JP2017506335A - 電子線照射装置、および照射検出を有する照射システム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子透過およびビーム測定の機能を促進する電子線窓の新規な構造を創作する。システムレベルにおいては、ビーム測定の適用を監視して、本発明は照射プロセスを制御する方法を提供する。
(1)内部が真空状態の真空チャンバーと;真空チャンバー内に設けられ、電子線を発生させるための電子線発生器と;電子線発生器で発生した電子線を真空チャンバーの外部へ照射するための透過窓と、真空チャンバー内の真空状態を維持するために透過窓を覆うとともに、電子線が透過可能な薄膜部とを有する窓構造体と;窓構造体と真空チャンバーとを隔離する前縁隔離部と、窓構造体の外面を覆う層状の絶縁被膜部と;を備えることを特徴とする電子線照射装置。
(2)絶縁部材の外面を覆うように設けられ、かつ接地されている導電層をさらに備えることを特徴とする(1)に記載の電子線照射装置。
(3)窓構造体は、その温度を調整するための冷却媒体が流れる冷却流路を有することを特徴とする(1)に記載の電子線照射装置。
(5)(2)に記載の電子線照射装置と、導電層を流れる電流値を検出し、検出された電流値に応じて窓構造体の外側の外部雰囲気の残留時間、温度、および湿度の少なくとも1つを調整する監視制御装置と、を備えることを特徴とする電子線滅菌システム。
図1に示すように、電子線照射システムは電子線照射装置7を備える。電子線照射装置7は、例えば、容器の外面に電子線を照射するのに用いられる。電子線照射装置7は、内部が真空状態の真空チャンバー1と、真空チャンバー1内に設けられ、電子線を発生させるための電子線発生器6と、窓構造体5とを備える。真空チャンバー1には、ステンレス鋼のような導電性を有する材料が用いられる。
また、グリッドを用いずに薄膜部のみで窓構造体5を構成してもよい。
さらに、窓構造体5としては、レーザを用いたパターニング加工により肉薄部と肉厚部とが形成されたものを用いてもよい。薄膜部は、肉薄部を有する。透過窓は、肉厚部および肉薄部とで形成される凹部を有する。
窓構造体5の全面が薄膜部で構成されていてもよく、窓構造体5の一部が薄膜部で構成されていてもよい。
絶縁隔離部4は、真空チャンバー1から窓構造体5へ流れる電流を遮断することができる。絶縁隔離部4は、例えば、Al2O3またはSiO2で形成されている。絶縁隔離部4は、例えば、絶縁材料として使用可能なセラミックスで形成されてもよい。しかしながら、絶縁隔離部4の材料は、これらの材料に限定されない。絶縁隔離部4は、蒸着法により形成された層状の絶縁部材でもよく、ブロック状の絶縁部材でもよい。絶縁隔離部4は、例えば、ろう付法によって真空チャンバー1および窓構造体5との接合される。接合方法は、真空チャンバ1と窓構造5とを接合可能であれば特に限定されない。
より具体的には、絶縁被覆部3により、窓構造体5の外面近傍に発生するプラズマに起因して発生した電子が窓構造体5に吸収されるのを防ぐことができる。さらに、絶縁被覆部3の外面を導電層2で覆い、導電層2を接地することにより、窓構造体5の外面近傍に発生するプラズマに起因して発生した電子を、導電層2から経路15を経由して逃がすことができる。その結果、プラズマに起因して絶縁被覆部3に電荷が蓄積されること(チャージアップ現象)により窓構造体5にプラズマ電流が流れるのを抑制することができる。プラズマは、電子線の照射により窓構造体5の外面近傍で発生する。
本発明では、電子線が真空チャンバー1の外部へ放射される前の電子線に関するデータに基づいて、滅菌処理や表面処理に用いられる電子線の強度を精度良く把握することができる。また、このデータは、窓構造体5に到達する電子線16のすべてに対するデータとして処理することができる。よって、本発明では、真空チャンバー1の外部雰囲気へ放射された後の電子線を直接測定する場合における測定位置や外部雰囲気の状態(例えば、プラズマ状態)により測定値が異なるという不具合は生じない。検出された電流値は、設計が同じ電子線照射装置であれば適用することができる。
なお、本実施形態では、冷却流路を設けるために真空チャンバー1の側面の壁を二重構造としたが、真空チャンバー1の側面に冷却流路を設けない場合は、真空チャンバー1の側面を1つの壁で構成してもよい。
電子線発生器6で発生した電子線16は、窓構造体5(透過窓)を通過し、薄膜部(図示しない)、絶縁被覆部3、導電層2を透過し、電子線14として電子線照射装置7の真空チャンバー1より外部へ照射される。このとき、電子線16の一部は、窓構造体5、絶縁被覆部3、および導電層2に吸収される。
