JP2009210324A - 加速度スイッチ - Google Patents
加速度スイッチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009210324A JP2009210324A JP2008052010A JP2008052010A JP2009210324A JP 2009210324 A JP2009210324 A JP 2009210324A JP 2008052010 A JP2008052010 A JP 2008052010A JP 2008052010 A JP2008052010 A JP 2008052010A JP 2009210324 A JP2009210324 A JP 2009210324A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable electrode
- acceleration switch
- acceleration
- weight portion
- flexible film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Abstract
【課題】耐衝撃性に優れた加速度スイッチを提供する。
【解決手段】加速度スイッチ20は、錘部1と、枠部2と、枠部2の開口部の内側に錘部1を連結し、枠部2を懸架する可撓膜3aと、を備える。錘部1と、枠部2の開口部は平面視が略円形状に形成され、可撓膜3aは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結する。錘部1の上面には上部可動電極5が形成され、上部可動電極5と反対の面には下部可動電極8aが形成される。上部可動電極5と下部可動電極8aとは導通している。さらに加速度スイッチ20は、錘部1の上方の、上部可動電極5と対向する位置に、導電性の材料から成る上蓋7aを有している。また加速度スイッチ20は、錘部1の下方に基板10を備え、その基板10上面には前述の下部可動電極8aと対向する位置に下部固定電極9を設けている。
【選択図】図1
【解決手段】加速度スイッチ20は、錘部1と、枠部2と、枠部2の開口部の内側に錘部1を連結し、枠部2を懸架する可撓膜3aと、を備える。錘部1と、枠部2の開口部は平面視が略円形状に形成され、可撓膜3aは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結する。錘部1の上面には上部可動電極5が形成され、上部可動電極5と反対の面には下部可動電極8aが形成される。上部可動電極5と下部可動電極8aとは導通している。さらに加速度スイッチ20は、錘部1の上方の、上部可動電極5と対向する位置に、導電性の材料から成る上蓋7aを有している。また加速度スイッチ20は、錘部1の下方に基板10を備え、その基板10上面には前述の下部可動電極8aと対向する位置に下部固定電極9を設けている。
【選択図】図1
Description
本発明は、平常状態では接点が開であり、加速度が加わった場合に接点が閉となる加速度スイッチの構造に関する。
近年、小型携帯機器やセンサーネットワークなどの技術革新に伴って、電子機器の待機状態での低消費電力化に対する需要が高まっている。携帯機器においては、使用時と待機時の判別は、機器自体の動き(振動)を検知することにより行うことができる。
この機器自体の動きを検知するセンサーとして、平常状態では接点が開であり、加速度が加わった場合に接点が閉となる加速度スイッチが有効とされており、その構造に関する多くの提案を見るものである(例えば、特許文献1参照)。
この機器自体の動きを検知するセンサーとして、平常状態では接点が開であり、加速度が加わった場合に接点が閉となる加速度スイッチが有効とされており、その構造に関する多くの提案を見るものである(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に示した従来技術の構成と機能について図面を用いて説明する。図7は特許文献1に示した従来技術を説明しやすいようにその趣旨を逸脱しない範囲で書き直した平面図である。
図7において、101は枠部、102は第1開口部、103は可動電極、104は第2開口部、105は梁部、106は固定電極、110は加速度スイッチである。
図7において、101は枠部、102は第1開口部、103は可動電極、104は第2開口部、105は梁部、106は固定電極、110は加速度スイッチである。
従来技術の加速度スイッチ110は、枠部101と適当な質量を持たせた可動電極103とを有している。枠部101には略円形の第1開口部102を設けており、肉薄で可撓性の梁部105を介して可動電極106を懸架している。図7において、上下方向をY軸、左右方向をX軸と定義したときに、梁部105はXY平面上で曲線を成すように構成する。このように構成すれば、可動電極103はX,Yいずれの水平方向からの加速度を受けた場合でも第1開口部102内で可動するようになる。
また、前述の枠部101と梁部105と可動電極103とは電気的に接続されている。さらに枠部101は外部回路と電気的に接続している。
そのうえ、可動電極103のほぼ中央には第2開口部104を設けて、その内側に固定電極106を配している。固定電極106は枠部101に機械的に固定されるが、枠部101とは電気的に絶縁するように構成する。さらに固定電極106は外部回路と電気的に接続している。
上述のように構成される従来技術の加速度スイッチ110は、いずれの水平方向から加速度を受けた場合でも、固定電極106と可動電極103とが接して外部回路を短絡させるスイッチとして機能することとなる。
そのうえ、可動電極103のほぼ中央には第2開口部104を設けて、その内側に固定電極106を配している。固定電極106は枠部101に機械的に固定されるが、枠部101とは電気的に絶縁するように構成する。さらに固定電極106は外部回路と電気的に接続している。
