JP2017525957A - メンブレンを利用した磁力計 - Google Patents
メンブレンを利用した磁力計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017525957A JP2017525957A JP2017506916A JP2017506916A JP2017525957A JP 2017525957 A JP2017525957 A JP 2017525957A JP 2017506916 A JP2017506916 A JP 2017506916A JP 2017506916 A JP2017506916 A JP 2017506916A JP 2017525957 A JP2017525957 A JP 2017525957A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- metal membrane
- magnetometer
- current
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 234
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 113
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 33
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 230000005358 geomagnetic field Effects 0.000 description 9
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000013017 mechanical damping Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000011326 mechanical measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000004335 scaling law Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C17/00—Compasses; Devices for ascertaining true or magnetic north for navigation or surveying purposes
- G01C17/02—Magnetic compasses
- G01C17/28—Electromagnetic compasses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/028—Electrodynamic magnetometers
- G01R33/0283—Electrodynamic magnetometers in which a current or voltage is generated due to relative movement of conductor and magnetic field
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/028—Electrodynamic magnetometers
- G01R33/0286—Electrodynamic magnetometers comprising microelectromechanical systems [MEMS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/038—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using permanent magnets, e.g. balances, torsion devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
外力Flor及びFnoiseを受ける質量/ばね系600において、運動方程式xは、次式(25)として得られる(系に与えられることがある周波数である、電流iに与えられる周波数ωと共に変化する項だけを検討する)。
式(25)で分かるように、運動方程式は、地球の磁気力Boだけに関して導られることがあるので、コイルの磁場は、メンブレン610の変位xを測定することによって考慮されうる。コイルによって自己生成された磁場の周波数が、地球磁場によって生成された磁場の周波数と異なっており、したがって、図示されたようなB0の測定値と無関係になりうることに注意されたい。
110 金属メンブレン
130 固定板
150 メンブレン接地
Claims (25)
- 増幅器と、金属メンブレン(110)の第1入力に接続された電圧バイアスとを含むフィードバックループと、
メンブレン出力に接続されたメンブレン接地(150)と、
前記増幅器の第2入力に接続された第1の固定板出力を含む固定板(130)と、ここで、前記固定板(130)は、前記金属メンブレン(110)から物理的に分離されている一方で、ローレンツ力(Flor)によって前記金属メンブレン(110)に接続され、前記物理的分離は、電流の方向に対する磁界(B)の角度により異なり、
前記ローレンツ力(Flor)に敏感な第2の固定板出力と、
前記第2の固定板出力に接続され、前記ローレンツ力(Flor)に基づいて磁力の角度を計算する回路と、
を備える、磁力計装置(100)。 - 前記磁力計装置、詳細には前記回路は、前記金属メンブレンの振動周波数及び/又は前記振動周波数のシフトを測定するように構成されている、請求項1に記載の磁力計。
- 前記磁力計装置、詳細には前記回路は、前記振動周波数及び/又は前記振動周波数の前記シフトに基づいて、前記磁力の角度を計算するように構成されている、請求項2に記載の磁力計。
- 前記金属メンブレンは、連続金属シートをさらに含む、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記金属メンブレンは、前記メンブレン入力から前記メンブレン出力まで平行線で延在する連続金属巻線をさらに含む、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記金属メンブレンは、前記金属巻線が埋め込まれた絶縁体シートをさらに含む、請求項5に記載の磁力計装置。
- 前記金属メンブレンは、
前記金属メンブレンの力学的質量に比例する等価電気インダクタンスと、
前記金属メンブレンの機械的剛性に比例する等価静電容量と、
前記金属メンブレンの機械制動に比例する等価電気抵抗と、
を有する、請求項1に記載の磁力計装置。 - 前記増幅器は、電流制御電圧源を含む、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記電流制御電圧源は、利得を有する、請求項8に記載の磁力計装置。
- 前記固定板は、金属メンブレンと同じ比率を有する、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記金属メンブレンは、自立型である、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記固定板は、基板に固定されている、請求項1に記載の磁力計装置。
- 前記固定板は、ウェハに固定されている、請求項1に記載の磁力計装置。
- 装置の向きを測定する磁力計装置(100)であって、
金属メンブレン(110)とフィードバックループを含む発振器と、
プロセッサと、
を備え、
