JP2015204418A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】エッチングレートを増大させるため、負イオンを効率的に生成する。【解決手段】プラズマ処理装置10は、反応ガスが収容された反応室と、この反応室内の反応ガスをプラズマ化するプラズマ生成部30と、前記反応室内に生じたプラズマのプラズマ浮遊電位を測定する電極46と、プラズマ浮遊電位に対しマイナスのバイアス電圧を印加する電子放出源40とを備えている。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法に関する。
シリコンウエハ等の試料表面にエッチング処理や成膜処理を施すため、高周波コイルまたは高周波電極によって電界を発生させて、別途供給されたガス分子をプラズマ化するプラズマ発生装置が知られている。プラズマ化により生成された正イオンは、反応容器に載置された半導体ウエハの表面に衝突し、エッチング反応や成膜反応を引き起こす。半導体ウエハは高周波電圧が印加されており、電子と正イオンの入射量が等しくなるように、全体として電子によって負にチャージアップし、負のセルフバイアス電圧が発生している。
このようなプラズマ処理装置では、次のような問題があった。エッチングによって形成された深い溝や孔には正イオンは加速されて入射するが電子は入射できない現象が生じる。このとき、溝や孔の底部は正に帯電し、正イオンの軌道が曲げられ、エッチング形状の異常が生じる。これに対し、負イオンを用いることで、溝や孔の底部を中性化しエッチング形状を制御できることが知られている。このため、負イオンを適切に生成するプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法が必要とされている。
本発明の実施形態のプラズマ処理装置は、反応ガス及び被処理物が収容された反応室と、この反応室内の反応ガスをプラズマ化するプラズマ生成部と、前記反応室内に生じたプラズマのプラズマ浮遊電位を測定する電極と、前記プラズマ浮遊電位に対しマイナスのバイアス電圧を印加する電子放出源とを備えている
図1は第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置10を模式的に示す断面図、図2はプラズマ処理装置10に組み込まれた電子放出源40を模式的に示す断面図、図3は衝突断面積と電子エネルギの関係を示す図である。なお、図中Wは半導体ウエハ等の被処理物を示している。
プラズマ処理装置10は、プラズマ発生部20と、このプラズマ発生部20に隣接配置された処理部60とを備えている。
プラズマ発生部20は、反応ガス(ハロゲン、酸素ガス等)が収容され、真空容器等から構成された反応室21と、この反応室21内の反応ガスをプラズマ化するプラズマ生成部30と、反応室21の壁面に設けられた電子放出源40とを備えている。
プラズマ生成部30は、電源31と、この電源31から電力が供給されるコイル32とを備えている。コイル32は反応室20を囲んで配置されている。
電子放出源40は、熱電子放出源であって、図2に示すように、反応室21側に開口した有底筒状の容器41と、この容器41内に配置された熱フィラメント42を備えている。この熱フィラメント42には、電圧計43と、マイナスの電位を印加する可変電圧部44と、電流源45とが接続され、電圧計43と可変電圧部44との間には、反応室21側に露出したプローブ46とが接続されている。
プローブ46により検出されたプラズマ浮遊電位VFLに基づいて、所定値のマイナスのバイアス電位が熱フィラメント42に印加される。このときバイアス電圧は、負イオン生成が最大となるような電圧に設定する。さらに熱フィラメント42の反応室21側には引き出し電極47が配置されており、可変電圧部48により所定の電圧が印加されている。
処理部60は、真空容器等からなる処理室61と、被処理物である半導体ウエハWを戴置する処理台62とを備えている。
このように構成されたプラズマ処理装置10は、次のようにして処理が行われる。すなわち、反応室21及び処理室61を減圧し、反応ガスを充填する。次に、電源31からコイル32に所定の周波数・電流・電圧の電力を供給する。これにより反応ガスが励起され、プラズマPが発生する。
一方、プラズマPが生じると、プローブ46によりプラズマPのプラズマ浮遊電位VFLが計測される。このプラズマ浮遊電位VFLに対し、可変電圧部44により所定値のマイナスのバイアス電位(−5〜10V)を印加して、熱フィラメント42から電子を放出する。放出された電子は、可変電圧部48により所定の電圧が印加された引き出し電極46によって引き出されて、プラズマP内に導入される。
プラズマPには、反応ガスを構成する原子が正イオン及び負イオンとなって存在するが、プラズマP中に導入された電子により、負イオンの生成に寄与するエネルギ成分を持った電子が増大し、負イオンの密度が高まった状態で維持される。
このようにして、正イオンに加えて、十分な量の負イオンを供給することにより、正イオンによるチャージアップを防止できる。このためチャージアップによって発生する異常な加工形状を抑制する事が可能となる。
