JPS61149812A - 振動する物体の表面検査装置 - Google Patents
振動する物体の表面検査装置Info
- Publication number
- JPS61149812A JPS61149812A JP59276033A JP27603384A JPS61149812A JP S61149812 A JPS61149812 A JP S61149812A JP 59276033 A JP59276033 A JP 59276033A JP 27603384 A JP27603384 A JP 27603384A JP S61149812 A JPS61149812 A JP S61149812A
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- JP
- Japan
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- light
- reflected light
- slit
- receiving element
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この＠ＢＡは娠鯛する物体の表面検査装置、特に振動に
よる反射光のずれをトラッキングする！ＩＩｔの改良に
関するもの−めゐ＠ 〔従来の技術〕 一般に、例えば円筒形状ｔなす［’ｍｆ：＃体Ｖ全表体
音全表面々場曾には、上記円筒形状物体を口伝させると
ともに、その母線に七って元七走食させる方法が採られ
ている。
よる反射光のずれをトラッキングする！ＩＩｔの改良に
関するもの−めゐ＠ 〔従来の技術〕 一般に、例えば円筒形状ｔなす［’ｍｆ：＃体Ｖ全表体
音全表面々場曾には、上記円筒形状物体を口伝させると
ともに、その母線に七って元七走食させる方法が採られ
ている。
ところ′ｃｃり種の方法に２いて、円筒形状書体の（２
）転儀動に伴なり反射光の位置震動に無関係に検査を実
施する丸めには、何等かの方法に１９検査装置七反射光
の位ｉｆｆ化Ｖｃ這従（トラッキング）させる必賛が６
９、オプティカルファイバ束を用い友トラッキング装置
の発明を本出願人達に先に提案し友。
）転儀動に伴なり反射光の位置震動に無関係に検査を実
施する丸めには、何等かの方法に１９検査装置七反射光
の位ｉｆｆ化Ｖｃ這従（トラッキング）させる必賛が６
９、オプティカルファイバ束を用い友トラッキング装置
の発明を本出願人達に先に提案し友。
第２図はこの先行発明を示すもので１図中（１）は図示
しない円筒形状物体η為らの反射光、（２）にこの反射
光を受けるオプティカルファイバ束、（３）は光電変換
素子で、オプティカルファイバ束（２）とともに受光素
子ｔ−構成している。（４）に光電変換素子を含むトラ
ツ中ング倶号検出器である。
しない円筒形状物体η為らの反射光、（２）にこの反射
光を受けるオプティカルファイバ束、（３）は光電変換
素子で、オプティカルファイバ束（２）とともに受光素
子ｔ−構成している。（４）に光電変換素子を含むトラ
ツ中ング倶号検出器である。
以上の構成Ｆ−２いて、図示しない円筒形状物体の位置
変動にエフ反射光（１）が位置変動すると、この位置変
化をトラツ中ング便号横出器（４）が検出ａ図示しない
アクチェエータ上ドラ１プして第１ティカルファイバ束
（２）ｔ″襲動ぜゐ。この際、光電変換素子（３）に固
定されてンク、オプティカルファイバ束（２）のみをそ
の柔軟性を利用して移動さゼゐ。
変動にエフ反射光（１）が位置変動すると、この位置変
化をトラツ中ング便号横出器（４）が検出ａ図示しない
アクチェエータ上ドラ１プして第１ティカルファイバ束
（２）ｔ″襲動ぜゐ。この際、光電変換素子（３）に固
定されてンク、オプティカルファイバ束（２）のみをそ
の柔軟性を利用して移動さゼゐ。
そしてこれにエフ、簡単な憬＠によりトラッキングを行
なうことが可能となる。
なうことが可能となる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
以上の構成を有する従来の表面検査装置（においてに、
オプティカルファイバ束（２）が反射光（１）の振動に
伴なって絶えず動いているため、その繰返し曲げ動作に
エフファイバ自身が短時間で劣化してしまうという問題
がある。
オプティカルファイバ束（２）が反射光（１）の振動に
伴なって絶えず動いているため、その繰返し曲げ動作に
エフファイバ自身が短時間で劣化してしまうという問題
がある。
この発明はでまたる問題点を解決するためになされたも
ので、簡単な機構で上記先行発明と同様の効果が得られ
、しかも寿命上大幅ｒｃａばすことができる振動する物
体の表面検査ｔｆｌｌｉを得ることヶ目的とする〇 〔問題点を解決丁；ｂ７ｃめの手段〕 この発明に係るｆｉ勤する物体の表面検査装置に、振動
する被検量物体η為らの反射光の位ｔｔｉ＊慣域全域を
有効受光域とする受光素子と、この受光系子の前面に配
置されスリットｔ−通過し次反射光のみを受光素子に受
光させるスリット板と、反射光の位置変動を検出するト
ラッキングｆＩ号模出器とｔ備え、このトラツ牛ング旧
号検出指の出力ＶＣＣエフ配スリット板ｔ−移動させ、
そのスリットを反射光の位置に一致さ４：ゐ工うにした
ものでめゐ。
ので、簡単な機構で上記先行発明と同様の効果が得られ
、しかも寿命上大幅ｒｃａばすことができる振動する物
体の表面検査ｔｆｌｌｉを得ることヶ目的とする〇 〔問題点を解決丁；ｂ７ｃめの手段〕 この発明に係るｆｉ勤する物体の表面検査装置に、振動
する被検量物体η為らの反射光の位ｔｔｉ＊慣域全域を
有効受光域とする受光素子と、この受光系子の前面に配
置されスリットｔ−通過し次反射光のみを受光素子に受
