JP2017207408A - 半導体センサ - Google Patents
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Abstract
Description
基部と、
少なくとも1つの貫通孔が形成され一方の面が基部に固定された半導体基板と、
半導体基板の他方の面に形成され貫通孔の少なくとも一部を覆うとともにセンサが形成された薄膜部と、
基部に固定され薄膜部と間隔を空けて貫通孔内に収納された支持体とを含むことを特徴とするものである。
本発明の半導体センサは、基部と、少なくとも1つの貫通孔が形成され一方の面が基部に固定された半導体基板と、半導体基板の他方の面に形成され貫通孔の少なくとも一部を覆うとともにセンサが形成された薄膜部と、基部に固定され薄膜部と間隔を空けて貫通孔内に収納された支持体とを含むことを特徴とするものである(図1参照)。
次に、本発明の第二実施形態について説明するが、第一実施形態と共通する点については、詳細な説明を省略する。
10 :基部
11 :半導体基板
111:貫通孔
112:おもり部
12 :薄膜部
12a:梁部
12e:端部
121:ヒータ
122:検出電極
123:感ガス材
124:ピエゾ抵抗部
125:配線電極
126:第1電極
127:第3電極
13 :支持体
131:第2電極
14 :蓋部材
141:第2支持体
142:第4電極
2 :パッド電極
3 :ボンディングワイヤ
9 :実装基板
Claims (7)
- 基部と、
少なくとも1つの貫通孔が形成され一方の面が前記基部に固定された半導体基板と、
前記半導体基板の他方の面に形成され前記貫通孔の少なくとも一部を覆うとともにセンサが形成された薄膜部と、
前記基部に固定され前記薄膜部と間隔を空けて前記貫通孔内に収納された支持体と
を含むことを特徴とする半導体センサ。 - 前記支持体が筒形状である請求項1に記載の半導体センサ。
- 少なくとも2つの前記支持体が、それぞれ前記薄膜部の端部側に配置されているものである請求項1に記載の半導体センサ。
- 前記薄膜部が前記薄膜部の前記支持体と対向する面に形成された第1電極を有し、前記支持体が前記第1電極に対向した第2電極を有しているものである請求項1〜3に記載の半導体センサ。
- 前記薄膜部の少なくとも上方を覆う蓋部材をさらに有しているものである請求項1〜3に記載の半導体センサ。
- 前記蓋部材が、前記蓋部材の前記薄膜部の天面に対向する位置に前記薄膜部と間隔を空けて形成された第2支持体を有しているものである請求項5に記載の半導体センサ。
- 前記薄膜部が前記薄膜部の前記支持体と対向する面に形成された第1電極と前記薄膜部の天面に形成された第3電極を有し、前記支持体が前記第1電極に対向した第2電極を有し、前記蓋部材または前記第2支持体が前記第3電極に対向した第4電極を有しているものである請求項5または6に記載の半導体センサ。
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