JP2018019500A - アクチュエータ及びセンサ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】変形材料の変形特性の変化に起因する駆動特性の変化を好適に抑制できるアクチュエータを提供する。【解決手段】ポリマーファイバーアクチュエータ１は、外部からのエネルギ入力（加熱による温度上昇）に応じて変形して動力を出力する変形材料としてのポリマーファイバー２と、このポリマーファイバー２にエネルギ（熱）を入力するエネルギ入力部としての電熱線３と、ポリマーファイバー２の変形特性を変化させる物質（水分や油分）が外部からポリマーファイバー２と接触するのを抑制する保護部材としての防湿膜４と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、電気的、光子的、化学的、熱的、吸収、もしくは他の手段による外部からのエネルギ入力に応じて、変形材料を変形させることによって動力を出力するアクチュエータと、このアクチュエータを動力源として用いるセンサ装置とに関する。

従来、この種のアクチュエータとして、例えば特許文献１に記載されるようなポリマーファイバーアクチュエータが知られている。特許文献１に記載のポリマーファイバーアクチュエータは、電気加熱や白色加熱による温度変化により、ねじりまたは引張作動を発生することができる熱駆動式のものである。

特開２０１６−４２７８３号公報

ポリマーファイバーは、周囲環境の水分や油分を吸収して膨潤することにより物性が変化する。これにより、アクチュエータの駆動特性が変化し、所望のアクチュエータ特性が得られなくなったり、強度低下による破損が生じる場合がある。ポリマーファイバーアクチュエータ以外のこの種の他のアクチュエータにおいても、変形材料（ポリマーファイバーアクチュエータにおけるポリマーファイバー）の変形特性を変化させる物質（ポリマーファイバーアクチュエータにおける水分や油分）が外部から変形材料と接触することにより、同様の問題を生じる虞がある。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、変形材料の変形を動力源とするアクチュエータにおいて、変形材料の変形特性の変化に起因する駆動特性の変化を好適に抑制できるアクチュエータと、このアクチュエータを動力源として用いるセンサ装置とを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータ（１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）は、外部からのエネルギ入力に応じて変形して動力を出力する変形材料（２）と、前記変形材料にエネルギを入力するエネルギ入力部（３）と、前記変形材料の変形特性を変化させる物質が外部から前記変形材料と接触するのを抑制する保護部材（４，６）と、を備える。

同様に、上記課題を解決するために、本発明に係るセンサ装置（１０）は、外部の情報を検出するセンサ部（１１）と、前記センサ部の姿勢を変更可能な上記のアクチュエータと、を備える。

これらの構成により、保護部材によって、変形材料の変形特性を変化させる物質が外部から変形材料と接触するのを好適に抑制することが可能となり、変形材料の変形特性の変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を好適に抑制できる。

本発明によれば、変形材料の変形を動力源とするアクチュエータにおいて、変形材料の変形特性の変化に起因する駆動特性の変化を好適に抑制できるアクチュエータと、このアクチュエータを動力源として用いるセンサ装置とを提供することができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの一例としてのポリマーファイバーアクチュエータの概略構成を示す図である。 図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ断面図である。 図３は、ポリマーファイバーアクチュエータの加熱過程における各部の温度分布の一例を示す図である。 図４は、第１実施形態の変形例を示す図である。 図５は、第１実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータが適用されるセンサ装置の構成を示す図である。 図６は、本発明の第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータの概略構成を示す図である。 図７は、図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 図８は、本発明の第３実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータの概略構成を示す図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。

本発明が対象とするアクチュエータとは、電気的（電流変化など）、光子的（照射光の強弱など）、化学的（化学物質の付与、可逆的な化学反応など）、熱的（温度変化など）、吸収（水分の吸収による収縮など）、もしくは他の手段による外部からのエネルギ入力に応じて、変形材料を変形させることによって動力を出力するアクチュエータである。このようなアクチュエータには、例えば、ポリマーファイバーアクチュエータ、形状記憶合金、ピエゾ素子などが含まれるが、以下の実施形態ではポリマーファイバーアクチュエータを一例として挙げて説明する。

［第１実施形態］
図１〜図３を参照して第１実施形態を説明する。第１実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１（アクチュエータ）は、図１に示すように所定の軸方向に沿って延在するひも状に形成され、図２に示すようにその軸方向断面が略円形状に形成される。ポリマーファイバーアクチュエータ１は、加熱による温度上昇というエネルギ入力に応じて、軸方向の伸縮動作、または軸回りのねじり動作として動力を出力することができる。以下の説明では、図１及び図２に示すように、ポリマーファイバーアクチュエータ１の延在方向（軸方向）をＸ方向と表記し、このＸ方向と直交する断面の径方向のうち所定の一方向（図１及び図２の上下方向）をＹ方向と表記し、さらに、断面の径方向のうちＹ方向と直交する方向（図２の左右方向）をＺ方向と表記する。

ポリマーファイバーアクチュエータ１は、ポリマーファイバー２（変形材料）と、電熱線３（エネルギ入力部、導電性材料）と、防湿膜４（保護部材）と、制御装置５とを備える。

ポリマーファイバー２は、ポリマーファイバーアクチュエータ１の動力源であり、外部からのエネルギ入力（加熱による温度上昇）に応じて変形して動力を出力する変形材料として機能するものである。ポリマーファイバー２は、例えば、Ｘ方向に延在方向を揃えられたポリアミド繊維の束で形成される。

電熱線３は、ポリマーファイバー２の外周側にらせん状に巻き付けられて配置されている。電熱線３は、電流供給によって発熱し、ポリマーファイバー２を加熱させることができる。つまり、電熱線３は、変形材料としてのポリマーファイバー２に、加熱による温度上昇というエネルギ入力を行うエネルギ入力部として機能するものであり、ポリマーファイバー２は、電熱線３から入力される熱に応じて変形することで、Ｘ方向の伸縮動作やＸ方向まわりのねじり動作を行うことができる。

防湿膜４は、ポリマーファイバー２の外周面を覆って配置されている。上述のように、ポリマーファイバー２は、周囲環境の水分や油分を吸収して膨潤することにより物性が変化する特性がある。防湿膜４は、ポリマーファイバー２の外周面の表面を完全に被覆することによって、ポリマーファイバー２の変形特性を変化させる水分または油分が外部からポリマーファイバー２に吸収される膨潤の発生を抑制することができる保護部材として機能する。

制御装置５は、電熱線３の電流供給を制御することにより、ポリマーファイバーアクチュエータ１の出力を制御する。制御装置５は、ポリマーファイバーアクチュエータ１の出力を取得して、目標値との偏差に応じて電熱線３の制御量を調整することによって、出力をフィードバック制御する構成とすることもできる。

制御装置５は、物理的には、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などを有するコンピュータである。制御装置５の各機能の全部または一部は、ＲＯＭに保持されるアプリケーションプログラムをＲＡＭにロードしてＣＰＵで実行することによって、ＲＡＭやＲＯＭにおけるデータの読み出し及び書き込みを行うことで実現される。また、例えばポリマーファイバーアクチュエータ１を駆動源として用いるセンサ装置１０（図５参照）が、自動車等の車両に搭載されるなど、ポリマーファイバーアクチュエータ１が車載部品として適用される場合には、制御装置５は、自動車部品のマイコン（例えばＥＣＵ）に実装することもできる。

特に第１実施形態では、図１及び図２に示すように、ポリマーファイバー２の外周面の表面に防湿膜４が被覆され、さらに、防湿膜４の外周面の表面に電熱線３が巻き付けられている。つまり、ポリマーファイバー２と電熱線３との間に防湿膜４が介在している。

このようなポリマーファイバーアクチュエータ１は、例えば以下のような動作を行う。すなわち、まず制御装置５が、ポリマーファイバーアクチュエータ１に所望の動作を出力させるべく、電熱線３の電流供給を制御すると、電熱線３に所定値の電流が流れることにより電熱線３が発熱する。電熱線３から放出された熱は、電熱線３が表面に巻回される防湿膜４に伝達されて、防湿膜４を経て内部側のポリマーファイバー２に伝達される。ポリマーファイバー２は、外周面から伝達された熱が最終的に中心部まで到達してその全体が温度上昇すると、温度上昇分に応じて変形する。この結果、ポリマーファイバーアクチュエータ１は、ポリマーファイバー２の変形に伴う動力を出力することができる。

ここで、ポリマーファイバー２への加熱過程における各部の温度分布は、例えば図３のようになる。図３の横軸は、図２に示すＺ方向に沿った位置を表し、中央の縦軸との交点が図２の断面中心に対応し、中央から離れるにつれて図２の外周側となる。図３の縦軸は、熱伝達過程のあるタイミングにおけるＺ方向の各位置の温度を表す。

図３に示すように、電熱線３の加熱によりポリマーファイバー２が所望の温度に上昇するまでの間では、防湿膜４の表面からポリマーファイバー２の中心部までの温度分布は、防湿膜４及びポリマーファイバー２の熱抵抗に応じたものとなる。熱抵抗とは、温度の伝えにくさを表す値であって、単位時間当たりの発熱量あたりの温度上昇量を意味する。図３では、防湿膜４の熱抵抗は、防湿膜４の外周面（Ｚ方向最大の位置）と内周面（Ｚ方向最小の位置）との間の温度変化量に対応する値と表現することができる。また、ポリマーファイバー２の熱抵抗は、ポリマーファイバー２の外周面と中心部との間の温度変化量に対応する値と表現することができる。図３に示す例では、防湿膜４の温度変化量は、ポリマーファイバー２の温度変化量と比べて小さい。すなわち、防湿膜４の熱抵抗は、ポリマーファイバー２の熱抵抗より小さいといえる。

第１実施形態では、上述のようにポリマーファイバー２と電熱線３との間に防湿膜４が介在する構成であるので、防湿膜４の熱抵抗が大きくなるほど、ポリマーファイバー２の外周面温度が低くなり、ポリマーファイバー２を所望の温度に上昇させるまでの時間が増大する。ポリマーファイバー２の温度上昇に時間を要することは、制御装置５が電熱線３を介してポリマーファイバー２を所望の温度に制御するまでの時間遅れを生じ、ポリマーファイバーアクチュエータ１の動作応答性の低下を招くと考えられる。したがって、防湿膜４の熱抵抗をできる限り小さくすることが望ましい。ポリマーファイバーアクチュエータ１の動作応答性を必要最低限のレベルに維持するためには、少なくとも、防湿膜４の熱抵抗が、ポリマーファイバー２の熱抵抗より小さいことが好ましい。また、電熱線３から防湿膜４に伝達された熱はＸ方向にも拡散され易くなる為、ポリマーファイバー２のＸ方向の温度分布が生じることを抑制し、均一に加熱できる効果もある。防湿膜４の熱抵抗は、例えば防湿膜４の膜厚や、材料の選定などによって調整することができる。

次に、第１実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１の効果について説明する。

第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１は、外部からのエネルギ入力（加熱による温度上昇）に応じて変形して動力を出力する変形材料としてのポリマーファイバー２と、このポリマーファイバー２にエネルギ（熱）を入力するエネルギ入力部としての電熱線３と、ポリマーファイバー２の変形特性を変化させる物質（水分や油分）が外部からポリマーファイバー２と接触するのを抑制する保護部材としての防湿膜４と、を備える。

上述のように、ポリマーファイバー２は、周囲環境の水分や油分を吸収して膨潤することにより物性が変化する特性がある。物性が変化すると、ポリマーファイバー２の変形特性が変化する。つまり、同一条件の温度上昇によっても、ポリマーファイバー２の変形量が異なるものとなり、これにより、アクチュエータの駆動特性も変化する虞がある。これに対して、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１は、上記構成により、防湿膜４が周囲環境の水、油のポリマーファイバー２への浸透を抑制することによって、ポリマーファイバー２の膨潤を好適に抑えることが可能となる。この結果、ポリマーファイバー２の変形特性の変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を好適に抑制できる。また、ポリマーファイバー２の変形特性の変化を抑制することで、強度低下による破損も好適に防止できる。さらに、ポリマーファイバー２を防湿膜４で被覆することにより、ポリマーファイバー２に含まれる水分や油分が周囲に放出されることも抑制できる。

なお、防湿膜４は、例えばポリエチレンテレフタレートやポリ塩化ビニリデンなどのフィルムを用いることができる。

また、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１において、保護部材としての防湿膜４は、ポリマーファイバー２の表面全体を覆うよう形成される。この構成により、周囲環境の水、油がポリマーファイバー２へ浸透することを確実に防止できるので、ポリマーファイバー２の膨潤の抑制と、アクチュエータの駆動特性の変化の抑制とをより一層実現することができる。

また、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１において、エネルギ入力部としての電熱線３はポリマーファイバー２の外周側にらせん状に巻き付けられる。この構成により、電熱線３から放出された熱をポリマーファイバー２の全体に亘って効率良く伝達することが可能となる。

なお、エネルギ入力部としては、電熱線３の他にも、例えば導電性エラストマやめっきなど、変形材料としてのポリマーファイバー２の外周側に巻き付けられ、ポリマーファイバー２の表面の一部または全部を被覆するよう構成される他の導電性材料を用いることができる。

また、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１において、ポリマーファイバー２の表面を防湿膜４が覆い、防湿膜４の表面に電熱線３が巻き付けられる。この構成により、ポリマーファイバー２の外周面の表面を隙間なく防湿膜４で被覆することができ、周囲環境の水分や油分がポリマーファイバー２へ浸透することをより一層確実に防止できる。

また、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１において、ポリマーファイバー２は、外部からの熱の入力に応じて変形して動力を出力するものであり、防湿膜４の熱抵抗は、ポリマーファイバー２の熱抵抗より小さい。この構成により、防湿膜４が間に介在しても、電熱線３から放出された熱をポリマーファイバー２へ効率よく伝達することができるので、ポリマーファイバー２を所望の温度まで迅速に上昇でき、アクチュエータの動作応答性を確保できる。

次に、図４を参照して第１実施形態の変形例について説明する。上記実施形態では、図１に示したように、ポリマーファイバーアクチュエータ１において、防湿膜４がポリマーファイバー２の外周面の全体を完全に被覆する構成を例示したが、図４に示すように、ポリマーファイバーアクチュエータ１Ａにおいて、防湿膜４Ａがポリマーファイバー２の外周面の一部を被覆する構成としてもよい。この構成でも、防湿膜４Ａにより被覆される部分のポリマーファイバー２の膨潤を好適に防止できるので、ポリマーファイバー２の全体に亘っては変形特性の変化を抑制でき、駆動特性の変化を抑制できる。また、ポリマーファイバー２を防湿膜４で完全に覆う必要がないので、製造も容易にできる。

次に、図５を参照して、第１実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１の適用例について説明する。図５に示すように、ポリマーファイバーアクチュエータ１は、センサ装置１０の駆動源として利用することができる。センサ装置１０は、外部の情報（熱、温度、光など）を検出するセンサ部１１と、センサ部１１の姿勢を変更可能なポリマーファイバーアクチュエータ１とを備える。

センサ部１１は、例えば図５に示すようにポリマーファイバーアクチュエータ１の一方の端部に接続されている。ポリマーファイバーアクチュエータ１の他方の端部は、例えば固定部材に保持され、これによりセンサ部１１が接続される側の端部をより大きく動作させることができるように構成することもできる。

制御装置５は、電熱線３の電流供給を制御することにより、ポリマーファイバーアクチュエータ１の出力を制御して、センサ部１１の姿勢を制御する。制御装置５は、センサ部１１の姿勢情報を取得して、目標姿勢との偏差に応じて電熱線３の制御量を調整することによって、センサ部１１の姿勢をフィードバック制御する構成とすることもできる。

このようにセンサ装置１０の駆動源としてポリマーファイバーアクチュエータ１を適用することにより、従来のモータ等の回転機を適用する場合と比較して駆動源を小型化することができるので、センサ装置１０の全体の小型化や軽量化を図ることができる。

［第２実施形態］
図６及び図７を参照して第２実施形態を説明する。第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｂは、ポリマーファイバー２、電熱線３、及び、防湿膜４の配置が、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１と異なる。

第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｂでは、ポリマーファイバー２の外周面の表面に電熱線３が巻き付けられ、さらに、ポリマーファイバー２及び電熱線３の表面に防湿膜４が被覆されている。電熱線３が巻き付けられた状態のポリマーファイバー２の外周側に防湿膜４が覆われている。

第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｂでは、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１と同様に、防湿膜４が周囲環境の水、油のポリマーファイバー２への浸透を抑制することができる。したがって、第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｂは、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１と同様の効果を奏することができる。

また、電熱線３が巻き付けられた状態のポリマーファイバー２の外周側に防湿膜４を配置する第２実施形態の構成の場合、ポリマーファイバー２及び電熱線３を内部に収容するケース、チューブなどの収容部材を、防湿膜４と置き換えて用いることもできる。なお、この構成の場合には、収容部材とポリマーファイバー２との間を隙間なく密着させることが困難であるので、収容部材がポリマーファイバー２及び電熱線３の全体を覆い、ポリマーファイバー２への水分や油分の浸入を確実に防止できる構成とする必要がある。

また、図４を参照して説明した第１実施形態の変形例と同様に、第２実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｂにおいても、防湿膜４がポリマーファイバー２全体を完全に覆わず一部を覆う構成とすることもできる。

［第３実施形態］
図８を参照して第３実施形態を説明する。第３実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｃは、防湿膜４の代わりに、ポリマーファイバー２の外周面の表面に吸収材６を配置している点で、第１実施形態と異なる。

吸収材６は、ポリマーファイバー２と比較して、ポリマーファイバー２の変形特性を変化させる物質（外部の水分や油分）を吸収する能力が高い特性を有するものであり、例えばシリカゲルを用いることができる。また、吸収材６（防湿部材）として、他にはポリアクリル酸ナトリウムなどの高吸水性高分子、マイカ、タルクなどの非膨潤性粘土なども用いることができる。

第３実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｃでは、ポリマーファイバー２の表面に付着された吸収材６によって、防湿膜４と同様に、周囲環境の水、油のポリマーファイバー２への浸透を抑制することができる。したがって、第３実施形態に係るポリマーファイバーアクチュエータ１Ｃは、第１実施形態のポリマーファイバーアクチュエータ１と同様の効果を奏することができる。また、防湿膜４を巻き付ける必要ないので、製造が容易になる。

なお、吸収材６がポリマーファイバー２の周辺に設置される構成としてもよい。この構成の場合、例えば、ポリマーファイバー２の周囲を覆う箱を設置し、この箱の中に吸収材６を配置するなどの構成をとることによって、吸収材６がポリマーファイバー２と接触していなくても充分な防湿効果を発揮することができる。

以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。すなわち、これら具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、前述した各具体例が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

上記実施形態では、本発明に係るアクチュエータの一例としてポリマーファイバーアクチュエータ１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを挙げて説明したが、変形材料（上記実施形態ではポリマーファイバー２）の変形を動力源とするアクチュエータであれば他種のアクチュエータであってもよい。他種のアクチュエータの場合、変形材料の種類、変形材料の変形特性を変化させる物質（上記実施形態では水分や油分）の種類、及び、この物質が外部から変形材料と接触するのを抑制する保護部材（上記実施形態では防湿膜４及び吸収材６）の態様は、それぞれアクチュエータに適したものとなる。例えば、変形材料が金属の場合には、変形特性を変化させる物質としては水素が該当する。

また、エネルギ入力部（電熱線３）と保護部材（防湿膜４）の特徴を一つの要素が併せて備える構成としてもよい。この場合、例えば上述した導電性エラストマ、めっきなどを用いることができる。

また、上記実施形態では、エネルギ入力部として、変形材料としてのポリマーファイバー２の外周側に巻き付けられる導電性材料（電熱線３）を適用する構成を挙げたが、エネルギ入力部は変形材料にエネルギを入力できればよく、例えばポリマーファイバー２の内部に導電性材料を埋設して、内側からポリマーファイバー２を加熱する構成でもよい。

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ：ポリマーファイバーアクチュエータ（アクチュエータ）
２：ポリマーファイバー（変形材料）
３：電熱線（エネルギ入力部、導電性材料）
４：防湿膜（保護部材）
６：吸収材（保護部材）
１０：センサ装置
１１：センサ部

Claims (10)

1. 外部からのエネルギ入力に応じて変形して動力を出力する変形材料（２）と、
   前記変形材料にエネルギを入力するエネルギ入力部（３）と、
   前記変形材料の変形特性を変化させる物質が外部から前記変形材料と接触するのを抑制する保護部材（４，６）と、
   を備えるアクチュエータ（１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）。
2. 前記保護部材は、前記変形材料の表面全体を覆う、または、表面の一部を覆うよう形成される、
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記変形材料は、ポリマーファイバーである、
   請求項１または２に記載のアクチュエータ。
4. 前記エネルギ入力部は、前記ポリマーファイバーの外周側に巻き付けられる導電性材料であり、
   前記ポリマーファイバーは、前記導電性材料から入力される熱に応じて変形する、
   請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記保護部材は、前記ポリマーファイバーの変形特性を変化させる水分または油分が外部から前記ポリマーファイバーに吸収される前記ポリマーファイバーの膨潤の発生を抑制するための防湿膜（４）である、
   請求項３または４に記載のアクチュエータ（１，１Ａ，１Ｂ）。
6. 前記ポリマーファイバーの表面を前記防湿膜が覆い、
   前記防湿膜の表面に前記エネルギ入力部が配置される、
   請求項５に記載のアクチュエータ（１，１Ａ）。
7. 前記ポリマーファイバーの表面に前記エネルギ入力部が配置され、
   前記ポリマーファイバー及び前記エネルギ入力部の表面を前記防湿膜が覆う、
   請求項５に記載のアクチュエータ（１Ｂ）。
8. 前記保護部材は、前記変形材料と比較して前記物質を吸収する能力が高い吸収材（６）であり、前記変形材料の表面に配置されるか、または、前記変形材料の周辺に設置される、
   請求項１に記載のアクチュエータ（１Ｃ）。
9. 前記変形材料は、外部からの熱の入力に応じて変形して動力を出力し、
   前記保護部材の熱抵抗は、前記変形材料の熱抵抗より小さい、
   請求項１〜８のいずれか１項に記載のアクチュエータ（１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）。
10. 外部の情報を検出するセンサ部（１１）と、
    前記センサ部の姿勢を変更可能な請求項１〜９のいずれか１項に記載のアクチュエータと、
    を備えるセンサ装置（１０）。

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