JP2017514291A - 切り替えコンポーネントおよびメモリユニット - Google Patents
切り替えコンポーネントおよびメモリユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017514291A JP2017514291A JP2016552508A JP2016552508A JP2017514291A JP 2017514291 A JP2017514291 A JP 2017514291A JP 2016552508 A JP2016552508 A JP 2016552508A JP 2016552508 A JP2016552508 A JP 2016552508A JP 2017514291 A JP2017514291 A JP 2017514291A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- switching component
- electrodes
- component according
- selector region
- atomic percent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
- H10N70/8416—Electrodes adapted for supplying ionic species
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/884—Other compounds of groups 13-15, e.g. elemental or compound semiconductors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/884—Other compounds of groups 13-15, e.g. elemental or compound semiconductors
- H10N70/8845—Carbon or carbides
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
Abstract
Description
Claims (35)
- 一対の電極間にセレクタ領域を含み、
前記セレクタ領域は、窒素、酸素、ゲルマニウムおよび炭素のうちの一つ以上をドープされたシリコンを含む、
切り替えコンポーネント。 - 前記ドーパントは、0原子百分率より大きく、約10原子百分率までの範囲内の総濃度で窒素を含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記ドーパントは、0原子百分率より大きく、約50原子百分率までの範囲内の総濃度で炭素を含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極は、互いに同一の組成である、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極は、互いに対して異なる組成である、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極のうちの少なくとも一つは、窒素と組み合わせて、Ta、TiおよびWのうちの一つ以上を含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極のうちの前記少なくとも一つは、O、CおよびAlのうちの一つ以上をさらに含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極の双方は炭素を含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記電極のうちの少なくとも一つは、炭素および窒素で構成される、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記一対の電極の各電極に直接接触する単一の均質な材料である、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記単一の均質な材料は、0原子百分率より大きく、約10原子百分率までの範囲内の濃度で窒素をドープされたシリコンを含む、
請求項10に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記一対の電極の双方の電極は炭素で構成される、
請求項11に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、二つ以上の異なる材料を含む、
請求項1に記載の切り替えコンポーネント。 - 第一の電極と、
前記第一の電極の上のセレクタ領域と、
前記セレクタ領域の上の第二の電極と、
を含み、
前記セレクタ領域は、交互する第一および第二の材料の積層を含み、前記第一および第二の材料のうちの少なくとも一つは、半導体を含む、
切り替えコンポーネント。 - 前記第一および第二の材料のうちの一方はシリコンを含み、前記第一および第二の材料のうちの他方は酸化物であって、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化ストロンチウム、酸化チタンおよび酸化ランタンのうちの一つ以上を含む、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記酸化物は、約3Åから約20Åの範囲内の厚さを有する、
請求項15に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極の各々に直接接触する前記シリコンを含む、
請求項15に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極の各々に直接接触する前記酸化物を含む、
請求項15に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記第一および第二の材料のうちの一方は、窒素、酸素、ゲルマニウムおよび炭素のうちの一つ以上をドープされたシリコンを含む、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記第一および第二の材料の各々は、約20Åから約350Åの範囲内の厚さを有する、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記第一および第二の材料のうちの一方は、0原子百分率より大きく、約10原子百分率までの範囲内の濃度で窒素または酸素をドープされたシリコンを含み、前記第一および第二の材料のうちの他方は、シリコンで構成される、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極の各々に直接接触する、窒素または酸素をドープされたシリコンを含む前記材料を含む、
請求項21に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極のうちの各々に直接接触するシリコンで構成される前記材料を含む、
請求項21に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記第一および第二の材料のうちの一方は、0原子百分率より大きく、約50原子百分率までの範囲内の濃度で、炭素またはゲルマニウムをドープされたシリコンを含み、前記第一および第二の材料のうちの他方は、シリコンで構成される、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極の各々に直接接触する、炭素またはゲルマニウムをドープされたシリコンを含む前記材料を含む、
請求項24に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記セレクタ領域は、前記電極の各々に直接接触するシリコンで構成される前記材料を含む、
請求項24に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記積層は、第一の材料/第二の材料/第一の材料を含む、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - 前記積層は、第一の材料/第二の材料/第一の材料/第二の材料/第一の材料を含む、
請求項14に記載の切り替えコンポーネント。 - メモリセルと、
前記メモリセルに電気的に結合された選択デバイスであって、一対の電極間にセレクタ領域を含む選択デバイスと、
を含み、
前記セレクタ領域は、窒素、酸素、ゲルマニウムおよび炭素のうちの一つ以上をドープされた半導体を含み、前記選択デバイスは、スナップバック電圧挙動を含む電流対電圧特性を有する、
メモリユニット。 - 前記半導体はシリコンを含む、
請求項29に記載のメモリユニット。 - 前記セレクタ領域は、前記一対の電極の各電極に直接接触する単一で均質な材料である、
請求項29に記載のメモリユニット。 - 前記単一で均質な材料は、0原子百分率より大きく、約10原子百分率の範囲内の濃度で窒素をドープされたシリコンを含む、
請求項31に記載のメモリユニット。 - 前記一対の電極の双方の電極は、炭素で構成される、
請求項32に記載のメモリユニット。 - 前記セレクタ領域は、二つ以上の異なる材料を含む、
