JP2018014485A - 放熱用金属材付構造物、プリント回路板、電子機器及び放熱用金属材 - Google Patents
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Abstract
【課題】発熱体からの熱を良好に放熱することができる放熱用金属材付構造物を提供する。【解決手段】発熱体と、発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側の面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを有し、放熱部材は少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を備える放熱用金属材付構造物である。【選択図】図2
Description
本発明は、放熱用金属材付構造物、プリント回路板、電子機器及び放熱用金属材に関する。
近年、電子機器の小型化、高精細化に伴い、使用される電子部品の発熱による故障等が問題となっている。
このような問題に対し、例えば特許文献1では発熱体に直接又は接着剤層を介して面内方向に高い熱伝導性を有する放熱部材であるグラファイトシートを密着させる技術が研究・開発されている。
また、電子部品等には、電磁波を遮蔽する等の目的で保護部材を設けることがある。
ここで、発熱体にカバーを設けると熱がカバー内に籠もりやすく、発熱体の温度が低下し難くなる。特許文献1では、発熱体の封止体側(保護部材側)とは反対側において、放熱の工夫がなされている。しかしながら、発熱体の封止体側(保護部材側)には放熱の工夫がなされておらず改善の余地がある。
そこで、本発明は、発熱体からの熱を良好に放熱することができる放熱用金属材付構造物を提供することを課題とする。
そこで、本発明は、発熱体からの熱を良好に放熱することができる放熱用金属材付構造物を提供することを課題とする。
本発明者は鋭意研究を重ねた結果、放熱用金属材付構造物を、発熱体と、発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた保護部材と、保護部材の発熱体側の面に設けられ且つ発熱体の保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを有する構造とし、放熱部材は少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を設けることで、上記課題が解決できることを見出した。
以上の知見を基礎として完成された本発明は一側面において、発熱体と、前記発熱体の一部又は全部を覆うように且つ前記発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、前記発熱体保護部材の前記発熱体側の面に設けられ且つ前記発熱体の前記発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを有し、前記放熱部材は少なくとも前記発熱体側表面に放熱用金属材を備える放熱用金属材付構造物である。
本発明の放熱用金属材付構造物は一実施形態において、前記放熱部材は、前記放熱用金属材で構成されている。
本発明の放熱用金属材付構造物は別の一実施形態において、前記放熱部材は、前記発熱体側から、前記放熱用金属材及びグラファイトシートをこの順に備える。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱部材は、前記放熱用金属材を複数備える。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱部材は、前記グラファイトシートを複数備える。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の厚みが18μm以上である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40を満たす。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面の輻射率が0.03以上である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面に表面処理層が設けられ、前記表面処理層は粗化処理層、耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層、めっき層、樹脂層からなる群から選択された1種以上の層を有する。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材が、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、金、金合金、銀、銀合金、白金族、白金族合金、クロム、クロム合金、マグネシウム、マグネシウム合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、鉛、鉛合金、タンタル、タンタル合金、錫、錫合金、インジウム、インジウム合金、亜鉛、又は、亜鉛合金で形成されている。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材が、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、亜鉛、又は、亜鉛合金で形成されている。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材が、リン青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、洋白又はその他銅合金で形成されている。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材が、金属条、金属板、又は、金属箔である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱用金属材の前記発熱体側表面において、以下の(1)〜(5)の項目の内一つ以上を満たしている。
(1)前記発熱体側表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である
(2)前記発熱体側表面の輻射率が0.03以上である
(3)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である
(4)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である
(5)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である
(1)前記発熱体側表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である
(2)前記発熱体側表面の輻射率が0.03以上である
(3)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である
(4)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である
(5)前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記放熱部材の発熱体側の面に、更に熱伝導性を有する物質が設けられている。
本発明の放熱用金属材付構造物は更に別の一実施形態において、前記物質の熱伝導率が0.5W/(m・K)以上である。
本発明は別の一側面において、本発明の放熱用金属材付構造物を備えたプリント回路板である。
本発明は更に別の一側面において、本発明の放熱用金属材付構造物を備えた電子機器である。
本発明は更に別の一側面において、一つ以上の表面を有する放熱用金属材であって、少なくとも一つの表面において、以下の(1)〜(5)の項目の内一つ以上を満たし、且つ、グラファイトシートと貼り合わせて用いるための放熱用金属材である。
(1)前記表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である。
(2)前記表面の輻射率が0.03以上である。
(3)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である。
(4)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である。
(5)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である。
(1)前記表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である。
(2)前記表面の輻射率が0.03以上である。
(3)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である。
(4)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である。
(5)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である。
本発明によれば、発熱体からの熱を良好に放熱することができる放熱用金属材付構造物を提供することができる。
本発明の放熱用金属材付構造物は、発熱体と、発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側の面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを有し、放熱部材は少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を備える。ここで、本発明において、「発熱体」とは、熱を発生する部材を意味するものであり、例えば、電気部品、アプリケーションプロセッサーやICチップ等を含む概念である。なお、本発明の放熱用金属材付構造物は発熱体と放熱部材との間に空間を有してもよい。
発熱体保護部材は、発熱体の一部又は全部を覆うように設けられ、例えば発熱体カバー、電磁波シールド材、電磁波シールドカバー等を含む概念である。発熱体保護部材は熱を吸収して外側へ放熱することができる部材であれば、どのようなものであってもよく、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、バナジウム、亜鉛、マグネシウム、チタン、これらの合金、ステンレス、無機物、セラミックス(窒化ケイ素等)、金属酸化物、化合物、有機物、グラフェン、グラファイト、カーボンナノチューブ、黒鉛、導電性ポリマー、高熱伝導樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリブチレンテレフタラート樹脂、ポリアセタール樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂等、広く公知の材料を用いることができる。発熱体保護部材は、熱伝導性を有することが好ましい。
本発明の放熱用金属材付構造物は、発熱体の保護のため等に設ける発熱体保護部材の内側(発熱体側)の面に、発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して放熱部材を設けている。そして、このような構成の放熱用金属材付構造物において、放熱部材が少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を備える。放熱用金属材は発熱体からの熱を放熱部材の水平方向だけでなく垂直方向(厚み方向)にも良好に熱を伝えるため、発熱体からの熱を良好に発熱体保護部材へ伝えることで放熱させることができる。このため、発熱体の熱が発熱体保護部材の内側の空間に籠もりにくくなり、発熱体の温度上昇による故障を抑制することができる。
