JP2016176095A - 排ガス処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 デバイス製造装置から排気ラインに排出され、処理ラインを通って除害処理部に導入される排ガスの温度を測定し、測定した排ガスの温度があらかじめ設定された第1設定温度を超えたときに、処理ラインに不活性ガスを添加して排ガスの温度を下げることによって除害処理部での無害化処理を継続し、測定した排ガスの温度が前記第1設定温度よりも高い温度にあらかじめ設定された第2設定温度を超えたときに、排気ラインを流れる排ガスの流路を処理ラインからバイパスラインに切り替えるとともに前記除害処理部の運転を停止する。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- デバイス製造装置から排出される可燃性成分を含む排ガスを除害処理部で無害化する排ガス処理方法において、前記デバイス製造装置から排気ラインに排出され、処理ラインを通って前記除害処理部に導入される前記排ガスの温度を測定し、測定した排ガスの温度があらかじめ設定された第1設定温度を超えたときに、前記処理ラインに不活性ガスを添加して排ガスの温度を下げることによって除害処理部での無害化処理を継続し、前記測定した排ガスの温度が前記第1設定温度よりも高い温度にあらかじめ設定された第2設定温度を超えたときに、前記排気ラインを流れる排ガスの流路を前記処理ラインからバイパスラインに切り替えるとともに、前記除害処理部の運転を停止することを特徴とする排ガス処理方法。
- 前記不活性ガスを添加した排ガスの温度を測定し、測定した排ガスの温度が前記第1設定温度以下になったときに、前記不活性ガスの添加を停止することを特徴とする請求項1記載の排ガス処理方法。
- 前記第1設定温度が60℃以上80℃未満の範囲内に設定され、前記第2設定温度が80℃以上〜180℃以下の範囲内に設定されていることを特徴とする請求項1又は2記載の排ガス処理方法。
- 前記除害処理部が、燃焼式除害装置又はヒーター加熱式除害装置であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の排ガス処理方法。
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---|---|---|---|---|
KR20200116971A (ko) * | 2018-03-26 | 2020-10-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0647268A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-22 | Ebara Infilco Co Ltd | 真空処理装置の運転方法 |
JPH10122539A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nippon Sanso Kk | 排ガス処理装置 |
JPH11197440A (ja) * | 1998-01-09 | 1999-07-27 | Kokusai Electric Co Ltd | ガス除害装置 |
JP2004349442A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Sony Corp | 排ガスの除害方法及び排ガスの除害装置 |
JP2010207771A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 排ガス処理装置および排ガス処理方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0647268A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-22 | Ebara Infilco Co Ltd | 真空処理装置の運転方法 |
JPH10122539A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nippon Sanso Kk | 排ガス処理装置 |
JPH11197440A (ja) * | 1998-01-09 | 1999-07-27 | Kokusai Electric Co Ltd | ガス除害装置 |
JP2004349442A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Sony Corp | 排ガスの除害方法及び排ガスの除害装置 |
JP2010207771A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 排ガス処理装置および排ガス処理方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200116971A (ko) * | 2018-03-26 | 2020-10-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
CN111837215A (zh) * | 2018-03-26 | 2020-10-27 | 株式会社国际电气 | 处理装置、半导体器件的制造方法以及程序 |
KR102506332B1 (ko) * | 2018-03-26 | 2023-03-03 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
US11827982B2 (en) | 2018-03-26 | 2023-11-28 | Kokusai Electric Corporation | Processing apparatus |
CN111837215B (zh) * | 2018-03-26 | 2024-03-22 | 株式会社国际电气 | 处理装置、半导体器件的制造方法以及记录介质 |
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