請求項29に記載のメモリユニット。 - 前記セレクタ領域は、第二の材料と交互する第一の材料を有する積層を含む、
請求項29に記載のメモリユニット。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/184,400 US9263675B2 (en) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | Switching components and memory units |
US14/184,400 | 2014-02-19 | ||
PCT/US2014/066177 WO2015126485A1 (en) | 2014-02-19 | 2014-11-18 | Switching components and memory units |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017514291A true JP2017514291A (ja) | 2017-06-01 |
JP6577954B2 JP6577954B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=53798888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016552508A Active JP6577954B2 (ja) | 2014-02-19 | 2014-11-18 | 切り替えコンポーネントおよびメモリユニット |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9263675B2 (ja) |
EP (1) | EP3108478B1 (ja) |
JP (1) | JP6577954B2 (ja) |
KR (1) | KR101943721B1 (ja) |
CN (1) | CN106062879B (ja) |
TW (1) | TWI578587B (ja) |
WO (1) | WO2015126485A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9263675B2 (en) | 2014-02-19 | 2016-02-16 | Micron Technology, Inc. | Switching components and memory units |
US20170084832A1 (en) * | 2014-05-21 | 2017-03-23 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Non-volatile resistance switching devices |
US20160149129A1 (en) * | 2014-11-25 | 2016-05-26 | Intermolecular, Inc. | Using Metal Silicides as Electrodes for MSM Stack in Selector for Non-Volatile Memory Application |
US20160148976A1 (en) * | 2014-11-26 | 2016-05-26 | Intermolecular, Inc. | Simultaneous Carbon and Nitrogen Doping of Si in MSM Stack as a Selector Device for Non-Volatile Memory Application |
US20170062522A1 (en) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Intermolecular, Inc. | Combining Materials in Different Components of Selector Elements of Integrated Circuits |
US10008665B1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-06-26 | Intel Corporation | Doping of selector and storage materials of a memory cell |
US10396082B2 (en) | 2017-07-05 | 2019-08-27 | Micron Technology, Inc. | Memory cells having a controlled-conductivity region |
WO2019055008A1 (en) * | 2017-09-14 | 2019-03-21 | Intel Corporation | SELECTOR DEVICES |
US11430948B2 (en) | 2017-09-28 | 2022-08-30 | Intel Corporation | Resistive random access memory device with switching multi-layer stack and methods of fabrication |
WO2019132995A1 (en) * | 2017-12-29 | 2019-07-04 | Intel Corporation | Selectors for memory devices |
JP2020155630A (ja) | 2019-03-20 | 2020-09-24 | キオクシア株式会社 | 不揮発性記憶装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100091561A1 (en) * | 2004-11-08 | 2010-04-15 | Tyler Lowrey | Programmable Matrix Array with Chalcogenide Material |
JP2011171683A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-01 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
WO2011114666A1 (ja) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | 電流制御素子、記憶素子、記憶装置および電流制御素子の製造方法 |
JP2011249542A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7589343B2 (en) * | 2002-12-13 | 2009-09-15 | Intel Corporation | Memory and access device and method therefor |
US7307268B2 (en) * | 2005-01-19 | 2007-12-11 | Sandisk Corporation | Structure and method for biasing phase change memory array for reliable writing |
FR2887684A1 (fr) * | 2005-06-28 | 2006-12-29 | Thomson Licensing Sa | Diode electroluminescente dont l'une des electrodes est multicouche en carbone amorphe |
US20080042119A1 (en) * | 2005-08-09 | 2008-02-21 | Ovonyx, Inc. | Multi-layered chalcogenide and related devices having enhanced operational characteristics |
US8753740B2 (en) * | 2009-12-07 | 2014-06-17 | Nanotek Instruments, Inc. | Submicron-scale graphitic fibrils, methods for producing same and compositions containing same |
US8385100B2 (en) * | 2009-12-08 | 2013-02-26 | Intel Corporation | Energy-efficient set write of phase change memory with switch |
JP5491941B2 (ja) * | 2010-04-21 | 2014-05-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
US8467239B2 (en) * | 2010-12-02 | 2013-06-18 | Intel Corporation | Reversible low-energy data storage in phase change memory |
US9196753B2 (en) * | 2011-04-19 | 2015-11-24 | Micron Technology, Inc. | Select devices including a semiconductive stack having a semiconductive material |
US9543507B2 (en) * | 2012-04-12 | 2017-01-10 | Intel Corporation | Selector for low voltage embedded memory |
JP5783961B2 (ja) * | 2012-07-09 | 2015-09-24 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
US9246100B2 (en) * | 2013-07-24 | 2016-01-26 | Micron Technology, Inc. | Memory cell array structures and methods of forming the same |
US20150070965A1 (en) * | 2013-09-12 | 2015-03-12 | Sandisk 3D Llc | FET LOW CURRENT 3D ReRAM NON-VOLATILE STORAGE |
US8981327B1 (en) * | 2013-12-23 | 2015-03-17 | Intermolecular, Inc. | Carbon-doped silicon based selector element |
US8975610B1 (en) * | 2013-12-23 | 2015-03-10 | Intermolecular, Inc. | Silicon based selector element |
US9263675B2 (en) | 2014-02-19 | 2016-02-16 | Micron Technology, Inc. | Switching components and memory units |
-
2014
- 2014-02-19 US US14/184,400 patent/US9263675B2/en active Active
- 2014-11-18 CN CN201480075821.XA patent/CN106062879B/zh active Active
- 2014-11-18 EP EP14882974.0A patent/EP3108478B1/en active Active
- 2014-11-18 KR KR1020167025098A patent/KR101943721B1/ko active IP Right Grant
- 2014-11-18 WO PCT/US2014/066177 patent/WO2015126485A1/en active Application Filing
- 2014-11-18 JP JP2016552508A patent/JP6577954B2/ja active Active
- 2014-12-05 TW TW103142484A patent/TWI578587B/zh active
-
2016
- 2016-01-06 US US14/989,625 patent/US9431459B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100091561A1 (en) * | 2004-11-08 | 2010-04-15 | Tyler Lowrey | Programmable Matrix Array with Chalcogenide Material |
JP2011171683A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-01 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
WO2011114666A1 (ja) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | 電流制御素子、記憶素子、記憶装置および電流制御素子の製造方法 |
JP2011249542A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106062879A (zh) | 2016-10-26 |
EP3108478A1 (en) | 2016-12-28 |
US20160118441A1 (en) | 2016-04-28 |
KR101943721B1 (ko) | 2019-01-29 |
CN106062879B (zh) | 2019-03-15 |
US9431459B2 (en) | 2016-08-30 |
US20150236259A1 (en) | 2015-08-20 |
TWI578587B (zh) | 2017-04-11 |
JP6577954B2 (ja) | 2019-09-18 |
TW201535815A (zh) | 2015-09-16 |
EP3108478A4 (en) | 2017-10-18 |
WO2015126485A1 (en) | 2015-08-27 |
KR20160122787A (ko) | 2016-10-24 |
EP3108478B1 (en) | 2019-06-26 |
US9263675B2 (en) | 2016-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6577954B2 (ja) | 切り替えコンポーネントおよびメモリユニット | |
US10658588B2 (en) | Memory cell switch device | |
US8471325B2 (en) | Nonvolatile memory device and method for manufacturing the same | |
US8884264B2 (en) | Variable resistance memory device | |
US20180309054A1 (en) | High retention resistive random access memory | |
US20150137062A1 (en) | Mimcaps with quantum wells as selector elements for crossbar memory arrays | |
CN107124905B (zh) | 含金属硫属化合物的装置 | |
TWI759457B (zh) | 記憶裝置 | |
US20130248806A1 (en) | Variable resistance memory device and method for fabricating the same | |
US20120002461A1 (en) | Non-volatile memory with ovonic threshold switch and resistive memory element | |
US20150179936A1 (en) | Memory Cells and Methods of Forming Memory Cells | |
US8867257B2 (en) | Variable resistance memory device | |
WO2017039611A1 (en) | Material stacks for low current unipolar memristors | |
US9444042B2 (en) | Memory cells and methods of forming memory cells | |
US20200066794A1 (en) | Memory cell switch device | |
KR20140013364A (ko) | 가변 저항 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161011 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161011 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171024 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171127 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180831 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20180907 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20180921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190530 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190617 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190823 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6577954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |