JP2017194305A - 真空計状態検出方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2の真空計状態検出システムは、前述した実施の形態1と同様に、センサチップ101、圧力値出力部121、計測部122、状態判断部123、基準値記憶部124、警報出力部125を備える(図1参照)。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。実施の形態3の真空計状態検出システムは、前述した実施の形態1と同様に、センサチップ101、圧力値出力部121、計測部122、状態判断部123、基準値記憶部124、警報出力部125を備える(図1参照)。
Claims (6)
- 変位可能とされて測定対象からの圧力を受けるダイアフラムを備えるセンサチップから構成されて前記ダイアフラムの変位を静電容量の変化として検出する真空計の前記ダイアフラムの状態を検出する真空計状態検出方法であって、
前記真空計の出力を得る第1ステップと、
前記第1ステップで得られた出力と基準となる基準特性とを比較する第2ステップと、
前記第2ステップの比較で前記出力が前記基準特性以上とされた過大圧印加状態の回数を積算する第3ステップと、
前記第3ステップで得られた回数が設定されている上限値に達したことを判断する第4ステップと
を備えることを特徴とする真空計状態検出方法。 - 請求項1記載の真空計状態検出方法において、
前記第2ステップの比較で過大圧印加状態とされた時刻情報を取得し、取得した時刻情報、前記第3ステップで得られた回数,および設定されている上限回数から前記真空計のゼロ点調整が限界となる日時を予測し、予測した日時から前記真空計の整備に必要な日時を差し引いて得られた限界日時より前記上限値を決定する
ことを特徴とする真空計状態検出方法。 - 請求項1記載の真空計状態検出方法において、
前記真空計の直前に実施したゼロ点調整における調整量を前記第3ステップで得られた回数で除したレート値を求め、現時点における前記真空計の調整可能量を前記レート値で除した値より残り回数を決定し、前記回数に前記残り回数を加えた値を上限値とする
ことを特徴とする真空計状態検出方法。 - 変位可能とされて測定対象からの圧力を受けるダイアフラムを備えるセンサチップから構成されて前記ダイアフラムの変位を静電容量の変化として検出する真空計と、
前記真空計の出力を得る計測部と、
前記計測部が得た出力と基準となる基準特性とを比較して前記出力が前記基準特性以上とされた過大圧印加状態の回数を積算し、回数が設定されている上限値に達したことを判断する状態判断部と
を備えることを特徴とする真空状態検出システム。 - 請求項4記載の真空状態検出システムにおいて、
前記状態判断部は、前記比較で過大圧印加状態とされた時刻情報を取得し、取得した時刻情報、前記回数,および設定されている上限回数から前記真空計のゼロ点調整が限界となる日時を予測し、予測した日時から前記真空計の整備に必要な日時を差し引いて得られた限界日時より前記上限値を決定する
ことを特徴とする真空状態検出システム。 - 請求項4記載の真空状態検出システムにおいて、
前記状態判断部は、前記真空計の直前に実施したゼロ点調整における調整量を前記回数で除したレート値を求め、現時点における前記真空計の調整可能量を前記レート値で除した値より残り回数を決定し、前記回数に前記残り回数を加えた値を上限値とする
ことを特徴とする真空状態検出システム。
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