JPH0476404B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0476404B2 JPH0476404B2 JP59276033A JP27603384A JPH0476404B2 JP H0476404 B2 JPH0476404 B2 JP H0476404B2 JP 59276033 A JP59276033 A JP 59276033A JP 27603384 A JP27603384 A JP 27603384A JP H0476404 B2 JPH0476404 B2 JP H0476404B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- slit
- reflected light
- receiving element
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は振動する物体の表面検査装置、特に
振動による反射光のずれをトラツキングする装置
の改良に関するものである。
振動による反射光のずれをトラツキングする装置
の改良に関するものである。
一般に、例えば円筒形状をなす被検査物体の全
表面を検査する場合には、上記円筒形状物体を回
転させるとともに、その母線にそつて光を走査さ
せる方法が採られている。
表面を検査する場合には、上記円筒形状物体を回
転させるとともに、その母線にそつて光を走査さ
せる方法が採られている。
ところでこの種の方法において、円筒形状物体
の回転振動に伴なう反射光の位置変動に無関係に
検査を実施するためには、何等かの方法により検
査装置を反射光の位置変化に追従（トラツキン
グ）させる必要があり、オプテイカルフアイバ束
を用いたトラツキング装置の発明を本出願人達は
先に提案した。
の回転振動に伴なう反射光の位置変動に無関係に
検査を実施するためには、何等かの方法により検
査装置を反射光の位置変化に追従（トラツキン
グ）させる必要があり、オプテイカルフアイバ束
を用いたトラツキング装置の発明を本出願人達は
先に提案した。
第２図はこの先行発明を示すもので、図中１は
図示しない円筒形状物体からの反射光、２はこの
反射光を受けるオプテイカルフアイバ束、９は光
電変換素子で、オプテイカルフアイバ束２ととも
に受光素子を構成している。４は光電変換素子を
含むトラツキング信号検出器である。
図示しない円筒形状物体からの反射光、２はこの
反射光を受けるオプテイカルフアイバ束、９は光
電変換素子で、オプテイカルフアイバ束２ととも
に受光素子を構成している。４は光電変換素子を
含むトラツキング信号検出器である。
以上の構成において、図示しない円筒形状物体
の位置変動により反射光１が位置変動すると、こ
の位置変化をトラツキング信号検出器４が検出
し、図示しないアクチユエータをドライブしてオ
プテイカルフアイバ束２を移動させる。この際、
光電変換素子３は固定されており、オブテイカル
フアイバ束２のみをその柔軟性を利用して移動さ
せる。そしてこれにより、簡単な機構によりトラ
ツキングを行なうことが可能となる。
の位置変動により反射光１が位置変動すると、こ
の位置変化をトラツキング信号検出器４が検出
し、図示しないアクチユエータをドライブしてオ
プテイカルフアイバ束２を移動させる。この際、
光電変換素子３は固定されており、オブテイカル
フアイバ束２のみをその柔軟性を利用して移動さ
せる。そしてこれにより、簡単な機構によりトラ
ツキングを行なうことが可能となる。
以上の構成を有する従来の表面検査装置におい
ては、オプテイカルフアイバ束２が反射光１の振
動に伴なつて絶えず動いているため、その繰返し
曲げ動作によりフアイバ自身が短時間で劣化して
しまうという問題がある。
ては、オプテイカルフアイバ束２が反射光１の振
動に伴なつて絶えず動いているため、その繰返し
曲げ動作によりフアイバ自身が短時間で劣化して
しまうという問題がある。
この発明はかかる問題点を解決するためになさ
れたもので、簡単な機構で上記先行発明と同様の
効果が得られ、しかも寿命を大幅に延ばすことが
できる振動する物体の表面検査装置を得ることを
目的とする。
れたもので、簡単な機構で上記先行発明と同様の
効果が得られ、しかも寿命を大幅に延ばすことが
できる振動する物体の表面検査装置を得ることを
目的とする。
この発明に係る振動する物体の表面検査装置
は、振動する被検査物体からの反射光の位置変動
領域全域を有効受光域とする受光素子と、この受
光素子の前面に配置されスリツトを通過した反射
光のみを受光素子に受光させるスリツト板と、反
射光の位置変動を検出するトラツキング信号検出
器とを備え、このトラツキング信号検出器の出力
により上記スリツト板を移動させ、そのスリツト
を反射光の位置に一致させるようにしたものであ
る。
は、振動する被検査物体からの反射光の位置変動
領域全域を有効受光域とする受光素子と、この受
光素子の前面に配置されスリツトを通過した反射
光のみを受光素子に受光させるスリツト板と、反
射光の位置変動を検出するトラツキング信号検出
器とを備え、このトラツキング信号検出器の出力
により上記スリツト板を移動させ、そのスリツト