iT=iB−iW+Er
上記の式中、iBは、電子発生器6より発生した電子線16のビーム電流を示す。iWは、電子線発生器6より発生した電子線16が窓構造体5を通過する際に窓構造体5に吸収された電子に基づき窓構造体5を流れる電流を示す。Erは、電子線が被覆部3および導電層2を通過する際に絶縁被覆部3および導電層2に吸収された電子や、窓構造体5に到達しなかった電子に基づく誤差を表す。
窓構造体5を透過した電子のほとんどが絶縁被覆部3および導電層2を透過可能な程度に、絶縁被覆部3および導電層2の厚みを適度に薄くする。また、電子線発生器6より発生した電子のほとんどが窓構造体5に到達できるように電子線の出力条件を適宜設定する。これにより、誤差Erを無視できるレベルに小さくすることができる。誤差Erを無視できる場合、電流iWを精度良く検出することで、電流値iTの値を正確に把握することができる。
誤差Erを無視できる場合、電子線発生器6より発生した電子線のビーム電流iBから窓構造体5を流れる電流iWを差し引くことで、電子線照射装置(真空チャンバー1)より外部へ放射された電子線の電流値iTが得られる。これにより、被照射体に照射される電子線の強度を精度良く把握することができる。
より具体的には、窓構造体5を流れる電流iWに関する信号は、経路13を通り監視制御装置8に入力される。入力された電流iWに関する信号に基づいて、監視制御装置8から所定の信号が出力される。監視制御装置8より出力された信号は、経路21を通り流路制御装置22に入力される。流量制御装置22に入力された信号に基づいて、流量制御装置22により窓構造体5が所定の温度に冷却されるように窓構造体5を流れる冷却媒体の流量が調整される。
上記の監視制御装置8および流量制御装置22を含むシステムにより窓構造体5が一定の温度になるように冷却媒体の流量を調整することができる。これにより、窓構造体5への熱負荷の変化(窓構造体5の温度変動)に起因する窓構造体の劣化を抑制して、窓構造体5を長寿命化することができる。
電子線照射装置37は、図2および3に示すように、内部が真空状態の真空チャンバー31と、真空チャンバー31内に設けられ、電子線を発生させるための電子線発生器(図示しない)と、電子線発生器で発生した電子線を真空チャンバー31の外部へ照射するための透過窓と、真空チャンバー内の真空状態を維持するために透過窓を覆うとともに、電子線が透過可能な薄膜部とを有する窓構造体35とを備える。
電子線照射装置37は、さらに、窓構造体35と真空チャンバー31とを隔離する絶縁隔離部34と、窓構造体35の外面を覆う絶縁被覆部33と、絶縁部材34および絶縁被覆部33の外面を覆うように設けられ、かつ接地されている導電層32とを備える。
Claims (6)
- 内部が真空状態の真空チャンバーと、
真空チャンバー内に設けられ、電子線を発生させるための電子線発生器と、
電子線発生器で発生した電子線を真空チャンバーの外部へ照射するための透過窓と、真空チャンバー内の真空状態を維持するために透過窓を覆うとともに、電子線が透過可能な薄膜部とを有する窓構造体と、
窓構造体と真空チャンバーとを隔離する絶縁隔離部と、
窓構造体の外面を覆う層状の絶縁被膜部と、
を備えることを特徴とする電子線照射装置。 - 絶縁部材の外面を覆うように設けられ、かつ接地されている導電層をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の電子線照射装置。
- 窓構造体は、その温度を調整するための冷却媒体が流れる冷却流路を有することを特徴とする請求項1記載の電子線照射装置。
- 請求項1記載の電子線照射装置と、
窓構造体を流れる電流値を検出し、検出された電流値に応じて電子線発生器から照射される電子線の強度を調整する監視制御装置と、
を備えることを特徴とする電子線照射システム。 - 請求項2記載の電子線照射装置と、
導電層を流れる電流値を検出し、検出された電流値に応じて窓構造体の外側の外部雰囲気の残留時間、温度、および湿度の少なくとも1つを調整する監視制御装置と、
を備えることを特徴とする電子線照射システム。 - 請求項3記載の電子線照射装置と、
窓構造体を流れる電流値を検出する監視制御装置と、
監視制御装置で検出された電流値に応じて冷却媒体の流量を調整する流量制御装置と、
を備えることを特徴とする電子線照射システム。
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