JP2017212406A - 静電吸着用部材 - Google Patents
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Abstract
Description
して電源(図示しない)の正極に接続され、他方が給電端子5bを介して電源の負極に接続される。例えば、電源の正極に接続される側の電極が内部電極3a(以下、内部電極3
aを正電極3aという。)であり、負極に接続される側の電極を内部電極3b(以下、内部電極3bを負電極3bという。)である。また、これとは逆に、内部電極3aが負極に接
続され、内部電極3bが正極に接続されていてもよい。
極層3Bが位置し、第1電極層3Aは第2構造体2に接合していることが好適である。このような構成であると、第1電極層3Aを形成するチタンは活性が高く、第2構造体2を形成するセラミックスに対して良好な濡れ性を示すことから、第2電極層3Bは、第2構造体2に対する密着強度が高い。
することによって得ることができる。
1a 吸着面
2 第2構造体
2a 凹部
2b 内部領域
3 内部電極
3A 第1電極層
3B 第2電極層
4 導電層
4a ねじ山部
4A 第1層
4B 第2層
5a、5b 給電端子
6 接合層
7 導電性線材
8 接合剤
Claims (8)
- セラミックスからなり、対象物が吸着される吸着面および該吸着面以外の面に開口した凹部を有する基体と、
該基体における前記吸着面と前記凹部との間に位置する内部電極と、
前記凹部内から前記内部電極につながる導電層とを備える静電吸着用部材であって、
前記凹部と前記内部電極との間に中空領域を有することを特徴とする静電吸着用部材。 - 前記凹部における導電層が、ねじ山部を有することを特徴とする請求項1に記載の静電吸着用部材。
- 前記凹部における導電層に当接する螺旋状の導電性線材を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の静電吸着用部材。
- 前記導電性線材が、接合剤を介して前記凹部における導電層に固定されていることを特徴とする求項3に記載の静電吸着用部材。
- 前記導電層は、チタンを主成分とする第1層と、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタンを主成分とする第2層とを有し、前記第1層上に前記第2層が位置し、前記第1層はセラミックスからなる前記基体に接合されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の静電吸着用部材。
- 前記吸着面の算術平均粗さRaは0.85μm以下(但し、0μmを除く。)であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の静電吸着用部材。
- 前記基体が、前記吸着面を有する第1構造体と、前記凹部が位置する第2構造体からなり、前記第1構造体が前記第2構造体よりも絶縁破壊強さが大きい請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の静電吸着用部材。
- 前記基体が、前記吸着面を有する第1構造体と、前記凹部が位置する第2構造体からなり、前記第1構造体における前記吸着面を含む表層部の少なくとも一部が導電性または半導電性を有する請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の静電吸着用部材。
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