電子放出源40に印加されるプラズマ浮遊電位VFLに対するマイナスのバイアス電圧VBについて、その電圧範囲(15〜40V)を最適とした理由は以下の通りである。
図1における可変電圧部44の電圧をVA、プローブ46の電位をVPR、プラズマPの電位をVPLとすると、プラズマPに入射する電子のエネルギεは次のように与えられる。
ε=VA−(VPL−VPR) [eV] …(1)
また,プローブ46の電位VPRはプラズマの浮遊電位VFLと等しいため、
VPR=VFL …(2)
である。(1)式と(2)式から、次の(3)式を得る。
また,プローブ46の電位VPRはプラズマの浮遊電位VFLと等しいため、
VPR=VFL …(2)
である。(1)式と(2)式から、次の(3)式を得る。
V=ε+(VPL−VFL) [eV] …(3)
VPL−VFLはイオンフラックスと電子フラックスのバランスで決定され、一般的に(4)式のように与えられる。
VPL−VFLはイオンフラックスと電子フラックスのバランスで決定され、一般的に(4)式のように与えられる。
VPL−VFL
=(kTe/e)ln[(MiTe)/(MeTi)]1/2 …(4)
ここで,kはボルツマン定数,eは電気素量,Teは電子温度,Tiはイオン温度,Miはイオン質量,Meは電子質量である。
=(kTe/e)ln[(MiTe)/(MeTi)]1/2 …(4)
ここで,kはボルツマン定数,eは電気素量,Teは電子温度,Tiはイオン温度,Miはイオン質量,Meは電子質量である。
半導体プロセスで用いられるプラズマでは、Te=2〜4eV,Ti=0.03〜0.05eVであることを考慮すると,VPL−VFLは10〜30Vとなる。一方,負イオンを電子付着で生成するためには,図3に示すように、電子エネルギε=5〜10eVであることが望ましい。これらと(3)式から,VA=15〜40[V]とすることで、電子付着による負イオン生成を効率的に行うことができる。
図4におけるXは電子導入を行わなかった場合の電子エネルギの分布、Yは電子導入を行った場合の電子エネルギの分布を示している。
このように第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置10においては、電子放出源40を用いて負イオンを高密度化することで、エッチング溝底でのチャージアップを抑制し、加工形状の異常を防ぐことができる。
図5は、第2の実施の形態に係るプラズマ処理装置10Aの要部を模式的に示す断面図。なお、図5において図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
プラズマ処理装置10Aは、電子放出源40の代わりに電子放出源70を備えている。電子放出源70は、熱電子放出源であって、一端側が反応室21側に開口した曲管状の容器71と、この容器71の他端側に配置された熱フィラメント72を備えている。この熱フィラメント72には、電圧計73と、マイナスの電位を印加する可変電圧部74とが接続され、電圧計73と可変電圧部74との間には、反応室21側に露出したプローブ75とが接続されている。また、可変電圧部74と熱フィラメント72との間には、可変電圧部76が取り付けられ、さらに可変電圧部76は、容器71内に配置された引出電極77に接続されている。また、容器71には図面に対して垂直方向に磁界Qがかけられている。
なお、プローブ75により検出されたプラズマ浮遊電位VFLに基づいて、所定値のマイナスのバイアス電位が熱フィラメント72に印加される。このときバイアス電圧は、負イオン生成が最大となるような電圧に設定する。
また、容器71の一端側には電子減速部79が設けられている。
このように構成されたプラズマ処理装置10Aでは、電子放出源70の熱フィラメント72から電子が放出される。放出された電子は、引出電極77によって反応室21側に引き出される共に、磁界Qによって容器71に沿って曲げられ、電子減速部79によって所定の電圧に低下させた後、反応室21内に放出される。
このように第2の実施形態に係るプラズマ処理装置10Aにおいても、上述したプラズマ処理装置10と同様の効果を得ることができる。また、熱フィラメント72を反応室21から離間させることができるため、プラズマPに曝されることがなく、寿命を長くすることができる。さらに、適当な磁界Qをかけることで熱フィラメント72を配置する位置の自由度が大きくなり、プラズマ処理装置10Aの設置スペースを節約することが可能となる。
図6は、第3の実施の形態に係るプラズマ処理装置10Bの要部を模式的に示す断面図、図7は、電源31と可変電圧部44の電圧と、負イオン濃度の関係を示す説明図である。なお、図6において図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
プラズマ処理装置10Bは、電源31及び可変電圧部44に対して、パルス制御及び電圧制御を行うコントローラ80が接続されている。コントローラ80は、電源31に対して所定のタイミングでON/OFFを行うように制御を行うと共に、可変電圧部44に対して所定のタイミングでON/OFFを行うように制御を行う。
