JP2017529684A - 被検査物上の関心対象領域の座標決定 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- 被検査物上の関心対象領域の座標を決定するように構成されたシステムにおいて、
少なくともエネルギー源と検出器を含む検査サブシステムであって、エネルギー源により生成されたエネルギーで被検査物をスキャンし、その間に検出器が被検査物からのエネルギーを検出し、検出されたエネルギーに応答して画像を生成するように構成された検査サブシステムと、
検査対象の別の被検査物上の関心対象領域に関して、関心対象の最も近くにある1つまたは複数のターゲットを特定し、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像を他の被検査物の基準に整列させ、1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と、関心対象領域の画像が、他の被検査物の検査中に検査サブシステムによって取得され、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と基準とのずれを、前記整列の結果に基づいて判断し、
関心対象領域の修正後の座標を、ずれと検査サブシステムにより検出された関心対象領域の座標に基づいて判断する
ように構成された1つまたは複数のコンピュータサブシステムと、
を含むことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、他の被検査物の、他の被検査物の検査中に欠陥が検出された領域であることを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、他の被検査物の、他の被検査物の検査中に欠陥が検出された領域であり、1つまたは複数のコンピュータサブシステムは、欠陥が検出された後、および他の被検査物の検査のための画像取得が検査サブシステムによって完了された後に、1つまたは複数のターゲットを特定することを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、他の被検査物の、他の被検査物の検査中に欠陥が検出された領域であり、1つまたは複数のコンピュータサブシステムは、他の被検査物のための画像取得が、検査サブシステムによる他の被検査物の検査中に行われている間に、1つまたは複数のターゲットを特定することを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
修正後の座標は、設計空間座標であることを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のターゲットを特定するステップは、整列ターゲットの集合から1つまたは複数のターゲットを選択するステップを含み、1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、被検査物の画像を被検査物のための設計情報と整列させて、被検査物の画像における1つまたは複数の特徴の設計空間座標を決定し、被検査物の画像の前記整列の結果の1つまたは複数の特徴を判断し、他の被検査物の設計の中の整列ターゲットの集合を、1つまたは複数の特徴に基づいて判断された設計の中からある頻度で選択するように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項6に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数の特徴は、被検査物の画像の前記整列の結果の中のエラーの1つまたは複数の特徴であることを特徴とするシステム。 - 請求項6に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、他の被検査物の検査中に、検査サブシステムが整列ターゲットの集合の画像を取得するように、他の被検査物の検査のレシピを生成するように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、整列ターゲットの集合の画像を保存して、保存された画像が、他の被検査物の検査中に実行される他の被検査物のスキャニングが完了した後に使用するのに利用可能となるように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、
検査サブシステムはさらに、他の被検査物の上の、検査中に欠陥の検査が行われる予定の他の位置の画像を取得し、1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、他の被検査物の欠陥を、他の位置において取得した他の被検査物の画像に基づいて検出するように構成され、欠陥を検出するステップは、欠陥の位置を判断するステップを含むことを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
欠陥を検出するステップは、整列ターゲットの集合の画像に基づいて行われないことを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
整列ターゲットの集合を選択するステップは、他の被検査物の検査の前に1つまたは複数のコンピュータサブシステムによって実行されることを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
整列ターゲットの集合を選択するステップは、他の被検査物の検査中、および欠陥の少なくとも1つが検出された後に、1つまたは複数のコンピュータサブシステムによって実行されることを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、整列ターゲットの集合の画像を保存して、他の被検査物の検査中に実行される他の被検査物のスキャニングが完了した後に使用するのに利用可能となり、保存された画像が、前記欠陥の検出の結果とは別に保存されるように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、検出された欠陥のうちの第一の欠陥の位置であり、基準は他の検査物の設計であり、ずれは、ターゲットと設計の整列のずれであり、修正後の座標を決定するステップは、ターゲットと設計の整列のずれを、第一の検出された欠陥の報告された座標に当てはめることによって、第一の検出された欠陥の設計空間座標を決定するステップを含むことを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、検出された欠陥のうちの第一の欠陥の位置であり、1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、関心対象領域の画像を、設計のうち関心対象領域の最も近くにある1つまたは複数のターゲットに対応する1つまたは複数の部分と共に、設計の1つまたは複数の部分を使って関心対象領域を欠陥レビューツールの視野の中に移動させるように構成された欠陥レビューツールへと送るように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
関心対象領域は、他の被検査物の注目領域であることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域は、他の被検査物の設計の中の特異的なパターンを含まず、1つまたは複数のコンピュータサブシステムはさらに、設計の中の、関心対象領域の最も近くにある1つまたは複数の特異的なパターンを、1つまたは複数のターゲットとして使用するために選択するように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域は、他の被検査物の設計の中の弱点が存在する領域であることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域は、他の被検査物の設計のメモリ領域内にあることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域の画像の修正後の座標はさらに、1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と基準とのずれと、1つまたは複数のターゲットと注目領域との所定のずれに基づいて決定されることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のターゲットは、1つまたは複数のターゲットと異なる注目領域との間の異なる所定のずれを有する他の被検査物の異なる注目領域の画像の修正後の座標を決定するために使用されることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域の画像について決定された修正後の座標は、被検査物の空間座標であることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、
注目領域の画像について決定された修正後の座標は、設計空間座標であることを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにいて、
被検査物と他の被検査物はウェハを含むことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
被検査物と他の被検査物はレティクルを含むことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
エネルギー源は光源であり、検出器により検出されるエネルギーは光を含むことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
エネルギー源は電子ビーム源であり、検出器により検出されるエネルギーは電子を含むことを特徴とするシステム。 - 被検査物上の関心対象領域の座標を決定するコンピュータ実装方法を実行するための、コンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を記憶した非一時的コンピュータ読取可能媒体において、コンピュータ実装方法は、
検査対象の被検査物上の関心対象領域に関して、関心対象領域に最も近い1つまたは複数のターゲットを特定するステップと、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像を被検査物の基準に整列させるステップであって、1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と関心対象領域の画像は、被検査物の検査中に検査システムによって取得されるようなステップと、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と基準とのずれを、前記整列させるステップの結果に基づいて判断するステップと、
関心対象領域の修正後の座標を、ずれと、検査システムにより検出された関心対象領域の座標に基づいて決定するステップと、
を含むことを特徴とする非一時的コンピュータ読取可能媒体。 - 被検査物上の関心対象領域の座標を決定する方法において、
検査対象の被検査物上の関心対象領域に関して、関心対象領域に最も近い1つまたは複数のターゲットを特定するステップと、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像を被検査物の基準に整列させるステップであって、1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と関心対象領域の画像は、被検査物の検査中に検査システムによって取得されるようなステップと、
1つまたは複数のターゲットの1つまたは複数の画像と基準とのずれを、前記整列させるステップの結果に基づいて判断するステップと、
関心対象領域の修正後の座標を、ずれと、検査システムにより検出された関心対象領域の座標に基づいて決定するステップであって、前記特定するステップ、前記整列させるステップ、前記ずれを判断するステップ、および前記修正後の座標を判断するステップは、1つまたは複数のコンピュータシステムによって実行されることを特徴とする方法。
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