上述のように構成される従来技術の加速度スイッチ110は、いずれの水平方向から加速度を受けた場合でも、固定電極106と可動電極103とが接して外部回路を短絡させるスイッチとして機能することとなる。
しかし、特許文献1に示した従来技術は、以下のような問題がある。特許文献1に示した加速度スイッチ110は、可動電極103を肉薄で有効長の長い梁部105で支える構造を有している。このため、加速度スイッチ110を搭載する携帯機器が落下衝撃を受けた際に、梁部105が容易に破損することとなり、携帯機器への応用を困難にしていた。また、製造工程においても搬送中に梁部105を破損する不良が発生し、歩留まりを低下させていた。
そこで本発明の目的は、上記の課題を解決し、耐衝撃性に優れた加速度スイッチを提供
することである。
することである。
上記課題を解決するために、本発明の加速度スイッチは、下記記載の構成を採用するものである。
本発明の加速度スイッチは、錘部と、枠部と、錘部を枠部の内側に連結し、該錘部を懸架する可撓膜と、錘部の一方の面に設けられた第1の可動電極と、第1の可動電極と向かい合う位置に設けられた第1の固定電極と、を備え、枠部に対する錘部の変位に応じて可撓膜が撓み、第1の可動電極と第1の固定電極とが接触することを特徴とするものである。
また、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、錘部の、各第1の可動電極の反対側の面に設けられた第2の可動電極と、第2の可動電極と向かい合う位置に設けられた第2の固定電極と、を備え、第1の可動電極と第2の可動電極とは、錘部の内部で導通し、枠部に対する錘部の変位に応じて可撓膜が撓み、第2の可動電極と第2の固定電極とが接触することを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、錘部の重心は、該錘部と可撓膜との接合部を含む平面上から、離れて位置することを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、可撓膜に、枠部に対する錘部の変位に応じて動く屈曲部が形成されたことを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、錘部と可撓膜との接合部、及び枠部と可撓膜との接合部が、それぞれ略円形状に形成され、錘部は、枠部の内側の略中心で懸架されたことを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、可動電極は、略円形状に形成されたことを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、可撓膜に、貫通孔が形成されたことを特徴とするものである。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前述した構成に加え、可撓膜上に、可動電極と外部端子とを接続する配線が設けられたことを特徴とするものである。
本発明の加速度スイッチは、加速度が加えられると、可撓膜が撓み枠部に対して錘部が変位し、可動電極と固定電極とが接触する。これにより、平常状態では接点が開であり、加速度が加わった場合に接点が閉となる加速度スイッチとして作用する。
また本発明の加速度スイッチは、可撓膜により錘部を懸架する構成のため、耐衝撃性に優れる。よって、本発明の加速度スイッチを搭載する携帯機器の落下等の衝撃による破損を抑えることが可能となる。
また本発明の加速度スイッチは、可撓膜により錘部を懸架する構成のため、耐衝撃性に優れる。よって、本発明の加速度スイッチを搭載する携帯機器の落下等の衝撃による破損を抑えることが可能となる。
以下、図面を参照しながら本発明の加速度スイッチの最適な実施の形態について詳細に説明する。
[第1の実施形態の構成の説明:図1]
まず、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチの構成について図1を用いて説明する。
まず、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチの構成について図1を用いて説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20の構造の説明図である。図1(A)は加速度スイッチ20の平面図である。図1(A)においては、形状を明らかにするために後述する上蓋7aは図示していない。図1(B)は、図1(A)のa−a’断面図である。
図1に示すように、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1と、開口部が設けられた枠部2と、枠部2の開口部の内側に錘部1を連結し、枠部2を懸架する可撓膜3aと、を備える。図1(A)に示すように、錘部1と、枠部2の開口部は平面視が略円形状に形成される。よって、可撓膜3aは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結する。
また図1(B)に示すように、錘部1の重心が、錘部1と可撓膜3aとの接合部を含む平面上から離れて位置するように、可撓膜3aは例えば錘部1の上端部に接合する。図1(B)に示す例とは別に、可撓膜3aが例えば錘部1の下端部に接合しても良い。
また図1(B)に示すように、錘部1の重心が、錘部1と可撓膜3aとの接合部を含む平面上から離れて位置するように、可撓膜3aは例えば錘部1の上端部に接合する。図1(B)に示す例とは別に、可撓膜3aが例えば錘部1の下端部に接合しても良い。
可撓膜3aは、図1(B)の符号bに示すように、その有効面積を広くして可撓性を増すための屈曲部(コルゲート形状)を備えている。この可撓膜3aの屈曲部は、図1(A)に示すように、枠部2の開口部に沿って平面視が略円形状に形成される。
可撓膜3aの材料としては、例えばポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタン樹脂、等の絶縁性の樹脂材料が挙げられる。望ましくは常温でゴム状弾性を呈するシリコン樹脂、ポリウレタン樹脂等である。
可撓膜3aの材料としては、例えばポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタン樹脂、等の絶縁性の樹脂材料が挙げられる。望ましくは常温でゴム状弾性を呈するシリコン樹脂、ポリウレタン樹脂等である。
錘部1の上面には、平面視が略リング状の上部可動電極5が形成される。錘部1の上部可動電極5と反対の面には、同様に平面視が略リング状の下部可動電極8aが形成される。上部可動電極5と下部可動電極8aとは導通している。例えば、錘部1が導電性材料により構成されて、上部可動電極5と下部可動電極8aとは導通する。錘部1を形成する導電材料としては、例えば、電子部品に広く用いられる金属類のなかで比較的比重の大きいAu,Ni,CuやPb/Sn,Sn/Ag,Cu/Agなどのハンダ合金類が挙げられる。
これとは別に、錘部1を構成するシリコン材にスルーホールが形成され、このスルーホールに充填された導電性材料により上部可動電極5と下部可動電極8aとが導通する構成としても良い。
上部可動電極5および下部可動電極8aは、それぞれ第1の可動電極および第2の可動電極の一例である。
これとは別に、錘部1を構成するシリコン材にスルーホールが形成され、このスルーホールに充填された導電性材料により上部可動電極5と下部可動電極8aとが導通する構成としても良い。
上部可動電極5および下部可動電極8aは、それぞれ第1の可動電極および第2の可動電極の一例である。
さらに、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1の上方の、上部可動電極5と対向する位置に、導電性の材料から成る上蓋7aを有している。
加速度スイッチに加速度が加えられていない状態(平常時)においては、上部可動電極5は上蓋7aと離間している。また、上蓋7aの上面には、外部回路と接続するための外部端子12aを設けている。さらに、上蓋7aは端部において枠部2に固着する。
加速度スイッチに加速度が加えられていない状態(平常時)においては、上部可動電極5は上蓋7aと離間している。また、上蓋7aの上面には、外部回路と接続するための外部端子12aを設けている。さらに、上蓋7aは端部において枠部2に固着する。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1の下方に基板10を備え、その基板10上面には前述の下部可動電極8aと対向する位置に下部固定電極9を設けている。加速度スイッチに加速度が加えられていない状態(平常時)においては、下部可動電極8aは下部固定電極9と離間している。
基板10上面の下部固定電極9は、下部可動電極8aと対向する一部分に設けても良く、または基板10の全面に設けても良い。さらに、下部固定電極9は、その一端が枠部2から露出するように構成され、この枠部2より露出した箇所に、外部回路と接続するため
の外部端子13を備えている。また、枠部2と基板10とは、枠部2の端部において固着する。
導電性の材料から成る上蓋7aおよび下部固定電極9は、それぞれ第1の固定電極および第2の固定電極の一例である。
基板10上面の下部固定電極9は、下部可動電極8aと対向する一部分に設けても良く、または基板10の全面に設けても良い。さらに、下部固定電極9は、その一端が枠部2から露出するように構成され、この枠部2より露出した箇所に、外部回路と接続するため
の外部端子13を備えている。また、枠部2と基板10とは、枠部2の端部において固着する。
導電性の材料から成る上蓋7aおよび下部固定電極9は、それぞれ第1の固定電極および第2の固定電極の一例である。
本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20において、前述の枠部2の材料としては、例えば、シリコン単結晶、ガラス等の無機材料やCu、Ni、Al等の金属材料、さらにエポキシ、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリアミド等の樹脂材料を用いることができる。望ましい材料としてはシリコン単結晶が挙げられる。シリコン単結晶ウエハーを素材として用いると、異方性ドライエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)等の知られた加工技術を用いて微細な枠部2を形成することが可能となる。
また、基板10の材料としては例えば、半導体装置の分野で広く用いられている樹脂基板、金属基板の他、Si単結晶板、ガラス板等を用いることができる。
また、基板10の材料としては例えば、半導体装置の分野で広く用いられている樹脂基板、金属基板の他、Si単結晶板、ガラス板等を用いることができる。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20が具備する上部可動電極5と上蓋7aと下部可動電極8aと下部固定電極9の各電極部は、電子部品で広く用いられ電気的特性に優れた金属材料、例えばAu,Ni,Cu,AlやPb/Sn,Sn/Ag,Cu/Agなどのハンダ合金類で形成することができる。さらに望ましい構成は、電子部品に広く用いられる金属類のなかで接触抵抗が小さく、表面が酸化するなどの変化を起こさないAuを、上部可動電極5と上蓋7aと下部可動電極8aと下部固定電極9の各電極部の各接触面に使用することである。
[第1の実施形態の動作の説明:図2]
次に、本発明の第1の実施形態の加速度スイッチ20の動作について図2を用いて説明する。
次に、本発明の第1の実施形態の加速度スイッチ20の動作について図2を用いて説明する。
図2(A),(B)は本発明の第1の実施形態の加速度スイッチ20の動作を説明するための構造断面図である。図2(A),(B)において、太線の矢印は加速度スイッチ20にかかる加速度の方向を示している。
図2(A)に示すように、図の左方向の加速度が加速度スイッチ20に加わった場合は、可撓膜3aが撓んで錘部1は左回りの回転運動を呈する。このため、図の錘部1右端は上方に、一方錘部1左端は下方に変位し、錘部1右上端の上部可動電極5と、これに対向する上蓋7aとが接触する。この際同時に、錘部1左下端の下部可動電極8aと下部固定電極9とが接触する。
一方、図2(B)に示すように、図の右方向の加速度が加速度スイッチ20に加わった場合は、可撓膜3aが撓んで錘部1は右回りの回転運動を呈する。このため、図の錘部1左端は上方に、一方錘部1右端は下方に変位し、錘部1左端の上部可動電極5と、これに対向する上蓋7aとが接触する。この際同時に、錘部1右下端の下部可動電極8aと下部固定電極9とが接触する。
このように、加速度スイッチ20に加速度が加えられると、錘部1が変位(回転運動)し、上部可動電極5と上蓋7aとが接触するともに、下部可動電極8aと下部固定電極9とが接触する。これにより、錘部1を介して外部端子12aと外部端子13とが導通する。
この外部端子12aと外部端子13との導通を外部回路により検出することにより、加速度スイッチ20に加速度が加わったことを検知することができる。
この外部端子12aと外部端子13との導通を外部回路により検出することにより、加速度スイッチ20に加速度が加わったことを検知することができる。
また図示しないが、可撓膜3aに貫通孔を形成しても良い。可撓膜3aに貫通孔を形成することにより、可撓膜3aの上下の空気が貫通孔を通じて移動でき、加速度スイッチ20に加速度が加わった際に、錘部1が変位しやすく、加速度を精度良く検出することが可能となる。
本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1と、枠部2の開口部は平面視が略円形状に形成され、可撓膜3aは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結する。このため、加速度スイッチ20の水平方向のいずれの方向からの加速度に対しても、錘部1が等方的に変位する。よって、加速度スイッチ20の水平方向のいずれの方向からの加速度も、均等に検出することができる。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、上部可動電極5と下部可動電極8aが、錘部1に、平面視が略リング状となるように形成される。これにより、加速度スイッチ20の水平方向のいずれの方向からの加速度も、均等に検出することができる。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1を懸架する可撓膜3aは、枠部2の開口部に沿って平面視が略円形状に形成された屈曲部を備える。さらに、錘部1の重心が、錘部1と可撓膜3aの接合部を含む平面上から離れて位置する。これにより、加速度スイッチ20に加速度が加わった際に、錘部1が変位しやすく、加速度を精度良く検出することが可能となる。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、可撓膜3aを用いて錘部1を懸架する。このため、衝撃により破損しやすい梁により錘部を懸架する従来の加速度スイッチと比較して、耐衝撃性に優れる。
よって、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、製造工程における搬送中などの衝撃による破損不良の発生を抑え、歩留まりを向上させることが可能となる。また、加速度スイッチ20を搭載する携帯機器が落下衝撃を受けた際の破損の発生を抑えることが可能となる。
よって、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、製造工程における搬送中などの衝撃による破損不良の発生を抑え、歩留まりを向上させることが可能となる。また、加速度スイッチ20を搭載する携帯機器が落下衝撃を受けた際の破損の発生を抑えることが可能となる。
また、本発明の第1の実施形態における加速度スイッチ20は、錘部1の内部で互いに導通した上部可動電極5及び下部可動電極8aと、外部の固定電極との接触により、加速度の印加を検出する構成であり、錘部1を懸架する可撓膜3aに配線、導電膜等を設ける必要が無い。よって、可撓膜3aを、所望の応力特性で全ての方向に等しく形成することが可能となる。
[第2の実施形態の構成の説明:図3]
次に、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチの構成について図3を用いて説明する。以下の説明において、すでに説明した同一の構成には同一の符号を付与しており、その詳細な説明は省略する
次に、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチの構成について図3を用いて説明する。以下の説明において、すでに説明した同一の構成には同一の符号を付与しており、その詳細な説明は省略する
図3は、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21の構造の説明図である。図3(A)は加速度スイッチ21の平面図である。図3(A)においては、形状を明らかにするために後述する上蓋7b及び導電膜4は図示していない。図3(B)は、図3(A)のc−c’断面図である。
図3に示すように、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、錘部1と、開口部が設けられた枠部2と、枠部2の開口部の内側に錘部1を連結し、枠部2を懸架する可撓膜3bと、を備える。図3(A)に示すように、錘部1と、枠部2の開口部は平面視が略円形状に形成され、可撓膜3bは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結す
る。また、可撓膜3bは、錘部1の上端部に接合する。
可撓膜3bの材料としては、例えばポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタン樹脂、等の絶縁性の樹脂材料が挙げられる。望ましくは常温でゴム状弾性を呈するシリコン樹脂、ポリウレタン樹脂等である。
る。また、可撓膜3bは、錘部1の上端部に接合する。
可撓膜3bの材料としては、例えばポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタン樹脂、等の絶縁性の樹脂材料が挙げられる。望ましくは常温でゴム状弾性を呈するシリコン樹脂、ポリウレタン樹脂等である。
錘部1と枠部2と可撓部3bの上面には、導電膜4が形成される。導電膜4の一端には、外部回路と接続するための外部端子14が形成される。
錘部1の上面には、平面視が略リング状の上部可動電極5が形成され、錘部1の上部可動電極5と反対の面には、下部可動電極8bが形成される。ここで、上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4は互いに導通している。例えば、錘部1が前述した導電性材料により構成されて、上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4が導通する。または、錘部1を構成するシリコン材にスルーホールが形成され、このスルーホールに充填された導電性材料により上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4が導通する構成としても良い。
上部可動電極5および下部可動電極8aは、第1の可動電極および第2の可動電極の一例である。
錘部1の上面には、平面視が略リング状の上部可動電極5が形成され、錘部1の上部可動電極5と反対の面には、下部可動電極8bが形成される。ここで、上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4は互いに導通している。例えば、錘部1が前述した導電性材料により構成されて、上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4が導通する。または、錘部1を構成するシリコン材にスルーホールが形成され、このスルーホールに充填された導電性材料により上部可動電極5、下部可動電極8b及び導電膜4が導通する構成としても良い。
上部可動電極5および下部可動電極8aは、第1の可動電極および第2の可動電極の一例である。
導電膜4は、可撓膜3bと枠部2の全面に形成しても良く、または、上部可動電極5及び下部可動電極8bと、外部端子14とを繋ぐパターン状に形成しても良い。また、望ましくは前述の可撓膜3bの可撓性を阻害しない程度に数μm程度の厚みで形成する。
導電膜4の材料としては、電子部品で広く用いられ電気的特性に優れた金属材料、例えばAu,Ni,Cu,Al等を用いることができる。
導電膜4の材料としては、電子部品で広く用いられ電気的特性に優れた金属材料、例えばAu,Ni,Cu,Al等を用いることができる。
さらに、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、錘部1の上方に上蓋7bを有している。上蓋7bは、上部可動電極5bと向かい合う面に凹部が形成され、この凹部に上部固定電極6が形成される。上蓋7bの上面には、外部端子12bが形成され、外部端子12bと上部固定電極6とは、例えば、スルーホール11に充填された導電性材料を介して電気的に接合している。
上蓋7bは端部において枠部2に固着する。加速度スイッチ21に加速度が加えられていない状態(平常時)においては、上部可動電極5は上部固定電極6と離間している。
上蓋7bは端部において枠部2に固着する。加速度スイッチ21に加速度が加えられていない状態(平常時)においては、上部可動電極5は上部固定電極6と離間している。
また、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、第1の実施の形態と同様に、錘部1の下方に下部固定電極9が設けられた基板10を備える。加速度スイッチに加速度が加えられていない状態(平常時)においては、下部可動電極8bは下部固定電極9と離間している。下部固定電極9は、その一端が枠部2から露出するように構成され、この枠部2より露出した箇所に、外部回路と接続するための外部端子13を備えている。
上部固定電極6および下部固定電極9は、それぞれ第1の固定電極および第2の固定電極の一例である。
上部固定電極6および下部固定電極9は、それぞれ第1の固定電極および第2の固定電極の一例である。
本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の枠部2及び基板10は、それぞれ、前述の第1の実施形態と同様の材料により形成される。また、上部可動電極5、上部固定電極6、下部可動電極8b及び下部固定電極9は、前述の第1の実施形態と同様の金属材料により形成される。
本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の、上蓋7bは、例えば、シリコン単結晶、ガラス等の無機材料やCu、Ni、Al等の金属材料、さらにエポキシ、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリアミド等の樹脂材料を用いて形成される。
本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の、上蓋7bは、例えば、シリコン単結晶、ガラス等の無機材料やCu、Ni、Al等の金属材料、さらにエポキシ、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリアミド等の樹脂材料を用いて形成される。
[第2の実施形態の動作の説明:図4、図5]
次に、本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の動作について図4、図5を用いて説明する。
次に、本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の動作について図4、図5を用いて説明する。
図4及び図5は本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21の動作を説明するための構造断面図である。図4及び図5において、太線の矢印は加速度スイッチ21にかかる加速度の方向を示している。
図4(A)に示すように、図の左方向の加速度が加速度スイッチ21に加わった場合は、可撓膜3bが撓んで錘部1は左回りの回転運動を呈する。このため、枠部2に対して、図の錘部1右端は上方に、一方錘部1左端は下方に変位し、錘部1右上端の上部可動電極5と、これに対向する上部固定電極6とが接触する。
一方、図4(B)に示すように、図の右方向の加速度が加速度スイッチ21に加わった場合は、可撓膜3bが撓んで錘部1は右回りの回転運動を呈する。このため、枠部2に対して、図の錘部1左端は上方に、一方錘部1右端は下方に変位し、錘部1左端の上部可動電極5と、これに対向する上部固定電極6とが接触する。
また、図5(A)に示すように、図の下方向への加速度が加速度スイッチ21に加わった場合は、錘部1は枠部2に対して上方に変位し、上部可動電極5と上部固定電極6とが接触する。
図4(A)、(B)及び図5(A)に示す方向に加速度スイッチ21に加速度が加えられると、枠部2に対して錘部1が変位し、上部可動電極5と上部固定電極6とが接触する。これにより、導電膜4等を介して外部端子12bと外部端子14とが導通する。この外部端子12bと外部端子14との導通を外部回路により検出することにより、加速度スイッチ21に加速度が加わったことを検知することができる。
また、図5(B)に示すように、図の上方向への加速度が加速度スイッチ21に加わった場合は、錘部1は枠部2に対して下方に変位し、下部可動電極8bと下部固定電極9とが接触する。これにより、錘部1及び導電膜4等を介して外部端子13と外部端子14とが導通する。この外部端子13と外部端子14との導通を外部回路により検出することにより、加速度スイッチ21に加速度が加わったことを検知することができる。
このように、本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21によれば、加速度スイッチ21に対する水平方向の加速度のみならず、垂直方向の加速度も検出することが可能となる。
また、本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21において、下部可動電極8bを備えず、錘部1に上部可動電極5のみを備える構成としてよい。下部可動電極8bを備えなくても、図4(A)、(B)及び図5(A)に示すように、加速度スイッチ21の水平方向および下方向への加速度を検出することが可能である。
また図示しないが、可撓膜3bに貫通孔を形成しても良い。可撓膜3bに貫通孔を形成することにより、可撓膜3bの上下の空気が貫通孔を通じて移動でき、加速度スイッチ20に加速度が加わった際に、錘部1が変位しやすく、加速度を精度良く検出することが可能となる。
本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、第1の実施形態と同様に、可撓膜3bは略円形状の接合部で錘部1と枠部2とを連結する。このため、加速度スイッチ21の水平方向のいずれの方向からの加速度も、均等に検出することができる。
また、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、上部可動電極5と平面視が略リング状となるように形成される。これにより、加速度スイッチ21の水平方向の
いずれの方向からの加速度も、均等に検出することができる。
また、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、上部可動電極5と平面視が略リング状となるように形成される。これにより、加速度スイッチ21の水平方向の
いずれの方向からの加速度も、均等に検出することができる。
また、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、錘部1の重心が、錘部1と可撓膜3bの接合部を含む平面上から離れて位置する。これにより、加速度スイッチ20に加速度が加わった際に、錘部1が変位しやすく、加速度を精度良く検出することが可能となる。
また、本発明の第2の実施形態における加速度スイッチ21は、可撓膜3bを用いて錘部1を懸架する。このため、第1の実施形態と同様に、衝撃により破損しやすい梁により錘部を懸架する従来の加速度スイッチと比較して、耐衝撃性に優れる。
また、上述した第1の実施形態の加速度スイッチ20において、屈曲部を有する可撓膜3aではなく、可撓膜3bを備えるとしても良い。同様に、上述した第2の実施形態の加速度スイッチ21において、可撓膜3bではなく、屈曲部を有する可撓膜3aを備えるとしても良い。
[本発明の加速度スイッチを用いた電子装置の説明:図6]
[本発明の加速度スイッチを用いた電子装置の説明:図6]
次に、本発明の実施形態の加速度スイッチを用いた電子装置について説明する。
図6(A)は、本発明の第1の実施形態の加速度スイッチ20を用いた電子装置22の例を示す回路図である。図6(A)に示すように、第1の実施形態の加速度スイッチ20の端子12a、13に、電源15及び半導体集積回路16が接続されて電子装置22が構成される。
図6(A)は、本発明の第1の実施形態の加速度スイッチ20を用いた電子装置22の例を示す回路図である。図6(A)に示すように、第1の実施形態の加速度スイッチ20の端子12a、13に、電源15及び半導体集積回路16が接続されて電子装置22が構成される。
このような構成を備えることにより、電子装置22に加速度が加えられた場合のみ加速度スイッチ20の端子12aと端子13とが導通して、半導体集積回路16に電源を供給して動作させることができ、消費電力の少ない電子装置22を構成することが可能になる。
図6(B)は、本発明の第2の実施形態の加速度スイッチ21を用いた電子装置23の例を示す回路図である。図6(B)に示すように、第2の実施形態の加速度スイッチ21の端子12b、13、14に、電源15及び半導体集積回路16が接続されて電子装置23が構成される。
このような構成を備えることにより、電子装置22に加速度が加えられた場合のみ加速度スイッチ20の端子12bと端子13、又は端子12bと端子13とが導通して、半導体集積回路16に電源を供給して動作させることができ、消費電力の少ない電子装置23を構成することが可能になる。
以上のように、本発明の実施形態の加速度スイッチを用いた電子装置においては、平常時は半導体集積回路16を動作させず、電子装置に加速度が加わった場合のみ動作させることが可能になり、消費電力の少ない電子装置を構成することが可能になる。さらに、本発明の実施形態の加速度スイッチを用いることにより、落下衝撃に強い電子装置を構成することが可能となる。
本発明の加速度スイッチは小型化が容易で衝撃にも強い構成を備える。このため、小型化、耐衝撃、低消費電力などの性能が求められる小型の携帯型電子機器に好適である。
1 錘部
2 枠部
3a,3b 可撓膜
4 導電膜
5 上部可動電極
6 上部固定電極
7a,7b 上蓋
8a,8b 下部可動電極
9 下部固定電極
10 基板
11 スルーホール
12a,12b,13,14 外部端子
15 電源
16 半導体集積回路
20,21 加速度スイッチ
22,23 電子装置
2 枠部
3a,3b 可撓膜
4 導電膜
5 上部可動電極
6 上部固定電極
7a,7b 上蓋
8a,8b 下部可動電極
9 下部固定電極
10 基板
11 スルーホール
12a,12b,13,14 外部端子
15 電源
16 半導体集積回路
20,21 加速度スイッチ
22,23 電子装置
Claims (8)
- 錘部と、
枠部と、
前記錘部を前記枠部の内側に連結し、該錘部を懸架する可撓膜と、
前記錘部の一方の面に設けられた第1の可動電極と、
前記第1の可動電極と向かい合う位置に設けられた第1の固定電極と、を備え、
前記枠部に対する前記錘部の変位に応じて前記可撓膜が撓み、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極とが接触する
ことを特徴とする加速度スイッチ。 - 前記錘部の、前記各第1の可動電極の反対側の面に設けられた第2の可動電極と、
前記第2の可動電極と向かい合う位置に設けられた第2の固定電極と、を備え、
前記第1の可動電極と前記第2の可動電極とは、前記錘部の内部で導通し、
前記枠部に対する前記錘部の変位に応じて前記可撓膜が撓み、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極とが接触する
ことを特徴とする請求項1に記載の加速度スイッチ。 - 前記錘部の重心は、該錘部と前記可撓膜との接合部を含む平面上から、離れて位置する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の加速度スイッチ。 - 前記可撓膜に、前記枠部に対する前記錘部の変位に応じて動く屈曲部が形成された
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の加速度スイッチ。 - 前記錘部と前記可撓膜との接合部、及び前記枠部と前記可撓膜との接合部が、それぞれ略円形状に形成され、
前記錘部は、前記枠部の内側の略中心で懸架された
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の加速度スイッチ。 - 前記可動電極は、略円形状に形成された
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の加速度スイッチ。 - 前記可撓膜に、貫通孔が形成された
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の加速度スイッチ。 - 前記可撓膜上に、前記可動電極と外部端子とを接続する配線が設けられた
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の加速度スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052010A JP2009210324A (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 加速度スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052010A JP2009210324A (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 加速度スイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009210324A true JP2009210324A (ja) | 2009-09-17 |
Family
ID=41183644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008052010A Pending JP2009210324A (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 加速度スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009210324A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI393884B (zh) * | 2010-02-02 | 2013-04-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 加速度感應裝置以及使用該裝置的電子裝置 |
JP2014520277A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-08-21 | ルメダイン テクノロジーズ インコーポレイテッド | 振動摂動の時間領域測定のための装置および方法 |
JP2017207408A (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-24 | 日本写真印刷株式会社 | 半導体センサ |
CN114188180A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-03-15 | 北京零壹空间电子有限公司 | 一种三维六方向的机械惯性电学开关 |
-
2008
- 2008-03-03 JP JP2008052010A patent/JP2009210324A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI393884B (zh) * | 2010-02-02 | 2013-04-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 加速度感應裝置以及使用該裝置的電子裝置 |
JP2014520277A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-08-21 | ルメダイン テクノロジーズ インコーポレイテッド | 振動摂動の時間領域測定のための装置および方法 |
US9705450B2 (en) | 2011-06-24 | 2017-07-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Apparatus and methods for time domain measurement of oscillation perturbations |
US10027281B2 (en) | 2011-06-24 | 2018-07-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Time domain switched ring/disc resonant gyroscope |
JP2017207408A (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-24 | 日本写真印刷株式会社 | 半導体センサ |
CN114188180A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-03-15 | 北京零壹空间电子有限公司 | 一种三维六方向的机械惯性电学开关 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7508057B2 (en) | Electronic component device | |
EP3454543B1 (en) | Imaging method, imaging device, and electronic device | |
US20120223622A1 (en) | Vibrating device, method for manufacturing vibrating device, and electronic apparatus | |
US10150664B2 (en) | Microelectromechanical systems (MEMS) stopper structure for stiction improvement | |
US11265641B2 (en) | Microelectromechanical systems vibration sensor | |
US10638235B2 (en) | MEMS speaker | |
JP2012193971A (ja) | センサーモジュール、センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法及び電子機器 | |
JP2007024741A (ja) | 圧電振動ジャイロセンサ及び圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器 | |
JP2008243583A (ja) | 傾斜位置センサ、傾斜位置センサの製造方法 | |
JP2009210324A (ja) | 加速度スイッチ | |
JP2008014633A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
US11609091B2 (en) | Microelectromechanical systems device including a proof mass and movable plate | |
CN213818178U (zh) | 微机电系统振动传感器管芯 | |
JPWO2007017980A1 (ja) | 電子部品の製造方法及び電子部品 | |
JP2010182773A5 (ja) | ||
US7145416B2 (en) | Resonator device, electronic equipment provided with resonator device and method of manufacturing resonator device | |
KR20060089633A (ko) | 압전 장치 및 전자기기 | |
JP2008241482A (ja) | センサ装置 | |
JP2010060464A (ja) | 物理量センサ | |
CN101939252B (zh) | 微机械结构元件及其制造方法 | |
JP2008185369A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法、電子機器、及び回路基板 | |
CN108341394B (zh) | 微机电系统装置 | |
JP2008039576A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2009079948A (ja) | 半導体加速度センサ及びその製造方法 | |
JP5936903B2 (ja) | 加速度信号処理装置および電子デバイス |