特に、近年、スマートフォンやタブレットPC等のモバイル機器が盛んに開発されているが、スマートフォンやタブレットPC等は高負荷アプリケーションに対応するために、アプリケーションプロセッサーへ搭載するCPU個数の増加や、高クロック化が進展している。これによるCPU消費電力増加により、アプリケーションプロセッサーの温度が上昇し、スマートフォン携帯時に低温火傷を引き起こす、所謂「ヒートスポット」問題が顕在化している。ヒートスポット対策として、規定の温度に到達したらクロックダウンさせることや、使用中のアプリを強制終了させる等の手段があるが、このような手段では高機能アプリケーションプロセッサーを搭載しながら、十分な機能を発揮できないジレンマを有するという問題がある。これに対し、本発明の放熱用金属材付構造物を用いることで、アプリケーションプロセッサー(発熱体)からの熱を放熱することができるため、アプリケーションプロセッサー(発熱体)の温度上昇を良好に抑制することができ、高機能アプリケーションプロセッサーの機能を十分に発揮させることができる。
本発明の放熱用金属材付構造物は、例えば図1に示すように、発熱体と、発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側の面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを備え、当該放熱部材を放熱用金属材で構成してもよい。図1では放熱部材において放熱用金属材と発熱体保護部材との間に接着テープ(両面テープ等)を設けて固定しているが、このような構成に限らず、放熱用金属材と発熱体保護部材とを圧着等により固定することができれば、当該接着テープを設けなくてもよい。また、図1では発熱体が基板上に設けられているが、基板に限らず発熱体を設けることができる部材であればどのような形態であってもよい。また、基板は無くてもよい。
また、本発明の放熱用金属材付構造物は、例えば図2に示すように、発熱体と、発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側の面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材とを備え、当該放熱部材が発熱体側から、放熱用金属材及びグラファイトシートをこの順に備える構造であってもよい。図2では放熱部材において放熱用金属材とグラファイトシートと発熱体保護部材との間にそれぞれ接着テープ(両面テープ等)を設けて固定しているが、このような構成に限らず、放熱用金属材とグラファイトシートと発熱体保護部材とを圧着等により固定することができれば、当該接着テープを設けなくてもよい。また、図2では発熱体が基板上に設けられているが、基板に限らず発熱体を設けることができる部材であればどのような形態であってもよい。また、基板は無くてもよい。
本発明の放熱用金属材付構造物の放熱部材は複数の放熱用金属材を備えてもよい。また、本発明の放熱用金属材付構造物の放熱部材は複数のグラファイトシートを備えてもよい。
本発明において用いる放熱用金属材は、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、金、金合金、銀、銀合金、白金族、白金族合金、クロム、クロム合金、マグネシウム、マグネシウム合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、鉛、鉛合金、タンタル、タンタル合金、錫、錫合金、インジウム、インジウム合金、亜鉛、又は、亜鉛合金で形成されていてもよい。
また、放熱用金属材が、金属条、金属板、又は、金属箔であってもよい。
また、放熱用金属材が、金属条、金属板、又は、金属箔であってもよい。
銅としては、典型的には、JIS H0500やJIS H3100に規定されるリン脱酸銅(JIS H3100 合金番号C1201、C1220、C1221)、無酸素銅(JIS H3100 合金番号C1020)及びタフピッチ銅(JIS H3100 合金番号C1100)、電解銅箔等の95質量%以上、より好ましくは99.90質量%以上の純度の銅が挙げられる。Sn、Ag、Au、Co、Cr、Fe、In、Ni、P、Si、Te、Ti、Zn、B、Mn及びZrの中の一種以上を合計で0.001〜4.0質量%含有する銅又は銅合金とすることもできる。
銅合金としては、更に、リン青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、洋白、その他銅合金等が挙げられる。また、銅又は銅合金としてはJIS H 3100〜JIS H3510、JIS H 5120、JIS H 5121、JIS C 2520〜JIS C 2801、JIS E 2101〜JIS E 2102に規格されている銅又は銅合金も、本発明に用いることができる。なお、本明細書においては特に断らない限りは、金属の規格を示すために挙げたJIS規格は2001年度版のJIS規格を意味する。
リン青銅は典型的には、リン青銅とは銅を主成分としてSn及びこれよりも少ない質量のPを含有する銅合金のことを指す。一例として、りん青銅はSnを3.5〜11質量%、Pを0.03〜0.35質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物からなる組成を有する。リン青銅は、Ni、Zn等の元素を合計で1.0質量%以下含有しても良い。
コルソン合金は典型的にはSiと化合物を形成する元素(例えば、Ni、Co及びCrの何れか一種以上)が添加され、母相中に第二相粒子として析出する銅合金のことをいう。一例として、コルソン合金はNiを0.5〜4.0質量%、Siを0.1〜1.3質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。別の一例として、コルソン合金はNiを0.5〜4.0質量%、Siを0.1〜1.3質量%、Crを0.03〜0.5質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はNiを0.5〜4.0質量%、Siを0.1〜1.3質量%、Coを0.5〜2.5質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はNiを0.5〜4.0質量%、Siを0.1〜1.3質量%、Coを0.5〜2.5質量%、Crを0.03〜0.5質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はSiを0.2〜1.3質量%、Coを0.5〜2.5質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。コルソン合金には随意にその他の元素(例えば、Mg、Sn、B、Ti、Mn、Ag、P、Zn、As、Sb、Be、Zr、Al及びFe)が添加されてもよい。これらその他の元素は総計で5.0質量%程度まで添加するのが一般的である。例えば、更に別の一例として、コルソン合金はNiを0.5〜4.0質量%、Siを0.1〜1.3質量%、Snを0.01〜2.0質量%、Znを0.01〜2.0質量%含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。
本発明において、丹銅とは、銅と亜鉛との合金であり、亜鉛を1〜20質量%、より好ましくは亜鉛を1〜10質量%含有する銅合金のことをいう。また、丹銅は錫を0.1〜1.0質量%含んでも良い。
本発明において、黄銅とは、銅と亜鉛との合金で、特に亜鉛を20質量%以上含有する銅合金のことをいう。亜鉛の上限は特には限定されないが60質量%以下、好ましくは45質量%以下、あるいは40質量%以下である。
本発明において、洋白とは銅を主成分として、銅を60質量%から75質量%、ニッケルを8.5質量%から19.5質量%、亜鉛を10質量%から30質量%含有する銅合金のことをいう。
本発明において、その他銅合金とはZn、Sn、Ni、Mg、Fe、Si、P、Co、Mn、Zr、Ag、B、Cr及びTiの内一種又は二種以上を合計で8.0質量%以下含み、残部が不可避的不純物と銅からなる銅合金をいう。
アルミ及びアルミ合金としては、例えばAlを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4000〜JIS H 4180、JIS H 5202、JIS H 5303あるいはJIS Z 3232〜JIS Z 3263に規格されているアルミ及びアルミ合金を用いることができる。例えば、JIS H 4000に規格されているアルミニウムの合金番号1085、1080、1070、1050、1100、1200、1N00、1N30に代表される、Al:99.00質量%以上のアルミニウム又はその合金等を用いることができる。
ニッケル及びニッケル合金としては、例えばNiを40質量%以上含むあるいは、80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4541〜JIS H 4554、JIS H 5701又はJIS G 7604〜 JIS G 7605、JIS C 2531に規格されているニッケル又はニッケル合金を用いることができる。また、例えば、JIS H4551に記載の合金番号NW2200、NW2201に代表される、Ni:99.0質量%以上のニッケル又はその合金等を用いることができる。
鉄合金としては、例えば軟鋼、炭素鋼、鉄ニッケル合金、鋼等を用いることができる。例えばJIS G 3101〜JIS G 7603、JIS C 2502〜JIS C 8380、JIS A 5504〜JIS A 6514又はJIS E 1101〜JIS E 5402−1に記載されている鉄又は鉄合金を用いることができる。軟鋼は、炭素が0.15質量%以下の軟鋼を用いることができ、JIS G3141に記載の軟鋼等を用いることができる。鉄ニッケル合金は、Niを35〜85質量%含み、残部がFe及び不可避不純物からなり、具体的には、JIS C2531に記載の鉄ニッケル合金等を用いることができる。
亜鉛及び亜鉛合金としては、例えばZnを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 2107 〜 JIS H 5301に記載されている亜鉛又は亜鉛合金を使用することができる。
鉛及び鉛合金としては、例えばPbを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4301 〜 JIS H 4312、又はJIS H 5601に規格されている鉛又は鉛合金を用いることができる。
マグネシウム及びマグネシウム合金としては、例えばMgを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4201〜JIS H 4204、JIS H 5203〜JIS H 5303、JIS H 6125に規格されているマグネシウム及びマグネシウム合金を用いることができる。
タングステン及びタングステン合金としては、例えばWを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4463に規格されているタングステン及びタングステン合金を用いることができる。
モリブデン及びモリブデン合金としては、例えばMoを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
タンタル及びタンタル合金としては、例えばTaを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 4701に規格されているタンタル及びタンタル合金を用いることができる。
錫及び錫合金としては、例えばSnを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。例えば、JIS H 5401に規格されている錫及び錫合金を用いることができる。
インジウム及びインジウム合金としては、例えばInを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
クロム及びクロム合金としては、例えばCrを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
銀及び銀合金としては、例えばAgを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
金及び金合金としては、例えばAuを40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
白金族とはルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金の総称である。白金族及び白金族合金としては、例えばPt、Os、Ru、Pd、Ir及びRhの元素群から選択される少なくとも1種以上の元素を40質量%以上含む、あるいは80質量%以上含む、あるいは99.0質量%以上含むものを使用することができる。
