JP2018004573A - 水素ガスセンサ - Google Patents
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Description
(測定条件)
一次イオン種:Cs+
一次イオン加速エネルギー:3keV
二次イオン極性:Negative
酸素リーク:なし
帯電補償手段:E−gun(電子銃)
基板10としては、シリコン、サファイヤ、ガラス、アルミナなどの絶縁性基板や、SiCなどの半絶縁性基板などを用いることができる。
水素検知層20は、上述したように、触媒と金属酸化物とを含んでいる。
金属酸化物は、触媒による水素ガスの解離によって発生した電子によって電気抵抗が低下するものであればよい。金属酸化物としては、例えば三酸化モリブデン(MoO3)、三酸化タングステン(WO3)、二酸化チタン(TiO2)、五酸化バナジウム(V2O5)、酸化ニッケル(NiO2)などが挙げられる。これらは1種類単独で又は2種以上を組み合せて用いることができる。上記金属酸化物の中でも、三酸化タングステン及び三酸化モリブデンが好ましく、三酸化タングステンが特に好ましい。この場合、金属酸化物が三酸化タングステン以外の金属酸化物(例えば三酸化モリブデンなど)を含む場合と比べて、水素ガスセンサ100において水素ガスに対する応答がより速くなる。
触媒は、吸着した水素ガスをプロトンと電子とに解離させることができるものであればよい。このような触媒としては、例えば白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ニッケル(Ni)、ロジウム(Rh)及びルテニウム(Ru)が挙げられる。これらは1種類単独で又は2種以上を組み合せて用いてもよい。上記触媒の中でも、白金が特に好ましい。
ヒータ30は水素検知層20を加熱し得るものであればよい。ヒータ30としては、例えばセラミックヒータ、裸発熱体などが挙げられるが、中でもセラミックヒータが好ましい。この場合、発熱体(抵抗体)が外気に触れていないため、発熱体の酸化を抑制でき、発熱体の断線や経時劣化をより十分に抑制できる。
電極40は、水素ガス、炭化水素系ガス、一酸化炭素ガスなどの還元性ガスに対して触媒活性を示さない導電材料であれば特に制限されるものではない。このような電極40を構成する導電材料としては、例えば金、銀、アルミニウム合金などが挙げられる。これらのうち電極40を構成する導電材料としては、金が特に好ましい。電極40の形状は特に制限されず、電極40の形状としては、円形状、四角形状、櫛歯状が挙げられる。中でも、電極40の形状は櫛歯状であることが、電極40が微小電極であっても水素ガスに対する検出感度が高いことから好ましい。
まず、厚さ0.5mm、直径25mmのSi基板を用意し、Si基板の裏面に白金ヒータを作製した。ここで、白金ヒータは、金属マスクを用いたスパッタリング法を用いて作製した。
(熱処理条件)
熱処理炉:大気炉
熱処理温度:400℃
熱処理時間:30分
酸素分圧:2×10−1atm
酸素ガス供給流量:0.2SLM
窒素ガス供給流量:0.8SLM
(SIMSの測定条件)
一次イオン種:Cs+
一次イオン加速エネルギー:3keV
二次イオン極性:Negative
酸素リーク:なし
帯電補償手段:E−gun(電子銃)
積層体を下記の熱処理条件で熱処理することによってWO3膜中のカーボン濃度を表1に示す通りとしたこと以外は実施例1と同様にして水素ガスセンサを作製した。
(熱処理条件)
熱処理炉:大気炉
熱処理温度:400℃
熱処理時間:60分
酸素分圧:2×10−1atm
酸素ガス供給流量:0.2SLM
窒素ガス供給流量:0.8SLM
積層体を下記の熱処理条件で熱処理することによってWO3膜中のカーボン濃度を表1に示す通りとしたこと以外は実施例1と同様にして水素ガスセンサを作製した。
(熱処理条件)
熱処理炉:大気炉
熱処理温度:750℃
熱処理時間:30分
酸素分圧:2×10−1atm
酸素ガス供給流量:0.2SLM
窒素ガス供給流量:0.8SLM
積層体を下記の熱処理条件で熱処理することによってWO3膜中のカーボン濃度を表1に示す通りとしたこと以外は実施例1と同様にして水素ガスセンサを作製した。
(熱処理条件)
熱処理炉:ガス雰囲気炉
熱処理温度:750℃
熱処理時間:30分
酸素分圧:8×10−1atm
酸素ガス供給流量:0.8SLM
アルゴンガス供給流量:0.2SLM
実施例1〜3及び比較例1の水素ガスセンサを防爆のためステンレスチャンバーの中で隣り合うように配置させ、水素検知層の温度が100℃となるようにヒータの温度を制御した。そして、同じ環境下で、1000ppmの水素ガス(99.999%乾燥空気ガス)及び1%の水素ガス(99%乾燥空気ガス)を吹きかける前後での水素検知層における電気伝導度を測定し、測定した電気伝導度から電気伝導度の変化率を下記式に基づいて算出した。結果を表1に示す。
電気伝導度の変化率(%)
=100×{(水素ガスを吹きかける前の電気伝導度)(S/m)−(水素ガスを吹きかけた後の電気伝導度)(S/m)}/(水素ガスを吹きかける前の電気伝導度)(S/m)
合格基準は下記の通りとした。なお、表1においては、下記合格基準を満たさない場合には「×」と表記し、下記合格基準を満たす場合には「○」と表記し、特に1000ppmの水素ガスを吹きかけたときの電気伝導度の変化率が10000%以上で且つ1%の水素ガスを吹きかけたときの電気伝導度の変化率が100000%以上である場合には「◎」と表記した。
(合格基準)
1000ppmの水素ガスを吹きかけたときの電気伝導度の変化率が1000%以上で且つ1%の水素ガスを吹きかけたときの電気伝導度の変化率が10000%以上であること
20…水素検知層
30…ヒータ
40…電極
100…水素ガスセンサ
Claims (3)
- 水素ガスを電気的に検知する水素ガスセンサであって、
基板と、
前記基板上に設けられる水素検知層と、
前記水素検知層に設けられる一対の電極とを備え、
前記水素検知層が、水素ガスをプロトンと電子とに解離させる触媒と、前記触媒による水素ガスの解離によって発生した電子によって電気抵抗が低下する金属酸化物とを含み、
前記金属酸化物中のカーボン濃度が2.7×1019atoms/cm3以下である、水素ガスセンサ。 - 前記金属酸化物中のカーボン濃度が1.3×1019atoms/cm3以下である請求項1に記載の水素ガスセンサ。
- 前記金属酸化物が三酸化タングステンを含む請求項1又は2に記載の水素ガスセンサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6071942A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-04-23 | ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ構成材料の製法 |
JP2006162365A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ |
JP2007178168A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ製造方法及び水素ガス検知センサ |
WO2008058553A1 (en) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Pirelli & C. S.P.A. | Gas sensor and gas-sensitive metal oxide powder |
US20100170325A1 (en) * | 2006-10-05 | 2010-07-08 | Fan Ren | System for hydrogen sensing |
JP2011080852A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | National Institute For Materials Science | 電子デバイス及びこれを用いた光センサーとガスセンサー |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6071942A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-04-23 | ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ構成材料の製法 |
JP2006162365A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ |
JP2007178168A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ製造方法及び水素ガス検知センサ |
US20100170325A1 (en) * | 2006-10-05 | 2010-07-08 | Fan Ren | System for hydrogen sensing |
WO2008058553A1 (en) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Pirelli & C. S.P.A. | Gas sensor and gas-sensitive metal oxide powder |
JP2011080852A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | National Institute For Materials Science | 電子デバイス及びこれを用いた光センサーとガスセンサー |
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