SU864968A1

SU864968A1 - Устройство дл контрол дефектов оптических деталей

Info

Publication number: SU864968A1
Application number: SU782704445A
Authority: SU
Inventors: В.М. Суминов; А.А. Гребнев; Е.И. Гребенюк; Е.Б. Зайченкова; В.М. Жуков; Б.А. Макарычев
Original assignee: Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority date: 1978-12-26
Filing date: 1978-12-26
Publication date: 1984-01-30

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТОВ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащее лазер, последовательно установленные по ходу излучени фокусирующую линзу, плоское отражающее зеркало, блок сканировани , фотоприемник и блок регистрации, отличающеес тем, что, с целью повьпиени чувствительности и оперативности контрол , в него дополнительно введен селективный фильтр в виде вогнутого зеркгша с отверстием, установленного по ходу излучени за фокусирующей линзой под углом к оптической оси лазера и служащего дл разделени зеркально отраженного и диффузно рассе нного света, причем фотоприемник (Л расположен в фокусе зеркала. 00 Oi 4 СО о:) 00

Description

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может найти применение при контроле дефектов, а также контроля дефектов поверхности подложек интегральных схем и напыленных отражающих поверхностей.

Известно устройство для контроля дефектов оптических деталей, содержащее лазер, фокусирующую линзу, систему сканирования, собирающую линзу для рассеянного дефектом света, фотоприемник. Контроль дефектов производится при перемещении исследуемой поверхности поперек сфокусированного сканируемого луча. Рассеянный дефектом световой поток собирается на фотоприемник C1J.

Однако его применение ограничено контролем дефектов плоских отражающих поверхностей.

Наиболее близким техническим решением к данному изобретению является устройство для контроля дефектов оптических деталей, содержащее лазер, последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую линзу, плоское отражающее зеркало, блок сканирования, фотоприемник и блок регистрации t2].

При контроле дефектов оптических деталей типа линз с целью поддержания постоянным положенияί фокуса на детали, фокусирующая линза перемещается с помощью шагового двигателя вдоль оптической оси.

Недостаточная чувствительность контроля дефектов с помощью этого устройства обусловлена тем, что регистрация сигнала осуществляется по методу светового поля, когда приемник излучения работает в режиме постоянной засветки, что приводит к снижению его чувствительности и -Повышению инерционности.

Кроме того, переход с одного типа деталей на другой с разными радиусами кривизны затруднен необходимостью перестройки закона перемещения фокусирующей линзы.

Цель изобретения - повышение чувствительности и оперативности контроля дефектов оптических деталей.

Это достигается тем, что в известном устройстве для контроля дефектов оптических деталей, содержащем лазер, последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую линзу, плоское отражающее зеркало, блок сканирования, фотоприемник и блок регистрации, дополнительно введен селективный фильтр в виде вогнутого зеркала с отверстием, установленного по ходу излучения за .фокусирующей линзой под углом к оптической оси лазера и служащего для разделения зеркально отраженйо5 го и диффузно рассеянного света, причем фотоприемник расположен в фокусе зеркала.

На чертеже представлена, принципиальная схема устройства для кон10 троля дефектов оптических.деталей.

Устройство содержит лазер 1, фо кусирующую линзу 2, плоское отражающее зеркало 3, расположенное за исследуемой деталью, размещенное 15 на столе 4, связанном с приводом 5, обеспечивающим спиральное сканирование детали лучом лазера, селективный фильтр в виде вогнутого зеркала 6, с отверстием для падающего луча, 2Q расположенное между исследуемой деталью и фокусирующей линзой 2 под углом к оптической оси лазера, фотоприемник 7, установленный в фокусе зеркала б, и блок 8 регистрации.

Устройство работает следующим образом.

Луч лазера 1 фокусируется линзой 2 на исследуемую деталь и через отверстие в зеркале 6 падает на плоское отражающее зеркало 3 сквозь исследуемую деталь. В случае отсутствия дефекта на детали отраженный луч возвращается через отверстие в зеркале 6. При наличии в детали дефекта типа царапины или 35 пузырька световой поток, рассеянный и отраженный дефектом,отражается от плоского зеркала 3, собирается вогнутым зеркалом 6 и направляется на фотоприемник 7. Сигналы 4Q о наличии дефекта в виде импульсов различной амплитуды регистрируются блоком 8 регистрации. Размеры дефектов определяются по величине амплитуды импульса, поскольку 45 величина диффузно рассеянного светового потока от дефекта пропорциональна его размерам. Контроль всей поверхности детали осуществляется при спиральном перемещении ее относительно луча с помощью электропривода.

Данное устройство позволяет определять размеры дефектов оптических деталей, их подсчет, автоматически контролировать оптические де55 тали с чистотой поверхности от 1 до 9а класса, выявляя дефекты шириной 0,004 мм (ГОСТ 11141-76), и значительно, в 2,5 раза повысить чувствительнрсть контроля.

ВНИИПИ Заказ 1064/3 Тираж 823 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.Проектная, 4

Claims

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ДЕФЕКТОВ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащее лазер, последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую линзу, плоское отражающее зеркало, блок сканирования, фотоприемник и блок регистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности и оперативности контроля, в него дополнительно введен селективный фильтр в виде вогнутого зеркала с отверстием, установленного по ходу излучения за фокусирующей линзой под углом к оптической оси лазера и служащего для разделения зеркаль· но отраженного и диффузно рассеянного света, причем фотоприемник расположен в фокусе зеркала.