JP2017181369A - 流体取扱装置 - Google Patents

流体取扱装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2017181369A
JP2017181369A JP2016071084A JP2016071084A JP2017181369A JP 2017181369 A JP2017181369 A JP 2017181369A JP 2016071084 A JP2016071084 A JP 2016071084A JP 2016071084 A JP2016071084 A JP 2016071084A JP 2017181369 A JP2017181369 A JP 2017181369A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
recess
fluid handling
substrate
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016071084A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6654951B2 (ja
Inventor
小野　航一
Koichi Ono
航一 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Enplas Corp
Original Assignee
Enplas Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Enplas Corp filed Critical Enplas Corp
Priority to JP2016071084A priority Critical patent/JP6654951B2/ja
Priority to US15/474,572 priority patent/US10183294B2/en
Priority to EP17163924.8A priority patent/EP3225311A1/en
Publication of JP2017181369A publication Critical patent/JP2017181369A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6654951B2 publication Critical patent/JP6654951B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502769—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements
    • B01L3/502784—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements specially adapted for droplet or plug flow, e.g. digital microfluidics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0028—Valves having multiple inlets or outlets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0042—Electric operating means therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/02—Adapting objects or devices to another
    • B01L2200/026—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
    • B01L2200/027—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0647—Handling flowable solids, e.g. microscopic beads, cells, particles
    • B01L2200/0652—Sorting or classification of particles or molecules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0673—Handling of plugs of fluid surrounded by immiscible fluid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0816—Cards, e.g. flat sample carriers usually with flow in two horizontal directions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
    • B01L2300/0864—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices comprising only one inlet and multiple receiving wells, e.g. for separation, splitting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887—Laminated structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0406—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces capillary forces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0475—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure
    • B01L2400/0487—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure fluid pressure, pneumatics
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
    • F16K2099/008—Multi-layer fabrications
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0084—Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】湿式法であっても、簡単かつ高精度に形成された電極を有する流体取扱装置を提供する。【解決手段】流体取扱装置は、基板、フィルム、および一対の電極を有する。基板は、互いに裏表の関係にある第１面および第２面を有し、フィルムは、互いに裏表の関係にある第３面および第４面を有する。基板の第１面には第１凹部が形成されており、フィルムの第３面には少なくとも一対の第２凹部が形成されている。第１凹部内に電場を印加するための少なくとも一対の電極は、第２凹部により形状が規定され、第２凹部内に配置されている。フィルムは、第１面および第４面が互いに対向するように基板上に接合されている。【選択図】図４

Description

本発明は、流体取扱装置に関する。
近年、タンパク質や核酸などの微量な物質の分析を高精度かつ高速に行うために、流体取扱装置が使用されている。流体取扱装置は、分析に必要な試薬および試料の量が少なくてよいという利点を有しており、臨床検査や食物検査、環境検査などの様々な用途での使用が期待されている。
流体取扱装置として、標的物質（例えば、細胞、ＤＮＡおよび酵素）を含む液体から生成された、直径が０．１以上１０００μｍ以下の微小な液滴（以下、「ドロップレット」ともいう）中に含まれる標的物質を高精度に検出する液体取扱装置が知られている。ドロップレットの生成時には、標的物質を含むドロップレットだけでなく、標的物質を含まないドロップレットも同時に生成されうる。そこで、標的物質を含むドロップレットと、標的物質を含まないドロップレットとを選別するためのソーター部を有する液体取扱装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
図１は、特許文献１に記載の液体取扱装置１０におけるソーター部の機能を説明するための模式図である。図１に示されるように、液体取扱装置１０は、液体が移動可能な流路１１と、流路１１内に電場を印加するための一対の電極１２とを有する。一対の電極１２は、流路１１に沿って配列されている。図１中、白色のドロップレット１は標的物質を含むドロップレットを示し、黒色のドロップレット１は、標的物質を含まないドロップレットを示している。液体取扱装置１０では、電極１２により流路１１内に電場が印加される。当該電場内を通過した流路１１内のドロップレット１は、標的物質の有無に応じて、互いに異なる方向に移動する。特許文献１に記載の液体取扱装置１０では、誘電泳動を利用して、標的物質を含むドロップレット１と、標的物質を含まないドロップレット１とを互いに選別することができる。
特表２０１５−５３３０７９号公報
たとえば、流体取扱装置は、流路となる凹部が形成されている基板の凹部が形成されている面に、その一面上に一対の電極が配置されているフィルムを接合することで製造されうる。当該電極は、フィルム上に流動性を有する電極形成用の組成物を印刷方式で塗布し、固化させることにより形成されうる。しかしながら、このように印刷方式（例えば、スクリーン印刷方式）により電極を形成する場合、上記組成物をフィルム上に塗布したときに、当該組成物が流動してしまい、精度よく電極を形成できないことがある。また、一対の電極が互いに接触するのを防ぐために、一対の電極をある程度余裕をもって離して形成する必要があり、結果として、電極を短い間隔で配置することができない。
また、一方の面上に流路用の凹部が形成され、他方の面上に電極用の凹部が形成されている基板と、当該基板の一方の面上に接合されるフィルムとを有する流体取扱装置において、流路内に電場を印加する観点から、基板の厚み方向において電極の先端部を流路内に近接して配置する必要がある。このため、アスペクト比（凹部の幅に対する深さ）の高い電極用の凹部を基板に形成しなければならず、結果として、製造上の難易度が高くなってしまう。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、印刷方式であっても、簡単かつ高精度に形成された電極を有する流体取扱装置を提供することを目的とする。
本発明の流体取扱装置は、互いに裏表の関係にある第１面および第２面を有し、流体が内部を移動可能な第１凹部が前記第１面に形成されている基板と、互いに裏表の関係にある第３面および第４面を有し、少なくとも一対の第２凹部が前記第３面に形成されているフィルムと、その形状が前記第２凹部により規定され、前記第２凹部内に配置されている、前記第１凹部内に電場を印加するための少なくとも一対の電極と、を有し、前記フィルムは、前記第１面および前記第４面が互いに対向するように前記基板上に接合されている。
本発明によれば、湿式法であっても、高精度に形成された電極を有する流体取扱装置を提供することができる。たとえば、本発明によれば、寸法精度の高い電極を有する流体取扱装置を実現することができる。
図１は、特許文献１に記載の液体取扱装置におけるソーター部の機能を説明するための模式図である。 図２Ａ〜Ｃは、実施の形態に係る流体取扱装置の構成を示す図である。 図３Ａ、Ｂは、基板の構成を示す図であり、図３Ｃ、Ｄは、フィルムの構成を示す図である。 図４Ａ、Ｂは、実施の形態に係る流体取扱装置におけるソーター部の機能を説明するための模式図である。 図５Ａ〜Ｃは、従来の流体取扱装置の構成を示す図である。
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
（流体取扱装置の構成）
図２Ａ〜Ｃは、本実施の形態に係る流体取扱装置１００の構成を示す図である。図２Ａは、流体取扱装置１００の平面図であり、図２Ｂは、図２ＡのＢ−Ｂ線における断面図であり、図２Ｃは、図２ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。
図２Ａ〜Ｃに示されるように、本実施の形態に係る流体取扱装置１００は、基板１１０、フィルム１２０および一対の電極１３０を有する。
図３Ａ、Ｂは、本実施の形態に係る基板１１０の構成を示す図である。図３Ａは、基板１１０の底面図であり、図３Ｂは、図３ＡのＢ−Ｂ線における断面図である。図３Ｃ、Ｄは、本実施の形態に係るフィルム１２０の構成を示す図である。図３Ｃは、フィルム１２０の底面図であり、図３Ｄは、図３ＣのＤ−Ｄ線における断面図である。
基板１１０は、貫通孔、溝（凹部）またはこれら両方が形成されている板状の部材である。本実施の形態では、基板１１０は、３つの貫通孔と、３つの溝（凹部）とが形成されている。基板１１０は、互いに裏表の関係にある第１面１１０１（裏側の面）および第２面１１０２（表側の面）を有する。基板１１０には、図３Ａ、Ｂに示されるように、第１貫通孔１１１、第１凹部１１２、第２貫通孔１１３および第３貫通孔１１４が形成されている。第１凹部１１２は、流体がその内部を移動可能な凹部であり、第１溝１１２ａ、第２溝１１２ｂおよび第３溝１１２ｃを有する。第１凹部１１２は、基板１１０の第１面１１０１に形成されている。
第１溝１１２ａの一端は第１貫通孔１１１に連通しており、第１溝１１２ａの他端は第２溝１１２ｂの一端と、第３溝１１２ｃの一端とに連通している。また、第２溝１１２ｂの他端は、第２貫通孔１１３に連通しており、第３溝１１２ｃの他端は、第３貫通孔１１４に連通している。
基板１１０の第１面１１０１には、後述のフィルム１２０が接合される。第１貫通孔１１１は、その開口部をフィルム１２０で閉塞されることで、この後説明する流路２１２に流体（例えば液体）を導入するための流体導入部２１１となる。また、第１凹部１１２（第１溝１１２ａ、第２溝１１２ｂおよび第３溝１１２ｃ）は、その開口部をフィルム１２０で閉塞されることで、流体が移動可能な流路２１２（第１流路２１２ａ、第２流路２１２ｂおよび第３流路２１２ｃ）となる。また、第２貫通孔１１３は、その開口部をフィルム１２０で閉塞されることで、流路２１２から流入する流体を収容するための第１収容部２１３となる。さらに、第３貫通孔１１４は、その開口部をフィルム１２０で閉塞されることで、流路２１２から流入する流体を収容するための第２収容部２１４となる。
流体導入部２１１は、流路２１２に導入するための流体を収容する凹部である。流体導入部２１１の形状および大きさは、外部から流体導入部２１１に流体を導入することができれば、特に限定されない。流体導入部２１１（第１貫通孔１１１）の形状の例には、円柱形状、円錐台形状が含まれる。本実施の形態では、流体導入部２１１の形状は、円柱形状である。
流体導入部２１１から導入される流体の種類は、特に限定されない。たとえば、流体導入部２１１から導入される流体は、標的物質（例えば、細胞、ＤＮＡおよび酵素）を含む液体から生成された液滴（ドロップレット）の分散液である。ドロップレットの溶媒の種類は、標的物質を含有することができれば特に限定されず、例えば、水である。この場合、上記分散液の母相液体としては、ドロップレットに対して溶解性が低い液体（例えば、油）を採用しうる。また、ドロップレットの直径は、例えば、５μｍ以上２００μｍ以下である。ドロップレットを生成する方法は、特に限定されず、公知の方法から適宜選択されうる。
流路２１２は、第１流路２１２ａ、第２流路２１２ｂおよび第３流路２１２ｃの接合部で分岐を有する分岐流路である。流路２１２における分岐の数は、特に限定されず、用途に応じて適宜設定されうる。本実施の形態では、当該分岐の数は、１つである。上記流体は、毛細管現象により流路２１２内を移動してもよいし、外力（例えば、ポンプ）により流路２１２内を移動してもよい。流路２１２（第２凹部１２１）の断面積および断面形状は、流体導入部２１１から導入された流体が移動可能であれば、特に限定されない。たとえば、流路２１２の断面積および断面形状は、一辺の長さ（幅および深さ）が数μｍから数ｍｍ程度の略矩形である。なお、本明細書において、「流路の断面」とは、流体の移動方向に直交する流路の断面を意味する。第１流路２１２ａ、第２流路２１２ｂおよび第３流路２１２ｃの断面積および断面形状は、互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。本実施の形態では、第１流路２１２ａ、第２流路２１２ｂおよび第３流路２１２ｃの断面積および断面形状は、互いに同じである。
第１収容部２１３は、第２流路２１２ｂから流入する流体を収容するための凹部である。第１収容部２１３（第２貫通孔１１３）の形状および大きさは、流体を収容することができれば特に限定されず、用途に応じて適宜設計されうる。本実施の形態では、第１収容部２１３の形状は、円柱形状である。
第２収容部２１４は、第３流路２１２ｃから流入する流体を収容するための凹部である。第２収容部２１４（第３貫通孔１１４）の形状および大きさは、流体を収容することができれば特に限定されず、用途に応じて適宜設計されうる。本実施の形態では、第２収容部２１４の形状は、円柱形状である。
基板１１０の厚みは、特に限定されない。たとえば、基板１１０の厚さは、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。また、基板１１０の材料は、特に限定されず、公知の樹脂およびガラスから適宜選択されうる。基板１１０を構成する樹脂の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂、エラストマーが含まれる。
フィルム１２０は、透明な樹脂からなるフィルムである。フィルム１２０は、図３Ｃ、Ｄに示されるように、互いに裏表の関係にある第３面１２０１（裏側の面）および第４面１２０２（表側の面）を有する。フィルム１２０の第４面１２０２は、基板１１０の第１面１１０１に接合されている。フィルム１２０の第３面１２０１には、一対の第２凹部１２１が形成されている。
第２凹部１２１の配置、形状、大きさおよび数は、第２凹部１２１内に配置されている後述の電極１３０が流路２１２内に電場を適切に印加することができれば特に限定されない。第２凹部１２１の数は、例えば、後述の電極１３０の数に応じて変更されうる。本実施の形態では、２つの第２凹部１２１が第３面１２０１に形成されている。本実施の形態では、第２凹部１２１は、円柱形状の凹部と、当該円柱形状の凹部に連通している凹条部とから構成されている。第２凹部１２１の幅および深さは、所望の電極１３０の幅および高さや、フィルム１２０の厚みなどに応じて適宜設計されうる。たとえば、第２凹部１２１の凸条部の幅は、１０μｍ以上５００μｍ以下であり、第２凹部１２１の深さは、２０μｍ以上１９０μｍ以下である。当然、第２凹部１２１の深さは、フィルム１２０の厚みより小さい。
流路２１２内への電場の印加は、フィルム１２０の第２凹部１２１内に配置されている電極１３０からフィルム１２０を介して行われる。電極１３０を流路２１２の近くに配置し、より高強度の電場を流路２１２内に印加する観点からは、第２凹部１２１は、第２凹部１２１の底面と流路２１２の底面との間隔（第２凹部１２１の底部におけるフィルム１２０の厚み）が、１８０μｍ以下となるように形成されることが好ましい。また、フィルム１２０の強度を確保する観点からは、第２凹部１２１は、第２凹部１２１の底面と流路２１２の底面との間隔（第２凹部１２１の底部におけるフィルム１２０の厚み）が、１０μｍ以上となるように形成されることが好ましい。
フィルム１２０の厚みは、特に限定されず、樹脂の種類（剛性）に応じて適宜設定されうる。たとえば、フィルム１２０の厚みは、３０μｍ以上２００μｍ以下である。
フィルム１２０を構成する樹脂の種類は、基板１１０への十分な密着強度を有し、かつ分析時に求められる耐熱性や耐試薬性などを確保することができれば特に限定されない。フィルム１２０を構成する樹脂の種類の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂などが含まれる。
一対の電極１３０は、流路２１２（第１凹部１１２）内に電場を印加するための正極と負極からなる電極である。また、一対の電極１３０は、互いに離間して配置されている。また、詳細については後述するが、流体取扱装置１００において、一対の電極１３０は、分岐部を有する流路２１２とともに標的物質を含むドロップレットと、標的物質を含まないドロップレットとを選別するためのソーター部として機能する。
電極１３０の形状および配置は、上記機能を発揮することができれば特に限定されない。電極１３０の形状および配置は、第２凹部１２１により規定される。流体取扱装置１００を平面視したときに、一対の電極１３０は、流路２１２側に配置される先端部が、流路２１２内の流体の移動方向に沿うように配置されている。このとき、流体取扱装置１００を平面視したときに、一対の電極１３０は、流路２１２を挟む両領域のうち片方の領域に配置されている。一対の電極１３０の先端部（本実施の形態では、第２凹部１２１の凹条部）間の距離は、流路２１２の幅に応じて適宜設定されうる。一対の電極１３０の先端部間の間隔（最短距離）は、例えば、１０μｍ以上２００μｍ以下である。また、電極１３０の数は、流路２１２の分岐の数に応じて適宜設定されうる。本実施の形態では、電極１３０の数は、２つである。
電極１３０は、流動性を有する電極形成用組成物を固化することで形成される。電極１３０は、導電性インクを含んでいてもよいし、融点が２００℃以下である金属（低融点金属）を含んでいてもよい。電極１３０が導電性インクを含む場合、電極形成用組成物は、溶媒が除去される前の導電性インクである。電極１３０が低融点金属を含む場合、電極形成用組成物は、溶融状態における上記金属である。導電性インクの例には、カーボン、金ペーストや銀ペースト、プラチナペーストなどのスクリーン印刷用のインクが含まれる。低融点金属の例には、ナトリウムカリウム合金と、亜鉛や、インジウム、スズ、ビスマス、鉛などの合金とが含まれる。
（流体取扱装置の製造方法）
次いで、本実施の形態に係る流体取扱装置１００の製造方法について説明する。
まず、基板１１０およびフィルム１２０を準備する。基板１１０に第１貫通孔１１１、第１凹部１１２、第２貫通孔１１３および第３貫通孔１１４を形成する方法は、特に限定されず、金型成形法やリソグラフィ法などの公知の方法から適宜選択されうる。また、フィルム１２０に第２凹部１２１を形成する方法も、特に限定されず、リソグラフィ法のような公知の方法から適宜選択されうる。
次いで、フィルム１２０の第２凹部１２１内に一対の電極１３０を湿式法で形成する。たとえば、流動性を有する電極形成用の組成物をフィルム１２０の第２凹部１２１内に流し込み、固化させればよい。当該組成物を第２凹部１２１内に流し込む方法は、特に限定されず、毛細管現象により上記組成物を第２凹部１２１内に流し込んでもよいし、外力（例えば、ポンプ）により上記組成物を第２凹部１２１内に流し込んでもよい。上記組成物の例には、導電性インクと、溶融状態にある低融点金属とが含まれる。上記組成物が導電性インクである場合、当該導電性インクに含まれる溶媒を除去することで当該導電性インクを固化させることができる。また、上記組成物が低融点金属である場合には、当該低融点金属の温度を融点以下にすることで当該低融点金属を固化させることができる。
最後に、フィルム１２０を、基板１１０の第１面１１０１とフィルム１２０の第４面１２０２とを対向させた状態で、基板１１０とフィルム１２０とを接合する。フィルム１２０と基板１１０とを接合する方法は、特に限定されない。たとえば、フィルム１２０は、熱溶着やレーザ溶着、接着剤などにより基板１１０に接合されうる。
以上の手順により、本実施の形態に係る流体取扱装置１００は製造されうる。
（流体取扱装置におけるソーター部の機能）
次に、本実施の形態に係る流体取扱装置１００における、ソーター部（分岐流路２１２および電極１３０）の機能について説明する。図４Ａ、Ｂは、流体取扱装置１００におけるソーター部の機能を説明するための模式図であり、図２Ａにおいて、破線で示される領域の部分拡大平面図である。なお、図４Ａ、Ｂでは、白色のドロップレット１は、標的物質を含むドロップレットを示し、黒色のドロップレット１は、標的物質を含まないドロップレットを示している。
まず、流体取扱装置１００の使用時には、その先端部が流路２１２に沿うように配置されている一対の電極１３０により流路２１２内の分岐部近傍に電場が印加される。流体取扱装置１００を平面視したときに、流路２１２を挟む両領域のうち電極１３０が配置されている側の領域を強電場側の領域といい、電極１３０が配置されていない側の領域を弱電場側の領域という。第２流路２１２ｂは、強電場側の領域に配置されており、第３流路２１２ｃは、弱電場側の領域に配置されている。標的物質を含むドロップレット１と、標的物質を含まないドロップレット１を含む液体は、流体取扱装置１００の流体導入部２１１から第１流路２１２ａ内に導入され、第１流路２１２ａ内を移動する（図４Ａ参照）。次いで、ドロップレット１が上記電場内を通過する。このとき、本実施の形態では、ドロップレット１が標的物質を含む場合には、ドロップレット１は強電場側に移動し、ドロップレット１が標的物質を含まない場合には、ドロップレット１は、弱電場側に移動する。結果として、標的物質を含むドロップレット１と、標的物質を含まないドロップレット１とは、誘電泳動により、それぞれ異なる流路に導入される（図４Ｂ参照）。標的物質を含むドロップレット１は、第１収容部２１３に連通している第２流路２１２ｂに導入され、標的物質を含まないドロップレット１は、第２収容部２１４に連通している第３流路２１２ｃに導入される。このように、本実施の形態に係る流体取扱装置１００は、標的物質を含むドロップレット１と、標的物質を含まないドロップレット１とを選別することができる。
（効果）
以上のように、本実施の形態に係る流体取扱装置１００では、一対の電極１３０は、第２凹部１２１で形状を規定されるとともに、フィルム１２０に形成されている第２凹部１２１内に配置されている。湿式法により電極１３０を形成する際、第２凹部１２１がガイドとして機能する。このため、固化される前の電極形成用の組成物が意図しない領域に流動するのを抑制することができる。したがって、一対の電極１３０の間隔が小さい場合であっても、一対の電極１３０は、互いに接触することなく配置されうる。また、電極１３０の形状および大きさは、第２凹部１２１の形状により規定される。このため、所望の幅および深さを有する電極１３０が高い精度で形成されうる。第２凹部１２１の幅および深さを調整することで、電極１３０の幅および深さを簡単かつ高精度で調整しうる。
従来の流体取扱装置１００’では、電極１３０’がフィルム１２０’の第３面１２０１（基板１１０’に接合されない裏側の面）ではなく、第４面１２０２（基板１１０’に接合される表側の面）上に形成されている。図５Ａ〜Ｃは、従来の流体取扱装置１００’の構成を示す図である。図５Ａは、流体取扱装置１００’の平面図であり、図５Ｂは、図５ＡのＢ−Ｂ線における断面図であり、図５Ｃは、図５ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。フィルム１２０’が第２凹部１２１を有しない点と、電極１３０’がフィルム１２０’の第４面１２０２（基板１１０’に接合される表側の面）に形成されている点と、電極１３０’にコネクタを接続させるための２つの第４貫通孔１１５’が基板１１０’にさらに形成されている点とが、上記実施の形態に係る流体取扱装置１００と異なる。第４貫通孔１１５’は、その開口部をフィルム１２０’で閉塞されることで、電極１３０’にコネクタを接触させるための第３凹部２１５’となる。また、電極１３０’は、第３凹部２１５’内に露出している。従来の流体取扱装置１００’では、図５Ａ、Ｂに示されるように、電極１３０’がフィルム１２０’の第３面１２０１ではなく、第４面１２０２上に形成されている。電極１３０’の周囲では、電極１３０’の厚みによって基板１１０’とフィルム１２０’との間に隙間が生じている。このため、一対の電極１３０’の先端部を流路２１２の近傍に配置することができない。
これに対して、本実施の形態に係る流体取扱装置１００では、電極１３０は、フィルム１２０の第３面１２０１上に配置されており、フィルム１２０は、第４面１２０２が基板１１０の第１面１１０１と対向するように基板１１０に接合されている。これにより、電極１３０の先端部を流路２１２下の流路２１２近傍に配置し、流路２１２内に電場を印加することができる。したがって、本実施の形態に係る流体取扱装置１００は、従来の流体取扱装置１００’と比較して、より高強度の電場を流路２１２内に印加することができ、より高精度にドロップレットの選別を行うことができる。また、電極１３０がフィルム１２０の第３面１２０１上に配置されているため、流体取扱装置１００の裏面側から電極１３０へアクセスすることが可能となる。さらに、流体取扱装置１００の設計の自由度が高くなり、電極１３０を密に配置することが可能となる。
また、流体取扱装置１００では、フィルム１２０を挟んで一対の電極１３０により流路２１２内に電場を印加するため、フィルム１２０の代わりに基板を使用した場合と比較しても、電極１３０を流路２１２に対して、より近い位置に配置することができる。この結果として、より高強度の電場を流路２１２内に印加することができ、より高精度にドロップレットの選別を行うことができる。
また、前述のとおり、一方の面上に流路用の凹部が形成され、他方の面上に電極用の凹部が形成されている基板と、当該一方の面上に接合されるフィルムとを有する従来の流体取扱装置においては、アスペクト比（凹部の幅に対する深さ）の高い電極用の凹部を基板に形成する必要があり、結果として、製造上の難易度が高くなってしまう。これに対して、本実施の形態に係る流体取扱装置１００では、電極１３０がフィルム１２０上に配置されているため、アスペクト比が高い電極用の凹部を基板１１０に形成する必要がない。結果として、流路２１２に近接して配置された電極１３０を有する流体取扱装置１００を簡単に製造することができる。
なお、上記実施の形態では、流体導入部２１１にドロップレット１の分散液を導入する流体取扱装置１００について説明したが、本発明に係る流体取扱装置は、ドロップレット生成部を有していてもよい。ドロップレット生成部の構成は、公知の構成から適宜選択されうる。この場合、流体導入部２１１からは、標的物質を含む流体が導入される。
また、上記実施の形態では、ドロップレット１の選別のために使用されうる流体取扱装置１００について説明したが、本発明に係る流体取扱装置は、この態様に限定されず、ドロップレット１の選別以外にも使用されうる。
本発明の流体取扱装置は、例えば、医学分野などにおいて使用されるマイクロ流路チップとして有用である。
１ ドロップレット
１０ 液体取扱装置
１１ 流路
１２ 電極
１００、１００’ 流体取扱装置
１１０、１１０’ 基板
１１０１ 第１面
１１０２ 第２面
１１１ 第１貫通孔
１１２ 第１凹部
２１２ 流路
１１２ａ 第１溝
１１２ｂ 第２溝
１１２ｃ 第３溝
２１２ａ 第１流路
２１２ｂ 第２流路
２１２ｃ 第３流路
１１３ 第２貫通孔
２１３ 第１収容部
１１４ 第３貫通孔
２１４ 第２収容部
１１５’ 第４貫通孔
２１５’ 第３凹部
１２０、１２０’ フィルム
１２０１ 第３面
１２０２ 第４面
１２１ 第２凹部
１３０、１３０’ 電極

Claims (4)

  1. 互いに裏表の関係にある第１面および第２面を有し、流体が内部を移動可能な第１凹部が前記第１面に形成されている基板と、
    互いに裏表の関係にある第３面および第４面を有し、少なくとも一対の第２凹部が前記第３面に形成されているフィルムと、
    その形状が前記第２凹部により規定され、前記第２凹部内に配置されている、前記第１凹部内に電場を印加するための少なくとも一対の電極と、
    を有し、
    前記フィルムは、前記第１面および前記第４面が互いに対向するように前記基板上に接合されている、
    流体取扱装置。
  2. 前記フィルムの厚みは、３０μｍ以上２００μｍ以下であり、
    前記第２凹部の深さは、前記フィルムの厚みより小さく、かつ２０μｍ以上１９０μｍ以下である、
    請求項１に記載の流体取扱装置。
  3. 前記電極は、導電性インクを含む、請求項１または請求項２に記載の流体取扱装置。
  4. 前記電極は、融点が２００℃以下である金属を含む、請求項１または請求項２に記載の流体取扱装置。
JP2016071084A 2016-03-31 2016-03-31 流体取扱装置 Expired - Fee Related JP6654951B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016071084A JP6654951B2 (ja) 2016-03-31 2016-03-31 流体取扱装置
US15/474,572 US10183294B2 (en) 2016-03-31 2017-03-30 Fluid handling device
EP17163924.8A EP3225311A1 (en) 2016-03-31 2017-03-30 Fluid handling device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016071084A JP6654951B2 (ja) 2016-03-31 2016-03-31 流体取扱装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017181369A true JP2017181369A (ja) 2017-10-05
JP6654951B2 JP6654951B2 (ja) 2020-02-26

Family

ID=58548964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016071084A Expired - Fee Related JP6654951B2 (ja) 2016-03-31 2016-03-31 流体取扱装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10183294B2 (ja)
EP (1) EP3225311A1 (ja)
JP (1) JP6654951B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019159905A1 (ja) * 2018-02-14 2019-08-22 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱システム

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021139707A (ja) * 2020-03-04 2021-09-16 株式会社エンプラス 流体取扱装置

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000343693A (ja) * 1999-06-08 2000-12-12 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP2003130883A (ja) * 2001-04-16 2003-05-08 Tosoh Corp 微小流路構造体、その製造方法及びその用途
US20030127329A1 (en) * 2001-06-04 2003-07-10 Devoe Donald Lad Field effect flow control apparatus for microfluidic networks
US20030226604A1 (en) * 2002-05-16 2003-12-11 Micronit Microfluidics B.V. Method of fabrication of a microfluidic device
JP2004526913A (ja) * 2001-02-23 2004-09-02 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニー 超小型流体用バルブ、および、超小型バルブ用マイクロアクチュエータ
JP2008008891A (ja) * 2006-05-30 2008-01-17 Honda Motor Co Ltd マイクロ流路の流量制御装置、流量制御装置を有するマイクロチップ装置及び流量制御方法
JP2009014342A (ja) * 2005-10-19 2009-01-22 Sharp Corp 誘電泳動チップおよび誘電泳動装置並びに誘電泳動システム
JP2009117650A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Covalent Materials Corp 導電性パターンの形成方法、積層基板の製造方法及び微細流路構造体の製造方法
JP2010090211A (ja) * 2008-10-06 2010-04-22 Mitsubishi Materials Corp 導電性インク組成物及びこれを用いた電極の形成方法
JP2012150098A (ja) * 2010-12-28 2012-08-09 Sharp Corp 検体検出用チップ、それを用いたセンサ、及び検体検出方法
JP2012171092A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Sony Dadc Austria Ag マイクロ流体デバイス及びその製造方法
WO2015038767A1 (en) * 2013-09-12 2015-03-19 Western Michigan University Research Foundation Microfluidic systems with microchannels and a method of making the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3193180A1 (en) 2010-11-17 2017-07-19 Advanced Liquid Logic, Inc. Capacitance detection in a droplet actuator
US8940147B1 (en) * 2011-04-25 2015-01-27 Sandia Corporation Microfluidic hubs, systems, and methods for interface fluidic modules
WO2013120908A1 (en) 2012-02-17 2013-08-22 Sony Dadc Austria Ag Microstructured polymer devices
JP6514105B2 (ja) 2012-08-13 2019-05-15 ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア 生物学的成分を検出するための方法およびシステム
US9254485B2 (en) 2012-12-17 2016-02-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Systems and methods for an integrated bio-entity manipulation and processing device

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000343693A (ja) * 1999-06-08 2000-12-12 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP2004526913A (ja) * 2001-02-23 2004-09-02 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニー 超小型流体用バルブ、および、超小型バルブ用マイクロアクチュエータ
JP2003130883A (ja) * 2001-04-16 2003-05-08 Tosoh Corp 微小流路構造体、その製造方法及びその用途
US20030127329A1 (en) * 2001-06-04 2003-07-10 Devoe Donald Lad Field effect flow control apparatus for microfluidic networks
US20030226604A1 (en) * 2002-05-16 2003-12-11 Micronit Microfluidics B.V. Method of fabrication of a microfluidic device
JP2009014342A (ja) * 2005-10-19 2009-01-22 Sharp Corp 誘電泳動チップおよび誘電泳動装置並びに誘電泳動システム
JP2008008891A (ja) * 2006-05-30 2008-01-17 Honda Motor Co Ltd マイクロ流路の流量制御装置、流量制御装置を有するマイクロチップ装置及び流量制御方法
JP2009117650A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Covalent Materials Corp 導電性パターンの形成方法、積層基板の製造方法及び微細流路構造体の製造方法
JP2010090211A (ja) * 2008-10-06 2010-04-22 Mitsubishi Materials Corp 導電性インク組成物及びこれを用いた電極の形成方法
JP2012150098A (ja) * 2010-12-28 2012-08-09 Sharp Corp 検体検出用チップ、それを用いたセンサ、及び検体検出方法
JP2012171092A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Sony Dadc Austria Ag マイクロ流体デバイス及びその製造方法
WO2015038767A1 (en) * 2013-09-12 2015-03-19 Western Michigan University Research Foundation Microfluidic systems with microchannels and a method of making the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019159905A1 (ja) * 2018-02-14 2019-08-22 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱システム

Also Published As

Publication number Publication date
EP3225311A1 (en) 2017-10-04
US10183294B2 (en) 2019-01-22
US20170282183A1 (en) 2017-10-05
JP6654951B2 (ja) 2020-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4470999B2 (ja) 細胞電気生理センサ
JP2008519969A (ja) オーム抵抗の最小化を伴うマイクロ流体装置
JP6654951B2 (ja) 流体取扱装置
JP2012225827A (ja) 流体取扱装置および流体取扱システム
JP4821319B2 (ja) 細胞電気生理センサアレイおよびその製造方法
JP6047352B2 (ja) 流体取扱装置
US20160332898A1 (en) Flow channel plate
US9387477B2 (en) Fluid handling device
JP2021153445A (ja) 液体取扱装置および液体取扱方法
JP5723198B2 (ja) 流体取扱装置及び流体取扱システム
US10549480B2 (en) Ultrasonic welding of a microfluidic device
JP4670713B2 (ja) 細胞電気生理センサおよびこれを用いた細胞電気生理現象の測定方法
CN220405673U (zh) 一种具有立体电极的微流控芯片
JP4742882B2 (ja) 細胞電気生理センサおよびその製造方法
JP6310327B2 (ja) 流体取扱装置
JP5723197B2 (ja) 流体取扱装置及び流体取扱システム
JP2021162548A (ja) 流体取扱装置
JP2012103098A (ja) 電極付きマイクロチップの製造方法、及びこの製造方法で製造された電極付きマイクロチップ
CN115400810A (zh) 流体处理装置
JP4682884B2 (ja) 細胞電気生理センサおよびこれを用いた細胞電気生理現象の測定方法
JP2022045741A (ja) 液体取扱装置
WO2020183591A1 (en) Fluid handling method, and fluid handling device and fluid handling system used for the method
CN108435267A (zh) 液体处理装置
JP2022090836A (ja) 液体取扱装置
JP2021139792A (ja) 流体取扱装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190205

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20190617

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20191030

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200117

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200128

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200131

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6654951

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees