JP2018002913A - β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 - Google Patents
β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018002913A JP2018002913A JP2016132828A JP2016132828A JP2018002913A JP 2018002913 A JP2018002913 A JP 2018002913A JP 2016132828 A JP2016132828 A JP 2016132828A JP 2016132828 A JP2016132828 A JP 2016132828A JP 2018002913 A JP2018002913 A JP 2018002913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- electrode
- polyvinylidene fluoride
- pvdf
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 title claims abstract description 253
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 title claims abstract description 253
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 38
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 38
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 89
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 83
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 claims description 45
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 29
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 28
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 20
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 17
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 9
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 301
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 239000011817 metal compound particle Substances 0.000 description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 11
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 8
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- -1 vinylidene fluoride compound Chemical class 0.000 description 6
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 5
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 230000017531 blood circulation Effects 0.000 description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 4
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 3
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 3
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 3
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 3
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 2
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 2
- 229920006174 synthetic rubber latex Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- JDEUUKYNTHHAQH-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylbutanamide Chemical compound CCC(C)(C)C(N)=O JDEUUKYNTHHAQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010002329 Aneurysm Diseases 0.000 description 1
- 206010002383 Angina Pectoris Diseases 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 229920002614 Polyether block amide Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 206010008118 cerebral infarction Diseases 0.000 description 1
- 208000026106 cerebrovascular disease Diseases 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002324 minimally invasive surgery Methods 0.000 description 1
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003012 phosphoric acid amides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920002721 polycyanoacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
Description
(第1の実施形態)
<β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材>
図1は、本発明の第1の実施形態にかかるβ型ポリフッ化ビニリデン膜付基材の構造を模式的に示す正面図である。図示するように、β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材(以下、「PVDF膜付基材1」という)は、樹脂フィルム11と、樹脂フィルム11上に形成される多孔質膜12とを含む基材10と、多孔質膜12上に形成されるβ型ポリフッ化ビニリデン膜(以下、「PVDF膜20」という)とを含むものである。PVDF膜付基材1は、詳細は後述するが、樹脂フィルム11上に形成される多孔質膜12を含む基材10上にPVDF膜20が形成されてなるものであるため、基材10への密着性及び柔軟性に優れるものである。
体積空隙率(%)=((真のPVDFの質量−みかけのPVDFの質量)/真のPVDFの質量)×100 ・・・(1)
PVDF膜付基材1の製造方法は、大がかりな設備を必要とせず、溶液塗布法による簡便な方法により、圧電特性に優れ且つ純度が高く基材10への密着性に優れたPVDF膜20を具備したPVDF膜付基材1を製造するものである。
基材10の準備工程は、PVDF膜20の基材10に対する密着性と柔軟性を両立して維持することが可能な基材10を準備する工程であり、本実施形態では、基材10としてOHPフィルムを準備した。
<β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ>
図2は、本発明の第2の実施形態にかかるβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサの構造を模式的に示す平面図であり、図3は、図2の断面図であり、(a)はA−A′線断面図、(b)はB−B′線断面図である。図示するように、PVDF膜20を具備する圧電センサ(以下、「PVDFセンサ2」という)は、基材10と、基材10の少なくとも一部の領域上に形成される第1電極30と、第1電極30上に形成されるPVDF膜20と、PVDF膜20中に配設される第2電極40とを含むものである。PVDFセンサ2は、PVDF膜20との密着性の問題が解消され、且つ柔軟性を有する基材10を用いており、柔軟性を有する第1電極30及び第2電極40が形成されているため、PVDF膜20の特長である柔軟性を阻害することなく、センサ全体としても柔軟性に優れるものである。なお、基材10及びPVDF膜20については、上述した通りであるので説明を適宜省略する。
図4は、β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサの製造方法を説明するための図であり、(a)は基材上に第1電極を配置した状態を示す平面図及び正面図であり、(b)は基材の上方に第2電極を配置した状態を示す平面図及び正面図であり、(c)はβ型ポリフッ化ビニリデン膜中に第2電極を配設した状態を示す平面図及び正面図である。
(実施例1)
実施例1では、上記実施形態2に基づき、ヘキサメチルリン酸トリアミド(以下、「HMPA」という)とアセトン(純度>99.5%)からなる混合溶液(体積%比50:50)に、β型ポリフッ化ビニリデン(以下、「PVDF」という)の原料であるα型のPVDF粉末(Polysciences社製)を、混合溶液の総質量に対して10wt%となるように加え、PVDF粉末が溶解するまで、混練器で30分撹拌を行い、均一なPVDFを含有する塗布液(10wt%PVDF液)を得た。
実施例1のPVDFセンサ2について、タッピング試験を行った。具体的には、PVDFセンサ2をビニル袋に入れ、その上から指で軽くタッピングしたときの電気信号の受信の有無を確認した。かかるPVDFセンサ2は、第1電極30及び第2電極40を、それぞれ共通電極とした。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、β型ポリフッ化ビニリデン膜を圧電体膜として圧力センサに適用したが、圧力センサ以外でも、圧電式水素センサ、超音波センサ、加速度センサ、振動センサ及び衝撃センサ等の各種センサに広く適用することができる。また、回路及びソフトウエア等の情報処理デバイスや、アクチュエータ及びトランスデューサ等の出力デバイス等にも用いることができる。更に、血流センサ、触角センサ等の低侵襲手術用センサ等の各種生体センサ等にも用いることができる。
2 PVDFセンサ
10 基材
11 樹脂フィルム
12 多孔質膜
20 PVDF膜
30 第1電極
31a,31b 主電極
32a〜32i,40a〜40e 電極線
40 第2電極
50a,50b 台座
Claims (6)
- 樹脂フィルムと、前記樹脂フィルム上に形成される、少なくとも金属酸化物粒子又は金属水酸化物粒子を含む多孔質膜とを含む基材と、
前記多孔質膜上に形成されるβ型ポリフッ化ビニリデン膜と
を含むことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜付基材。 - 樹脂フィルムと、前記樹脂フィルム上に形成される、少なくとも金属酸化物粒子又は金属水酸化物粒子を含む多孔質膜とを含む基材を準備する工程と、
ポリフッ化ビニリデンと、前記ポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と、前記水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、
得られた塗布液を前記基材に塗布してβ型ポリフッ化ビニリデンからなる塗布膜を形成する工程と、
形成した塗布膜を乾燥する工程と、
乾燥した塗布膜を水洗する工程と
を含むことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜付基材の製造方法。 - 樹脂フィルムと、前記樹脂フィルム上に形成される、少なくとも金属酸化物粒子又は金属水酸化物粒子を含む多孔質膜とを含む基材と、
前記多孔質膜の少なくとも一部の領域上に形成される第1電極と、
前記第1電極上に形成されるβ型ポリフッ化ビニリデン膜と、
前記β型ポリフッ化ビニリデン膜中又は前記β型ポリフッ化ビニリデン膜上に配設される第2電極とを含み、
前記β型ポリフッ化ビニリデン膜は、前記多孔質膜における前記第1電極が形成されていない領域上にも形成されている
ことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ。 - 前記第1電極は、糸状若しくは布状に形成されたもの又は電極パターンであることを特徴とする請求項3に記載のβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ。
- 樹脂フィルムと、前記樹脂フィルム上に形成される、少なくとも金属酸化物粒子又は金属水酸化物粒子を含む多孔質膜とを含む基材を準備する工程と、
前記多孔質膜の少なくとも一部の領域上に第1電極を形成する工程と、
ポリフッ化ビニリデンと、前記ポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と、前記水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、
得られた塗布液から形成されるβ型ポリフッ化ビニリデンからなる塗布膜中又は前記塗布膜上に第2電極が配設されるように、前記塗布膜を前記第1電極が設けられた配置も含む基材上に形成する工程と、
形成された塗布膜を乾燥する工程と、
乾燥した塗布膜を水洗する工程とを含み、
前記β型ポリフッ化ビニリデンからなる塗布膜を、前記多孔質膜における前記第1電極が形成されていない領域上にも形成する
ことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサの製造方法。 - 前記第1電極は、糸状若しくは布状に形成されたもの又は電極パターンであることを特徴とする請求項5に記載のβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016132828A JP6693619B2 (ja) | 2016-07-04 | 2016-07-04 | β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016132828A JP6693619B2 (ja) | 2016-07-04 | 2016-07-04 | β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018002913A true JP2018002913A (ja) | 2018-01-11 |
JP6693619B2 JP6693619B2 (ja) | 2020-05-13 |
Family
ID=60948498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016132828A Active JP6693619B2 (ja) | 2016-07-04 | 2016-07-04 | β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6693619B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020170962A1 (ja) * | 2019-02-18 | 2020-08-27 | 株式会社バルカー | 圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
CN112701213A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-04-23 | 杭州华新机电工程有限公司 | 一种pvdf压电感应薄膜的制备方法和压电传感器及其在起重机啃轨中的应用 |
CN115031887A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-09-09 | 深圳大学 | 多孔压电薄膜及其制备方法、应用和压力传感器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014043514A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜及びβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサ |
WO2015178351A1 (ja) * | 2014-05-20 | 2015-11-26 | 帝人株式会社 | 非水系二次電池用セパレータ、その製造方法及び非水系二次電池 |
JP2016116623A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 学校法人 関西大学 | 圧電振動センサ |
JP2017220650A (ja) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | 株式会社ハッピージャパン | β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 |
JP2017228404A (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 住友化学株式会社 | 積層体 |
-
2016
- 2016-07-04 JP JP2016132828A patent/JP6693619B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014043514A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜及びβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサ |
WO2015178351A1 (ja) * | 2014-05-20 | 2015-11-26 | 帝人株式会社 | 非水系二次電池用セパレータ、その製造方法及び非水系二次電池 |
JP2016116623A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 学校法人 関西大学 | 圧電振動センサ |
JP2017220650A (ja) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | 株式会社ハッピージャパン | β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 |
JP2017228404A (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 住友化学株式会社 | 積層体 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
小田島晟: "フッ素系高分子強誘電体の構造と相転移", 日本結晶学会誌, vol. 26巻2号, JPN7020000565, 1984, pages 103 - 120, ISSN: 0004241602 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020170962A1 (ja) * | 2019-02-18 | 2020-08-27 | 株式会社バルカー | 圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
JP7391077B2 (ja) | 2019-02-18 | 2023-12-04 | 株式会社バルカー | 圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
CN112701213A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-04-23 | 杭州华新机电工程有限公司 | 一种pvdf压电感应薄膜的制备方法和压电传感器及其在起重机啃轨中的应用 |
CN115031887A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-09-09 | 深圳大学 | 多孔压电薄膜及其制备方法、应用和压力传感器 |
CN115031887B (zh) * | 2022-06-06 | 2023-10-20 | 深圳大学 | 多孔压电薄膜及其制备方法、应用和压力传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6693619B2 (ja) | 2020-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Chatterjee et al. | Electrically conductive coatings for fiber-based e-textiles | |
CN109576905B (zh) | 一种基于MXene的柔性聚氨酯纤维膜应变传感器 | |
Sekine et al. | Fully printed wearable vital sensor for human pulse rate monitoring using ferroelectric polymer | |
Huang et al. | Facile fabrication of a stretchable and flexible nanofiber carbon film-sensing electrode by electrospinning and its application in smart clothing for ECG and EMG monitoring | |
Luo et al. | Force and humidity dual sensors fabricated by laser writing on polyimide/paper bilayer structure for pulse and respiration monitoring | |
JP6693619B2 (ja) | β型ポリフッ化ビニリデン膜付基材及びその製造方法、並びにβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 | |
CN110864828A (zh) | 一种银纳米线/MXene柔性应力传感器的制备方法 | |
JP6713664B2 (ja) | β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電センサ及びその製造方法 | |
CN111118889B (zh) | 一种多功能柔性传感纤维膜及其制备方法和应用 | |
Ji et al. | Flexible lead-free piezoelectric nanofiber composites based on BNT-ST and PVDF for frequency sensor applications | |
Xu et al. | A flexible, conductive and simple pressure sensor prepared by electroless silver plated polyester fabric | |
CN110828654B (zh) | 一种复合压电薄膜及其制备方法 | |
Wang et al. | A stretchable and breathable form of epidermal device based on elastomeric nanofibre textiles and silver nanowires | |
Luo et al. | Direct write of a flexible high-sensitivity pressure sensor with fast response for electronic skins | |
Zhang et al. | Durable and highly sensitive flexible sensors for wearable electronic devices with PDMS-MXene/TPU composite films | |
KR101926371B1 (ko) | 고민감도 스트레인 센서의 제조 방법, 스트레인 센서 및 이를 포함하는 웨어러블 디바이스 | |
Ko et al. | High durability conductive textile using MWCNT for motion sensing | |
Zhao et al. | AgNWs/MXene derived multifunctional knitted fabric capable of high electrothermal conversion efficiency, large strain and temperature sensing, and EMI shielding | |
CN110987260B (zh) | 一种同时感知压力与气敏的柔性电子皮肤及其制备方法 | |
Zhang et al. | A strong and flexible electronic vessel for real-time monitoring of temperature, motions and flow | |
WO2014165908A1 (en) | Method and device for smart sensing | |
Yin et al. | Electrospun micro/nanofiber with various structures and functions for wearable physical sensors | |
Zhong et al. | Tunable wrinkled graphene foams for highly reliable piezoresistive sensor | |
CN110558968B (zh) | 一种微凝胶可穿戴传感器及其制备方法 | |
CN113670487A (zh) | 一种基于仿生多级结构复合柔性压阻传感器及其制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6693619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |