JP2017014600A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の真空蒸着装置1は、真空室3に設置されたプラズマ発生装置4が発生するプラズマにより基板(基材)9に成膜処理を施すとともに、プラズマ発生装置4のアノード電極にパルス電圧を印加するパルス電源部12を備える。この真空蒸着装置1において、真空室3内の経時的な環境変化を測定部15で測定し、制御部14によるフィードバック制御により、測定部15の測定結果に基づいてパルス電圧のデューティ比を制御することで、真空室3内の環境に適したデューティ比のパルス電圧をアノード電極にバイアス電圧として印加する。
【選択図】 図1
Description
放電室に配置されたカソード電極とアノード電極との間でプラズマを発生させるプラズマ発生部と、
アノード電極にパルス電圧を印加するパルス電源部と、
成膜処理対象の基材を収容すると共に蒸着材料を蒸発させ、プラズマ発生部が発生するプラズマにより蒸発させた蒸着材料をプラズマ化して、基材に成膜処理を施す真空室と、
を備える真空蒸着装置である。そして、当該真空蒸着装置において、
真空室内の経時的な環境変化を測定する測定部と、
測定部の測定結果に基づいてパルス電圧を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする。
本発明の一実施形態に係る真空蒸着装置は、電子銃を用いて蒸着材料を蒸発させ、成膜処理対象の基材(以下、「基板」と記述する)上に薄膜を堆積させる蒸着装置である。また、本実施形態に係る真空蒸着装置は、成膜処理室である真空室に設置されたプラズマ発生装置(プラズマ発生部)を備えており、基板に対してプラズマによりイオンプレーティング成膜を行う。
図1は、本発明の一実施形態に係る真空蒸着装置のシステム構成の一例を示す概略図である。図1に示すように、本実施形態に係る真空蒸着装置1は、筐体2によって囲まれた真空室(真空槽)3内に、プラズマ発生装置4、ルツボ5および電子銃6が配置された構成となっている。筐体2は接地されている。プラズマ発生装置4の詳細については後述する。ルツボ5には、蒸着材料が充填されている。電子銃6は、真空室3内のルツボ5に電子ビームを出射する。
ここで、真空室3内の経時的な環境変化について説明する。プラズマにより成膜処理を行う真空蒸着装置1では、真空室3内の汚れや真空圧力などの諸条件により、成膜処理対象の基材である基板9に発生するセルフバイアスが自然に変化する。特に、絶縁性材料を成膜する場合には、真空室3内の壁面(即ち、接地電位面)の導電性が経時的に変化する。このため、真空蒸着装置1のメンテナンス作業が行われた直後から成膜処理を重ねることで、成膜が進行するとともに異常放電を引き起こす環境に移行する。これが真空室3内の経時的な環境変化である。この真空室3内の経時的な環境変化により、パルス電圧の最適な周波数やデューティ比が経時的に変化する。その結果、プラズマの異常放電が発生する場合がある。
図2は、プラズマ発生装置4の構成の一例を示す概略図である。図2に示すように、プラズマ発生装置(プラズマ発生部)4は、ケース21によって構成された放電室22に配置されたカソード電極23と第1のアノード電極24とを含み、カソード電極23と第1のアノード電極24との間でプラズマ25を発生させる。ケース21は、ガス導入口21Aを有する。
次に、先述した測定用基板11→電位差検出部13→制御部14→パルス電源部12の経路からなるフィードバック制御系の詳細について、図3および図4を用いて説明する。図3は、フィードバック制御系の機構系を含む構成の一例を示す概略図である。また、図4は、フィードバック制御系の電気系の構成の一例を示すブロック図である。
次に、上記構成の本実施形態に係る真空蒸着装置1の基本動作について説明する。
以上、本発明について実施形態を用いて説明したが、本発明は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。すなわち、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で上記実施形態に多様な変更または改良を加えることができ、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
Claims (4)
- 放電室に配置されたカソード電極とアノード電極との間でプラズマを発生させるプラズマ発生部と、
前記アノード電極にパルス電圧を印加するパルス電源部と、
成膜処理対象の基材を収容すると共に蒸着材料を蒸発させ、前記プラズマ発生部が発生するプラズマにより前記蒸発させた蒸着材料をプラズマ化して前記基材に成膜処理を施す真空室と、
を備える真空蒸着装置であって、
前記真空室内の経時的な環境変化を測定する測定部と、
前記測定部の測定結果に基づいて前記パルス電圧を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする真空蒸着装置。 - 前記制御部は、前記パルス電圧のデューティ比を制御する
ことを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着装置。 - 前記測定部は、
電気的にフローティング状態で前記真空室内に配置された測定用基板と、
前記測定用基板の基板面電位の基準電位に対する電位差を検出する電位差検出部と、
を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空蒸着装置。 - 前記制御部は、前記測定部が測定する前記電位差が所定の設定値になるように前記パルス電圧のデューティ比を制御する
ことを特徴とする請求項3に記載の真空蒸着装置。
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JP2015135170A JP2017014600A (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 真空蒸着装置 |
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JP2017014600A true JP2017014600A (ja) | 2017-01-19 |
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ID=57829091
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JP2015135170A Pending JP2017014600A (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 真空蒸着装置 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004332077A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | イオンアシスト蒸着方法とその装置 |
JP2010180469A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Jeol Ltd | イオンプレーティング装置 |
JP2014095111A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Jeol Ltd | 成膜装置及び成膜装置の動作方法 |
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2015
- 2015-07-06 JP JP2015135170A patent/JP2017014600A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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