放熱用金属材の厚みは18μm以上であるのが好ましい。放熱用金属材の厚みが18μm未満であれば、十分な放熱効果が得られないおそれがある。熱用金属材の厚みは35μm以上であるのがより好ましく、50μ以上であるのが更により好ましく、65μm以上であるのが更により好ましく、70μm以上であるのが更により好ましい。
放熱用金属材の発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した、表面粗さSz(表面の最大高さ)が5μm以上であるのが好ましい。放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSzが5μm未満であると、発熱体からの熱の放熱性が不良となるおそれがある。放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSzは、好ましくは7μm以上であり、より好ましくは10μm以上であり、更により好ましくは14μm以上であり、更により好ましくは15μm以上であり、更により好ましくは25μm以上である。上限は特に限定されないが、例えば、90μm以下であってもよく、80μm以下であってもよく、70μm以下であってもよい。表面粗さSzが90μmを超える場合、生産性が低くなる場合がある。
ここで、放熱用金属材の「発熱体側表面」又は「表面」は、放熱用金属材がその表面に耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層及び樹脂層等の表面処理層が設けられている場合には、当該表面処理層が設けられた後の最表面のことを意味する。
ここで、放熱用金属材の「発熱体側表面」又は「表面」は、放熱用金属材がその表面に耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層及び樹脂層等の表面処理層が設けられている場合には、当該表面処理層が設けられた後の最表面のことを意味する。
放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSa(表面の算術平均粗さ)が0.13μm以上であるのが好ましい。放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSaが0.13μm未満であると、発熱体からの熱の放熱性が低下するおそれがある。放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSaは、より好ましくは0.20μm以上であり、更により好ましくは0.25μm以上であり、更により好ましくは0.30μm以上である。また、放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSaは、典型的には0.1〜1.0μmであり、より典型的には0.1〜0.9μmである。また、放熱用金属材の発熱体側表面の表面粗さSaの上限は特に規定する必要はないが、典型的には1.0μm以下、例えば0.9μm以下である。
放熱用金属材の発熱体側表面のSku(表面高さ分布のとがり度、クルトシス数)が6以上であるのが好ましい。放熱用金属材の発熱体側表面のSkuが6未満であると、発熱体からの熱の放熱性が低下するおそれがある。放熱用金属材の発熱体側表面のSkuは、より好ましくは9以上であり、更により好ましくは10以上であり、更により好ましくは40以上であり、更により好ましくは60以上である。また、放熱用金属材の発熱体側表面のSkuは、典型的には3〜200であり、より典型的には4〜180である。また、放熱用金属材の発熱体側表面のSkuの上限は特に規定する必要はないが、典型的には200以下、例えば180以下である。
放熱用金属材の発熱体側表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40を満たすのが好ましい。放熱用金属材の発熱体側表面において色差ΔL≦−40を満たすように制御されていると、発熱体から生じた輻射熱、対流熱等を良好に吸収することができる。色差ΔLは、好ましくはΔL≦−45、より好ましくはΔL≦−50、更により好ましくはΔL≦−55、更により好ましくはΔL≦−58、更により好ましくはΔL≦−60、更により好ましくはΔL≦−65、更により好ましくはΔL≦−68、更により好ましくはΔL≦−70を満たす。また、当該ΔLは特に下限を規定する必要はないが、例えば、ΔL≧−90、ΔL≧−88、ΔL≧−85、ΔL≧−83、ΔL≧−80、ΔL≧−78、ΔL≧−75を満たしてもよい。当該表面のJISZ8730に基づく色差ΔLは、HunterLab社製色差計MiniScan XE Plusを使用して測定することができる。
上記色差ΔLは、例えば放熱用金属材の基材として銅材を用い、当該銅材の表面に粗化粒子を形成することで調整することができる。銅、ニッケル、コバルトの少なくとも1種類の元素を含む電解液を用い、電流密度を高く(例えば、30〜50A/dm2)し、処理時間を短く(例えば、0.5〜1.5秒)することで一次粗化粒子を形成し、その上に高電流密度(例えば、20〜40A/dm2)かつ短時間(例えば、0.1〜0.5秒)で二次粗化粒子を形成することにより達成できる。
上記色差ΔLは、例えば放熱用金属材の基材として銅材を用い、当該銅材の表面に粗化粒子を形成することで調整することができる。銅、ニッケル、コバルトの少なくとも1種類の元素を含む電解液を用い、電流密度を高く(例えば、30〜50A/dm2)し、処理時間を短く(例えば、0.5〜1.5秒)することで一次粗化粒子を形成し、その上に高電流密度(例えば、20〜40A/dm2)かつ短時間(例えば、0.1〜0.5秒)で二次粗化粒子を形成することにより達成できる。
放熱用金属材の発熱体側表面に表面処理層を設けても良い。表面処理層は粗化処理層、耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層、めっき層、樹脂層からなる群から選択された1種以上の層を有してもよい。
粗化処理層を形成するための粗化処理は、例えば、銅又は銅合金で粗化粒子を形成することにより行うことができる。粗化処理は微細なものであっても良い。粗化処理層は、銅、ニッケル、コバルト、リン、タングステン、ヒ素、モリブデン、クロム及び亜鉛からなる群から選択されたいずれかの単体又はいずれか1種以上を含む合金からなる層等であってもよい。また、銅又は銅合金で粗化粒子を形成した後、更にニッケル、コバルト、銅、亜鉛の単体又は合金等で二次粒子や三次粒子を設ける粗化処理を行うこともできる。その後に、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛の単体又は合金等で耐熱層又は防錆層を形成しても良く、更にその表面にクロメート処理、シランカップリング処理等の処理を施してもよい。または粗化処理を行わずに、めっき層を形成し、或いは、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛の単体又は合金等で耐熱層又は防錆層を形成し、さらにその表面にクロメート処理、シランカップリング処理等の処理を施してもよい。すなわち、粗化処理層の表面に、耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層、めっき層、樹脂層からなる群から選択された1種以上の層を形成してもよい。なお、上述の耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層、めっき層、樹脂層はそれぞれ複数の層で形成されてもよい(例えば2層以上、3層以上等)。めっき層は電気めっき、無電解めっき及び浸漬めっきのような湿式めっき、或いはスパッタリング、CVD及びPDVのような乾式めっきにより形成することができる。
クロメート処理層とは無水クロム酸、クロム酸、二クロム酸、クロム酸塩又は二クロム酸塩を含む液で処理された層のことをいう。クロメート処理層はコバルト、鉄、ニッケル、モリブデン、亜鉛、タンタル、銅、アルミニウム、リン、タングステン、錫、砒素及びチタン等の元素(金属、合金、酸化物、窒化物、硫化物等どのような形態でもよい)を含んでもよい。クロメート処理層の具体例としては、無水クロム酸又は二クロム酸カリウム水溶液で処理したクロメート処理層や、無水クロム酸又は二クロム酸カリウム及び亜鉛を含む処理液で処理したクロメート処理層等が挙げられる。
耐熱層、防錆層としては公知の耐熱層、防錆層を用いることができる。例えば、耐熱層及び/又は防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む層であってもよく、ニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素からなる金属層又は合金層であってもよい。また、耐熱層及び/又は防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む酸化物、窒化物、珪化物を含んでもよい。また、耐熱層及び/又は防錆層はニッケル−亜鉛合金を含む層であってもよい。また、耐熱層及び/又は防錆層はニッケル−亜鉛合金層であってもよい。また、防錆層及び/又は耐熱層は有機物の層であってもよい。前述の有機物の層は窒素含有有機化合物、硫黄含有有機化合物及びカルボン酸からなる群から選択される一種以上の有機物を含んでもよい。具体的な窒素含有有機化合物としては、置換基を有するトリアゾール化合物である1,2,3−ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、N’,N’−ビス(ベンゾトリアゾリルメチル)ユリア、1H−1,2,4−トリアゾール及び3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール等を用いることが好ましい。硫黄含有有機化合物には、メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾチアゾールナトリウム、チオシアヌル酸及び2−ベンズイミダゾールチオール等を用いることが好ましい。カルボン酸としては、特にモノカルボン酸を用いることが好ましく、中でもオレイン酸、リノール酸及びリノレイン酸等を用いることが好ましい。防錆層及び/又は耐熱層は炭素を含む公知の有機防錆被膜であってもよい。
なお、シランカップリング処理に用いられるシランカップリング剤には公知のシランカップリング剤を用いてよく、例えばアミノ系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤を用いてよい。また、シランカップリング剤にはビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、4−グリシジルブチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−3−(4−(3−アミノプロポキシ)プトキシ)プロピル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を用いてもよい。
樹脂層として、公知の樹脂を含む層を用いることができる。樹脂層は熱を輻射する樹脂を含む樹脂層であることが好ましい。樹脂層に用いる樹脂は輻射率が高いものが好ましい。また、樹脂層として公知の放熱シートを用いることができる。樹脂層としてシリコーン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エチレンプロピレンジエンゴム、合成ゴム、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、液晶ポリマー、ポリアミド樹脂、シリコーンオイル、シリコーングリース及びシリコーンオイルコンパウンドからなる群から選択される一種以上を有する樹脂層を用いることができる。樹脂層はフィラー又は充填剤として金属、セラミックス、無機物、有機物からなる群から選択されるいずれか一種以上を有してもよい。金属はAg、Cu、Ni、Zn、Au、Al、白金族元素及びFeからなる群から選択されるいずれか一種の金属又はこれらをいずれか一種以上含む合金であってもよい。セラミックスは、酸化物、窒化物、珪化物及び炭化物からなる群から選択されるいずれか一種以上であってもよい。酸化物は酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化銅、酸化鉄、酸化ジルコニウム、酸化ベリリウム、酸化チタン及び酸化ニッケルからなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。窒化物は窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素及び窒化チタンからなる群から選択される一種以上を含んでもよい。珪化物は炭化ケイ素、珪化モリブデン(MoSi2、Mo2Si3等)、珪化タングステン(WSi2、W5Si3等)、珪化タンタル(TaSi2等)、珪化クロム、珪化ニッケルからなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。炭化物は炭化ケイ素、炭化タングステン、炭化カルシウム及び炭化ホウ素からなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。無機物は炭素繊維、グラファイト、カーボンナノチューブ、フラーレン、ダイヤモンド、グラフェン及びフェライトからなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。
放熱用金属材の発熱体側表面の輻射率が0.03以上であるのが好ましい。放熱用金属材の発熱体側表面の輻射率が0.03以上であると、発熱体からの熱を良好に放熱することができる。放熱用金属材の発熱体側表面の輻射率は、より好ましくは0.04以上であり、より好ましくは0.05以上であり、より好ましくは0.06以上であり、より好ましくは0.092以上であり、より好ましくは0.10以上であり、更により好ましくは0.123以上であり、更により好ましくは0.154以上であり、更により好ましくは0.185以上であり、更により好ましくは0.246以上であり、0.3以上であることが好ましく、0.4以上であることが好ましく、0.5以上であることが好ましく、0.6以上であることが好ましく、0.7以上であることが好ましい。
放熱用金属材の発熱体側表面の輻射率は特に上限を規定する必要は無いが、典型的には1以下であり、より典型的には0.99以下であり、より典型的には0.95以下であり、より典型的には0.90以下であり、より典型的には0.85以下であり、より典型的には0.80以下である。なお、放熱用金属材の発熱体側表面の輻射率が0.90以下であると、製造性が向上する。
放熱用金属材は、一つ以上の表面を有する放熱用金属材であって、少なくとも一つの表面において、以下の(1)〜(5)の項目の内一つ以上を満たし、且つ、グラファイトシートと貼り合わせて用いるための放熱用金属材であってもよい。
(1)前記表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である。
(2)前記表面の輻射率が0.03以上である。
(3)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である。
(4)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である。
(5)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である。
ここで、放熱用金属材の表面のJISZ8730に基づく色差ΔL、輻射率、レーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSz、Sa、Skuは、前述の放熱用金属材の発熱体側表面の放熱用金属材の表面のJISZ8730に基づく色差ΔL、輻射率、レーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSz、Sa、Skuの範囲に制御されていることが好ましい。前述の放熱用金属材は、グラファイトシートと貼り合わせて放熱部材として用いることができる。
(1)前記表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である。
(2)前記表面の輻射率が0.03以上である。
(3)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である。
(4)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である。
(5)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である。
ここで、放熱用金属材の表面のJISZ8730に基づく色差ΔL、輻射率、レーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSz、Sa、Skuは、前述の放熱用金属材の発熱体側表面の放熱用金属材の表面のJISZ8730に基づく色差ΔL、輻射率、レーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSz、Sa、Skuの範囲に制御されていることが好ましい。前述の放熱用金属材は、グラファイトシートと貼り合わせて放熱部材として用いることができる。
本発明の放熱用金属材付構造物は、放熱部材の発熱体側の面に、更に熱伝導性を有する物質が設けられていてもよい。このような構成により、発熱体からの熱をより良好に放熱することができる。
当該熱伝導性を有する物質としては、樹脂、金属、セラミックス、無機物及び有機物からなる群から選択されるいずれか一種以上を含む物質を用いることができる。樹脂としてシリコーン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エチレンプロピレンジエンゴム、合成ゴム、天然ゴム、エポキシ樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリブチレンテレフタラート(PBT)樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、液晶ポリマー、ポリアミド樹脂、シリコーンオイル、シリコーングリース及びシリコーンオイルコンパウンドからなる群から選択されるいずれか一種以上を用いることができる。樹脂はフィラー又は充填剤として金属、セラミックス、無機物及び有機物からなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。金属、セラミックス、無機物、有機物は、それぞれ、前述の樹脂層が有する金属、セラミックス、無機物、有機物であってもよい。金属の形状は塊状、粒状、線状、片状又は網目状であってもよい。
当該熱伝導性を有する物質の熱伝導率は0.5W/(m・K)以上であるのが好ましく、1W/(m・K)以上であるのが好ましく、2W/(m・K)以上であるのが好ましく、3W/(m・K)以上であるのが好ましく、5W/(m・K)以上であるのが好ましく、10W/(m・K)以上であるのが好ましく、20W/(m・K)以上であるのがより好ましく、30W/(m・K)以上であるのがより好ましく、35W/(m・K)以上であるのが更により好ましい。物質の熱伝導率の上限は特に限定されないが、例えば、4000W/(m・K)以下、3000W/(m・K)以下、又は、2500W/(m・K)以下である。前述の熱伝導性を有する物質の熱伝導率は物質の厚み方向に平行な方向の熱伝導率であることが好ましい。ここで熱伝導性を有する物質の厚み方向は、放熱用金属材の厚み方向と平行な方向である。
当該熱伝導性を有する物質としては、樹脂、金属、セラミックス、無機物及び有機物からなる群から選択されるいずれか一種以上を含む物質を用いることができる。樹脂としてシリコーン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エチレンプロピレンジエンゴム、合成ゴム、天然ゴム、エポキシ樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリブチレンテレフタラート(PBT)樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、液晶ポリマー、ポリアミド樹脂、シリコーンオイル、シリコーングリース及びシリコーンオイルコンパウンドからなる群から選択されるいずれか一種以上を用いることができる。樹脂はフィラー又は充填剤として金属、セラミックス、無機物及び有機物からなる群から選択されるいずれか一種以上を含んでもよい。金属、セラミックス、無機物、有機物は、それぞれ、前述の樹脂層が有する金属、セラミックス、無機物、有機物であってもよい。金属の形状は塊状、粒状、線状、片状又は網目状であってもよい。
当該熱伝導性を有する物質の熱伝導率は0.5W/(m・K)以上であるのが好ましく、1W/(m・K)以上であるのが好ましく、2W/(m・K)以上であるのが好ましく、3W/(m・K)以上であるのが好ましく、5W/(m・K)以上であるのが好ましく、10W/(m・K)以上であるのが好ましく、20W/(m・K)以上であるのがより好ましく、30W/(m・K)以上であるのがより好ましく、35W/(m・K)以上であるのが更により好ましい。物質の熱伝導率の上限は特に限定されないが、例えば、4000W/(m・K)以下、3000W/(m・K)以下、又は、2500W/(m・K)以下である。前述の熱伝導性を有する物質の熱伝導率は物質の厚み方向に平行な方向の熱伝導率であることが好ましい。ここで熱伝導性を有する物質の厚み方向は、放熱用金属材の厚み方向と平行な方向である。
本発明の放熱用金属材付構造物を用いてプリント配線板を作製することができ、プリント配線板に電子部品類を搭載することで、プリント回路板を作製してもよい。また、当該プリント回路板を用いて電子機器を作製してもよく、当該電子部品類が搭載されたプリント回路板を用いて電子機器を作製してもよい。また、本発明の放熱用金属材付構造物はディスプレイ、CIチップ、コンデンサ、インダクタ、コネクタ、端子、メモリー、LSI、筐体、CPU、回路、集積回路等、種々の電子機器の発熱体の放熱に使用することができる。例えば、スマートフォンやタブレットPC等のモバイル機器のアプリケーションプロセッサー等を発熱体とし、これを放熱するために用いることができる。
1.放熱材の準備
放熱材として、25μm厚のグラファイトシート、及び、下記の各放熱用金属材A〜Eをそれぞれ準備した。
・放熱用金属材A
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
なお油膜当量は以下の式で表される。
油膜当量={(圧延油粘度[cSt])×(通板速度[mpm]+ロール周速度[mpm])}/{(ロールの噛み込み角[rad])×(材料の降伏応力[kg/mm2])}
圧延油粘度[cSt]は40℃での動粘度である。
油膜当量を25000とするためには、高粘度の圧延油を用いたり、通板速度を高くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
表面処理:電気めっき処理
めっき液条件
Cu濃度9g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:33A/dm2
めっき時間:0.5秒×4回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−62.4
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:11.4μm、Sa:0.33μm、Sku:9.21
放熱材として、25μm厚のグラファイトシート、及び、下記の各放熱用金属材A〜Eをそれぞれ準備した。
・放熱用金属材A
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
なお油膜当量は以下の式で表される。
油膜当量={(圧延油粘度[cSt])×(通板速度[mpm]+ロール周速度[mpm])}/{(ロールの噛み込み角[rad])×(材料の降伏応力[kg/mm2])}
圧延油粘度[cSt]は40℃での動粘度である。
油膜当量を25000とするためには、高粘度の圧延油を用いたり、通板速度を高くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
表面処理:電気めっき処理
めっき液条件
Cu濃度9g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:33A/dm2
めっき時間:0.5秒×4回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−62.4
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:11.4μm、Sa:0.33μm、Sku:9.21
・放熱用金属材B
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅にAgを180質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:44A/dm2
めっき時間:0.7秒×2回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:1.5秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:30A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−53.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:24.5μm、Sa:0.42μm、Sku:20.8
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅にAgを180質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:44A/dm2
めっき時間:0.7秒×2回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:1.5秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:30A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−53.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:24.5μm、Sa:0.42μm、Sku:20.8
・放熱用金属材C
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1020に規格される無酸素銅にAgを100質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:45A/dm2
めっき時間:0.8秒×2回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:2.0秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:31A/dm2
めっき時間:0.6秒×2回
厚み:70μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−54.2
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:25.1μm、Sa:0.43μm、Sku:21.4
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1020に規格される無酸素銅にAgを100質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:45A/dm2
めっき時間:0.8秒×2回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:2.0秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:31A/dm2
めっき時間:0.6秒×2回
厚み:70μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−54.2
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:25.1μm、Sa:0.43μm、Sku:21.4
・放熱用金属材D
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1020に規格される無酸素銅にAgを100質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:46A/dm2
めっき時間:0.8秒×2回
電流密度:6A/dm2
めっき時間:2.0秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L、P濃度300ppm
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:32A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
厚み:100μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−55.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:26.4μm、Sa:0.45μm、Sku:22.3
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1020に規格される無酸素銅にAgを100質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の、最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:46A/dm2
めっき時間:0.8秒×2回
電流密度:6A/dm2
めっき時間:2.0秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L、P濃度300ppm
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:32A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
厚み:100μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−55.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:26.4μm、Sa:0.45μm、Sku:22.3
・放熱用金属材E
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅にAgを180質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:55A/dm2
めっき時間:2.0秒×4回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:1.5秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:40A/dm2
めっき時間:0.9秒×5回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−89.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:42.3μm、Sa:0.62μm、Sku:25.7
金属材:銅基材(圧延銅箔:JIS H3100 合金番号C1100に規格されるタフピッチ銅にAgを180質量ppm添加した組成を有する。通常圧延、圧延銅箔の製造時の最終冷間圧延における油膜当量を25000として圧延を行って得た。)
表面処理:電気めっき処理((一)、(二)の順)
めっき液条件(一):
Cu濃度10g/L、硫酸濃度20g/L
pH:1.0
温度:26℃
電流密度:55A/dm2
めっき時間:2.0秒×4回
電流密度:4A/dm2
めっき時間:1.5秒×2回
めっき液条件(二):
Cu濃度8g/L、Co濃度8g/L、Ni濃度8g/L
pH:3.5
温度:35℃
電流密度:40A/dm2
めっき時間:0.9秒×5回
厚み:35μm
放熱用金属材の発熱体側表面の色差ΔL:−89.3
放熱用金属材の発熱体側表面のSz:42.3μm、Sa:0.62μm、Sku:25.7
上記の放熱用金属材A〜Eの電気めっき処理表面に次の耐熱めっき処理、及び防錆めっき処理を施した。
(耐熱めっき処理)
Ni濃度12g/L、Co濃度3g/L
pH:2.0
温度:50℃
電流密度:15A/dm2
めっき時間:0.4秒×2回
(防錆めっき処理)
Cr濃度3.0gL/L、Zn濃度0.3g/L
pH:2.0
温度:55℃
電流密度:2.0A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
(耐熱めっき処理)
Ni濃度12g/L、Co濃度3g/L
pH:2.0
温度:50℃
電流密度:15A/dm2
めっき時間:0.4秒×2回
(防錆めっき処理)
Cr濃度3.0gL/L、Zn濃度0.3g/L
pH:2.0
温度:55℃
電流密度:2.0A/dm2
めっき時間:0.5秒×2回
・色差
上記放熱用金属材の発熱体側表面の色差の評価は以下のように行った。
HunterLab社製色差計MiniScan XE Plusを使用して、JISZ8730に準拠して、放熱用金属材の発熱体側表面の白色板(光源をD65とし、10度視野としたときに、当該白色板のX10Y10Z10表色系(JIS Z8701 1999)の三刺激値はX10=80.7、Y10=85.6、Z10=91.5であり、L*a*b*表色系での、当該白色板の物体色はL*=94.14、a*=−0.90、b*=0.24である)の物体色を基準とする色とした場合の色差を測定した。なお、前述の色差計では、白色板の色差の測定値をΔE*ab=0、黒い袋(ライトトラップ(light trap))で測定孔を覆って測定したときの色差の測定値をΔE*ab=94.14として、色差を校正する。ここで色差ΔE*abは前述の白色板をゼロ、黒色を94.14で定義される。なお、銅回路表面等微小領域のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abは、例えば日本電色工業株式会社製の微小面分光色差計(型式:VSS400等)やスガ試験機株式会社製の微小面分光測色計(型式:SC−50μ等)等公知の測定装置を用いて測定をすることができる。
上記放熱用金属材の発熱体側表面の色差の評価は以下のように行った。
HunterLab社製色差計MiniScan XE Plusを使用して、JISZ8730に準拠して、放熱用金属材の発熱体側表面の白色板(光源をD65とし、10度視野としたときに、当該白色板のX10Y10Z10表色系(JIS Z8701 1999)の三刺激値はX10=80.7、Y10=85.6、Z10=91.5であり、L*a*b*表色系での、当該白色板の物体色はL*=94.14、a*=−0.90、b*=0.24である)の物体色を基準とする色とした場合の色差を測定した。なお、前述の色差計では、白色板の色差の測定値をΔE*ab=0、黒い袋(ライトトラップ(light trap))で測定孔を覆って測定したときの色差の測定値をΔE*ab=94.14として、色差を校正する。ここで色差ΔE*abは前述の白色板をゼロ、黒色を94.14で定義される。なお、銅回路表面等微小領域のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abは、例えば日本電色工業株式会社製の微小面分光色差計(型式:VSS400等)やスガ試験機株式会社製の微小面分光測色計(型式:SC−50μ等)等公知の測定装置を用いて測定をすることができる。
・表面のSz、Sa、Sku
上記放熱用金属材の発熱体側表面のSz、Sa、Skuの評価は以下のように行った。
ISO25178に準拠して、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000(LEXT OLS 4000)にて、放熱用金属材表面のSz、Sa、Skuを測定した。レーザー顕微鏡における対物レンズ50倍を使用して約200μm×200μm面積(具体的には40106μm2)の測定を行い、Sz、Sa、Skuを算出した。なおレーザー顕微鏡測定において、測定結果の測定面が平面でない、曲面になった場合は、平面補正を行った後に、Sz、Sa、Skuを算出した。なお、レーザー顕微鏡によるSz、Sa、Skuの測定環境温度は23〜25℃とした。