前記フィードバックループは、前記金属メンブレン(110)に交流電流を流し、前記金属メンブレン(110)を振動させるように構成され、
前記プロセッサは、
前記フィードバックループと前記金属メンブレン(110)によって引き起こされた振動周波数シフトを測定し、
前記振動周波数シフトと電流方向に基づいて、前記電流方向に対する外部磁界の角度を計算するように構成されている、
磁力計装置(100)。 - 前記振動は、前記金属メンブレンの機械共振周波数に近い、請求項14に記載の磁力計装置。
- 前記フィードバックループは、増幅器をさらに含み、
前記フィードバックループは、
容量性変位電流を生成し、
前記容量性変位電流を前記増幅器に送り、
前記増幅器により前記容量性変位電流を増幅し、
前記増幅された電流を電圧として前記金属メンブレンに送るように
さらに構成されている、
請求項14に記載の磁力計装置。 - 固定接地板をさらに備え、
前記金属メンブレンと前記固定接地板の間にバイアス電圧を生成するように構成された、請求項14に記載の磁力計装置。 - 前記プロセッサは、前記振動周波数のシフトを測定するために前記固定接地板に接続された、請求項17に記載の磁力計装置。
- 前記固定接地板は、前記金属メンブレンから僅かな距離に位置する、請求項17に記載の磁力計装置。
- 前記固定接地板は、前記金属メンブレンと同じ比率を有する、請求項17に記載の磁力計装置。
- 前記外部磁力角度を計算する際に、前記プロセッサは、振動周波数離調作用を打ち消すようにさらに構成されている、請求項14に記載の磁力計装置。
- 前記プロセッサは、振動周波数離調作用を打ち消すときに、1以上の電流方向の振動周波数を減算するようにさらに構成されている、請求項21に記載の磁力計装置。
- 前記プロセッサは、前記金属メンブレンの振動から干渉をフィルタリングするようにさらに構成されている、請求項14に記載の磁力計装置。
- 前記プロセッサは、前記発振器の周波数を十分な期間測定するようにさらに構成された、請求項23に記載の磁力計装置。
- 装置の向きを測定する方法であって、
交流電流を金属メンブレン(110)に流すステップと、
前記金属メンブレン(110)内の振動周波数シフトを測定するステップと、
前記振動周波数シフトと電流方向とに基づいて、前記金属メンブレン(110)に対する外部磁界の角度を計算するステップと、
を含む方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/466,488 US9535137B2 (en) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | Membrane based magnetometer |
US14/466,488 | 2014-08-22 | ||
PCT/EP2015/068090 WO2016026701A1 (en) | 2014-08-22 | 2015-08-05 | Membrane based magnetometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017525957A true JP2017525957A (ja) | 2017-09-07 |
JP6437093B2 JP6437093B2 (ja) | 2018-12-12 |
Family
ID=53785647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017506916A Active JP6437093B2 (ja) | 2014-08-22 | 2015-08-05 | メンブレンを利用した磁力計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9535137B2 (ja) |
EP (1) | EP3183590B1 (ja) |
JP (1) | JP6437093B2 (ja) |
KR (1) | KR101903914B1 (ja) |
CN (1) | CN106687817B (ja) |
WO (1) | WO2016026701A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102242113B1 (ko) * | 2019-10-23 | 2021-04-20 | 재단법인대구경북과학기술원 | 3축 자기장 측정 장치 |
JP2023042052A (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-27 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
JP2023042614A (ja) * | 2021-09-15 | 2023-03-28 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9923025B2 (en) * | 2014-09-10 | 2018-03-20 | Honeywell International Inc. | Magnetoresistive random access memory (MRAM) die including a magnetic field sensing structure |
CN107544039B (zh) * | 2016-07-29 | 2020-04-03 | 北京卫星环境工程研究所 | 外置反馈线圈的微型磁阻磁强计 |
US11774563B2 (en) * | 2017-12-04 | 2023-10-03 | Ams International Ag | Time-of-flight module and method to determine distance to object |
US11182986B2 (en) * | 2018-10-10 | 2021-11-23 | Micron Technology, Inc. | Real-time selection of data to collect in autonomous vehicle |
CN113049995B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-12-21 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计 |
CN113447863B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-06-03 | 电子科技大学 | 面向高频交变磁场的金刚石nv色心磁力仪频率测量方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52113636U (ja) * | 1977-03-10 | 1977-08-29 | ||
JP2001186205A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Kenwood Corp | 通信装置、移動電話装置、発振信号生成装置、通信方法および発振信号生成方法 |
JP2002022810A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
US20110050214A1 (en) * | 2006-05-10 | 2011-03-03 | The University Of Manitoba | System and method for measuring magnetic field strength using a mechanical resonator |
