JP2017222014A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
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Description
基板処理装置１００は、複数枚の基板（例えば、略円形の半導体基板）９を多段に収納した基板収容部（一般に、マガジンラック、カセット等とも呼ばれる）９０が載置される載置台１と、基板９の回転位置を補正するアライメント部２と、基板９に対して定められた処理を施す処理部３と、これら各部９０，２，３の間で基板９を搬送する搬送ロボット４を備える。載置台１、アライメント部２、および、搬送ロボット４は、ティーチング装置１０に配置され、ティーチング装置１０と処理部３とは、ゲートバルブ２０を介して接続される。基板処理装置１００はさらに、これが備える各部を制御する制御部１０１を備える。
上記に例示した各治具６，７，８において、ガイドポイント６３，７３，８３は、ガイドポール部６２，７２，８２の延在途中に形成されたけがき線により構成されていたが、ガイドポイントの構成例はそれに限らない。例えば、ガイドポール部６２，７２，８２の上端位置が、ガイドポイントを構成してもよい。
１ 載置台
２ アライメント部
２１ 保持部
３ 処理部
３２ 載置部
３２１ リフトピン
４ 搬送ロボット
４１ 搬送アーム
４１１ ハンド
５ ハンド側治具
５３ 特徴形状部分
６ 載置台用治具
７ アライメント部用治具
８ 処理部用治具
６１，７１，８１ ベース部
６２，７２，８２ ガイドポール
６３，７３，８３ ガイドポイント
１０ ティーチング装置
１００ 基板処理装置
１０１ 制御部
２ アライメント部
２１ 保持部
３ 処理部
３２ 載置部
３２１ リフトピン
４ 搬送ロボット
４１ 搬送アーム
４１１ ハンド
５ ハンド側治具
５３ 特徴形状部分
６ 載置台用治具
７ アライメント部用治具
８ 処理部用治具
６１，７１，８１ ベース部
６２，７２，８２ ガイドポール
６３，７３，８３ ガイドポイント
１０ ティーチング装置
１００ 基板処理装置
１０１ 制御部
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016120502A JP2017222014A (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | ティーチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016120502A JP2017222014A (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | ティーチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017222014A JP2017222014A (ja) | 2017-12-21 |
| JP2017222014A5 true JP2017222014A5 (ja) | 2019-04-11 |
Family
ID=60685884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016120502A Pending JP2017222014A (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | ティーチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2017222014A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114550513B (zh) * | 2022-03-04 | 2024-04-26 | 青皮科技(广州)有限公司 | 一种教育教学通用展示装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10156774A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-06-16 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板移載機のティーチング方法 |
| JPH11254359A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 部材搬送システム |
| JP4601130B2 (ja) * | 2000-06-29 | 2010-12-22 | 日本エー・エス・エム株式会社 | ウエハーハンドリングロボットのティーチング装置および方法 |
| JP4064361B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2008-03-19 | 川崎重工業株式会社 | 搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法 |
| SG177389A1 (en) * | 2009-06-30 | 2012-02-28 | Ulvac Inc | Teaching apparatus of robot and teaching method of robot |
| JP6148025B2 (ja) * | 2013-02-04 | 2017-06-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置 |
-
2016
- 2016-06-17 JP JP2016120502A patent/JP2017222014A/ja active Pending
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