JP2017195274A - 真空吸着装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の第1の実施形態に係る真空吸着装置100について、図1を参照して説明する。
次に、真空吸着装置100の製造方法の一実施形態について図2も参照して説明する。
反対に焼成温度が高すぎると変形や収縮を起こすため、できるだけ低温で焼成することが
望ましい。この焼成時に、消失材31は消失する。
上述した実施形態では、接合面12,21は、その全周に亘って、吸着面11側から見たとき、内側から外周面側に向って下るように傾斜するテーパ面となっている。しかし、載置体10が支持体20よりも下方に位置する部分を有していれば、接合面12,21の形状はこれに限定されない。
次に、本発明の第2の実施形態に係る真空吸着装置100Aについて図8を参照して、説明する。真空吸着装置100Aは、上述した第1の実施形態に係る真空吸着装置100と類似するので、相違点についてのみ説明する。
Claims (5)
- 対象物を吸着する吸着面を上面に有し、多孔質体からなる載置体と、
前記載置体の外周面又は下面の少なくとも一部と接合されて前記載置体を支持し、前記多孔質体の気孔に連通する吸引孔が形成され、緻密質体からなる支持体とを備えた真空吸着装置であって、
前記載置体と前記支持体とが接する接面が、前記吸着面側から見たとき、前記載置体の内側から外側方向に下るように傾斜する部分、又は前記載置体の外側から内側方向に若しくは前記載置体の内側から外側方向に突出する部分を有することを特徴とする真空吸着装置。 - 前記支持体は、前記載置体を収容する第1の凹部と、前記載置体の下面と底面との間に空隙を有する第2の凹部と、前記第2の凹部の底面から上方に突出し、前記載置体の下面を支持する複数の凸部とを有することを特徴とする請求項1に記載の真空吸着装置。
- 前記載置体は、前記接面よりも下方に位置する部分を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空吸着装置。
- 凹部、前記凹部と外部とを連通する吸引孔、及び、上側から見たとき、内側から外側方向に下るように傾斜する部分、又は外側から内側方向に若しくは内側から外側方向に突出する部分を内周面に有し、緻密質体からなる支持体を作製する工程と、
セラミックス粉末及びガラス粉末を含むスラリーを調整する工程と、
少なくとも吸引孔に消失材を充填する工程と、
前記凹部に前記スラリーを充填したうえで焼成して、多孔質体を形成するとともに前記消失材を消失させる工程とを備えたことを特徴とする真空吸着装置の製造方法。 - 前記支持体は、さらに、前記凹部の底面から上方に突出する複数の凸部を有し、
前記複数の凸部の間に消失材を充填した後に、前記凹部に前記スラリーを充填することを特徴とする請求項4に記載の真空吸着装置の製造方法。
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