JP2017228573A - 受光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si支持基板101、熱硬化性接着剤層102、PD構造103、パッシベーション膜105、InP基板106、無反射膜107および貫通ビア108等から成り、真空中で加熱・加圧を行うことでInP基板106のPD構造103が作製された面とSi支持基板101を熱硬化性接着剤層102により貼り合わせる。InP基板106の裏面側から、公知のフォトリソグラフィおよびドライエッチング技術を用いて貫通穴を作製し、貫通ビア108を形成する。InP基板106表面に作製したメタルアライメントマーク111とInP基板106裏面に作製したレジストパタン112との位置ずれ量を赤外顕微鏡によって測定し、フォトリソグラフィ用マスクの位置オフセット量を補正することで位置合わせを行う。
【選択図】図1
Description
図1(a)に本発明の実施形態に係る受光素子の断面図を示し、図1(b)にInP基板106上に形成されたPD構造103と引出配線109、電極パッド110の構成を示す。本実施形態に係る受光素子は、Si支持基板101、熱硬化性接着剤層102、PD構造103、PD構造103の電極部からなる反射ミラー104、パッシベーション膜105、InP基板106、無反射膜107および貫通ビア108等から成る。PD構造103の電極部は反射ミラー104を兼ねており、反射ミラー104が、InP基板106側から入射してPD構造103を透過した光を反射し、その反射光の一部をPD構造103に入射させる構造となっている。
図5(a)に、本発明の実施形態2に係る受光素子の断面図を示し、図5(b)に、InP基板206上に形成されたPD構造203と引出配線209、電極パッド210の構成を示し、図5(c)、(d)に、Si支持基板の接着面とその裏面を示す。通信用のPDの引出配線および電極パッドは高周波線路となっており、その付近に高誘電率を有する材料が存在すると、特性インピーダンスが変化し、高周波特性に影響を与えてしまう可能性がある。
102、202 熱硬化性接着剤
103、203 PD構造
104、204 反射ミラー
105、205 パッシベーション膜
106、206 InP基板
107、207 無反射膜
108、208 貫通ビア
109、209 引出配線
110、210 電極パッド
301 CoC基板
302 AuSn半田バンプ
303 PDチップ
304 反射ミラー
305 InP基板
306 電極パッド
Claims (5)
- フォトダイオード構造ならびに前記フォトダイオード構造に接続された配線および電極が作製された第1の基板であって、前記電極と電気的に接続した貫通ビアが形成されている前記第1の基板と、
前記第1の基板の、前記フォトダイオード構造ならびに前記フォトダイオード構造に接続された配線および電極が作製された面と、接着剤により接合された第2の基板と、
を備えたことを特徴とする受光素子。 - 前記第2の基板は、少なくとも前記電極および前記配線の周辺に凹部が形成され、前記凹部に前記接着剤が充填されていることを特徴とする請求項1に記載の受光素子。
- 第1の基板の第1の面上にフォトダイオード構造ならびに前記フォトダイオード構造に接続された配線および電極を作製するステップと、
前記第1の面に第1のマーカを形成するステップと、
前記第1の面と第2の基板とを接着剤により接合するステップと、
前記第1の面と対向する前記第1の基板の第2の面にレジストを塗布するステップと、
前記レジストに第2のマーカを形成するステップと、
赤外線顕微鏡で前記第1のマーカおよび前記第2のマーカを観測することにより、前記電極と電気的に接続可能な位置に貫通ビアを形成するためのマスクを前記レジスト上に形成するステップと、
前記マスクを用いて前記第1の基板をエッチングし、前記電極と電気的に接続した貫通ビアを形成するステップと、
接合された前記第1の基板および前記第2の基板を、前記フォトダイオード構造毎に切り出してチップ化するステップと、
を有することを特徴とする受光素子の作製方法。 - 前記接合するステップの前に、前記第2の基板に凹部を形成するステップであって、前記第1の基板と接合されたときに少なくとも前記電極および前記配線の周辺となる位置に前記凹部を形成する、ステップをさらに有することを特徴とする請求項3に記載の受光素子の作製方法。
- 前記接合するステップでは、前記凹部に前記接着剤を充填することを特徴とする請求項4に記載の受光素子の作製方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023199403A1 (ja) * | 2022-04-12 | 2023-10-19 | 日本電信電話株式会社 | 受光素子 |
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