上記放熱用金属材の発熱体側表面のSz、Sa、Skuの評価は以下のように行った。
ISO25178に準拠して、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000(LEXT OLS 4000)にて、放熱用金属材表面のSz、Sa、Skuを測定した。レーザー顕微鏡における対物レンズ50倍を使用して約200μm×200μm面積(具体的には40106μm2)の測定を行い、Sz、Sa、Skuを算出した。なおレーザー顕微鏡測定において、測定結果の測定面が平面でない、曲面になった場合は、平面補正を行った後に、Sz、Sa、Skuを算出した。なお、レーザー顕微鏡によるSz、Sa、Skuの測定環境温度は23〜25℃とした。
2.構造物、放熱用グラファイト付構造物又は放熱用金属材付構造物の作製
次に、図3〜6に示すように、各種の構造物、放熱用グラファイト付構造物又は放熱用金属材付構造物を作製した。
まず、縦×横×高さ=25mm×50mm×1mmのポリメチルメタクリレート(PMMA)基板を準備した。次に、当該基板表面の中央に縦×横×高さ=15mm×15mm×1mmの発熱体(電熱線を樹脂で固めた発熱体、ICチップに相当)を載せ、SUSで構成した厚み200μmの発熱体保護部材で周囲を覆い、発熱体保護部材の発熱体側表面に放熱材を設けることで、シールドボックス(構造物、放熱用グラファイト付構造物又は放熱用金属材付構造物)を作製した。なお、図3の比較例1に代表して示すように、発熱体上面から発熱体保護部材の下面までの距離は0.3mmとし、発熱体の側面から発熱体保護部材までの距離は0.5mmとした。
次に、図3〜6に示すように、各種の構造物、放熱用グラファイト付構造物又は放熱用金属材付構造物を作製した。
まず、縦×横×高さ=25mm×50mm×1mmのポリメチルメタクリレート(PMMA)基板を準備した。次に、当該基板表面の中央に縦×横×高さ=15mm×15mm×1mmの発熱体(電熱線を樹脂で固めた発熱体、ICチップに相当)を載せ、SUSで構成した厚み200μmの発熱体保護部材で周囲を覆い、発熱体保護部材の発熱体側表面に放熱材を設けることで、シールドボックス(構造物、放熱用グラファイト付構造物又は放熱用金属材付構造物)を作製した。なお、図3の比較例1に代表して示すように、発熱体上面から発熱体保護部材の下面までの距離は0.3mmとし、発熱体の側面から発熱体保護部材までの距離は0.5mmとした。
(1)比較例1の構造物
比較例1の構造物は、放熱材を用いない構成とした。
(2)参考例1の放熱用グラファイト付構造物
参考例1の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(3)実施例1の放熱用金属材付構造物
実施例1の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材A、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(4)実施例2、3、4の放熱用金属材付構造物
実施例2、3、4の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例2)又は上記放熱用金属材C(実施例3)又は上記放熱用金属材D(実施例4)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(5)実施例5、6、7の放熱用金属材付構造物
実施例5、6、7の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材E(実施例5)又は上記放熱用金属材C(実施例6)又は上記放熱用金属材D(実施例7)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(6)実施例8の放熱用金属材付構造物
実施例8の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A(放熱用シリコーンオイルコンパウンド、信越化学工業株式会社製 品番:G−776)、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(7)実施例9の放熱用金属材付構造物
実施例9の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚の高熱伝導性樹脂Aをこの順で設けて固定した。
(8)実施例10の放熱用金属材付構造物
実施例10の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。なお、前述の10μm厚の高熱伝導性樹脂Aは前述の樹脂層に相当する。
(9)実施例10’の放熱用金属材付構造物
実施例10’の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、上記放熱用金属材C、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(10)参考例2の放熱用グラファイト付構造物
参考例2の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、230μm厚の高熱伝導性樹脂B(シリコーン樹脂、デンカ株式会社製、デンカ放熱スペーサー グリースタイプ グレード:GFC−L1)、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。また、上記高熱伝導性樹脂Bは発熱体と離間させないで発熱体に直接接するように設けた。
(11)参考例3の放熱用グラファイト付構造物
参考例3の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、265μm厚の高熱伝導性樹脂B、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。また、上記高熱伝導性樹脂Bは発熱体と離間させないで発熱体に直接接するように設けた。
(12)参考例4の構造物
参考例4の構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面と発熱体の表面との間に隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(13)実施例11〜13の放熱用金属材付構造物
実施例11〜13の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例11)又は上記放熱用金属材C(実施例12)又は上記放熱用金属材D(実施例13)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材B〜Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(14)実施例14〜16の放熱用金属材付構造物
実施例14〜16の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例14)又は上記放熱用金属材C(実施例15)又は上記放熱用金属材D(実施例16)、及び、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材B〜Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(15)実施例17の放熱用金属材付構造物
実施例17の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(16)実施例18の放熱用金属材付構造物
実施例18の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚の高熱伝導性樹脂Aをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(17)実施例19の放熱用金属材付構造物
実施例19の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Bをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Bと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(18)実施例20の放熱用金属材付構造物
実施例20の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Cをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(19)実施例21の放熱用金属材付構造物
実施例21の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Dをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
比較例1の構造物は、放熱材を用いない構成とした。
(2)参考例1の放熱用グラファイト付構造物
参考例1の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(3)実施例1の放熱用金属材付構造物
実施例1の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材A、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(4)実施例2、3、4の放熱用金属材付構造物
実施例2、3、4の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例2)又は上記放熱用金属材C(実施例3)又は上記放熱用金属材D(実施例4)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(5)実施例5、6、7の放熱用金属材付構造物
実施例5、6、7の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材E(実施例5)又は上記放熱用金属材C(実施例6)又は上記放熱用金属材D(実施例7)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(6)実施例8の放熱用金属材付構造物
実施例8の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A(放熱用シリコーンオイルコンパウンド、信越化学工業株式会社製 品番:G−776)、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(7)実施例9の放熱用金属材付構造物
実施例9の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚の高熱伝導性樹脂Aをこの順で設けて固定した。
(8)実施例10の放熱用金属材付構造物
実施例10の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。なお、前述の10μm厚の高熱伝導性樹脂Aは前述の樹脂層に相当する。
(9)実施例10’の放熱用金属材付構造物
実施例10’の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、上記放熱用金属材C、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。
(10)参考例2の放熱用グラファイト付構造物
参考例2の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、230μm厚の高熱伝導性樹脂B(シリコーン樹脂、デンカ株式会社製、デンカ放熱スペーサー グリースタイプ グレード:GFC−L1)、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。また、上記高熱伝導性樹脂Bは発熱体と離間させないで発熱体に直接接するように設けた。
