JP2017201602A - 加速空洞、加速器及び加速空洞の共振周波数調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】隣接して配置される加速空洞間のスペースを占有することなく、加速空洞が有する固有の共振周波数を変更させることが可能な加速空洞、加速器及び加速空洞の共振周波数調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】１／４波長型共振器は、軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、側面部が円筒形状を有する胴体部と、胴体部の上部に設けられ、板状部材である上面部６と、上面部６に対して押圧力を付与し、上面部６を変形させる変形調整部２０とを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、加速空洞、加速器及び加速空洞の共振周波数調整方法に関するものである。

陽子又は重粒子（重イオン）を加速する超伝導線形加速器において、１／４波長型共振器（ＱＷＲ：Quarter Wave Resonator）又は１／２波長型共振器（ＨＷＲ：Half Wave Resonator）を用いて加速空洞を形成する場合がある。加速空洞にはマイクロ波を投入して、陽子又は重粒子を加速する加速電場を発生させる。このとき、加速空洞が有する固有の共振周波数を加速電場の周波数に同期させることにより、粒子を効率良く加速させることができる。したがって、加速空洞が有する共振周波数を調整するため、加速空洞をチューニングする必要がある。
下記の特許文献１及び２には、加速空洞のチューニングに関する発明が開示されている。

米国特許第６４４５２６７号明細書 米国特許第６６５７５１５号明細書

加速空洞のチューニングは、加速器の運転前に実施されるものと、運転中に実施されるものとがある。運転前に実施されるチューニング（以下「プリチューニング」という。）としては、空洞内部に組み込まれる一部の部品の長さを調整すること、空洞自体を塑性変形させて空洞形状を変えること、及び、空洞の内表面を研磨することなどがある。運転前のプリチューニングは、共振周波数が大きな範囲で調整される。

運転中に実施されるチューニングとしては、空洞自体を弾性変形させて空洞形状を可逆的に調整することや、空洞内部に部品を挿入することがある。運転中のチューニングは、運転条件等によってわずかに変わってしまう共振周波数を元に戻すためなどに行われる。

加速空洞を変形させてチューニングする場合、加速空洞に対し、ビーム軸方向であって、加速空洞の内側に凹状に変形させる方法が行われている。加速空洞が複数台直列に配置される場合、空洞間の間隔を短くすることで、加速器の全長に対する加速空洞の割合が大きくなり、加速器全体をコンパクトにすることができる。一方、１／４波長型共振器又は１／２波長型共振器は、剛性が高い構造を有することから、共振器を変形させる機能を有するチューナーは、高い変形力を付与できる規模の大きな構成とする必要がある。チューナーは、例えば、縦長円筒形状の共振器を外周面から挟み込む構造を有する。このとき、チューナーが付与する押圧力は、数十kN単位である。そのため、加速空洞間にチューナーを配置する場合、一定の空間を確保する必要があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、加速器の運転中に実施するチューニング又は運転前に実施するプリチューニングにおいて、隣接して配置される加速空洞間のスペースを占有することなく、加速空洞が有する固有の共振周波数を変更させることが可能な加速空洞、加速器及び加速空洞の共振周波数調整方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の加速空洞、加速器及び加速空洞の共振周波数調整方法は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明に係る加速空洞は、軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、側面部が円筒形状を有する胴体部と、前記胴体部の上部に設けられ、板状部材である上面部と、前記上面部に対して押圧力を付与し、前記上面部を変形させる変形調整部とを備える。

この構成によれば、側面部が円筒形状を有する胴体部は、軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、板状部材である上面部が、胴体部の上部に設けられる。このとき、変形調整部が上面部に対して押圧力を付与して上面部を変形させる。これにより、胴体部の上部に設けられた上面部が変形することから、加速空洞が有する共振周波数が変更される。

上記発明において、複数の前記変形調整部が設けられてもよく、それぞれの前記変形調整部が前記上面部の異なる位置に対し押圧力を付与してもよい。

この構成によれば、複数の変形調整部によって、上面部の複数の位置に対し押圧力を付与できる。その結果、一の位置に対し押圧力を付与する場合と比べて、上面部の変形形状を異ならせることができるため、加速空洞の共振周波数を細かく変更しやすくなる。例えば、上面部が円環形状であるとき、複数の変形調整部は、上面部の周方向に沿って、それぞれの変形調整部が間隔を空けて設けられる。

上記発明において、前記上面部の面上に上方に突出したリブが設けられてもよく、前記変形調整部は、前記リブに接触して押圧力を付与してもよい。

この構成によれば、変形調整部が上面部に設けられたリブに接触しており、リブに対して押圧力を付与して上面部を変形させる。このとき、リブを介して押圧力が上面部の面内に広く伝達されるため、リブの長手方向に沿って変形部分を増やすことができる。

上記発明において、前記上面部は、前記変形調整部が接触する部分の板厚が他の部分よりも薄くてもよい。

この構成によれば、変形調整部が接触して押圧力が付与される部分の板厚が、他の部分よりも薄いため、少ない押圧力で上面部を変形させることができる。

上記発明において、前記上面部は、前記変形調整部が接触する部分が平面状に形成されてもよい。

この構成によれば、変形調整部が接触して押圧力が付与される部分が、断面が直線である平面状に形成されるため、断面が円弧形状等の曲面で形成される場合に比べて、少ない押圧力で上面部を変形させることができる。

本発明に係る加速器は、上記の加速空洞を備える。

本発明に係る加速空洞の共振周波数調整方法は、軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、側面部が円筒形状を有する胴体部と、前記胴体部の上部に設けられ、板状部材である上面部とを備える加速空洞の共振周波数調整方法であって、変形調整部が、前記上面部に対して押圧力を付与し、前記上面部を変形させるステップを有する。

上記発明における前記上面部を変形させるステップにおいて、前記上面部を塑性変形、又は、弾性変形させる。

上記発明において、複数の前記変形調整部が設けられるとき、全ての又は一部の前記変形調整部によって前記上面部を変形させる。

本発明によれば、加速空洞の胴体部の上部に設けられた上面部を変形させることから、変形調整部が、隣接して配置される加速空洞間のスペースを占有することなく、加速空洞が有する固有の共振周波数を変更させることができる。

本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器及び容器を示す縦断面図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器の上部を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器の変形調整部を示す縦断面図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器の上部を示す縦断面図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器を示す平面図である。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器の上部を示す端面図であり、上面部の変形後の形状を破線で示している。 本発明の第１実施形態に係る１／４波長型共振器の変形例の上部を示す縦断面図である。 本発明の第２実施形態に係る１／４波長型共振器の変形調整部を示す縦断面図である。

以下に、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係る超伝導線形加速器について、図１から図８を用いて説明する。
本実施形態に係る超伝導線形加速器は、陽子又は重粒子（重イオン）を加速する。超伝導線形加速器は、１／４波長型共振器（ＱＷＲ：Quarter Wave Resonator）１を用いて加速空洞が形成される。１／４波長型共振器１は、１台で用いられる場合と、複数台が直列に接続されて用いられる場合がある。１／４波長型共振器１にはマイクロ波が投入されて、１／４波長型共振器１内には陽子又は重粒子を加速する加速電場が発生する。なお、以下では、１／４波長型共振器１について、図面を用いて説明したが、本発明は、超伝導線形加速器に用いられる１／２波長型共振器（ＨＷＲ：Half Wave Resonator）にも適用できる。

１／４波長型共振器１は、ニオブ製であり、側面が円筒形状である胴体部２と、胴体部２の内部に設けられる中心導体３などを備える。

胴体部２は、外周面が円筒形状の側面部４と、側面部４に接続された下面部５及び上面部６を有する。側面部４、下面部５及び上面部６は、例えば板厚３ｍｍ〜４ｍｍの板状部材で構成される。胴体部２の内部は、胴体部２の側面部４、下面部５及び上面部６と、中心導体３によって閉鎖された空間となっている。

下面部５は、平面視が円形状であって、例えば椀形状又は平板状である。上面部６は、平面視が円環形状であって、縦断面形状は、上側に凸状である曲面を有する。なお、上面部６は曲面のみではなく、平面部を有してもよい。

上面部６の外周縁６ａは、側面部４の上部と接続され、上面部６の内周縁６ｂは中心導体３の上部と接続される。

胴体部２の下部には、陽子又は重粒子が通過する開口部８が形成された、一対のビームポート７が設けられる。各ビームポート７は、端部にフランジ９が形成されており、他の１／４波長型共振器のビームポート７に対し接続部品（図示せず。）を介して接続可能である。

ビームポート７は、胴体部２の側面部４から突出し、胴体部２の軸方向に対して垂直方向に設けられる。二つのビームポート７は、同軸上に設けられており、内部に形成される開口部８も同軸に配置される。

中心導体３は、テーパ形状の接続部１０と、内部に開口部１２を有する円環形状のビーム通過部１１を有する。接続部１０は、上方の直径が大きく、下方の直径が小さいテーパ形状である。接続部１０の下部とビーム通過部１１の上部は、連続して接続されており、接続部１０の内部とビーム通過部１１の内部には、連続した一つの空間が形成され、加速器の運転時において、例えば液体ヘリウムが充填される。なお、接続部１０は、上方の直径と下方の直径が同一である円筒形状であってもよい。

ビーム通過部１１は、二つの椀形部材が合わさった形状を有し、ビームポート７側に向かって凸状の曲面を有する。ビーム通過部１１の中心部には、円筒状の開口部１２が形成されており、開口部１２の両端は、ビーム通過部１１のビームポート７側の面と接続されている。ビーム通過部１１の開口部１２は、ビームポート７の開口部８と同軸上に設けられる。ビーム通過部１１の開口部１２の内部は、陽子又は重粒子が通過する。

ビーム通過部１１のビーム軸方向の厚みや、開口部１２のビーム軸方向の長さは、接続部１０の最下端の直径よりも長く、接続部１０とビーム通過部１１の接続部分は屈曲した形状を有している。なお、接続部１０とビーム通過部１１の接続部分の形状は、屈曲形状を有する場合に限定されない。ビーム通過部１１のビーム軸方向の厚みや、開口部１２のビーム軸方向の長さが、円筒形状の接続部１０の直径と同一である場合もある。また、ビーム通過部１１は、円環形状である場合に限られず、円筒形状の接続部１０と同一直径の円筒形状であって、円筒外周面を貫通するように開口部１２が形成されるものであってもよい。

胴体部２の側面部４と中心導体３の側面との間や、胴体部２の下面部５と中心導体３の最下端との間には、空間が設けられる。１／４波長型共振器１の横断面形状は、胴体部２の側面部４と中心導体３の側面との間の空間は、円環形状となっている。

１／４波長型共振器１の外側には、金属製の容器（ジャケット）３０が設けられ、容器３０内部と胴体部２の外周部との間に、例えば液体ヘリウムが充填される。

胴体部２の上面部６には、一対のポート１３が、胴体部２の軸方向に対して平行方向に設けられる。ポート１３は、１／４波長型共振器１の製造時における内部空間の洗浄や研磨に用いられる。

また、胴体部２の上面部６において、二つのポート１３の間には、周方向に沿って、円弧状にリブ１４が形成される。リブ１４は、上面部６の面から上方へ突出した形状を有する。リブ１４が設けられることにより、変形調整部２０のボルト２２による押圧力が、リブ１４を介して上面部６の面内に広く伝達されるため、リブ１４の長手方向に沿って変形部分を増やすことができる。

また、二つのポート１３の間には、上面部６の径方向に沿って、板状の支持部１５が設けられる。支持部１５は、下端部が上面部６と接続されている。図３に示す例では、支持部１５が周方向に６箇所設けられている。なお、支持部１５の位置や設置数は、この例に限定されない。なお、支持部１５の下部には、リブ１４と干渉しないように切欠き１７が形成されている。

複数の支持部１５の内側には、更に円環状の補強材１６が設置される。補強材１６は、外周縁が支持部１５と接続されている。

次に、図３から図８を用いて、本実施形態に係る変形調整部２０について説明する。
変形調整部２０は、上面部６に接触して押圧力を付与し、上面部６の板状部材を変形させる。これにより、１／４波長型共振器１が有する固有の共振周波数が変更される。

変形調整部２０は、図４に示すように、二つの支持部１５間に設けられる。図４は、上面部６のリブ１４に沿って、上面部６の周方向に切断した縦断面図である。変形調整部２０は、上面部６において、一つ以上設置される。複数の変形調整部２０が設けられる場合は、二つの支持部１５間それぞれに一つずつ設置される。変形調整部２０は、好ましくは点対称となる位置に、一対以上、複数設置される。対称となる位置に設けられることで、共振周波数の変化が安定し、調整を行いやすい。なお、上面部６の板状部材やリブ１４の板状部材の厚さや形状を適宜選定することによっても、共振周波数の変化を安定させ、調整を行いやすくさせることができる。

変形調整部２０は、台部２１と、ボルト２２を有する。台部２１は、板状又はブロック状の部材であり、下面が支持部１５の上面と接続される。台部２１の中心部には、貫通孔２３が上下方向に形成されており、貫通孔２３の内部には、ボルト２２と螺合可能な雌ねじが設けられる。ボルト２２の上部には頭部２２Ａが設けられ、ロッド部２２Ｂには雄ねじが設けられる。頭部２２Ａを回転させることによって、ボルト２２は、軸方向に移動し、台部２１に対し下方向又は上方向に移動可能である。

ボルト２２を下方向に移動させることにより、ボルト２２のロッド部２２Ｂの下端部が上面部６のリブ１４に当接する。更にボルト２２を下方向に移動させることにより、台部２１及び支持部１５に固定されたボルト２２は、リブ１４及び上面部６に対し押圧力を付与する。その結果、図７に示すように、ボルト２２によって、リブ１４及び上面部６が変形する。ボルト２２の移動量に応じて、リブ１４及び上面部６の変形量を変化させることができる。

なお、変形調整部２０は、台部２１を有する場合に限定されず、図８に示すように、台部２１を設けずに、ボルト２２が支持部１５に設置されるようにしてもよい。この場合、支持部１５は、板厚を厚くして、板状の支持部１５の端面から上下方向に貫通孔２３が形成される。貫通孔２３の内部には、ボルト２２と螺合可能な雌ねじが設けられる。ボルト２２のロッド部２２Ｂの下端部は、切欠き１７へ突き出て、上面部６のリブ１４に当接する。この場合も、ボルト２２を下方向に移動させることにより、支持部１５に固定されたボルト２２は、リブ１４及び上面部６に対し押圧力を付与でき、リブ１４及び上面部６を変形させることができる。上面部６の板状部材やリブ１４の板状部材の厚さや形状を適宜選定することによって、リブ１４及び上面部６に対して、予め想定しておいた変形を達成することができる。

変形調整部２０は、リブ１４及び上面部６を強制的に変形させて塑性変形させてもよいし、リブ１４及び上面部６を弾性変形域で弾性変形させてもよい。

例えば、運転前に１／４波長型共振器１の固有の共振周波数を調整（プリチューニング）する場合、塑性変形と弾性変形の両方が考えられる。
塑性変形の場合は、リブ１４及び上面部６を大きく変形させて、塑性変形させる。塑性変形後は、変形調整部２０のボルト２２を再び上方に移動させて、ボルト２２のロッド部２２Ｂの下端部をリブ１４から離した後もリブ１４及び上面部６の変形は維持される。したがって、１／４波長型共振器１が有する共振周波数が、変形前と異なる値に設定される。
弾性変形の場合は、変形調整部２０のボルト２２を下向きに移動させ、共振周波数を調整した後、その位置でボルト２２を固定することで１／４波長型共振器１の変形が維持される。

また、運転中に１／４波長型共振器１の固有の共振周波数を調整（チューニング）する場合、リブ１４及び上面部６を弾性変形域で弾性変形させる。変形調整部２０のボルト２２は、リブ１４及び上面部６の弾性変形域で上下方向に移動される。この場合、ボルト２２の上下方向の移動に伴って、リブ１４及び上面部６の撓み量が変化する。

複数の変形調整部２０が設置される場合、全ての変形調整部２０についてボルト２２を均等に移動させてもよいし、共振周波数の変化特性を測定しながら、一部の変形調整部２０のボルト２２を移動させたり、それぞれのボルト２２の移動量を異ならせてもよい。複数の変形調整部２０によってリブ１４及び上面部６を変形させる場合、一の位置に対し押圧力を付与する場合と比べて、リブ１４及び上面部６の変形形状を異ならせることができるため、１／４波長型共振器１が有する共振周波数を細かく変更しやすくなる。図６の網掛け部分は、上面部６に対し四つの変形調整部２０を設置し、全ての変形調整部２０を用いて上面部６を変形させた場合の変形範囲を示す。なお、一つの変形調整部２０が変形可能な範囲は、二つの支持部１５間の範囲となる。

なお、運転中にチューニングを行わない場合は、運転前のチューニング完了後、変形調整部２０の台部２１及びボルト２２を支持部１５から取り外してもよい。

以上、本実施形態によれば、１／４波長型共振器１の上面部６を変形することによって、１／４波長型共振器１が有する固有の共振周波数を変更することができる。変形調整部２０は、１／４波長型共振器１の上面部６に対応して、１／４波長型共振器１の上方に設置されることから、隣り合う１／４波長型共振器１と干渉することがない。したがって、複数の１／４波長型共振器１の間の距離が短く、隣り合う１／４波長型共振器１の間の空間が狭い場合でも、変形調整部２０を用いて共振周波数を変更することができる。

また、本実施形態は、従来のように、１／４波長型共振器のビームポートを内側に移動させて、側面部４をビーム軸方向であって内側に凹状に変形させる場合と異なり、ビームポート７の位置を変更しない。したがって、１／４波長型共振器１の内部に発生する加速電場に大きな影響を与えることなく、１／４波長型共振器１が有する固有の共振周波数を変更することができる。

なお、本実施形態では、１／４波長型共振器１において、上面部６の面上にリブ１４が設けられる場合について説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、リブ１４が設けられず、ボルト２２が上面部６に当接し、ボルト２２によって上面部６が直接変形されるとしてもよい。

また、ボルト２２が当接する上面部６の板厚が、上面部６の他の部分や側面部４などよりも薄く形成されてもよい。これにより、変形調整部２０のボルト２２が接触して、ボルト２２が上面部６を変形させる部分の板厚が、他の部分よりも薄いことから、少ない押圧力で上面部６を変形させることができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る超伝導線形加速器について説明する。
本実施形態は、運転中に１／４波長型共振器１の固有の共振周波数を調整（チューニング）する場合に主に使用される。
本実施形態に係る超伝導線形加速器の１／４波長型共振器１は、第１実施形態と比べて、変形調整部２０の構成が異なる。以下では、１／４波長型共振器１の変形調整部２０について説明し、第１実施形態と重複する構成要素及び作用効果については詳細な説明を省略する。なお、以下では、１／４波長型共振器１について、図面を用いて説明したが、本発明は、超伝導線形加速器に用いられる１／２波長型共振器（ＨＷＲ：Half Wave Resonator）にも適用できる。

変形調整部２０は、図９に示すように、容器３０よりも外側に配置される。容器３０には、例えば液体ヘリウムが充填される。
変形調整部２０は、支持部３１と、ロッド部３２と、ロッド位置調整部３３などを有する。変形調整部２０は、ロッド位置調整部３３がロッド部３２の上下方向の位置を変更し、ロッド部３２の下端部３２Ｂを上面部６に当接させて、リブ１４及び上面部６を変形させる。

容器３０の上面には、例えば円形の開口部３０Ａが形成され、開口部３０Ａにはロッド部３２が挿通される。支持部３１は、例えば円筒状部材であり、下端部が開口部３０Ａに沿って、容器３０の上面側に設置される。支持部３１の上端部には、フランジ３４が設けられ、フランジ３４はロッド部３２の受け部３６の下面と接触している。支持部３１の中間部分には、ベローズ３５が設けられ、ベローズ３５は、フランジ３４の上下方向の移動を可能とする。

ロッド部３２は、支持部３１に支持される受け部３６と、下方に延設される棒状のロッド３７と、雌ねじ穴３９が形成された雌ねじ部３８を有する。

受け部３６は、例えば円板状部材であって、ロッド３７よりも径が大きく、下面側が支持部３１のフランジ３４の上面と接触する。また、受け部３６の中心にはロッド３７が接続される。ロッド３７の下端は、ロッド部３２の下端部３２Ｂを上面部６に当接される。雌ねじ部３８の中心には、ロッド部３２の軸方向と同一方向に雌ねじ穴３９が設けられており、内部には雌ねじが形成される。雌ねじ部３８は、ロッド位置調整部３３の雄ねじ部４０と螺合される。

ロッド位置調整部３３は、例えば、雄ねじ部４０と、第１ギア４１と、第２ギア４２と、モータ４３などを有する。モータ４３は、正回転及び逆回転が可能である。

第１ギア４１は、雄ねじ部４０と接続され、第２ギア４２はモータ４３と接続される。第１ギア４１と第２ギア４２は、互いに噛み合っている。モータ４３が駆動することによって、第２ギア４２が回転し、第２ギア４２の回転力が第１ギア４１に伝達される。そして、第１ギア４１が回転することによって、雄ねじ部４０が回転する。その結果、雄ねじ部４０と螺合しているロッド部３２は、軸心周りに回転せずに、軸方向に移動し、容器３０に対し下方向又は上方向に移動可能である。すなわち、ロッド部３２は、軸心周りの回転が抑制され、軸方向、すなわち上下方向に移動可能な構成を有している。

ロッド部３２を下方向に移動させることにより、ロッド部３２の下端部３２Ｂが上面部６に当接し、更にロッド部３２を下方向に移動させることにより、上面部６を変形させる。ロッド部３２の移動量に応じて、上面部６の変形量を変化させることができる。

なお、本実施形態では、ロッド部３２が上面部６を変形させる場合について説明したが、第１実施形態と同様に、上面部６の面上にリブ１４が設けられて、ロッド部３２によって上面部６及びリブ１４が変形されるとしてもよい。

本実施形態によれば、変形調整部２０が容器３０の外部に設けられ、容器３０の外部側から、変形調整部２０を用いて１／４波長型共振器１の上面部６を変形することができる。

また、第１実施形態のようにボルト２２を直接操作するのではなく、モータ４３を駆動することによってロッド部３２を上下方向に移動させることができる。そのため、運転中、容器３０に液体ヘリウムが充填され、１／４波長型共振器１にアクセスしにくい場合においても、遠隔操作によって１／４波長型共振器１の上面部６を変形することができる。

１ １／４波長型共振器
２ 胴体部
３ 中心導体
４ 側面部
５ 下面部
６ 上面部
７ ビームポート
８，１２ 開口部
９ フランジ
１０ 接続部
１１ ビーム通過部
１３ ポート
１４ リブ
１５ 支持部
２０ 変形調整部
２１ 台部
２２ ボルト
３０ 容器
３１ 支持部
３２ ロッド部
３３ ロッド位置調整部
３４ フランジ
３５ ベローズ
３６ 受け部
３７ ロッド
３８ 雌ねじ部
３９ 雌ねじ穴
４０ 雄ねじ部
４１ 第１ギア
４２ 第２ギア
４３ モータ

Claims (9)

1. 軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、側面部が円筒形状を有する胴体部と、
   前記胴体部の上部に設けられ、板状部材である上面部と、
   前記上面部に対して押圧力を付与し、前記上面部を変形させる変形調整部と、
   を備える加速空洞。
2. 複数の前記変形調整部が設けられ、それぞれの前記変形調整部が前記上面部の異なる位置に対し押圧力を付与する請求項１に記載の加速空洞。
3. 前記上面部の面上に上方に突出したリブが設けられ、
   前記変形調整部は、前記リブに接触して押圧力を付与する請求項１又は２に記載の加速空洞。
4. 前記上面部は、前記変形調整部が接触する部分の板厚が他の部分よりも薄い請求項１から３のいずれか１項に記載の加速空洞。
5. 前記上面部は、前記変形調整部が接触する部分が平面状に形成される請求項１から４のいずれか１項に記載の加速空洞。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の加速空洞を備える加速器。
7. 軸方向が鉛直方向に対して平行に配置され、側面部が円筒形状を有する胴体部と、前記胴体部の上部に設けられ、板状部材である上面部とを備える加速空洞の共振周波数調整方法であって、
   変形調整部が、前記上面部に対して押圧力を付与し、前記上面部を変形させるステップを有する加速空洞の共振周波数調整方法。
8. 前記上面部を変形させるステップにおいて、前記上面部を塑性変形、又は、弾性変形させる請求項７に記載の加速空洞の共振周波数調整方法。
9. 複数の前記変形調整部が設けられるとき、全ての又は一部の前記変形調整部によって前記上面部を変形させる請求項７又は８に記載の加速空洞の共振周波数調整方法。

Images