を反射光の位置に一致させるようにしたものであ
る。
この発明においては、スリツト板の移動により
そのスリツトを反射光の位置に一致させるように
しているので、スリツトの開口形状を先行発明の
オプテイカルフアイバ束の端面形状と同一にすれ
ば、先行発明と同一の効果を簡単な装置構成で得
ることが可能となる。またスリツト板の移動機構
の寿命は、オプテイカルフアイバ束の曲げ動作に
伴なう劣化に比較してはるかに長いので、長寿命
化も可能となる。
そのスリツトを反射光の位置に一致させるように
しているので、スリツトの開口形状を先行発明の
オプテイカルフアイバ束の端面形状と同一にすれ
ば、先行発明と同一の効果を簡単な装置構成で得
ることが可能となる。またスリツト板の移動機構
の寿命は、オプテイカルフアイバ束の曲げ動作に
伴なう劣化に比較してはるかに長いので、長寿命
化も可能となる。
第１図はこの発明の一実施例を示すもので、図
中第２図と同一符号は同一又は相当部分を示す。
１０はスリツト１０ａを有するスリツト板、１１
はこのスリツト板１０の背面側に位置する光電素
子等の大口径の受光素子で、この受光素子１１は
反射光１の移動領域全域全面をカバーできる大き
な口径を有している。また上記スリツト板１０
は、そのスリツト１０ａ位置においてのみ反射光
１を通過させて受光素子１１に受光させ、残りの
領域においては反射光１を完全に遮断できるよう
になつている。
中第２図と同一符号は同一又は相当部分を示す。
１０はスリツト１０ａを有するスリツト板、１１
はこのスリツト板１０の背面側に位置する光電素
子等の大口径の受光素子で、この受光素子１１は
反射光１の移動領域全域全面をカバーできる大き
な口径を有している。また上記スリツト板１０
は、そのスリツト１０ａ位置においてのみ反射光
１を通過させて受光素子１１に受光させ、残りの
領域においては反射光１を完全に遮断できるよう
になつている。
以上の構成において、反射光１の位置変動が発
生したことをトラツキング信号検出器４が検出す
ると、その検出信号により図示しないアクチユエ
ータがドライブされてスリツト板１０が図中両矢
印Ａの方向に駆動され、スリツト１０ａが反射光
１の位置に一致した際に駆動が停止される。
生したことをトラツキング信号検出器４が検出す
ると、その検出信号により図示しないアクチユエ
ータがドライブされてスリツト板１０が図中両矢
印Ａの方向に駆動され、スリツト１０ａが反射光
１の位置に一致した際に駆動が停止される。
しかして、スリツト１０ａの開口形状を第２図
に示す先行発明のオプテイカルフアイバ束２の端
面形状と同一にすることにより、スリツト１０ａ
を通過して受光素子１１に入射する光信号は、先
行発明のフアイバ束２を通過して光電素子３に入
射する信号と全く同一となる。したがつて、先行
発明の主旨を変えることなくフオイバ束２をスリ
ツト板１０に置き換えることが可能となる。また
スリツト板１０を移動させる機構は一定の寿命を
有するが、これは一般的な移動機構の寿命であつ
てオプテイカルフアイバ束２の劣化に比較すると
はるかに長いので、長寿命化を図ることも可能と
なる。
に示す先行発明のオプテイカルフアイバ束２の端
面形状と同一にすることにより、スリツト１０ａ
を通過して受光素子１１に入射する光信号は、先
行発明のフアイバ束２を通過して光電素子３に入
射する信号と全く同一となる。したがつて、先行
発明の主旨を変えることなくフオイバ束２をスリ
ツト板１０に置き換えることが可能となる。また
スリツト板１０を移動させる機構は一定の寿命を
有するが、これは一般的な移動機構の寿命であつ
てオプテイカルフアイバ束２の劣化に比較すると
はるかに長いので、長寿命化を図ることも可能と
なる。
なお上記実施例では、大口径の受光素子１１を
用いる場合について説明したが、例えばスリツト
板１０と受光素子１１との間に、レンズ、反射鏡
等の集光機能を有する光学系を設置してスリツト
１０ａからの入射光を小さく集めて光スポツトに
すれば、受光素子１１として小さな口径のものを
用いることができる。
用いる場合について説明したが、例えばスリツト
板１０と受光素子１１との間に、レンズ、反射鏡
等の集光機能を有する光学系を設置してスリツト
１０ａからの入射光を小さく集めて光スポツトに
すれば、受光素子１１として小さな口径のものを
用いることができる。
以上説明したようにこの発明によれば、反射光
の位置変動に追従してスリツト板を移動させ、反
射光位置に常にスリツトがくるようにしているの
で、非常に簡単な構成で振動する物体に伴なう反
射光の移動をトラツキングすることができ、しか
もトラツキング機構部の寿命を大幅に延ばすこと
ができる等の効果がある。
の位置変動に追従してスリツト板を移動させ、反
射光位置に常にスリツトがくるようにしているの
で、非常に簡単な構成で振動する物体に伴なう反
射光の移動をトラツキングすることができ、しか
もトラツキング機構部の寿命を大幅に延ばすこと
ができる等の効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す振動する物
体の表面検査装置の構成図、第２図は先行発明に
係る表面検査装置のトラツキング機構部を示す構
成図である。 １：反射光、４：トラツキング信号検出器、１
０：スリツト板、１０ａ：スリツト、１１：受光
素子、なお各図中、同一符号は同一又は相当部分
を示すものとする。
体の表面検査装置の構成図、第２図は先行発明に
係る表面検査装置のトラツキング機構部を示す構
成図である。 １：反射光、４：トラツキング信号検出器、１
０：スリツト板、１０ａ：スリツト、１１：受光
素子、なお各図中、同一符号は同一又は相当部分
を示すものとする。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転に伴い振動する被検査物体の母線に沿つ
て走査光を投射し、上記母線に平行な被検査物体
からの反射光を受光して被検査物体の検査を行う
装置において、反射光の移動領域全面をカバーす
る口径の有効受光域を有する受光素子と、この受
光素子の前面に配置され上記母線方向に平行なス
リツトを通過した反射光のみを受光素子に受光さ
せるスリツト板と、スリツト板のスリツトの長さ
方向の端部に光電変換素子を設けて反射光のスリ
ツト直交方向の位置変動を光学的に検出するトラ
ツキング信号検出器とを備え、このトラツキング
信号検出器の出力により上記スリツト板を上記母
線と直交し被検査物体の回転方向に平行な方向に
動かし、そのスリツト板を反射光の位置に一致さ
せるようにしたことを特徴とする振動する物体の
表面検査装置。 ２ 反射光の移動領域全面を受光素子の有効受光
域とする手段として、受光素子の前面にレンズ、
反射鏡等の集光機能を有する光学系を配置して受
光素子の有効受光域を実質的に拡大したこと特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の振動する物体
の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59276033A JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59276033A JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149812A JPS61149812A (ja) | 1986-07-08 |
| JPH0476404B2 true JPH0476404B2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=17563849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59276033A Granted JPS61149812A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 振動する物体の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149812A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2588358Y2 (ja) * | 1990-05-09 | 1999-01-06 | 松下電工株式会社 | ピアノ操作型スイッチ |
| US9927371B2 (en) * | 2014-04-22 | 2018-03-27 | Kla-Tencor Corporation | Confocal line inspection optical system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112304A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Victor Co Of Japan Ltd | Contactless pick-up |
| JPS53138781A (en) * | 1977-05-10 | 1978-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | Surface test device |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP59276033A patent/JPS61149812A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112304A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Victor Co Of Japan Ltd | Contactless pick-up |
| JPS53138781A (en) * | 1977-05-10 | 1978-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | Surface test device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61149812A (ja) | 1986-07-08 |
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