このように構成されたプラズマ処理装置10Bでは、電子放出源40の熱フィラメント42から電子が放出される。放出された電子は、反応室21内に放出される。
一方、コントローラ80によって、電源31及び可変電圧部44が制御されている。この制御の具体例としては、図7に示すように、電源31と可変電圧部44の電圧を同相で100μS毎にON−OFF制御する。これにより、電源31のみの負イオンの密度変化(実線G1)に比べ、可変電圧部44の電圧が加わることで負イオンの密度変化(破線G2)はその変動幅が少なくなる。このため、安定した負イオンの供給が可能となる。
このように第3の実施形態に係るプラズマ処理装置10Bにおいても、上述したプラズマ処理装置10と同様の効果を得ることができる。また、より安定した負イオンの供給が可能となる。
図8は、上述した電子放出源40の代わりに適用できる電子放出源140を模式的に示す説明図である。電子放出源140は電界放出源であって、反応室21側に開口した有底筒状の容器141と、この容器141内に配置されたエミッタ142を備えている。このエミッタ142には、電圧を印加する電源部143と、可変電圧部144とが接続され、電源部143と可変電圧部144との間には、反応室21側に露出したプローブ145とが接続されている。プローブ145により検出されたプラズマ浮遊電位VFLに基づいて、所定値のマイナスのバイアス電位がエミッタ142に印加される。このときバイアス電圧は、負イオン生成が最大となるような電圧に設定する。さらにエミッタ142の反応室21側には引き出し電極147が配置されており、可変電圧部148により所定の電圧が印加されている。
このように構成された電子放出源140においては、前述した場合と同様に反応室21内にプラズマPが生ずると、プローブ145により検出されたプラズマ浮遊電位VFLに基づいて、可変電圧部144により所定値のマイナス電位(−5〜10eV)を印加して、エミッタ143から電子を放出する。放出された電子は、可変電圧部148により所定の電圧が印加された引き出し電極147によって引き出されて、プラズマP内に導入される。
このように構成された電子放出源140を用いたプラズマ処理装置10であっても、前述した電子放出源40と同様の効果を得ることができる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
10,10A,10B…プラズマ処理装置、20…プラズマ発生部、30…プラズマ生成部、40,70,140…電子放出源、60…処理部、W…半導体ウエハ。
Claims (5)
- 反応ガス及び被処理物が収容された反応室と、
この反応室内の反応ガスをプラズマ化するプラズマ生成部と、
前記反応室内に生じたプラズマのプラズマ浮遊電位を測定する電極と、
前記プラズマ浮遊電位に対しマイナスのバイアス電圧を印加する電子放出源とを備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記電子放出源は、熱電子放出又は電界放出を行うものであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電子放出源から放出された電子は、磁場又は電界の少なくとの一方によって軌道を曲げられ、又は、加減速された後に、前記反応室に導入されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ生成部はON/OFF制御可能であると共に、そのタイミングに合わせて前記電子放出源におけるマイナスのバイアス電圧を変化させるものであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 反応室内の反応ガスをプラズマ化し、
前記反応室内に生じたプラズマのプラズマ浮遊電位を測定し、
前記プラズマ浮遊電位に対しマイナスのバイアス電圧を印加して、前記反応室内の被処理物を処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
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JP2014083908A JP2015204418A (ja) | 2014-04-15 | 2014-04-15 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
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JP2019087702A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
CN112226734A (zh) * | 2019-07-15 | 2021-01-15 | 住友重机械工业株式会社 | 负离子生成装置 |
WO2021200773A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-10-07 | アトナープ株式会社 | プラズマ生成装置 |
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