JP2018028476A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
検査装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018028476A JP2018028476A JP2016160429A JP2016160429A JP2018028476A JP 2018028476 A JP2018028476 A JP 2018028476A JP 2016160429 A JP2016160429 A JP 2016160429A JP 2016160429 A JP2016160429 A JP 2016160429A JP 2018028476 A JP2018028476 A JP 2018028476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- inspection
- imaging
- unit
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
Description
<1.1 検査装置1の構成>
図1は、検査装置1が対象物9を検査する様子を示す上面図である。図2は、検査装置1を図1のII−II端面から視た端面図である。
図5は、対象物9に対する検査の一例を示すフロー図である。以下、図5を参照しつつ、同一の製造方法により得られた複数の対象物9を順次に検査する際の流れについて説明する。
鏡面処理の対象である第1領域910は、巣100等の影響によりその全面が鏡面であるとは限らないものの、鏡面処理の対象でない第2領域920に比べて光の反射率が高い。また、ステップS3〜S6の期間においては、第1領域910の法線が4つの第2方向よりも第1方向に沿う位置関係となるように、保持部2が対象物9を保持する。このため、第1撮像部10が被検査領域を撮像する際には、第2撮像部20が被検査領域を撮像する際よりも、第1カメラ31が第1領域910での正反射光をより受光しやすい。その結果、第1領域910の鏡面状態(より詳細には、第1領域910に適切に鏡面処理が施されているか、第1領域910に巣100が形成されているか否か、形成されている巣100のサイズ等)をより高精度に把握することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
2 保持部
5 回転部
8、8A 制御部
9 対象物
10、10A 第1撮像部
20、20A 第2撮像部
31、31A 第1カメラ
41、41A 第1ライト
32〜35、32A 第2カメラ
42〜45、42A 第2ライト
90 台部
91 突起部
100 巣
101 バリ
910 第1領域
920 第2領域
Claims (10)
- 鏡面処理の対象である第1領域および鏡面処理の対象でない第2領域を有する被検査領域を表面に含む対象物を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記対象物から視て第1方向から前記被検査領域に向けて光を照射した状態で、該第1方向から前記被検査領域を撮像する第1撮像部と、
前記保持部に保持された前記対象物から視て第2方向から前記被検査領域に向けて光を照射した状態で、該第2方向から前記被検査領域を撮像する第2撮像部と、
前記第1撮像部によって得られた第1撮像画像を基に前記第1領域の形態を検査し、且つ、前記第2撮像部によって得られた第2撮像画像を基に前記第2領域の形態を検査する検査部と、
を備え、
前記第1領域の法線が前記第2方向よりも前記第1方向に沿う位置関係となるように、前記保持部が前記対象物を保持する、検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記第1撮像画像に対応し且つ前記第1領域の形態に異常が無い画像である第1参照画像、および、前記第2撮像画像に対応し且つ前記第2領域の形態に異常が無い画像である第2参照画像を記憶する記憶部、
をさらに備え、
前記検査部は、前記第1撮像画像と前記第1参照画像とを比較することで前記第1領域の形態を検査し、且つ、前記第2撮像画像と前記第2参照画像とを比較することで前記第2領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置であって、
前記検査部は、前記第1撮像画像と前記第1参照画像とを前記第1領域のみについて比較することで、該第1領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項2または請求項3に記載の検査装置であって、
前記検査部は、前記第2撮像画像と前記第2参照画像とを前記第2領域のみについて比較することで、該第2領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか1つの請求項に記載の検査装置であって、
前記位置関係を保ちつつ、前記保持部に保持された前記対象物を回転軸まわりに回転する回転部、
をさらに備える、検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置であって、
前記第1撮像部は、複数の回転角度ごとに前記被検査領域を撮像することで、複数の前記第1撮像画像を得て、
前記検査部は、前記複数の第1撮像画像のうち前記第1領域における輝度評価値が最も高い画像を基に、前記第1領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項5または請求項6に記載の検査装置であって、
前記第2撮像部は、複数の回転角度ごとに前記被検査領域を撮像することで、複数の前記第2撮像画像を得て、
前記検査部は、前記複数の第2撮像画像を基に、前記第2領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項1から請求項7までのいずれか1つの請求項に記載の検査装置であって、
前記第1撮像部は、中心軸の周囲に配された複数の第1カメラと、前記複数の第1カメラ側から前記被検査領域に向けて光を照射する複数の第1ライトと、を有し、
前記第1撮像部は、各第1ライトに照射された各被検査領域を各第1カメラで撮像することで、複数の前記第1撮像画像を得て、
前記検査部は、前記複数の第1撮像画像のうち前記被検査領域における輝度評価値が最も高い前記第1撮像画像を基に、前記第1領域の形態を検査する、検査装置。 - 請求項1から請求項8までのいずれか1つの請求項に記載の検査装置であって、
前記第2撮像部は、中心軸の周囲に配された複数の第2カメラと、前記複数の第2カメラ側から前記被検査領域に向けて光を照射する複数の第2ライトと、を有し、
前記第2撮像部は、各第2ライトに照射された各被検査領域を各第2カメラで撮像することで、複数の前記第2撮像画像を得て、
前記検査部は、前記複数の第2撮像画像を基に、前記第2領域の形態を検査する、検査装置。 - 鏡面処理の対象である第1領域および鏡面処理の対象でない第2領域を有する被検査領域を表面に含む対象物を保持する保持工程と、
前記保持工程で保持された前記対象物から視て第1方向から前記被検査領域に向けて光を照射した状態で、該第1方向から前記被検査領域を撮像する第1撮像工程と、
前記保持工程で保持された前記対象物から視て第2方向から前記被検査領域に向けて光を照射した状態で、該第2方向から前記被検査領域を撮像する第2撮像工程と
前記第1撮像工程で得られた第1撮像画像を基に前記第1領域の形態を検査し、且つ、前記第2撮像工程で得られた前記第2撮像画像を基に前記第2領域の形態を検査する検査工程と、
を備え、
前記保持工程では、前記第1領域の法線が前記第2方向よりも前記第1方向に沿う位置関係となるように、前記対象物が保持される、検査方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160429A JP6832650B2 (ja) | 2016-08-18 | 2016-08-18 | 検査装置および検査方法 |
EP17841279.7A EP3502671A4 (en) | 2016-08-18 | 2017-06-16 | INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD |
CN201780047298.3A CN109564167A (zh) | 2016-08-18 | 2017-06-16 | 检查装置及检查方法 |
PCT/JP2017/022333 WO2018034051A1 (ja) | 2016-08-18 | 2017-06-16 | 検査装置および検査方法 |
US16/320,955 US10942131B2 (en) | 2016-08-18 | 2017-06-16 | Inspection apparatus and inspection method |
KR1020197002519A KR20190022764A (ko) | 2016-08-18 | 2017-06-16 | 검사 장치 및 검사 방법 |
TW106122692A TWI631316B (zh) | 2016-08-18 | 2017-07-06 | 檢查裝置及檢查方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160429A JP6832650B2 (ja) | 2016-08-18 | 2016-08-18 | 検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018028476A true JP2018028476A (ja) | 2018-02-22 |
JP6832650B2 JP6832650B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=61196571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016160429A Active JP6832650B2 (ja) | 2016-08-18 | 2016-08-18 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10942131B2 (ja) |
EP (1) | EP3502671A4 (ja) |
JP (1) | JP6832650B2 (ja) |
KR (1) | KR20190022764A (ja) |
CN (1) | CN109564167A (ja) |
TW (1) | TWI631316B (ja) |
WO (1) | WO2018034051A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020183836A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
JP2020148655A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
JP2020148656A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6598898B2 (ja) * | 2018-02-27 | 2019-10-30 | 株式会社Screenホールディングス | 芯ズレ検出装置および芯ズレ検出方法 |
JP7053366B2 (ja) * | 2018-05-10 | 2022-04-12 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置及び検査方法 |
CN110567973B (zh) * | 2019-09-27 | 2022-07-05 | 济南大学 | 一种基于图像采集的活塞检测平台及方法 |
JP7377079B2 (ja) * | 2019-11-25 | 2023-11-09 | Juki株式会社 | 縫い針検査装置 |
CN112730409A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-30 | 苏州迈维视电子技术有限公司 | 一种成型件多工位视觉检测控制方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04143639A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Sony Corp | 光学検査装置用照明装置 |
JPH05441U (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-08 | 株式会社ニレコ | マーク位置検出装置 |
US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
JP2007069405A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Muramatsu Kenma Kogyo:Kk | 金属感の光沢を有するアルミニウム基金属部材 |
JP2016057075A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および検査方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6411377B1 (en) * | 1991-04-02 | 2002-06-25 | Hitachi, Ltd. | Optical apparatus for defect and particle size inspection |
JPH05280950A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Sony Corp | 半導体検査装置 |
JPH10227623A (ja) * | 1996-08-21 | 1998-08-25 | Komatsu Ltd | 半導体パッケージの検査装置 |
US6005965A (en) * | 1997-04-07 | 1999-12-21 | Komatsu Ltd. | Inspection apparatus for semiconductor packages |
JP2000310598A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 撮像装置 |
JP2005017234A (ja) | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Sony Corp | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
WO2007126027A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置 |
JP2009162573A (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Ricoh Elemex Corp | 形状認識装置 |
JP5365643B2 (ja) * | 2011-01-13 | 2013-12-11 | オムロン株式会社 | はんだ付け検査方法、および基板検査システムならびにはんだ付け検査機 |
JP5555839B1 (ja) * | 2013-09-02 | 2014-07-23 | 上野精機株式会社 | 外観検査装置 |