(11)参考例3の放熱用グラファイト付構造物
参考例3の放熱用グラファイト付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、265μm厚の高熱伝導性樹脂B、25μm厚のグラファイトシート及び10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。また、上記高熱伝導性樹脂Bは発熱体と離間させないで発熱体に直接接するように設けた。
(12)参考例4の構造物
参考例4の構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面と発熱体の表面との間に隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(13)実施例11〜13の放熱用金属材付構造物
実施例11〜13の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例11)又は上記放熱用金属材C(実施例12)又は上記放熱用金属材D(実施例13)、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープ、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材B〜Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(14)実施例14〜16の放熱用金属材付構造物
実施例14〜16の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材B(実施例14)又は上記放熱用金属材C(実施例15)又は上記放熱用金属材D(実施例16)、及び、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材B〜Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(15)実施例17の放熱用金属材付構造物
実施例17の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚のアクリル系接着剤を用いた両面テープをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(16)実施例18の放熱用金属材付構造物
実施例18の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、上記放熱用金属材C、10μm厚の高熱伝導性樹脂A、25μm厚のグラファイトシート、10μm厚の高熱伝導性樹脂Aをこの順で設けて固定した。さらに、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(17)実施例19の放熱用金属材付構造物
実施例19の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Bをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Bと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(18)実施例20の放熱用金属材付構造物
実施例20の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Cをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Cと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
(19)実施例21の放熱用金属材付構造物
実施例21の放熱用金属材付構造物は、発熱体保護部材の発熱体側の面に放熱材として、発熱体側から、高熱伝導性樹脂B、上記放熱用金属材Dをこの順で設けて固定した。ここで、放熱用金属材Dと発熱体との間には隙間の無いように高熱伝導性樹脂Bを設けた。
・反射率測定
上記試料の光の波長ごとの反射率を以下の条件により測定した。測定は試料の測定面内で、測定する向きを90度変えて2回行った。
測定装置:IFS-66v(Bruker社製FT-IR、真空光学系)
光源:グローバー(SiC)
検知器:MCT(HgCdTe)
ビームスプリッター:Ge/KBr
測定条件:分解能=4cm-1
積算回数=512回
ゼロフィリング=2倍
アポダイゼーション=三角形
測定領域=5000〜715cm-1(光の波長:2〜14μm)
測定温度=25℃
付属装置:透過率・反射率測定用積分球
ポート径=φ10mm
繰り返し精度=約±1%
反射率測定条件
入射角:10度
参照試料:diffuse gold(Infragold-LF Assembly)
スペキュラーカップ(正反射成分除去装置)取り付けなし
上記試料の光の波長ごとの反射率を以下の条件により測定した。測定は試料の測定面内で、測定する向きを90度変えて2回行った。
測定装置:IFS-66v(Bruker社製FT-IR、真空光学系)
光源:グローバー(SiC)
検知器:MCT(HgCdTe)
ビームスプリッター:Ge/KBr
測定条件:分解能=4cm-1
積算回数=512回
ゼロフィリング=2倍
アポダイゼーション=三角形
測定領域=5000〜715cm-1(光の波長:2〜14μm)
測定温度=25℃
付属装置:透過率・反射率測定用積分球
ポート径=φ10mm
繰り返し精度=約±1%
反射率測定条件
入射角:10度
参照試料:diffuse gold(Infragold-LF Assembly)
スペキュラーカップ(正反射成分除去装置)取り付けなし
・輻射率
試料面に入射してきた光は、反射、透過するほか内部で吸収される。吸収率(α)(=輻射率(ε))、反射率(r)、透過率(t)には次の式が成り立つ。
ε+r+t=1(A)
輻射率(ε)は次式のように反射率、透過率から求めることができる。
ε=1−r−t(B)
試料が不透明である、厚くて透過が無視できるといった場合、t=0となり輻射率は反射率のみで求まる。
ε=1−r(C)
本試料では赤外光が透過しなかったため、(C)式を適応し、光の波長ごとの輻射率が算出される。
試料面に入射してきた光は、反射、透過するほか内部で吸収される。吸収率(α)(=輻射率(ε))、反射率(r)、透過率(t)には次の式が成り立つ。
ε+r+t=1(A)
輻射率(ε)は次式のように反射率、透過率から求めることができる。
ε=1−r−t(B)
試料が不透明である、厚くて透過が無視できるといった場合、t=0となり輻射率は反射率のみで求まる。
ε=1−r(C)
本試料では赤外光が透過しなかったため、(C)式を適応し、光の波長ごとの輻射率が算出される。
・FT-IRスペクトル
2回測定を行った結果の平均値を、反射率スペクトルとした。なお、反射率スペクトルはdiffuse goldの反射率にて補正した(表示波長領域:2〜14μm)。
ここで、プランクの式より求めたある温度での黒体の放射エネルギー分布から、各波長λにおけるエネルギー強度をEbλ、各波長λでの試料の輻射率をελとすると、試料の放射エネルギー強度Esλは、Esλ=ελ・Ebλで表される。本実施例では、当該式:Esλ=ελ・Ebλで得られた25℃における各試料の放射エネルギー強度Esλを求めた。
また、ある波長領域における黒体及び試料の全エネルギーは、その波長範囲におけるEsλ,Ebλの積分値で求められ、全輻射率εはその比で表される(下記式A)。本実施例では当該式を用いて25℃における波長領域2〜14μmでの各試料の全輻射率εを算出した。そして得られた全輻射率εを各試料の輻射率とした。
2回測定を行った結果の平均値を、反射率スペクトルとした。なお、反射率スペクトルはdiffuse goldの反射率にて補正した(表示波長領域:2〜14μm)。
ここで、プランクの式より求めたある温度での黒体の放射エネルギー分布から、各波長λにおけるエネルギー強度をEbλ、各波長λでの試料の輻射率をελとすると、試料の放射エネルギー強度Esλは、Esλ=ελ・Ebλで表される。本実施例では、当該式:Esλ=ελ・Ebλで得られた25℃における各試料の放射エネルギー強度Esλを求めた。
また、ある波長領域における黒体及び試料の全エネルギーは、その波長範囲におけるEsλ,Ebλの積分値で求められ、全輻射率εはその比で表される(下記式A)。本実施例では当該式を用いて25℃における波長領域2〜14μmでの各試料の全輻射率εを算出した。そして得られた全輻射率εを各試料の輻射率とした。
上記比較例1、参考例1〜4及び実施例1〜21の構造物について、以下の条件で放熱シミュレーションを行った。
・定常解析
・流れ、層流、重力を考慮
・発熱体の熱量:0.225W(設定値1×106W/m3)
・参考例1において約85℃となる設定とした。85℃は通常の電子機器における発熱する電子部品の想定温度である。
・発熱体の下方の基板は計算領域外として断熱と設定
・環境温度:20℃
・表面熱伝達係数:6W/m2・K
・輻射熱を受ける反対側の壁は20℃の黒体として設定
・固体内輻射は考慮しない
計算条件と物性値を表1に示す。
・定常解析
・流れ、層流、重力を考慮
・発熱体の熱量:0.225W(設定値1×106W/m3)
・参考例1において約85℃となる設定とした。85℃は通常の電子機器における発熱する電子部品の想定温度である。
・発熱体の下方の基板は計算領域外として断熱と設定
・環境温度:20℃
・表面熱伝達係数:6W/m2・K
・輻射熱を受ける反対側の壁は20℃の黒体として設定
・固体内輻射は考慮しない
計算条件と物性値を表1に示す。
上記試験のシミュレーション結果を表2に示す。
(評価結果)
実施例1〜21は、いずれも発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側表面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材を有し、放熱部材は少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を備えるため、発熱体からの熱を良好に放熱することができた。
また、高熱伝導性樹脂Aを設けた例を示す実施例8〜10’の結果から、放熱部材の発熱体側の面に、更に樹脂を設けると最も効果的に発熱体からの熱を放熱することができることがわかった。
また、放熱部材と発熱体との間に高熱伝導性樹脂Bを設けた実施例11〜21はいずれも当該高熱伝導性樹脂を設けなかった実施例1〜10に対してより効果的に発熱体からの熱を放熱することができることがわかった。
比較例1は、放熱部材を設けておらず発熱体からの熱の放熱性が不良であった。
実施例1〜21は、いずれも発熱体の一部又は全部を覆うように且つ発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、発熱体保護部材の発熱体側表面に設けられ且つ発熱体の発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材を有し、放熱部材は少なくとも発熱体側表面に放熱用金属材を備えるため、発熱体からの熱を良好に放熱することができた。
また、高熱伝導性樹脂Aを設けた例を示す実施例8〜10’の結果から、放熱部材の発熱体側の面に、更に樹脂を設けると最も効果的に発熱体からの熱を放熱することができることがわかった。
また、放熱部材と発熱体との間に高熱伝導性樹脂Bを設けた実施例11〜21はいずれも当該高熱伝導性樹脂を設けなかった実施例1〜10に対してより効果的に発熱体からの熱を放熱することができることがわかった。
比較例1は、放熱部材を設けておらず発熱体からの熱の放熱性が不良であった。
Claims (21)
- 発熱体と、
前記発熱体の一部又は全部を覆うように且つ前記発熱体と離間して設けられた発熱体保護部材と、
前記発熱体保護部材の前記発熱体側の面に設けられ且つ前記発熱体の前記発熱体保護部材側表面と離間して設けられた放熱部材と
を有し、
