JP2017519971A5 - - Google Patents
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Description
図１Ａを参照すると、本開示の一つの実施形態に従ったウエハ検査システムの正面図が示される。いくつかの実施形態では、ライン走査光学検査システム１００のようなウエハ検査システムは、３つの収集チャネル１０２、１０４、１０６を含み、ウエハ１０１における欠陥からの散乱光を収集して、その光を対応するアレイラインセンサ１１４、１１６、１１８上にイメージングする。位置検出器１１５、１１７、１１９は、各アレイラインセンサ１１４、１１６、１１８に関連付けられている。幾つかの実施形態では、照射光学系はウエハ１０１上の走査位置で、細いライン１２０を形成する。ウエハ１０１上の照射された走査位置からの散乱光は、３つの収集チャネル１０２、１０４、１０６によって集められて各アレイラインセンサ１１４、１１６、１１８上にフォーカスされる。ある例示的な実施形態では、この細いライン１２０は、ウエハ１０１上で１マイクロメータよりも細い幅を有し得るが、これに限定されるものではない。ウエハ１０１の形状及び欠陥からの散乱光は、各収集チャネル１０２、１０４、１０６内のアレイラインセンサ１１４、１１６、１１８上にイメージングされる。アレイラインセンサ１１４、１１６、１１８は、当該技術で既知の任意のイメージング技術を含み得る。いくつかの実施形態では、アレイラインセンサ１１４、１１６、１１８は電荷結合素子（ＣＣＤ）又は時間遅延積分（ＴＤＩ）デバイスを含む。
図１Ｂを参照すると、イメージセンサ及び位置検出器の一つの対の詳細な上面図が示されている。ある例示的な実施形態では、図１Ａの第１の収集チャネルは、関連付けられたイメージセンサ１１６及び位置検出器１１７を有する。第１の収集チャネルからの照射ラインイメージ１２２は、イメージセンサ１１６及び位置検出器１１７の両方を照射する。照射ラインイメージ１２２のうちでイメージセンサを照射する部分は、対応するスリット開口フィルタ１０８によってフィルタリングされるが、位置検出器１１７を照射している部分はフィルタリングされない。位置検出器１１７は、走査方向（ｘ方向）において照射ラインイメージ１２２の一部に対応する信号を生成する。いくつかの実施形態では、同様のイメージセンサ１１６／位置検出器１１７の対が、各収集チャネルに対して使用される。
少なくとも一つの実施形態では、第２のスリット開口フィルタ１１０は機械式フィルタを備えている。機械式フィルタは、より高い感度が必要とされる場合に、より大きなスリット開口を有してより多くの光を許容する機械式フィルタで置換可能であり得る。あるいは、少なくとも一つの実施形態では、第２のスリット開口フィルタ１１０は電子式フィルタを備える。電子式フィルタは、特定のアプリケーションに対するシステム感度について望まれるように、より大きい又はより小さい開口を作り出すように調整可能であり得る。
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