１、第２インク吐出部２００ａ、２００ｂの二つの駆動回路２０７が、第１温度調整部３０１の両面に近接配置されている。前述したように、１つの圧力室２３５から１インク滴を吐出させるために、４個のＦＥＴを動作させている。インク滴の単位時間当たりの吐出数が増加すれば駆動回路２０７は、長方形状のＺ軸方向に沿って発熱する。駆動回路２０７は、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の境界と略平行に配置されている。駆動回路２０７で発生した熱は、高熱伝導率のアルミニウムを通して、＋Ｙ方向へ拡散させることができる。アルミニウムを通して−Ｙ方向へ伝わる熱は、温水で一定温度に維持された第２流路３１１によって、インク吐出部２００ａ、２００ｂへ伝わり難くなる。

図６は、インク吐出部２００ａ、２００ｂの駆動回路２０７への投入電力と、アクチュエータ基板２０３温度と駆動回路２０７温度の関係を示している。駆動回路２０７へ投入する平均電力に対する、アクチュエータ基板２０３温度と駆動回路２０７温度を計算で求めた結果をグラフにしている。第１温度調整部３０１はアルミニウム（Ａｌ）で、第２温度調整部３０２はアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）になっている。横軸は駆動回路２０７への投入電力（Ｗ）を示し、縦軸は温度（℃）を示している。白丸は、本実施形態のアクチュエータ基板２０３の温度を示している。黒丸は、比較例の温度調整部３００上に設けた第１の実施形態のアクチュエータ基板の温度を示している。白四角は、本実施形態の駆動回路２０７の温度を示している。黒四角は、比較例の温度調整部３００上に設けた第１の実施形態の駆動回路２０７の温度を示している。比較例の温度調整部３００は、図１０に示す、アルミナ一体構造になっている。本実施形態のアクチュエータ基板２０３温度は、比較例のアクチュエータ基板温度と比べ、低くなっている。本実施形態の駆動回路２０７温度についても、比較例の駆動回路温度と比べ、低く抑えることができる。さらに、投入電力が大きいほど、駆動回路の温度差は大きくなっている。これは、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の組合せによって、温度差が大きくなっていると考えられる。駆動回路２０７の温度に関する最大定格は８０℃とされている。駆動回路２０７を、この最大定格温度以内で動作させる必要がある。本実施形態の第１温度調整部３０１と、第１流路３１０と第２流路３１１を備える第２温度調整部３０２の組合せにより、アクチュエータ基板のインク温度上昇を抑制しながら、駆動回路２０７を最大定格に余裕をもって動作させることが可能になる。なお、投入電力が少ないとは、文字記録のように、インク吐出量が少ないことを表している。投入電力が大きいとは、領域を塗りつぶすような記録で、インク吐出量が多いことを表している。

図７は、図２（２−Ｂ）で示す距離Ｌ４に対する、駆動回路２０７の温度変化を、計算した結果を表している。距離Ｌ４は、第１温度調整部３０１と第２温度調整部３０２の境界側の第２流路３１１の端部から、駆動回路２０７のＹ軸方向の幅の中心までの距離を示している。駆動回路２０７の温度は、距離Ｌ４が１〜２ｍｍの範囲で低くなっている。距離Ｌ４が１ｍｍ以下に近づくと、駆動回路２０７の熱が、第２流路３１１内の温水を温めるため、駆動回路２０７の温度が高くなる。また、距離Ｌ４が２ｍｍ以上に離れると、距離Ｌ３が増加し、低熱伝導率の第２温度調整部３０２の熱抵抗が高くなる。熱抵抗が高くなると、駆動回路２０７の温度も上昇する。そのため、駆動回路２０７の昇温を抑制するためには、距離Ｌ４は１〜２ｍｍ範囲が好ましい。

本実施形態のインクジェットヘッドは、第１の熱伝導率を有し、駆動回路に近接して設けられた第１温度調整部と、液体を第１の方向へ通す第１流路と、液体を第１の方向でかつ第１流路とは異なる第２流路を有し、第１流路はアクチュエータ基板に近接して設けられ、第２流路は第１流路と第１温度調整部の間に配置された、第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、を備えている。この第１温度調整部および第２温度調整部を有することによって、駆動回路で発生する熱を高熱伝導率の第１温度調整部へ放熱し、さらに第２流路によって駆動回路から第２温度調整部に伝わる熱を温水へ移動させる。駆動回路で発生する熱を温水へ移動させることで、駆動回路で発生する熱がアクチュエータ基板へ伝熱することを抑制する。したがって、駆動回路の温度上昇を抑制しながら、アクチュエータ基板の温度上昇も抑制可能である。

第１流路の断面積が、第２流路の断面積より大きくなっている。断面積を変えることで、パイプ３０３から供給できる温水を、第２流路より第１流路に多く流している。温水量を多くすることで、低熱伝導率の第１温度調整部においても、アクチュエータ基板の温度上昇をより効率よく抑えることが可能である。

また、アクチュエータ基板２０３と第２温度調整部３０２の熱膨張係数の差を、アクチュエータ基板２０３と第１温度調整部３０１の熱膨張係数の差より小さくすることで、周囲温度や駆動によってアクチュータ基板２０３温度が上昇しても、アクチュエータ基板２０３の反りを抑制できる。そのため、インク滴の着弾位置精度の高い印字が可能である。

また、第１温度調整部３０１および第２温度調整部３０２は、同じ厚さで薄板状になっている。そのため、インク吐出部２００ａと２００ｂのＸ軸方向の距離を短くすることができる。結果、温度調整部３００の両面にインク吐出部２００ａ、２００ｂを備えるインクジェットヘッド１を小型にすることが可能である。

上記のように、インクジェットプリンタ１００は、ノズルに連通する圧力室を複数有し、前記圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、前記複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を前記第１の方向に配列した駆動回路と、第１の熱伝導率を有し、前記駆動回路に接して設けられた第１温度調整部と、液体を前記第１の方向へ通す第１流路と、前記液体を前記第１の方向でかつ前記第１流路とは異なる第２流路を有し、前記第１流路は前記基板に接して設けられ、前記第２流路は前記第１流路と前記第１温度調整部の間に配置された、前記第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、を備えるインクジェットヘッドと、前記流路に供給する液体を貯留する液体貯留部と、前記液体の温度を制御する制御部と、前記インクジェットヘッドによって記録する記録媒体を搬送する媒体搬送手段を、備えている。

本実施形態は、インクジェットヘッドの温度制御方法にも特徴がある。
ノズルに連通する圧力室を複数有し、前記圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、
前記複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を前記第１の方向に配列した駆動回路と、
第１の熱伝導率を有する第１温度調整部と、
液体を前記第１の方向へ通す第１流路と、前記液体を前記第１の方向でかつ前記第１流路とは異なる第２流路を有し、前記第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、
を備えるインクジェットヘッドの温度制御方法において、
前記第１温度調整部に前記駆動回路を接し、
前記第１流路を前記基板に接し、
前記第２流路を前記第１流路と前記第１温度調整部の間に配置させ、
前記流路に所定の温度の液体を供給する、インクジェットヘッドの温度制御方法。

（第２の実施形態）
図８を参照し、第２の実施形態のインクジェットヘッド１の構成を説明する。インク吐出部２００ａ、２００ｂのインク供給口２０５の構成が、第１の実施形態のインクジェットヘッド１と異なっている。インク供給口２０５の構成以外は、すべて第１の実施形態のインクジェットヘッド１と同様である。

第２の実施形態では、インク供給口２０５ａとインク供給口２０５ｂを備えている。インク供給口２０５ａ、２０５ｂは、それぞれ内部に直交する円筒管を備えている。円筒管は、共通インク室２４１に連通している。インクは、インク供給口２０５ａから供給され、一部のインクは、ノズル２２０から吐出される。残ったインクは、インク供給口２０５ｂから排出される。図示していない、インク循環装置で、排出されたインクは、再びインク供給口２０５ａに供給される。インクは、共通インク室２４１を通して循環している。インク吐出部２００ａ、２００ｂ内で気泡が発生した場合でも、インクが循環しているので気泡を除去しやすい構成になっている。

（第３の実施形態）
図９を参照し、第３の実施形態のインクジェットヘッド１を説明する。第１の実施形態では、温度調整部３００の上下面に、インク吐出部２００ａ、２００ｂを備える構成になっている。第３の実施形態のインクジェットヘッド１では、温度調整部３００の片面にインク吐出部２００を備えている。片面にインク吐出部２００を備える構成以外は、第１の実施形態と同じである。片面にのみインク吐出部２００を有しているので、第１温度調整部３０１を通しての放熱性が良い。また、第２温度調整部３０２を通してインク温度をより安定に維持しやすい。

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄインクジェットヘッド
１００インクジェット記録装置
１２０温水タンク
２００ａ、２００ｂインク吐出部
２０１マスクプレート
２０２ノズルプレート
２０３アクチェータ基板
２０４天板
２０５インク供給口
２０７駆動回路
３００温度調整部
３０１第１温度調整部
３０２第２温度調整部
３０４流路
３１０第１流路
３２０第２流路

Claims

ノズルに連通する圧力室を複数有し、前記圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、
前記複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を前記第１の方向に配列した駆動回路と、
第１の熱伝導率を有し、前記駆動回路に接して設けられた第１温度調整部と、
液体を前記第１の方向へ通す第１流路と、前記液体を前記第１の方向でかつ前記第１流路とは異なる第２流路を有し、前記第１流路は前記基板に接して設けられ、前記第２流路は前記第１流路と前記第１温度調整部の間に配置された、前記第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、を備えるインクジェットヘッド。
前記第１流路の前記第１の方向と直交する第２の方向における流路断面積は、前記第２流路の前記第２の方向における流路断面積より大きい請求項１記載のインクジェットヘッド。
前記駆動回路は、前記第１の方向の長さが前記第２の方向の長さより長い集積回路であり、前記集積回路の前記第２の方向における長さの中心から、前記第２流路の前記第１温度調整部に近い側の端部までの距離は１乃至２ｍｍに形成されている請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
前記基板と前記第２温度調整部の熱膨張係数の差は、前記基板の熱膨張係数の１０％以内である請求項１乃至３の１項記載のインクジェットヘッド。
ノズルに連通する圧力室を複数有し、前記圧力室内のインクに吐出圧力を発生させる複数のアクチュエータが第１の方向に1列に設けられた基板と、
前記複数のアクチュエータを動作させる複数の駆動素子を前記第１の方向に配列した駆動回路と、
第１の熱伝導率を有し、前記駆動回路が前記第１の方向に直交する第２の方向で接して設けられた第１温度調整部と、
液体を前記第１の方向へ通し、前記第１及び第２の方向に直交する第３の方向において前記駆動回路に近接する第１端部と、前記第１端部に対向し前記基板に近接する第２端部を有する流路を備え、前記第１の熱伝導率より低い第２の熱伝導率を有する第２温度調整部と、を備えるインクジェットヘッド。