前記放熱部材は少なくとも前記発熱体側表面に放熱用金属材を備える放熱用金属材付構造物。 - 前記放熱部材は、前記放熱用金属材で構成されている請求項1に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱部材は、前記発熱体側から、前記放熱用金属材及びグラファイトシートをこの順に備える請求項1に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱部材は、前記放熱用金属材を複数備える請求項1〜3のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱部材は、前記グラファイトシートを複数備える請求項3又は4に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の厚みが18μm以上である請求項1〜5のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40を満たす請求項1〜6のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面の輻射率が0.03以上である請求項1〜7のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面に表面処理層が設けられ、前記表面処理層は粗化処理層、耐熱層、防錆層、クロメート処理層、シランカップリング処理層、めっき層、樹脂層からなる群から選択された1種以上の層を有する請求項1〜8のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材が、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、金、金合金、銀、銀合金、白金族、白金族合金、クロム、クロム合金、マグネシウム、マグネシウム合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、鉛、鉛合金、タンタル、タンタル合金、錫、錫合金、インジウム、インジウム合金、亜鉛、又は、亜鉛合金で形成されている請求項1〜9のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材が、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、亜鉛、又は、亜鉛合金で形成されている請求項10に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材が、リン青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、洋白又はその他銅合金で形成されている請求項11に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材が、金属条、金属板、又は、金属箔である請求項1〜12のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である請求項1〜13のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である請求項1〜14のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱用金属材の前記発熱体側表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である請求項1〜15のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記放熱部材の発熱体側の面に、更に熱伝導性を有する物質が設けられた請求項1〜16のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物。
- 前記物質の熱伝導率が0.5W/(m・K)以上である請求項17に記載の放熱用金属材付構造物。
- 請求項1〜18のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物を備えたプリント回路板。
- 請求項1〜18のいずれか一項に記載の放熱用金属材付構造物を備えた電子機器。
- 一つ以上の表面を有する放熱用金属材であって、少なくとも一つの表面において、以下の(1)〜(5)の項目の内一つ以上を満たし、且つ、グラファイトシートと貼り合わせて用いるための放熱用金属材。
(1)前記表面のJISZ8730に基づく色差ΔLが、ΔL≦−40である
(2)前記表面の輻射率が0.03以上である
(3)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSzが5μm以上である
(4)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSaが0.13μm以上である
(5)前記表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定した表面粗さSkuが6以上である
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020004836A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | トヨタ自動車株式会社 | 熱伝導構造体又は半導体装置 |
JP2021129059A (ja) * | 2020-02-14 | 2021-09-02 | シャープ株式会社 | 電子機器 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN207099513U (zh) * | 2017-09-05 | 2018-03-13 | 陈庆洪 | 一种散热功能良好的防护等级达65级及以上的电气机箱 |
US10281129B1 (en) * | 2018-01-18 | 2019-05-07 | Bgt Materials Limited | Filament structure of LED light bulb |
US10283683B1 (en) * | 2018-01-18 | 2019-05-07 | Bgt Materials Limited | Filament structure and LED light bulb having the same |
CN115349158A (zh) * | 2020-04-13 | 2022-11-15 | 三菱电机株式会社 | 散热结构及其制造方法、真空阀 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006210940A (ja) * | 2006-03-23 | 2006-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 通信機器 |
WO2014045671A1 (ja) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | 株式会社村田製作所 | 電子機器 |
JP2016084528A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-19 | Jx金属株式会社 | 銅放熱材、キャリア付銅箔、コネクタ、端子、積層体、シールド材、プリント配線板、金属加工部材、電子機器、及び、プリント配線板の製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5270285A (en) * | 1965-02-28 | 1993-12-14 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | Sheet for heat transference |
JP4801537B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2011-10-26 | ポリマテック株式会社 | キーシート |
JP5112101B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2013-01-09 | 株式会社東芝 | 半導体パッケージ |
JP2010039408A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Panasonic Corp | 画像表示装置 |
KR101047801B1 (ko) * | 2008-12-29 | 2011-07-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 디바이스 패키지 및 그 제조방법 |
JP2010161274A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Calsonic Kansei Corp | 発熱素子の放熱構造 |
CN102858896A (zh) * | 2010-05-19 | 2013-01-02 | 日东电工株式会社 | 导热性粘合片 |
WO2014157581A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | トッパン・フォームズ株式会社 | 積層体及び回路基板 |
JP6196985B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2017-09-13 | Jx金属株式会社 | 表面処理金属材、キャリア付金属箔、コネクタ、端子、積層体、シールドテープ、シールド材、プリント配線板、金属加工部材、電子機器、及び、プリント配線板の製造方法 |
KR102123245B1 (ko) * | 2013-10-21 | 2020-06-16 | 엘지전자 주식회사 | 노이즈를 차폐하는 방열 부재 및 이를 구비하는 전자 기기 |
CN203788636U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-08-20 | 优创贸易(深圳)有限公司 | 一种屏蔽罩 |
TWM478327U (zh) * | 2013-12-03 | 2014-05-11 | Jin-Yu Chen | 行動裝置散熱構造 |
US9754849B2 (en) * | 2014-12-23 | 2017-09-05 | Intel Corporation | Organic-inorganic hybrid structure for integrated circuit packages |
-
2017
- 2017-05-16 TW TW106116093A patent/TWI655892B/zh active
- 2017-05-19 JP JP2017100182A patent/JP2018014485A/ja active Pending
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006210940A (ja) * | 2006-03-23 | 2006-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 通信機器 |
WO2014045671A1 (ja) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | 株式会社村田製作所 | 電子機器 |
JP2016084528A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-19 | Jx金属株式会社 | 銅放熱材、キャリア付銅箔、コネクタ、端子、積層体、シールド材、プリント配線板、金属加工部材、電子機器、及び、プリント配線板の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020004836A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | トヨタ自動車株式会社 | 熱伝導構造体又は半導体装置 |
JP7160579B2 (ja) | 2018-06-28 | 2022-10-25 | トヨタ自動車株式会社 | 熱伝導構造体又は半導体装置 |
JP2021129059A (ja) * | 2020-02-14 | 2021-09-02 | シャープ株式会社 | 電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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