JP2013519880A (ja) * | 2010-02-10 | 2013-05-30 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 改良された慣性要素を利用する微小電子機械の磁界センサ |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3001452B2 (ja) * | 1997-03-31 | 2000-01-24 | 秋田県 | 磁界センサ |
US6664786B2 (en) | 2001-07-30 | 2003-12-16 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Magnetic field sensor using microelectromechanical system |
CN2634434Y (zh) * | 2003-07-22 | 2004-08-18 | 中国船舶重工集团公司第七一○研究所 | 数字磁罗盘 |
US7064541B2 (en) | 2003-08-06 | 2006-06-20 | The Johns Hopkins University | Complementary metal-oxide semiconductor xylophone bar magnetometer with automatic resonance control |
WO2005029107A1 (en) | 2003-09-23 | 2005-03-31 | Qinetiq Limited | Resonant magnetometer device |
GB0329959D0 (en) | 2003-12-24 | 2004-01-28 | Qinetiq Ltd | Magnetic field sensor |
US7112951B2 (en) | 2004-06-07 | 2006-09-26 | General Electric Company | MEMS based current sensor using magnetic-to-mechanical conversion and reference components |
KR20080002933A (ko) * | 2005-04-08 | 2008-01-04 | 엔엑스피 비 브이 | 전기발진신호 발생 전자 장치 및 방법 |
US8000062B2 (en) * | 2008-12-30 | 2011-08-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Enhanced magnetoresistance and localized sensitivity by gating in lorentz magnetoresistors |
ES2342872B1 (es) | 2009-05-20 | 2011-05-30 | Baolab Microsystems S.L. | Chip que comprende un mems dispuesto en un circuito integrado y procedimiento de fabricacion correspondiente. |
DE102009046515A1 (de) | 2009-11-09 | 2011-05-12 | Robert Bosch Gmbh | Magnetometer |
US8407905B1 (en) | 2010-01-15 | 2013-04-02 | Mcube, Inc. | Multiple magneto meters using Lorentz force for integrated systems |
CN103843105A (zh) * | 2010-02-10 | 2014-06-04 | 摩奇有限公司(d/b/aVoxa) | 暗视野像差矫正电子显微镜 |
WO2011127414A2 (en) * | 2010-04-08 | 2011-10-13 | California Institute Of Technology | Electromagnetic forming of metallic glasses using a capacitive discharge and magnetic field |
US8878528B2 (en) * | 2011-06-30 | 2014-11-04 | Silicon Laboratories Inc. | MEMS-based magnetic sensor with a Lorentz force actuator used as force feedback |
US9588190B2 (en) | 2012-07-25 | 2017-03-07 | Silicon Laboratories Inc. | Resonant MEMS lorentz-force magnetometer using force-feedback and frequency-locked coil excitation |
SG2013081724A (en) * | 2012-11-05 | 2014-06-27 | Agency Science Tech & Res | Sensor and method of controlling the same |
EP2784530B1 (en) * | 2013-03-27 | 2016-03-02 | IMEC vzw | A two axes MEMS resonant magnetometer |
ITTO20130653A1 (it) * | 2013-07-31 | 2015-02-01 | Milano Politecnico | Sensore magnetico includente un trasduttore basato sulla forza di lorentz pilotato ad una frequenza diversa dalla frequenza di risonanza, e metodo di pilotaggio di un trasduttore basato sulla forza di lorentz |
-
2014
- 2014-08-22 US US14/466,488 patent/US9535137B2/en active Active
-
2015
- 2015-08-05 KR KR1020177004069A patent/KR101903914B1/ko active IP Right Grant
- 2015-08-05 JP JP2017506916A patent/JP6437093B2/ja active Active
- 2015-08-05 CN CN201580045232.1A patent/CN106687817B/zh active Active
- 2015-08-05 EP EP15747806.6A patent/EP3183590B1/en active Active
- 2015-08-05 WO PCT/EP2015/068090 patent/WO2016026701A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52113636U (ja) * | 1977-03-10 | 1977-08-29 | ||
JP2001186205A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Kenwood Corp | 通信装置、移動電話装置、発振信号生成装置、通信方法および発振信号生成方法 |