JP2015068668A (ja) | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社Screenホールディングス | 外観検査装置 |
JP6486050B2 (ja) | 2014-09-29 | 2019-03-20 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および検査方法 |
-
2016
- 2016-08-18 JP JP2016160429A patent/JP6832650B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-16 KR KR1020197002519A patent/KR20190022764A/ko not_active Application Discontinuation
- 2017-06-16 CN CN201780047298.3A patent/CN109564167A/zh active Pending
- 2017-06-16 EP EP17841279.7A patent/EP3502671A4/en not_active Withdrawn
- 2017-06-16 US US16/320,955 patent/US10942131B2/en active Active
- 2017-06-16 WO PCT/JP2017/022333 patent/WO2018034051A1/ja unknown
- 2017-07-06 TW TW106122692A patent/TWI631316B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04143639A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Sony Corp | 光学検査装置用照明装置 |
JPH05441U (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-08 | 株式会社ニレコ | マーク位置検出装置 |
US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
JP2007069405A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Muramatsu Kenma Kogyo:Kk | 金属感の光沢を有するアルミニウム基金属部材 |
JP2016057075A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および検査方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020183836A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
JP2020148655A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
JP2020148656A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Screenホールディングス | 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10942131B2 (en) | 2021-03-09 |
EP3502671A1 (en) | 2019-06-26 |
TW201807375A (zh) | 2018-03-01 |
JP6832650B2 (ja) | 2021-02-24 |
WO2018034051A1 (ja) | 2018-02-22 |
EP3502671A4 (en) | 2020-04-15 |
KR20190022764A (ko) | 2019-03-06 |
CN109564167A (zh) | 2019-04-02 |
US20190178811A1 (en) | 2019-06-13 |
TWI631316B (zh) | 2018-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2018034051A1 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
TWI598581B (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
JP6370177B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
CN108323179B (zh) | 检查系统及检查方法 | |
JP5109633B2 (ja) | 測定方法及び検査方法並びに測定装置及び検査装置 | |
JP2017515097A (ja) | 射影画像を用いた自動インライン検査及び計測 | |
JP2014115222A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6936995B2 (ja) | 立体物の外観検査装置 | |
KR20210091189A (ko) | 자동 시각적 검사 공정에서 설정 단계의 최적화 | |
JP2013002810A (ja) | 研削工具の砥面検査システム及び方法 | |
CN112730419A (zh) | 外观瑕疵检测装置 | |
WO2020079694A1 (en) | Optimizing defect detection in an automatic visual inspection process | |
TWI630070B (zh) | 外觀檢查裝置、表面處理系統、外觀檢查方法、外觀檢查程式及投射材交換判斷方法 | |
JP2017067632A (ja) | 検査装置および物品製造方法 | |
US11100629B2 (en) | Appearance inspecting apparatus for article and appearance inspecting method for article using the same | |
JP2000131037A (ja) | 物体形状検査装置 | |
KR20220044741A (ko) | 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법 | |
US20180176549A1 (en) | Multi-view-angle image capturing device and multi-view-angle image inspection apparatus using the same | |
US20230222646A1 (en) | Automated visual-inspection system | |
TWI715662B (zh) | 檢查裝置 | |
JP2009063366A (ja) | 観察装置および観察方法 | |
JP2020193867A (ja) | 画像処理装置、制御方法、制御プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
KR102330857B1 (ko) | 검사 대상물에 대한 결함 검사 방법 | |
WO2017217121A1 (ja) | 外観検査装置、表面処理システム、外観検査方法、プログラム、および投射材交換判断方法 | |
JP2018059883A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6832650 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |