JP2018031570A - 安全装置、安全システム及び燃焼除害装置の安全化方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記排気手段が運転状態であるか停止状態であるかを検出する運転状態検出手段と、
該運転状態検出手段が前記停止状態を検出したときに発する停止状態検出信号を受信したときに、前記燃焼除害装置の燃焼を停止させるとともに、前記バルブを閉にする制御手段と、を有する。
20 真空ポンプ
22 運転状態検出器
30 燃焼除害装置
31 燃焼筒
32 三方弁
33 除害配管
34 バイパス配管
40〜42 配管
50 遮断弁
60 希釈ガス供給源
61 希釈ガス供給配管
62 希釈ガス供給バルブ
70 制御部
80 安全装置
100 安全システム
Claims (9)
- 処理室にバルブを介して接続された排気手段の二次側に接続され、該排気手段により排気された有害ガスを燃焼筒で燃焼させて無害化する燃焼除害装置と、
前記排気手段が運転状態であるか停止状態であるかを検出する運転状態検出手段と、
該運転状態検出手段が前記停止状態を検出したときに発する停止状態検出信号を受信したときに、前記燃焼除害装置の燃焼を停止させるとともに、前記バルブを閉にする制御手段と、を有する安全装置。 - 前記燃焼除害装置は、前記排気手段の二次側を前記燃焼筒を経由せずに前記燃焼除害装置の二次側の配管に接続可能なバイパス配管と、前記排気手段の二次側を前記燃焼筒への接続又は前記バイパス配管への接続に切り替え可能な切替手段とを有し、
前記制御手段は、前記停止状態検出信号を受信したときに、前記切替手段を前記バイパス配管への接続に切り替えさせる請求項1に記載の安全装置。 - 前記バルブと前記排気手段との間の配管には、希釈ガスを供給可能な希釈ガス供給手段が接続され、
前記制御手段は、前記停止状態検出信号を受信したときに、前記希釈ガス供給手段から前記バルブと前記排気手段との間の配管に前記希釈ガスを供給させる請求項1又は2に記載の安全装置。 - 処理室と、
該処理室に第1の配管を介して接続された排気手段と、
前記第1の配管に設けられたバルブと、
前記排気手段の二次側に第2の配管を介して接続され、前記排気手段により排気される有害ガスを燃焼筒で燃焼させて無害化する燃焼除害装置と、
前記排気手段が運転状態であるか停止状態であるかを検出する運転状態検出手段と、
該運転状態検出手段が前記停止状態を検出したときに発する停止状態検出信号を受信したときに、前記燃焼除害装置の燃焼を停止させるとともに、前記バルブを閉にする制御手段と、を有する安全システム。 - 前記燃焼除害装置の二次側に接続された第3の配管を更に有し、
前記燃焼除害装置は、前記第2の配管を前記燃焼筒を経由せずに前記第3の配管に接続可能なバイパス配管と、前記第2の配管を前記燃焼筒への接続又は前記バイパス配管への接続に切り替え可能な切替手段とを有し、
前記制御手段は、前記停止状態検出信号を受信したときに、前記切替手段を前記バイパス配管への接続に切り替えさせる請求項4に記載の安全システム。 - 前記第1の配管には、希釈ガスを供給可能な希釈ガス供給手段が接続され、
前記制御手段は、前記停止状態検出信号を受信したときに、前記希釈ガス供給手段から前記第1の配管に前記希釈ガスを供給させる請求項4又は5に記載の安全システム。 - 処理室を排気する排気手段が停止したことを検出する工程と、
前記排気手段の停止を検出したときに、前記排気手段の二次側に接続され、前記排気手段により排気される有害ガスを燃焼筒で燃焼させて無害化する燃焼除害装置の燃焼を停止させる工程と、
前記排気手段の停止を検出したときに、前記処理室と前記排気手段とを接続する配管に設けられたバルブを閉にする工程と、を有する燃焼除害装置の安全化方法。 - 前記排気手段の停止を検出したときに、前記排気手段の二次側を、前記燃焼筒への接続から、前記燃焼筒を経由せずに前記燃焼除害装置の二次側に接続されたバイパス路への接続に切り替える請求項7に記載の燃焼除害装置の安全化方法。
- 前記排気手段の停止を検出したときに、前記処理室と前記排気手段とを接続する配管に希釈ガスを供給する請求項7又は8に記載の燃焼除害装置の安全化方法。
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