光させるスリット板と、反射光の位置変動を検出するト
ラッキングｆＩ号模出器とｔ備え、このトラツ牛ング旧
号検出指の出力ＶＣＣエフ配スリット板ｔ−移動させ、
そのスリットを反射光の位置に一致さ４：ゐ工うにした
ものでめゐ。
この見間に２いては、スリット板の移動ｉＣエリそのス
リットを反射光の位置に一致さぜる工うにしているので
、スリットの開口形状を先行発明の第１ティカルファイ
バ束の端面形状と同一にすれ−ば、先行発明と同一の効
果を簡単な装置構成で得ることが可能となる。を九スリ
ット板の移動機構の寿命は、オプティカルファイバ束の
曲げ動Ｐｌ：ＶＣ伴なう劣化に比較しては；ｂη為に長
いので、長寿命化％可能となゐ・ 〔実施例〕 ｌＩ４１図はこの発明の一実施例を示すもので１図中＄
２図と同−符′＠に同−又は相当部分を示す。
リットを反射光の位置に一致さぜる工うにしているので
、スリットの開口形状を先行発明の第１ティカルファイ
バ束の端面形状と同一にすれ−ば、先行発明と同一の効
果を簡単な装置構成で得ることが可能となる。を九スリ
ット板の移動機構の寿命は、オプティカルファイバ束の
曲げ動Ｐｌ：ＶＣ伴なう劣化に比較しては；ｂη為に長
いので、長寿命化％可能となゐ・ 〔実施例〕 ｌＩ４１図はこの発明の一実施例を示すもので１図中＄
２図と同−符′＠に同−又は相当部分を示す。
四にスリット（１０ａ） ｆ有するスリットａ１（ロ）
はこのスリット板四の背面側に位置する光゛ｆＬ累子等
の大口径の受光素子で、この受光菓子四は反射光（１）
の移動領域全域全面ｔカバーできる大きな口径を有して
いる。′ｔた上記スリット板四に、そのスリン） （１
０ａ）位置においてのみ反射光（υ全通ｙ１４させて受
光素子（２）に受光ざぜ、浅りの電域に２いては反射光
（１）を完全に通断できるエフｒｃなっている。
はこのスリット板四の背面側に位置する光゛ｆＬ累子等
の大口径の受光素子で、この受光菓子四は反射光（１）
の移動領域全域全面ｔカバーできる大きな口径を有して
いる。′ｔた上記スリット板四に、そのスリン） （１
０ａ）位置においてのみ反射光（υ全通ｙ１４させて受
光素子（２）に受光ざぜ、浅りの電域に２いては反射光
（１）を完全に通断できるエフｒｃなっている。
以上の構成に２いて、反射光（１）の位置変動が発生し
几ことｔトラツ牛ング信号検出器（４）が検出すると、
その検出酒号にエフ図示しないアクチュエータがドライ
ブされてスリット板明が図中両矢印＋Ａｌの方向に駆動
され、スリン） （１０ａ）が反射光（１）の位１ｔｔ
／ｃ一致した際に駆動が停止される。
几ことｔトラツ牛ング信号検出器（４）が検出すると、
その検出酒号にエフ図示しないアクチュエータがドライ
ブされてスリット板明が図中両矢印＋Ａｌの方向に駆動
され、スリン） （１０ａ）が反射光（１）の位１ｔｔ
／ｃ一致した際に駆動が停止される。
シｙｙｈシて、スリン） （１０ａ）の開口形状を第２
図に示す先行発明のオプティカルファイバ束（２） Ｕ
ｆｉ面形状と同一にすることに工９、スリット（１０
ａ）ｔ−通過して受光素子−に入射する光（ｌ！！号は
、先行発明のファイバ束（２）ｔ−通過して光電素子（
３）に入射する信号と全く同一となる。したがって、先
行発明の主旨を変えることｌく７１１８束（２）ｔスリ
ット板四に直き換えることがロエ能となる。ま友スリッ
ト取叫を移動さぜる慎徊は一足の埒砧’ｋＶするが、こ
れは一般的な移動機構の寿命であってオプティカルファ
イバ束（２）の劣化に比較するとにゐかに長いので、長
寿命化を図ることも可能となる。
図に示す先行発明のオプティカルファイバ束（２） Ｕ
ｆｉ面形状と同一にすることに工９、スリット（１０
ａ）ｔ−通過して受光素子−に入射する光（ｌ！！号は
、先行発明のファイバ束（２）ｔ−通過して光電素子（
３）に入射する信号と全く同一となる。したがって、先
行発明の主旨を変えることｌく７１１８束（２）ｔスリ
ット板四に直き換えることがロエ能となる。ま友スリッ
ト取叫を移動さぜる慎徊は一足の埒砧’ｋＶするが、こ
れは一般的な移動機構の寿命であってオプティカルファ
イバ束（２）の劣化に比較するとにゐかに長いので、長
寿命化を図ることも可能となる。
な２上記実施例でに、大口径の受光素子−ｒ用いる場曾
について読切しｋが１例えばスリット板（至）と受光系
子（２）との間に、レンズ、反射読等の集光機能ｔＭす
る光学系を設置してスリン） （１０ａ）カ為らの入射
光を小さく集めて光スポットにすれば、受光素子（６）
として小さな口径のものｔ用いることができる。
について読切しｋが１例えばスリット板（至）と受光系
子（２）との間に、レンズ、反射読等の集光機能ｔＭす
る光学系を設置してスリン） （１０ａ）カ為らの入射
光を小さく集めて光スポットにすれば、受光素子（６）
として小さな口径のものｔ用いることができる。
以上脱明した工うにこの発明に工れば、反射光の位ｉｔ
変動に追従してスリット板を移動させ、反射光位置に′
Ｎ＃ＩＣスリットが（ゐエフにしているの一１非常に簡
単な構成で振動する物体に伴なう反射光の５ａｔ−トラ
ツ中７グすることがＴ：さ、しρ為もトラッキング穢構
部の寿命を大幅に延ばすことができる等の効果がＴｏ４
）。
変動に追従してスリット板を移動させ、反射光位置に′
Ｎ＃ＩＣスリットが（ゐエフにしているの一１非常に簡
単な構成で振動する物体に伴なう反射光の５ａｔ−トラ
ツ中７グすることがＴ：さ、しρ為もトラッキング穢構
部の寿命を大幅に延ばすことができる等の効果がＴｏ４
）。
第１図にこの４８ｆ！Ａの一実施例を示す振動する物体
の表面検査装置の構成図、８に２図に先付発明ＶＣ係る
表面検査装置のトラッキング′＋Ｑ祷都留示す構成図で
ろゐ〇 （１）二反射光 Ｌ４１：）ラツ中ング偲号検出器 叫ニスリット板 （１０ａ） ニスリットＣ１１ｌ
：受光素子 なＳ？俗図中、同一符号は同−又は相当部分を示すもの
とする。
の表面検査装置の構成図、８に２図に先付発明ＶＣ係る
表面検査装置のトラッキング′＋Ｑ祷都留示す構成図で
ろゐ〇 （１）二反射光 Ｌ４１：）ラツ中ング偲号検出器 叫ニスリット板 （１０ａ） ニスリットＣ１１ｌ
：受光素子 なＳ？俗図中、同一符号は同−又は相当部分を示すもの
とする。
Claims (3)
- （１）振動する被検査物体からの反射光の位置変動領域
全域を有効受光域とする受光素子と、この受光素子の前
面に配置されスリットを通過した反射光のみを受光素子
に受光させるスリット板と、反射光の位置変動を検出す
るトラッキング信号検出器とを備え、このトラッキング
信号検出器の出力により上記スリット板を移動させ、そ
のスリットを反射光の位置に一致させるようにしたこと
を特徴とする振動する物体の表面検査装置。 - （２）反射光の位置変動領域全域を受光素子の有効受光
域とする手段として、反射光の移動領域全域全面をカバ
ーする大口径の受光素子を用いることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の振動する物体の表面検査装置。 - （３）反射光の位置変動領域全域を受光素子の有効受光
域とする手段として、受光素子の前面にレンズ、反射鏡
等の集光機能を有する光学系を配置して受光素子の有効
受光域を実質的に拡大したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の振動する物体の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59276033A JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59276033A JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149812A true JPS61149812A (ja) | 1986-07-08 |
| JPH0476404B2 JPH0476404B2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=17563849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59276033A Granted JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149812A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH048332U (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-24 | ||
| JP2017519971A (ja) * | 2014-04-22 | 2017-07-20 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 共焦点ライン検査光学システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112304A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Victor Co Of Japan Ltd | Contactless pick-up |
| JPS53138781A (en) * | 1977-05-10 | 1978-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | Surface test device |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP59276033A patent/JPS61149812A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112304A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Victor Co Of Japan Ltd | Contactless pick-up |
| JPS53138781A (en) * | 1977-05-10 | 1978-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | Surface test device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH048332U (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-24 | ||
| JP2017519971A (ja) * | 2014-04-22 | 2017-07-20 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 共焦点ライン検査光学システム |
| JP2021067697A (ja) * | 2014-04-22 | 2021-04-30 | ケーエルエー コーポレイション | ウエハ検査システム及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0476404B2 (ja) | 1992-12-03 |
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