JP2002022810A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
US20110050214A1 (en) * | 2006-05-10 | 2011-03-03 | The University Of Manitoba | System and method for measuring magnetic field strength using a mechanical resonator |
JP2013519880A (ja) * | 2010-02-10 | 2013-05-30 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 改良された慣性要素を利用する微小電子機械の磁界センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102242113B1 (ko) * | 2019-10-23 | 2021-04-20 | 재단법인대구경북과학기술원 | 3축 자기장 측정 장치 |
JP2023042052A (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-27 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
JP7434233B2 (ja) | 2021-09-14 | 2024-02-20 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
JP2023042614A (ja) * | 2021-09-15 | 2023-03-28 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
JP7456988B2 (ja) | 2021-09-15 | 2024-03-27 | 株式会社東芝 | センサ及び電気装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016026701A1 (en) | 2016-02-25 |
EP3183590A1 (en) | 2017-06-28 |
CN106687817B (zh) | 2019-08-06 |
KR20170063523A (ko) | 2017-06-08 |
KR101903914B1 (ko) | 2018-10-02 |
US9535137B2 (en) | 2017-01-03 |
US20160054400A1 (en) | 2016-02-25 |
EP3183590B1 (en) | 2018-10-03 |
JP6437093B2 (ja) | 2018-12-12 |
CN106687817A (zh) | 2017-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6437093B2 (ja) | メンブレンを利用した磁力計 | |
Emmerich et al. | Magnetic field measurements with a novel surface micromachined magnetic-field sensor | |
Langfelder et al. | Z-axis magnetometers for MEMS inertial measurement units using an industrial process | |
EP2972417B1 (en) | Magnetometer using magnetic materials on accelerometer | |
JP4604037B2 (ja) | 共振磁力計デバイス | |
Langfelder et al. | Operation of Lorentz-force MEMS magnetometers with a frequency offset between driving current and mechanical resonance | |
CN105277297B (zh) | 具有补偿的力传感器 | |
Rouf et al. | Area-efficient three axis MEMS Lorentz force magnetometer | |
US9671471B2 (en) | Magnetic sensor including a lorentz force transducer driven at a frequency different from the resonance frequency, and method for driving a lorentz force transducer | |
Laghi et al. | Torsional MEMS magnetometer operated off-resonance for in-plane magnetic field detection | |
JP2015072277A (ja) | 磁気感度が低減されたmemsジャイロスコープ | |
Langfelder et al. | Off-resonance low-pressure operation of Lorentz force MEMS magnetometers | |
US20160084871A1 (en) | Dual-functional resonant magnetic field sensor | |
JP5090266B2 (ja) | サーボ型加速度計及び加速度計測装置 | |
Li et al. | MEMS Lorentz force magnetic sensor based on a balanced torsional resonator | |
Langfelder et al. | Differential fringe-field MEMS accelerometer | |
JP2009145321A (ja) | 慣性センサ | |
EP3001211B1 (en) | Resonant magnetic field sensor | |
Buffa | MEMS Lorentz Force Magnetometers: From Specifications to Product | |
Denison et al. | A self-resonant mems-based electrostatic field sensor with 4v/m/hz sensitivity | |
Mickael | A Near Field, Non-Contact Vibration Detector Using Giant Magnetoresistance Sensors | |
Sung et al. | Mems above cmos process for single proof-mass 3-axis lorentz-force resonant magnetic sensor | |
Dellea et al. | Off-resonance operation of in-plane torsional MEMS magnetometers | |
JP5496515B2 (ja) | 加速度センサ回路及び3軸加速度センサ回路 | |
JPH11148815A (ja) | サーボ型変位センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20170301 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6437093 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |